专利名称：可调节式真空限流阀的制作方法
技术领域：
本实用新型属于流体阀门技术领域，尤其涉及一种可调节式真空限流阀。
背景技术：
真空阀门是真空设备上必不可少的部件，真空阀门可控性和稳定性，直接影响真 空设备的使用性能。真空系统所使用的阀门一般有挡板阀，翻板阀，蝶阀和插板阀等。并 可细分为真空插板阀系列、金属密封气动真空插板阀系列、手动真空摆动阀系列、气动真空 摆动阀系列、快速关闭真空阀系列、手动真空挡板阀系列、气动真空挡板阀系列、常闭气动 真空挡板阀系列、常闭电磁真空挡板阀系列、手动真空隔膜阀系列、手动超高真空档板阀系 列。这些阀门一般在使用中均是处于全封闭或全开启状态。而限流阀为了稳定控制真空腔 压，开启的程度可进行调节。限流阀在真空系统中的功能是控制符合流量_压差特性的可 调流量。对限流阀的特性要求主要是流量特性、最小稳定流量、流量调节范围及调节特性。在真空镀膜中为了保证镀膜质量的稳定性和可持续性，重要的是保持镀膜工艺参 数的稳定性，保持真空室腔压的稳定性尤为重要。真空室腔压的稳定性一般采用两种方式， 一是采用自动压强仪通过缓冲供气方式，提供稳定的工作气体流量通入真空室，二是对真 空系统的泵系统和真空腔的抽速进行限制，也就是安装在真空腔室和真空泵系统之间的限 流阀。目前我国真空中使用的限流阀主要是方形的百叶窗式。但是这种方式对于抽速流量 的控制是粗糙的，对小的稳定流量不能进行较为精细的调节。
实用新型内容为了解决上述问题，本实用新型的目的是提供一种结构设计简单、合理，制备与使 用容易、方便，并对真空腔室的腔压可进行小稳定抽气流量的真空限流阀，使得真空腔室的 压力处于稳定状态，有利于各种镀膜的工艺参数的稳定性，和镀膜质量的稳定性与可靠性。 同时还可配合自动压强仪使用，更有利于获得高质量的镀膜质量的可调节的真空限流阀。本实用新型的技术方案，一种可调节式限流阀，该限流阀包括厚壁法兰、步进电 机、电机驱动器、主轴、调节装置和转板组成；其中，所述厚壁法兰截面的一端设有密封槽，安装在真空泵系统和真空腔室的管 道上；所述电机驱动器和所述步进电机通过螺丝固接，安装在所述厚壁法兰的一侧，所述步 进电机与所述主轴固接，所述主轴通过凸块与所述调节装置连接，所述转板通过两端部的 轴固定在所述厚壁法兰内壁上，所述转板通过拉板、转轴和螺钉与所述调节装置固接；所述 调节装置驱动所述转板转动，使实现0-90°的转动，0°时使通过限流阀的流量趋于最小流 量，在90°时为最大流量。所述调节装置包括由横向支杆和横向支杆轴组成，所述横向支杆轴通过螺钉和螺 母固接。所述主轴上设有动密封，所述动密封由油封压盖与骨架油封及轴套构成。转板与厚壁法兰搭接部位的形状为圆弧状或梯形；所述转板的横截面为矩形式、刀刃式或台阶式。所述转板的旋转范围是0-90°。所述转板为至少两块。所述转板的截面为矩形式、刀刃式或台阶式。本实用新型的有益效果是由于采用上述技术方案，本实用新型在使用时可以对 真空腔室的腔压进行稳定抽气流量的控制，进而使真空腔室的压力处于稳定状态，特别是 有利于对各种镀膜的工艺参数的稳定性控制，提高镀膜质量的稳定性与可靠性。与自动压 强仪配合使用有利于获得更高的镀膜质量。
图1是本实用新型的可调节式限流阀的整体结构示意图。图2是本实用新型限流阀在关闭的状态俯视图。图3是本实用新型转板截面为矩形式转板搭接方式。图4是本实用新型转板截面为刀刃式转板搭接方式。图5是本实用新型转板截面为台阶式转板搭接方式。图中1.厚壁法兰2.步进电机3.电机驱动器4.主轴5.油封压盖6.骨架油封7.轴套8.螺钉9.螺钉10.支杆11.螺母
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的技术方案进一步说明。如图1、图2所示为本实用新型可调节式真空限流阀的结构示意图，该限流阀由厚 壁法兰1、步进电机2、电机驱动器3、主轴4、调节装置和转板18组成。调节装置由横向支杆13和横向支杆轴14组成，转板18-25通过两端部的轴分别 安装在厚壁法兰1的内壁上，厚壁法兰1的一侧安装步进电机2和电机驱动器3，步进电机 2和电机驱动器3通过支杆10和螺母11进行固定，主轴4与步进电机3通过螺钉8连接， 油封压盖5与骨架油封6及轴套7对主轴4实现动密封，并通过螺钉9固定在厚壁法兰1 上，凸块12将主轴4与横向支杆13和横向支杆轴14连接，凸块12由螺钉15固定，横向支 杆13和横向支杆轴14由螺钉16和螺母17铰接，转板18-25通过拉板26、转轴27和螺钉 28与横向支杆13连接。
12.凸块
13.横向支杆
14.横向支杆轴
15.螺钉
16.螺钉
17.螺母 18-25.转板
26.拉板
27.转轴
28.螺钉
4[0034]如图3所示为本实用新型横截面为矩形的转板的闭合示意图。如图4所示为本实用新型横截面为刀刃式的转板的闭合示意图。如图5所示为本实用新型横截面为矩形的转板的闭合示意图。工作原理当需给定一个转动角度时，电机驱动器3对步进电机2发出指令，步进 电机2通过主轴4驱动横向支杆13传递到转板18，实现转板18的转动，在转板18及转板 18和厚壁之间形成间隙，从而实现对抽速流量的限制，最终实现对流量的合理控制。以上实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围，有关技术领 域的普通技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和 变型，因此所有等同的技术方案也属于本实用新型的范畴，本实用新型的专利保护范围应 由各项权利要求限定。
权利要求一种可调节式真空限流阀，包括厚壁法兰(1)，电机驱动器(3)和步进电机(2)、主轴(4)、调节装置和转板(18)组成，其特征在于，所述电机驱动器(3)和所述步进电机(2)通过螺丝固接，安装在所述厚壁法兰(1)的一侧，所述步进电机(2)与所述主轴(4)固接，所述主轴(4)通过凸块与所述调节装置连接，所述转板(18)通过两端部的轴固定在所述厚壁法兰(1)内壁上，所述转板(18)通过拉板(26)、转轴(27)和螺钉(28)与所述调节装置固接。
2.根据权利要求1所述可调节式真空限流阀，其特征在于，所述调节装置包括由横向 支杆(13)和横向支杆轴(14)组成，所述横向支杆轴(14)通过螺钉(16)和螺母(17)固接。
3.根据权利要求1所述可调节式真空限流阀，其特征在于，所述主轴(4)上设有动密 封，所述动密封由油封压盖(5)与骨架油封(6)及轴套(7)构成。
4.根据权利要求1所述可调节式真空限流阀，其特征在于，所述转板(18)的横截面为 矩形式、刀刃式或台阶式。
5.根据权利要求1所述可调节式真空限流阀，其特征在于，所述转板(18)的旋转范围 是0-90° 。
6.根据权利要求1所述可调节式真空限流阀，其特征在于，所述转板(18)为至少两块。
专利摘要本实用新型属于流体阀门技术领域，尤其涉及一种可调节式真空限流阀。用运于真空腔室和真空泵系统之间的限流阀，对真空系统的泵系统和真空腔的抽速进行限制。该限流阀包括由厚壁法兰、步进电机、电机驱动器、主轴、横向支杆和转板组成。其中，厚壁法兰的一侧安装步进电机和电机驱动器，步进电机和电机驱动器通过支杆和螺母进行固定；步进电机通过螺钉与主轴固接，主轴通过凸块与横向支杆和横向支杆轴连接，凸块由螺钉固定，横向支杆和横向支杆轴分别由螺钉和螺母固定，转板通过拉板、转轴和螺钉与横向支杆固接。本实用新型的有意效果是该限流阀的结构合理，既能达到稳定抽速的作用，又具有体积精巧，成本低和使用寿命长。
文档编号F16K1/18GK201688007SQ20102021429
公开日2010年12月29日 申请日期2010年5月26日 优先权日2010年5月26日
发明者施戈, 陈良贤 申请人:北京泰科诺科技有限公司