专利名称：密封缺口的工具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及器械设备，尤其涉及一种密封缺口的工具。
背景技术：
一个硅片表面具有多个微芯片，每个芯片有数以百万计的器件和互连线路，它们 对玷污都非常敏感。随着芯片的特征尺寸为适应更高性能和更高集成度的要求而缩小，控 制表面玷污的需要变得越来越关键。为实现玷污控制，所有的硅片制备都要在玷污严格控 制的洁净室内完成。在洁净室的天花板内安装了很多超高效过滤器，超高效过滤器都有一定的使用寿 命，当超高效过滤器的使用时间超过使用寿命时，就需要更换超高效过滤器，这时会带来一 个问题拆卸下超高效过滤器后，洁净室的天花板内会出现一个缺口，洁净室外的微小尘粒 可通过该缺口流进洁净室，从而玷污洁净室，影响硅片制备。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种密封缺口的工具，可密封拆卸过滤器后留下的缺 口，防止洁净室外的微小尘粒进入洁净室。为了达到上述的目的，本实用新型提供一种密封缺口的工具，包括密封部件、托举 杆、定位部件和设有支撑轴的底座；所述托举杆的顶端与所述密封部件连接；所述定位部 件套在所述底座的支撑轴上；所述底座的支撑轴插入所述托举杆的底端，该托举杆的底端 支撑在所述定位部件上。上述密封缺口的工具，其中，所述密封部件包括一密封板、多根支撑筋和一连接 杆；所述连接杆设置在所述密封板的底面上，该连接杆垂直于所述密封板所在的平面；所 述支撑筋的一端与所述密封板连接，所述支撑筋的另一端与所述连接杆连接；所述连接杆 与所述托举杆连接。上述密封缺口的工具，其中，所述连接杆为中空圆柱体。上述密封缺口的工具，其中，所述托举杆设有定位销，所述连接杆设有通孔，所述 托举杆的侧壁上设有孔，所述定位销穿过所述托举杆的孔以及所述连接杆的通孔固定连接 所述托举杆与所述连接杆。上述密封缺口的工具，其中，所述连接杆与所述托举杆焊接。上述密封缺口的工具，其中，所述托举杆的底端设有边沿。 上述密封缺口的工具，其中，所述定位部件包括轴承和旋转件；所述轴承设置在所 述旋转件上；所述旋转件设有安装孔，所述旋转件通过该安装孔套在所述底座的支撑轴上， 所述安装孔的内壁上设有内螺纹。上述密封缺口的工具，其中，所述轴承为滚珠轴承。上述密封缺口的工具，其中，所述底座包括一底板、多根支撑筋和支撑轴；所述支 撑轴设置在所述底板的顶面上，所述支撑轴垂直于所述底板所在的平面；所述支撑筋的一端与所述底板连接，所述支撑筋的另一端与所述支撑轴连接；所述支撑轴的外壁上设有外 螺纹，所述支撑轴的外螺纹与所述安装孔的内螺纹相匹配。本实用新型密封缺口的工具的密封部件可在更换过滤器的过程中密封住过滤器 拆卸后留下的缺口，能防止洁净室外的微小尘粒进入洁净室，保护洁净室不被污染；本实用新型密封缺口的工具由几个部件组装而成，便于装卸和携带；本实用新型密封缺口的工具占用空间小，成本低。
本实用新型的密封缺口的工具由以下的实施例及附图给出。图1是本实用新型密封缺口的工具的结构示意图。图2是本实用新型中密封部件的结构示意图。图3是本实用新型中托举杆的剖视图。图4是本实用新型中定位部件的结构示意图。图5是本实用新型中底座的结构示意图。
具体实施方式
以下将结合图1 图5对本实用新型的密封缺口的工具作进一步的详细描述。参见图1，本实用新型密封缺口的工具包括密封部件100、托举杆200、定位部件 300和设有支撑轴的底座400 ；所述托举杆200的顶端与所述密封部件100连接；所述定位部件300套在所述底座400的支撑轴上；所述底座400的支撑轴插入所述托举杆200的底端，该托举杆200的底端支撑在 所述定位部件300上；改变所述定位部件300相对所述底座400的支撑轴的位置，可支撑所述托举杆200 上升或下降，从而带动所述密封部件100上升或下降。参见图2，所述密封部件100包括一密封板110、多根支撑筋120和一连接杆130 ；所述连接杆130固定设置在所述密封板110的底面上，该连接杆130垂直于所述 密封板110所在的平面；所述支撑筋120的一端与所述密封板110连接，所述支撑筋120的另一端与所述 连接杆130连接，该支撑筋120起加固作用；所述连接杆130可以是圆柱体，该连接杆130设有一通孔140 ；为减轻所述密封部件100的重量，所述连接杆130也可以是中空的圆柱体，此时， 所述连接杆130的侧壁上设有两个通孔140，所述两个通孔140位于同一直径上。参见图3，所述托举杆200为中空的圆柱体，所述托举杆200的侧壁上设有两个孔 210，所述两个孔210位于同一直径上；所述托举杆200的内径略大于所述连接杆130的外径；所述托举杆200的孔210的直径等于所述连接杆130的通孔140的直径；所述托举杆200设有一定位销230，该定位销230用于连接所述托举杆200和所述 连接杆130，使用时，所述连接杆130插入所述托举杆200内，所述定位销230穿过所述托举杆200的孔210及所述连接杆130的通孔140，使所述连接杆130与所述托举杆200固定连 接；也可以采用焊接的方法使所述连接杆130与所述托举杆200固定连接，即所述连 接杆130插入所述托举杆200内，然后将所述连接杆130与所述托举杆200焊接在一起，此 时，所述连接杆130不必设通孔140，所述托举杆200也不必设孔210，也不需要所述定位销 230 ；所述托举杆200的底端设有边沿220。参见图4，所述定位部件300包括轴承310和旋转件320 ；所述轴承310固定设置在所述旋转件320上；所述轴承310例如采用滚珠轴承；所述旋转件320设有安装孔330，所述旋转件320通过该安装孔330套在所述底座 400的支撑轴上，所述安装孔330的内壁上设有内螺纹(图4中未示)。参见图5，所述底座400包括一底板410、多根支撑筋420和支撑轴430 ；所述支撑轴430固定设置在所述底板410的顶面上，所述支撑轴430垂直于所述 底板410所在的平面；所述支撑筋420的一端与所述底板410连接，所述支撑筋420的另一端与所述支 撑轴430连接，该支撑筋420起加固作用；所述支撑轴430的外径等于所述旋转件320的安装孔330的内径；所述支撑轴430的外径略小于所述托举杆200的内径；所述支撑轴430的外壁上设有外螺纹440，所述支撑轴430的外螺纹440与所述安 装孔330的内螺纹相匹配。安装本实用新型密封缺口的工具时，所述密封部件100的连接杆130插入所述托 举杆200的顶端，所述定位销230穿过所述托举杆200的孔210及所述连接杆130的通孔 140，使所述连接杆130与所述托举杆200固定连接，所述定位部件300套在所述底座400 的支撑轴430上，所述底座400的支撑轴430插入所述托举杆200的底端，所述托举杆200 底端的边沿220支撑在所述定位部件300上，完成本实用新型密封缺口的工具的安装；本实用新型密封缺口的工具由几个部件组装而成，便于装卸和携带；本实用新型密封缺口的工具占用空间小，成本低。在拆卸过滤器之前先使用本实用新型密封缺口的工具密封住将会出现缺口的区 域，再拆卸下需要更换的过滤器，换好新的过滤器后撤掉本实用新型密封缺口的工具，具体 过程为将密封部件的密封板对准将会出现缺口的区域，旋转定位部件的旋转件使定位部 件沿底座的支撑轴上升(轴承与旋转件固定连接，因此，在旋转过程中轴承相对旋转件静 止)，定位部件沿底座的支撑轴上升的过程中顶着托举杆一起上升，从而带动密封部件上 升，当密封板紧贴洁净室的天花板后停止旋转旋转件，此时，密封板密封住将会出现缺口的 区域，在上升的过程中，托举杆不会绕底座的支撑轴旋转；换好过滤器后，旋转旋转件使定 位部件沿底座的支撑轴下降，托举杆跟着定位部件一起下降，从而带动密封部件下降，当密 封板下降一定位移后停止旋转旋转件；本实用新型密封缺口的工具利用旋转件对密封板的高度进行调节。本实用新型密封缺口的工具在更换过滤器的过程中密封住过滤器拆卸后留下的缺口，能防止洁净室外的微小尘粒进入洁净室。
权利要求1.一种密封缺口的工具，其特征在于，包括密封部件、托举杆、定位部件和设有支撑轴 的底座；所述托举杆的顶端与所述密封部件连接； 所述定位部件套在所述底座的支撑轴上；所述底座的支撑轴插入所述托举杆的底端，该托举杆的底端支撑在所述定位部件上。
2.如权利要求1所述的密封缺口的工具，其特征在于，所述密封部件包括一密封板、多 根支撑筋和一连接杆；所述连接杆设置在所述密封板的底面上，该连接杆垂直于所述密封板所在的平面； 所述支撑筋的一端与所述密封板连接，所述支撑筋的另一端与所述连接杆连接； 所述连接杆与所述托举杆连接。
3.如权利要求2所述的密封缺口的工具，其特征在于，所述连接杆为中空圆柱体。
4.如权利要求2或3所述的密封缺口的工具，其特征在于，所述托举杆设有定位销，所 述连接杆设有通孔，所述托举杆的侧壁上设有孔，所述定位销穿过所述托举杆的孔以及所 述连接杆的通孔固定连接所述托举杆与所述连接杆。
5.如权利要求2或3所述的密封缺口的工具，其特征在于，所述连接杆与所述托举杆焊接。
6.如权利要求1所述的密封缺口的工具，其特征在于，所述托举杆的底端设有边沿。
7.如权利要求1或2所述的密封缺口的工具，其特征在于，所述定位部件包括轴承和旋 转件；所述轴承设置在所述旋转件上；所述旋转件设有安装孔，所述旋转件通过该安装孔套在所述底座的支撑轴上，所述安 装孔的内壁上设有内螺纹。
8.如权利要求7所述的密封缺口的工具，其特征在于，所述轴承为滚珠轴承。
9.如权利要求7所述的密封缺口的工具，其特征在于，所述底座包括一底板、多根支撑 筋和支撑轴；所述支撑轴设置在所述底板的顶面上，所述支撑轴垂直于所述底板所在的平面； 所述支撑筋的一端与所述底板连接，所述支撑筋的另一端与所述支撑轴连接； 所述支撑轴的外壁上设有外螺纹，所述支撑轴的外螺纹与所述安装孔的内螺纹相匹
专利摘要本实用新型的密封缺口的工具包括密封部件、托举杆、定位部件和设有支撑轴的底座；所述托举杆的顶端与所述密封部件连接；所述定位部件套在所述底座的支撑轴上；所述底座的支撑轴插入所述托举杆的底端，该托举杆的底端支撑在所述定位部件上；改变所述定位部件相对所述底座的支撑轴的位置，支撑所述托举杆上升或下降，从而带动所述密封部件上升或下降。本实用新型的密封缺口的工具可密封拆卸过滤器后留下的缺口，防止洁净室外的微小尘粒进入洁净室。
文档编号F16J15/00GK201896942SQ20102056484
公开日2011年7月13日 申请日期2010年10月16日 优先权日2010年10月16日
发明者王世明 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司