专利名称：：高阻尼吸振平台结构的制作方法
技术领域：
：本实用新型关于一种用以承载设备的平台结构，特别是一种高阻尼吸振平台结构。
背景技术：
：在制造工艺逐渐迈向纳米等级分辨率的今日，无论在电子或半导体产业，多数制程及检测设备对于环境微振动相当敏感，在抑制环境振动的要求上将更为严苛。由于在不良的微振动环境下，常会造成仪器的误动作或者测量的结果难以判读，所以这些制程及检测设备的承载平台必须要具备优良的动态特性，使得无论是由环境传来的振动或者是平台设备本身所产生的振动，在运作的频宽范围能有效的被消除。传统的平台材料或结构一般分为花岗岩(granite)、蜂巢状平台(honeycombtable)以及钢筋混凝土结构的平台(reinforcedconcretestructure)。花岗岩的平台可提供较佳的结构稳定性，但是由于材质的关系，使得平台结构的重量较重。蜂巢状平台相比之下虽然质轻，但是因为结构有一定的复杂度，造成在制造及组装程序上的困难，目前只适用于高单价的光学桌。钢筋混凝土结构的平台，其重量介于以上两者之间，但是其动态特性比以上两者均差，只适用于一般半导体及光电厂的制造现场。目前精密光学研究或相关的精密设备所需要的承载平台的产品以美国专利US5，962，104号、US5,500,269号、US5，433，302号、US5，558，920号、US6，001,451号专利案与中国台湾专利1268163号、1280193号专利案等专利公开的技术为主。上述的美国专利大多以蜂巢状结构组成，均偏重于如何将光学桌中残余的异物加以清除的技术，而中国台湾专利所公开的技术则是以钢筋混凝土平台以及模组化结构支撑架为主，尚没有出现如本实用新型一样，在平台框体内部使用阻尼材料的技术。其中美国专利US5，962,104号专利案虽然已经引入模组化的设计概念，但是组合成平台结构的单一零件在几何形状上仍显复杂，进而增加单件制造的成本。美国专利US6，001，451号专利案则是三明治夹层板的结构，无法有效降低平台结构的单位面积重量，使得平台结构本身过重。鉴于以上所述，现行的高刚性平台或光学桌有无法同时兼顾重量过重、组装不易以及有效抑制振动的问题存在。
实用新型内容本实用新型的主要目的是提供一种高阻尼吸振平台结构，其提供的高刚性高阻尼的结构，具有承载精密重型设备所需的载重能力，并可抑制环境传来的振动及平台上设备本身所产生的振动。本实用新型的另一目的是提供一种高阻尼吸振平台结构，其提供的组成构件，使平台结构可容易的被组装，且不造成生产制造上的困难。本实用新型的另一目的是提供一种高阻尼吸振平台结构，其提供的轻量化结构，在减轻平台结构重量的同时，能维持足够的刚性强度。为了实现上述目的，本实用新型提供了一种高阻尼吸振平台结构，包含一基座、一框体结构、一阻尼填充材以及一上盖板。其中基座是由多数个型钢所组合而成，框体结构以定位结构定位在基座上，该框体结构的内侧面形成有阻尼接着剂，并具有一阻尼材料填充空间。阻尼填充材填充于框体结构中的阻尼材料填充空间，上盖板盖覆在该阻尼填充材上作为机台承置面，供一标的机台承置，该上盖板的底面形成有阻尼接着剂，并以接合结构定位在框体结构。此外，也可任意由上盖板的底面向下延伸出一预定高度的补强肋或于框体结构的内侧面向水平方向延伸出一预定长度的补强肋，另可于框体结构的内侧面灌注形成一结构环氧树脂层，借以增加平台结构的强度。上述的高阻尼吸振平台结构，其中，该阻尼填充材包括有高阻尼的聚烯类高分子材料与环氧类聚合高分子材料的混合材料。为了实现上述目的，本实用新型还提供了一种高阻尼吸振平台结构，包含一框体结构，该框体结构中具有一阻尼材料填充空间；一阻尼填充材，填充于该框体结构中的阻尼材料填充空间，该阻尼填充材系由多数个阻尼填充模块所叠置组成；一上盖板，盖覆在该阻尼填充材上形成机台承置面，能承置一机台。本实用新型对照现有技术的功效-本实用新型所采用的技术手段，可以使得承载平台的抑制振动能力增强，符合精密设备承载平台的振动标准，在固定的频宽范围内不会放大振动及延长振动，有效减少机台的故障发生率，从而提升产品的合格率。和一般蜂巢式结构相比，本实用新型在构件的几何形状上十分单纯，不会造成制造上的负担。而利用模组化的阻尼填充模块，因单一阻尼填充模块的体积较小、形状可统一、易于更换取代，并可进行规格化的量产，降低生产成本。另外在材料搬运与平台的组装上，也因构件的单纯化及模组化，而变得更加快速方便，减少施工时受环境干扰的几率。在轻量化方面，本实用新型利用阻尼填充材所组成的平台结构，比起花岗岩平台或混凝土结构的平台，在同尺寸上更为质轻，减少了厂房结构的负担，增加厂房的使用率。再配合不同的承重条件设置补强肋，能够适应各种机台及厂房环境的需求，获得更高的刚性。本实用新型所采用的具体实施例，将借由以下的实施例及附图作进一步的说明。图1为显示本实用新型高阻尼吸振平台结构的第一实施例结构剖视图；图2为显示本实用新型高阻尼吸振平台结构的第一实施例结构各相关构件分离时的剖视图3为显示本实用新型髙阻尼吸振平台结构的第二实施例结构剖视图图4为显示本实用新型高阻尼吸振平台结构的第三实施例结构剖视图图5为显示本实用新型高阻尼吸振平台结构的第四实施例结构剖视图图6为显示本实用新型高阻尼吸振平台结构的第五实施例结构剖视图图7为显示本实用新型平台面微振动测试结果；图8为显示本实用新型高阻尼吸振平台传输比测试结果。主要元件标号说明-100高阻尼吸振平台1基座11型钢2框体结构21阻尼材料填充空间3定位结构4、阻尼填充材41阻尼填充模块5上盖板6接合结构7a、7b阻尼接着剂81、82补强肋91、92、93结构环氧树脂层具体实施方式参考图1及图2所示，其为显示本实用新型的第一实施例的结构剖视图与结构相关构件分离后的剖视图。在本实用新型高阻尼吸振平台100的结构设计中，包括有一基座l、一框体结构2、定位结构3，一阻尼填充材4以及一上盖板5。其中基座1是由多数个型钢11组合而成。框体结构2以定位结构3(在此实施例是利用螺栓锁接，也可使用焊接或其它结构)定位在该基座l上，框体结构2中具有一阻尼材料填充空间21，阻尼填充材4填充于阻尼材料填充空间21中，其中该阻尼填充材4包括有高阻尼的聚烯类高分子材料与环氧类聚合高分子材料的混合材料。上盖板5盖覆在阻尼填充材4上，以一接合结构6(在此实施例是利用螺栓锁接，也可使用焊接或其它结构)与框体结构2相结合。框体结构2的内侧面形成有阻尼接着剂7a，而于上盖板5的底面及螺栓锁接处的内壁形成有阻尼接着剂7b，阻尼接着剂7a、7b虽于本实施例中形成于上述之处，但也可视所需形成于阻尼填充材4或单一阻尼填充模块41的表面等处。参考图3所示，为显示本实用新型的第二实施例，此一实施例的高阻尼吸振平台100的结构设计大致上与前述第一实施例相同，故相同的构件标示以相同的组件编号，以资对应。其差异在于本实施例的阻尼填充材4a是由多数个阻尼填充模块41所叠置组成，每单一阻尼填充模块41有体积较小的优势，在搬运及组装上更加便利快速。参考图4所示，为显示本实用新型的第三实施例，此一实施例的高阻尼吸振平台100的结构设计大致上与前述第一实施例相同，故相同的构件标示以相同的组件编号，以资对应。其差异处是针对平台的局部区域所相对应位置的上盖板5的底面，向下延伸出一预定高度的补强肋81。可应用在设备的地脚所坐落的位置或其它承受较大载重之处，以增强局部区域的载重能力。参考图5所示，为显示本实用新型的第四实施例，此一实施例的高阻尼吸振平台100的结构设计大致上与前述第三实施例相同，故相同的构件标示以相同的组件编号，以资对应。本实施例在框体结构2的内侧面向水平方向延伸出一预定长度的补强肋82，从而提升框体结构2的结构强度。参考图6所示，为显示本实用新型的第五实施例，此一实施例的高阻尼吸振平台100的结构设计大致上与前述第三实施例相同，故相同的构件标示以相同的组件编号，以资对应。第五实施例是在框体结构2的内侧面加设隔板并灌注结构环氧树脂层91、92、93，借此增加平台结构中，上盖板5及框体结构2的结构刚性及阻尼。参考图7所示，为显示本实用新型的平台面微振动测试结果，此测试是在不同频率之下测量平台面的微振动量值。此测试的结果显示微振动值的大小满足VC(VibrationCriteria)-E振动标准，VC-E振动标准即国际半导体厂建厂设计的制式振动设计标准中，用于制作0.18微米晶片厂工作平台的设计需求。参考图8所示，为显示本实用新型的平台在不同频率下的传输比(Ratio)的测试结果。其结果显示地板的振动干扰与经过阻尼平台后的微振动传输比在大部分的频宽范围均小于l，使得振动不被放大。由以上的实施例可知，本实用新型所提供的高阻尼吸振平台结构具有产业上的利用价值。以上所述仅为本实用新型示意性的具体实施方式，并非用以限定本实用新型的范围。任何本领域的技术人员，在不脱离本实用新型的构思和原则的前提下所作出的等同变化与修改，均应属于本实用新型保护的范围。9权利要求1、一种高阻尼吸振平台结构，其特征在于，所述高阻尼吸振平台结构包含一基座；一框体结构，经定位结构定位在该基座上，该框体结构中具有一阻尼材料填充空间；一阻尼填充材，填充于该框体结构中的阻尼材料填充空间；一上盖板，盖覆在该阻尼填充材上形成机台承置面，能承置一机台。2、根据权利要求1所述的高阻尼吸振平台结构，其特征在于，该上盖板的底面还具有至少一补强肋，该补强肋由该上盖板的底面向下延伸出一预定高度。3、根据权利要求1所述的高阻尼吸振平台结构，其特征在于，该框体结构的内侧面还具有至少一补强肋，该补强肋由该框体结构的内侧面向水平方向延伸出一预定长度。4、根据权利要求1所述的高阻尼吸振平台结构，其特征在于，该框体结构的内侧面还灌注形成有一结构环氧树脂层。5、一种高阻尼吸振平台结构，其特征在于，所述高阻尼吸振平台结构包含一框体结构，该框体结构中具有一阻尼材料填充空间；一阻尼填充材，填充于该框体结构中的阻尼材料填充空间，该阻尼填充材系由多数个阻尼填充模块所叠置组成；一上盖板，盖覆在该阻尼填充材上形成机台承置面，能承置一机台。6、根据权利要求5所述的高阻尼吸振平台结构，其特征在于，该上盖板的底面还具有至少一补强肋，该补强肋由该上盖板的底面向下延伸出一预定高度。7、根据权利要求5所述的高阻尼吸振平台结构，其特征在于，该框体结构的内侧面还具有至少一补强肋，该补强肋由该框体结构的内侧面向水平方向延伸出一预定长度。8、根据权利要求5所述的高阻尼吸振平台结构，其特征在于，该框体结构的内侧面还灌注形成有一结构环氧树脂层。专利摘要本实用新型公开了一种高阻尼吸振平台结构，包含一基座；一框体结构，以定位结构定位在该基座上，该框体结构中具有一阻尼材料填充空间；一阻尼填充材，填充于该框体结构中的阻尼材料填充空间；一上盖板，盖覆在该阻尼填充材上作为机台承置面，供一标的机台承置，借由将组成平台的几何构件单纯化、模组化，搭配以轻质的阻尼填充材，辅以阻尼接着剂结合、强化，构成一同时具有模组化、轻量化且高刚性特性的高阻尼吸振系统平台结构。文档编号F16M11/00GK201277422SQ20082020827公开日2009年7月22日申请日期2008年9月10日优先权日2008年9月10日发明者蔡宏毅申请人:台湾奈米科技应用股份有限公司