专利名称：一种静电防尘真空阀的制作方法
技术领域：
在本实用新型涉及真空阀领域，特别是涉及一种静电防尘真空阀。
背景技术：
真空阀是常用的真空泵与真空系统连接阀门，用途非常广泛。在真空泵和真空系统中有一些泵体和真空系统对气体纯净度要求较高，灰尘存在会对泵体和真空系统造成损坏，如油扩散泵。油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。它是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。在使用油扩散泵时要时刻注意，被抽气体应是无灰尘的室温气体，因为空气中的灰尘在通过泵体时会被扩散泵油吸附，影响扩散泵油的性质，阻塞气体通道。因此对被抽气体进行除尘十分重要。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题是公开一种静电防尘真空阀，在真空阀中配有静电除尘装置，达到除去通过气体灰尘的目的。本实用新型包括电磁线圈、连接杆、除尘板、前级泵接口、密封塞、真空系统接口、 电极板、除尘口、密封垫圈。电磁线圈与连接杆相连接，并通过通断电控制连接杆上下运动。连接杆末端配有密封塞，密封塞下沉时可以阻断气体通路，当密封塞上下运动时开启和闭合气体通路，达到开启和关闭阀门的目的。在一侧气体通道的两端有一对除尘口，除尘口末端是除尘板，除尘口与除尘板之间有密封性能良好的密封垫圈进行密封，可以有效防止气体外漏。除尘口外端接有面积不大的电极板，电极板接直流电源，在电源的作用下产生能够吸附灰尘的静电。
图1为静电防尘真空阀主视结构示意图。图2为静电防尘真空阀俯视结构示意图。图中电磁线圈(1)、连接杆(2)、除尘板(3)、前级泵接口(4)、密封塞(5)、真空系统接口(6)、电极板(7)、除尘口(8)、密封垫圈(9)。
具体实施方式
静电除尘真空阀可以作为连接真空系统的阀门。利用电磁线圈的通断电动作使连接杆带动密封塞上下运动，完成真空阀的开启和关闭。在真空阀开启的状态下，为电极板接通电源，在电源的作用下，两极板之间产生静电。在静电力的作用下通过气体通道的灰尘被吸附，灰尘通过除尘口附着在除尘板上，从而达到除尘的目的。除尘板与除尘口有密封垫圈密封，可以防止气体漏气。当除尘板灰尘积满时可以卸下静电除尘真空阀，通过通风的方式清洁除尘板。
权利要求1. 一种静电防尘真空阀，它包括电磁线圈、连接杆、除尘板、前级泵接口、密封塞、真空系统接口、电极板、除尘口、密封垫圈，其特征在于电磁线圈控制通道的开启与闭合，在除尘口处配有除尘板，除尘板外侧配有电极板产生吸附静电。
专利摘要本实用新型公开了一种静电除尘真空阀，它包括电磁线圈、连接杆、除尘板、前级泵接口、密封塞、真空系统接口、电极板、除尘口、密封垫圈。电磁线圈工作控制连接杆，带动密封塞控制通道的开启与闭合，电极板通电后，由于受到静电的吸引气体中的灰尘被吸附到除尘板上，达到除尘的目的。
文档编号F16K31/06GK202209473SQ20112028520
公开日2012年5月2日 申请日期2011年8月8日 优先权日2011年8月8日
发明者不公告发明人 申请人:洪金中