专利名称：一种气体阀装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体生产中工艺气体供应设备，尤其涉及一种气体阀装置。
背景技术：
在半导体生产工艺中需要大量的瓶装特殊(有毒)高纯气体四十余种，由于传统 的手动阀需要人工调节阀门开关，导致有毒气体对人体产生危害；而电磁阀由电气自动控 制系统控制阀门的开关，不需人工操作。因此，电磁阀在半导体生产工艺气体供应设备中得 到了广泛的应用。关于现有的电磁阀的结构请参考图1至图2，其中，图1为现有的电磁阀结构的正 视图，图2为现有的电磁阀结构的俯视图，如图1至图2所示，现有的电磁阀包括阀座1、阀 芯以及电磁线圈4，所述阀座1上设有进气口 2、出气口 3以及通孔，所述进气口 2与所述出 气口 3以及所述通孔相互接通，所述阀芯通过所述通孔插入所述阀座1内，隔断所述进气口 2与所述出气口 3，并且所述阀芯与所述通孔之间保持密封，防止气体通过所述通孔漏出， 所述进气口 2通过进气管接头8与气体钢瓶相连，所述出气管道3通过出气管接头9与用 气设备相连；所述电磁线圈4的内部设置有铁芯5，所述铁芯5与所述阀芯相连；并且，现有 的电磁阀还包括电线盒6与电源接线端7，所述电磁线圈4通过电线与所述电源接线端7相 连，所述电线置于所述电线盒6内，所述电源接线端7与外部电源相连。现有的电磁阀的原理为当所述电源接线端7接通电源时，所述电磁线圈4获得电流，并产生磁力，从而驱 动所述铁芯5向上运动，由于所述铁芯5与所述阀芯是相连的，因而所述阀芯也向上移动， 这样所述阀芯与电磁阀阀体1之间产生相对位置移动，从而所述进气口 2与所述出气口 3 接通，所述电磁阀打开，气体钢瓶内的气体通过所述进气口 2及所述出气口 3流入到所述用 气设备内；当所述电源接线端7与所述电源断开时，所述阀芯因重力作用而下降，隔断所述 进气口 2与所述出气口 3，所述电磁阀关闭。然而，现有的电磁阀都没有通电开关状态的自动显示装置。当供气设备发生故障 需要检修时，对于电磁阀的故障查找，只能通过查电路图或凭经验拆开相关的盖板，找到其 电路接线端子，再通过万能表测量所述电磁线圈4是否有电压存在的方法检查其是否在正 常状态。用这种方法检查气体供应电磁阀的开关状态即麻烦又浪费时间，而且很容易影响 半导体加工厂内芯片的正常生产，造成经济损失。因此，有必要对现有的电磁阀进行改进。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种气体阀装置，以解决现的电磁阀没有通电开关状 态的自动显示装置，从而造成电磁阀的故障查找麻烦，浪费时间，并且很容易影响半导体加 工厂内芯片的正常生产，造成经济损失的问题。[0010]为解决上述问题，本实用新型提出一种气体阀装置，用于控制半导体工艺气体管 路的通断，其中，所述工艺气体管路分别连接气体钢瓶与用气设备，该气体阀装置包括电磁 阀以及指示灯，所述指示灯与所述电磁阀电性串连。可选的，所述电磁阀包括阀座，所述阀座上设有进气口、出气口以及通孔，所述进气口与所述出气口以及所 述通孔相互接通；阀芯，所述阀芯通过所述通孔插入所述阀座内，隔断所述进气口与所述出气口，并 且所述阀芯与所述通孔之间保持密封；电磁线圈，所述电磁线圈内设置有铁芯，所述铁芯与所述阀芯相连，所述电磁线圈 与所述指示灯电性串连。可选的，所述电磁阀还包括电线盒与电源接线端，所述电磁线圈通过电线与所述 电源接线端相连，所述电线置于所述电线盒内，所述电源接线端与外部电源相连。可选的，所述指示灯设置在所述电线盒上。可选的，所述电磁阀还包括进气管接头与出气管接头，所述进气管接头连接所述 进气口与所述气体钢瓶，所述出气管接头连接所述出气口与所述用气设备。可选的，所述电磁阀还包括灯罩，所述灯罩设置于所述指示灯的外面，包围所述指 示灯。可选的，所述灯罩的材料为透明材质。与现有技术相比，本实用新型提供的气体阀装置包括电磁阀以及指示灯，所述指 示灯与所述电磁阀电性串连，当所述电磁阀的电磁线圈在通电状态时所述指示灯亮，当所 述电磁线圈没有在通电状态时指示灯灭；从而可以直观地看出所述电磁线圈的状态变化是 否与半导体工艺气体管路的动作要求一致；并且当半导体工艺气体管路发生故障需要检修 时，电磁阀的状态可以很直观的通过所述指示灯的亮与不亮判断出，简单方便，提高了解决 问题和消除故障的工作效率，避免了因电磁阀检修影响半导体加工厂内芯片的正常生产而 造成的经济损失。
图1为现有的电磁阀结构的正视图；图2为现有的电磁阀结构的俯视图；图3为本实用新型实施例提供的气体阀装置的正视图；图4为本实用新型实施例提供的气体阀装置的俯视图；图5为本实用新型实施例提供的气体阀装置中的电磁线圈与指示灯电性连接的 原理图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的气体阀装置作进一步详细说明。 根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用 非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用于方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例 的目的。[0027]本实用新型的核心思想在于，提供一种气体阀装置，用于控制半导体工艺气体管 路的通断，其中，所述工艺气体管路分别连接气体钢瓶与用气设备，该气体阀装置包括电磁 阀以及指示灯，所述指示灯与所述电磁阀电性串连，当所述电磁阀的电磁线圈在通电状态 时所述指示灯亮，当所述电磁线圈没有在通电状态时指示灯灭；从而可以直观地看出所述 电磁线圈的状态变化是否与半导体工艺气体管路的动作要求一致；并且当半导体工艺气 体管路发生故障需要检修时，电磁阀的状态可以很直观的通过所述指示灯的亮与不亮判断 出，简单方便，提高了解决问题和消除故障的工作效率，避免了因电磁阀检修影响半导体加 工厂内芯片的正常生产而造成的经济损失。请参考图3至图4，其中，图3为本实用新型实施例提供的气体阀装置的正视图，图 4为本实用新型实施例提供的气体阀装置的俯视图，由图3至图4所示，所述气体阀装置包 括电磁阀以及指示灯900，所述指示灯900与所述电磁阀电性串连。进一步地，所述电磁阀包括阀座100，所述阀座100上设有进气口 200、出气口 300以及通孔，所述进气口 200 与所述出气口 300以及所述通孔相互接通；阀芯，所述阀芯通过所述通孔插入所述阀座100内，隔断所述进气口 200与所述出 气口 300，并且所述阀芯与所述通孔之间保持密封，防止气体通过所述通孔漏出；电磁线圈400，所述电磁线圈400内设置有铁芯500，所述铁芯500与所述阀芯相 连，所述电磁线圈400与所述指示灯900电性串连；对于所述电磁线圈400与所述指示灯 900的连接关系请参考图5，图5为本实用新型实施例提供的气体阀装置中的电磁线圈与指 示灯电性连接的原理图，由图5可知，所述电磁线圈400与所述指示灯900电性串连，使得 当所述电磁线圈400在通电状态时所述指示灯900亮，当所述电磁线圈400没有在通电状 态时所述指示灯900灭；从而可以直观地看出所述电磁线圈400的状态变化是否与半导体 工艺气体管路的动作要求一致；并且当半导体工艺气体管路发生故障需要检修时，电磁阀 的状态可以很直观的通过所述指示灯900的亮与不亮判断出。进一步地，所述电磁阀还包括电线盒600与电源接线端700，所述电磁线圈400通 过电线与所述电源接线端700相连，所述电线置于所述电线盒600内，所述电源接线端700 与外部电源相连。进一步地，所述指示灯900设置在所述电线盒600上，从而节省空间，并且方便连线。进一步地，所述电磁阀还包括进气管接头800与出气管接头801，所述进气管接头 800连接所述进气口 200与所述气体钢瓶，所述出气管接头801连接所述出气口 300与所述 用气设备。进一步地，所述电磁阀还包括灯罩901，所述灯罩901设置于所述指示灯900的外 面，包围所述指示灯900，从而保护所述指示灯900，防止所述指示灯900因其它物体碰撞而损坏。进一步地，所述灯罩901的材料为透明材质，以便清楚地观察所述指示灯900的状态。本实用新型实施例提供的气体阀装置的使用方法为当用气设备需使用气体时，将所述电源接线端700与外部电源接通，所述电磁线圈400通电，并产生磁力，从而驱动所述铁芯500向上运动，由于所述铁芯500与所述阀芯 是相连的，因而所述阀芯也向上移动，这样所述阀芯与所述阀座100之间产生相对位置移 动，从而所述进气口 200与所述出气口 300接通，所述电磁阀打开，气体钢瓶内的气体通过 所述进气口 200及所述出气口 300流入到所述用气设备内；当用气设备不需使用气体时，将所述电源接线端700与外部电源断开，所述阀芯 因重力作用而下降，隔断进气口 200与所述出气口 300，所述电磁阀关闭；同时，当所述电磁线圈400处于通电状态时，所述指示灯900亮，当所述电磁线圈 400处于断电状态时，所述指示灯900灭，从而可根据指示灯900的状态来判断所述电磁线 圈400的通断电，并进一步判断所述电磁线圈400的状态变化是否与半导体工艺气体管路 的动作要求一致；并且，当半导体工艺气体管路发生故障需要检修时，所述电磁阀的状态可以很直 观的通过所述指示灯900的亮与灭判断出，从而有利于判断故障并消除。综上所述，本实用新型提供一种气体阀装置，用于控制半导体工艺气体管路的通 断，其中，所述工艺气体管路分别连接气体钢瓶与用气设备，该气体阀装置包括电磁阀以及 指示灯，所述指示灯与所述电磁阀电性串连，当所述电磁阀的电磁线圈在通电状态时所述 指示灯亮，当所述电磁线圈没有在通电状态时指示灯灭；从而可以直观地看出所述电磁线 圈的状态变化是否与半导体工艺气体管路的动作要求一致；并且当半导体工艺气体管路发 生故障需要检修时，电磁阀的状态可以很直观的通过所述指示灯的亮与不亮判断出，简单 方便，提高了解决问题和消除故障的工作效率，避免了因电磁阀检修影响半导体加工厂内 芯片的正常生产而造成的经济损失。显然，本领域的技术人员可以对实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新 型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其 等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种气体阀装置，用于控制半导体工艺气体管路的通断，其中，所述工艺气体管路分 别连接气体钢瓶与用气设备，其特征在于，该气体阀装置包括电磁阀以及指示灯，所述指示 灯与所述电磁阀电性串连。
2.如权利要求1所述的气体阀装置，其特征在于，所述电磁阀包括阀座，所述阀座上设有进气口、出气口以及通孔，所述进气口与所述出气口以及所述通 孔相互接通；阀芯，所述阀芯通过所述通孔插入所述阀座内，隔断所述进气口与所述出气口，并且所 述阀芯与所述通孔之间保持密封；电磁线圈，所述电磁线圈内设置有铁芯，所述铁芯与所述阀芯相连，所述电磁线圈与所 述指示灯电性串连。
3.如权利要求2所述的气体阀装置，其特征在于，所述电磁阀还包括电线盒与电源接 线端，所述电磁线圈通过电线与所述电源接线端相连，所述电线置于所述电线盒内，所述电 源接线端与外部电源相连。
4.如权利要求3所述的气体阀装置，其特征在于，所述指示灯设置在所述电线盒上。
5.如权利要求2所述的气体阀装置，其特征在于，所述电磁阀还包括进气管接头与出 气管接头，所述进气管接头连接所述进气口与所述气体钢瓶，所述出气管接头连接所述出 气口与所述用气设备。
6.如权利要求1所述的气体阀装置，其特征在于，所述电磁阀还包括灯罩，所述灯罩设 置于所述指示灯的外面，包围所述指示灯。
7.如权利要求6所述的气体阀装置，其特征在于，所述灯罩的材料为透明材质。
专利摘要本实用新型公开了一种气体阀装置，用于控制半导体工艺气体管路的通断，其中，所述工艺气体管路分别连接气体钢瓶与用气设备，该气体阀装置包括电磁阀以及指示灯，所述指示灯与所述电磁阀电性串连，当所述电磁阀的电磁线圈在通电状态时所述指示灯亮，当所述电磁线圈没有在通电状态时指示灯灭；从而可以直观地看出所述电磁线圈的状态变化是否与半导体工艺气体管路的动作要求一致；并且当半导体工艺气体管路发生故障需要检修时，电磁阀的状态可以很直观的通过所述指示灯的亮与不亮判断出，简单方便，提高了解决问题和消除故障的工作效率，避免了因电磁阀检修影响半导体加工厂内芯片的正常生产而造成的经济损失。
文档编号F16K37/00GK201858417SQ20102026454
公开日2011年6月8日 申请日期2010年7月20日 优先权日2010年7月20日
发明者王东海 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司