专利名称：气动真空角阀的制作方法
技术领域：
本实用新型主要涉及一种专门适用高真空设备的阀门，特别涉及气动真空角阀。
技术背景-
真空阀门是真空系统中的重要原件之一，专用于高真空设备，尤其是应用于 真空检漏，ITO透明导电玻璃镀膜生产线上，以及半导体器件、太阳能器件、光 学器件镀膜用真空设备中，对于其密封性必须有严格的要求。目前，为保证真空 阀门的密封性常采用波纹管密封结构，但是波纹管密封真空阀门加工难，生产成 本高、维护较困难，技术急需改造。 实用新型内容
本实用新型目的是为了弥补已有技术的缺陷，提供一种结构简单，生产成本 低，方便维护的气动真空角阀。
本实用新型是通过以下技术方案实现的
本实用新型是气动真空角阀，包括有阀座，阀座上包括有进气口和出气口， 其特征在于所述进气口和出气口上均安装有法兰，通过法兰与外接管道相连接， 进气口内侧固定有密封环；所述阀座上安装有气缸，气缸的活塞杆穿过阀体伸向 阀座内，所述活塞杆上固定连接有活塞接杆，活塞接杆上固定连接有可覆盖进气 口的活动挡板，活动挡板底面嵌套有与密封环相配合的密封圈。
所述的气动真空角阀，其特征在于所述阀座为三通阀座，所述气缸通过法 兰安装在三通阀座的一个连接法兰上。
所述的气动真空角阀，其特征在于所述气缸为带磁环的标准商用气缸；所述 的密封圈为标准O型密封圈，材料为硅橡胶、氟橡胶或丁晴橡胶。
所述的阀体的两个连接法兰成9(TC。
所述的气缸上安装有两个磁性开关并带有指示灯，用指示灯来表示阀门的开 或关的状态。
本实用新型作为真空管路中的启闭机构，是以电信号作为阀门开关信号,依 靠气体驱动气缸作为活动挡板驱动力，来控制阀门的开启或关闭。当活塞杆下行时，连接与其上的活塞接杆带着活动挡板向下，利用气缸内气体的顶力使嵌套在 活动挡板上的密封圈与密封环密封，气路被关断；当气缸活塞杆上行时，活动挡 板带着密封圈向上，气路被打开。 本实用新型的优点是
本实用新型作为真空管路中的启闭机构具有工作平稳,密封可靠,寿命长和维 护方便等优点，且本实用新型结构简单、成本低、制造周期短、维护简单方便。
附图为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
气动真空角阀，包括有阀座l，阀座1上包括有进气口和出气口，进气口和 出气口上均安装有法兰3和法兰2，进气口于阀座内侧端上固定有密封环4;阀 座1上安装有气缸14，气缸14的活塞杆9穿过阀体伸向阀座1内，活塞杆9上 固定连接有活塞接杆8，活塞接杆8上固定连接有可覆盖进气口的活动挡板6， 活动挡板6底面嵌套有与密封环4相配合的密封圈5。
气动真空角阀按以下顺序装配
首先将活塞接杆8的端部放入活动档板6的圆柱形孔内，卡上孔用弹性挡圈 7;再把密封圈13放入气缸安装法兰11的密封槽内，用螺栓把气缸14固定于气 缸安装法兰11上；接着将活塞接杆8的螺纹端旋入气缸活塞杆9的螺孔内插紧， 把密封圈12放入气缸安装法兰11的下侧密封槽内，然后将其上的活动挡板6端 放入阀座1内，用螺柱把气缸安装法兰11紧固于气缸连接法兰10上。工作时， 通过气缸控制电磁阀控制气缸上下运动
当气缸活塞杆9下行时，连接于其上的活塞接杆8带着活动挡板6向下，当 嵌套在活动挡板6上的密封圈5与密封环4接触时，气路被切断；当气缸活塞杆 9上行时，活动挡板6带着密封圈I 5向上，气路被打开。
权利要求1、气动真空角阀，包括有阀座，阀座上包括有进气口和出气口，其特征在于所述进气口和出气口上均有安装法兰，进气口内侧固定有密封环；所述阀座上安装有气缸，气缸的活塞杆穿过阀体伸向阀座内，所述活塞杆上固定连接有活塞接杆，活塞接杆上固定连接有可覆盖进气口的活动挡板，活动挡板底面嵌套有与密封环相配合的密封圈。
2、 根据权利要求1所述的气动真空角阀，其特征在于所述阀座为三通阀座， 所述气缸通过法兰安装在三通阀座的一个连接法兰上。
3、 根据权利要求1所述的气动真空角阀，其特征在于所述气缸为带磁环的标准 商用气缸；所述的密封圈为标准O型密封圈，材料为硅橡胶、氟橡胶或丁晴 橡胶。
专利摘要本实用新型气动真空角阀，包括有阀座，阀座上包括有进气口和出气口，其特征在于所述进气口和出气口上均安装有法兰，进气口于阀座内侧端上固定有密封环；所述阀座上安装有气缸，气缸的活塞杆穿过阀体伸向阀座内，所述活塞杆上固定连接有活塞接杆，活塞接杆上固定连接有可覆盖进气口的活动挡板，活动挡板底面嵌套有与密封环相配合的密封圈。本实用新型作为真空管路中的启闭机构具有工作平稳，密封可靠，寿命长和维护方便等优点，且本实用新型结构简单、成本低、制造周期短、维护简单方便。
文档编号F16K1/42GK201262234SQ20082016147
公开日2009年6月24日 申请日期2008年9月29日 优先权日2008年9月29日
发明者罗明生, 黄文平 申请人:合肥皖仪科技有限公司