专利名称：一种大型扩散泵真空机组的高真空阀门的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种高真空阀门，特别涉及一种连接大型真空镀膜机和扩散泵机组的高真空阀门结构。
背景技术：
大型真空镀膜机配用大型真空机组，许多大型真空镀膜机、特别是塑胶制品和金属制品的真空蒸发镀膜机，多采用大型扩散泵真空机组。一直以来，扩散泵顶上都配有冷阱，其上再配高真空阀门，呈立式组合，往往阀顶即为设备的最高点。气动式高真空阀门有竖型和扁型两种，以800扩散泵为例，扩散泵高 1807mm,冷讲150mm,竖阀1790mm,合计3747mm,加维修空间500mm,标高要留4247mm ;若换成扁型阀门，阀高1180mm,合计总高3137mm,加上维修空间500mm,标高也要有3637 mm。可见，标准配置的镀膜机对厂房标高要求较高，即使安装在第一层的设备有时也要挖地坑来满足标高，而一些镀膜厂会设在楼上若干层，高层的楼层高度一般更矮些，往往限制了设备的进入，不能采用大机型，有的至少要拆墙拆门窗，很不方便。其实，镀膜机的主机(镀室)顶并不是设备的最高点，并没有超高，是扩散泵上面的高真空阀门的顶部超高。而目前镀膜机标配的真空扩散泵机组由于可选择的高真空阀门的高度都较高，高真空阀门占了扩散泵机组高度的二分之一至三分之一，这成了设备减高的重要环节，但至今还没有新的产品可选择。当然可选择高真空闸板阀替代，但由于其制造精度高，工艺复杂，普通的制造厂很难制造出来，所以其价格非常昂贵，一般的镀膜机配备不起。通常为镀膜机标配的气动式高真空阀门，其阀盖相对阀座均采用竖直上下运动的方式，故很难给大型高真空阀门减高，要减高必须对阀门的运动方式作根本的改变。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种阀高较矮的高真空阀门，从而解决现有技术中大型镀膜设备对厂房高度的要求较高的问题。解决上述技术问题所采用的技术方案为一种大型扩散泵真空机组的高真空阀门，包括由上阀体和下阀体组成的阀体，所述的上阀体和下阀体之间设有阀盖和开孔的阀座板连通或关闭上阀体和下阀体，其特征是所述的上阀体和下阀体两者处于同一水平，所述的阀座板45度倾斜设置，所述的阀盖的一侧通过水平轴铰接在上阀体上。就如同箱盖那样，可绕水平轴转动，即可盖在水平的箱口也可以盖在垂直的箱口上，现在是箱口成45度倾斜，把原来阀盖相对阀座板垂直上下升降运动改成阀盖相对阀座板翻转45度开合运动。本发明优选如下
具体实施例方式所述的阀盖的一侧通过水平轴铰接在上阀体上的结构为至少2条连接杆，其一端插入所述的水平轴内且固连，所述阀盖通过调节组件与所述的连接杆相连；所述调节组件包括扣盖和圆头调节螺杆，扣盖用连接件紧固在阀盖上，扣盖中间开有沉孔，圆头调节螺杆上端穿过沉孔后与连接杆上所开的螺纹孔螺纹连接，即扣盖通过其上沉孔挂装在圆头调节杆下端的圆头上；
还设有调节螺杆，其上端同样通过螺纹结构与连接杆上所开的螺纹孔螺纹连接，下端在所述阀盖到达闭合位置时抵着阀盖以校平阀盖使其紧密的贴合在阀板座上达到最佳平衡密封状态。当阀体的零件发生更换，如更换阀盖上的密封圈后，由于零件误差的存在，可能导致阀盖与阀座板之间的配合不紧密，影响阀门关闭时的密闭性，此时可通过微调连接杆上的调节螺杆，使阀门与阀座板之间重新达到最佳平衡密封状态；另外，上述调节组件、调节螺杆的设置，也是适应大规模生产的一种需要，同样由于零件误差的存在，连接杆与阀盖之间的刚性连接很难保证阀盖到达闭合位置时，阀盖与阀座板之间的紧密配合，采用本发明的调节组件和调节螺杆的配合设计后，可通过调整调节螺杆及时修正阀盖与阀座板之间的配合误差。本发明的阀盖还可加设驱动组件，作为驱动组件的一种
具体实施例方式所述的阀盖设有驱动组件，所述驱动组件设在阀体外侧，包括水平设置的气缸，气缸的后端与设于阀体侧面上的受力轴铰接，气缸的活塞杆端与一摇臂的一端相铰接，所述的摇臂的另一端与所述阀盖的水平轴伸出阀体外的一端固定连接。气缸推动活塞杆前、后运动带动摇臂以水平轴为支点左右摆动，通过气缸绕受力轴的转动来适应摇臂的弧线运动。本发明可优选如下结构所述阀体的两管口轴线垂直，一边是下阀体，管口为圆形、向下连通扩散泵，另一边是上阀体管口呈矩形与镀膜机镀室连通，所述下阀体为水平横截面为U型、与上阀体连通的开口倾斜45度的柱体，U型的水平部分与上阀体连通，为宽长高矮的方形过渡管，所述与扩散泵连通的圆形管口直接设于下阀体U型弧段部分的底面。所述调节螺杆的总数量的较佳范围为3 4个。相对现有技术，本发明具有如下显著的技术效果
(1)本发明通过将所述上、下阀体水平设置和改变阀体内阀盖和阀座板之间的运动方式，把原来阀盖相对阀座板垂直上、下升降运动改成阀盖相对阀座板翻转45度开合运动， 大大降低了高真空阀门的高度；以直径800mm阀门为例，现标准的气动立式高真空阀门高 1790mm，而本发明中的45度的高真空阀门高才为700mm，足足降低了 I米以上，若大型真空镀膜机配上本发明的这种45度高真空阀，即可大大降低了设备的整体高度，解决了现有技术中大型镀膜设备对厂房高度的要求较高的问题，使其能适应普遍的楼层的高度，大大提高了大型镀膜设备的适应性；
(2)将下阀体设计成横截面为U型的这种柱体结构，U型弧段部分的底面直接通过管口连通扩散泵，U型水平部分设计成宽长高矮的方形过渡管与上阀体连通，相对于普通的圆形管道(受曲率限制)，再次减低了阀高，阀高甚至可以小于扩散泵泵口的直径；
(3)设置调节组件，扣盖挂装在圆头调节杆上而非刚性提、降阀盖，特别设计了强制找平的调节螺杆，更好的保证了阀盖处于闭合位置、阀门关闭时的密闭性，另外，通过调节螺杆可及时修正阀盖与阀座板之间配合的误差，更利于适应大规模生产的需要；
(4)镀膜设备的减高不再需要配用工艺复杂、价格昂贵的高真空闸板阀，只需配用本发明的工艺相对简单、造价便宜的高真空阀门，有效的降低了镀膜设备的使用成本，有利于采用大型扩散泵机组的大型镀膜设备推广。
图I为本发明较佳实施例阀门关闭时的部分剖视示意图2为本发明较佳实施例阀门关闭时的剖面示意图3为图I中a处的放大图4为本发明较佳实施例阀门开启时的部分剖视示意图5为本发明较佳实施例阀门开启时的剖面示意图。
具体实施例方式下面结合附图对本发明作进一步描述
如图1、2所示，本发明较佳实施例的高真空阀门包括阀体，阀体由上阀体5和下阀体 2组成，上、下阀体5、2处于同一水平，阀体的两管口轴线垂直，一边管口为圆形，方向向下， 焊有连接法兰I，通过所述连接法兰I连通扩散泵，另一边管口为矩形开口，通过连接法兰6 与镀膜机镀室连通。下阀体2为水平横截面为U型的柱体，U型的水平部分为与上阀体5连通的宽长高矮的方形过渡管，与扩散泵连通的管口直接设于下阀体2 U型弧段部分的底面。下阀体 2与上阀体5连通的开口为倾斜45度的斜口，斜口上焊有阀座板3，即阀座板3倾斜45度设置，阀盖4的一侧通过水平轴10铰接在上阀体2上，以便随水平轴10的顺、逆时针旋转而作45度翻转的开合运动，即离开阀座板3或合在阀座板3上实现阀门的开启与关闭。上阀体5通过连接件与阀座板3固连，阀门处于开启状态时，上、下阀体5、2通过阀座板3上的开孔连通。图I中，阀盖4盖在阀座板3上，阻塞阀座板3的开孔以使所述阀门处于关闭状态,此时阀盖4处于闭合位置。阀座板3为方形环，阀盖4也为方形。阀盖4的一侧通过水平轴10铰接在上阀体5上，如图I飞所示，具体结构为包括 2条连接杆7均匀的分布在盖板4的上方，其一端插入所述的水平轴10内且固连，阀盖4通过调节组件与连接杆7相连；调节组件包括扣盖12和圆头调节螺杆11，扣盖12用螺钉紧固在阀盖4上，扣盖12中间开有沉孔，圆头调节螺杆11上端穿过沉孔后与连接杆7上所开的螺纹孔螺纹连接，即扣盖12通过其上沉孔挂装在圆头调节杆11下端的圆头上，扣盖12 挂装在圆头调节杆11上且具有一定的空位，两者是非刚性的活动连接，使圆头调节杆11牵引阀盖4翻转时有自调节功能；调节螺杆9共有4个，沿圆头调节杆11对称的设于每条连接杆7的两侧，调节螺杆9上端通过螺纹结构与连接杆7上开的螺纹孔螺纹连接，在阀盖 4到达闭合位置时，可通过调节4个连接螺杆9，使连接螺杆9下端抵着阀盖4以校平阀盖 4，使其紧密的贴合在阀板3上从而达到最佳平衡密封状态，然后用螺母固定住此时的连接螺杆9的位置。调节螺杆9的总数量的较佳范围为3到4个，最好为3个。当然，实际应用中，可能会因为阀盖4的不同形状而作少许变动。水平轴10 —端由设于阀体内侧的转轴座13支承，另一端则通过轴承密封组件14 穿出阀体外与驱动组件连接。驱动组件包括水平设置的气缸17、活塞杆16、气缸轴套18、受力轴19和气缸固定座20。气缸17的活塞杆16端头与摇臂15的一端相铰接，气缸17后端通过气缸轴套18与受力轴19相铰接，受力轴19通过气缸固定座20固定在阀体外侧面上，摇臂15的另一端与水平轴10伸出阀体外的一端固定连接。气缸17推动活塞杆16前后运动，拉动摇臂15左右摆动，从而牵动水平轴10成45度往复转动。气缸17通过气缸轴套18铰接在受力轴19上，当气缸17推动活塞杆16运动并带动摇臂15摆动时，通过气缸 17绕受力轴19的转动来适应摇臂15端部的弧线运动。度高真空阀的运作说明
阀盖面积较大，且阀盖有自重，让阀盖成45度平面与阀座板贴合，如果支撑和提拉阀盖的部件采用刚性连接的话是，很难保证精度的。本发明采用非刚性的连接方式，圆头调节杆上端与连接杆连接，下端的圆头套入与阀盖固连的扣盖上的沉孔内，成''活动"连接，即阀盖是靠与之固连的扣盖''挂"在圆头调节杆上。此时阀盖要成45度平面贴在阀座板上，不能靠自重找平，需调节连接杆上伸出的四个调节螺杆，以使调节螺杆的下端平衡的抵着阀盖， 对阀盖起校平作用，使阀盖贴在45度倾斜的阀座板上，完成阀盖与阀座板的闭合操作。当高真空阀门处于关闭状态，即阀盖4平衡地闭合在45度倾斜的阀座板3上，下阀体2与上阀体5之间被隔断，使连接法兰I所连接的扩散泵只限于对下阀体2抽气，不能对上阀体5和与连接法兰6连接的镀膜机镀室进行抽气。若要开启阀门让扩散泵对镀室抽气，先接通压缩空气气源到气缸17，让活塞杆16往后退，拉动摇臂15顺时针转动，带动水平轴10顺时针转动，与水平轴10固连的连接杆7随水平轴10转动，通过调节杆组件的牵引把阀盖4提起，此时，四个调节螺杆9只随连接杆7上升，不参与对阀盖4的提拉，全靠圆头调节杆11提拉，而圆头调节杆11与扣盖12之间是非刚性连接，圆头调节杆11提拉扣盖12 和与之固连的阀盖4时有一定的自调节功能。当活塞杆16退到最终位置时，摇臂15、水平轴10和连接杆7都顺时针转动45度，正好阀盖4从45度倾斜的阀座板3处提至上阀体5 上方的水平位置，阀门完全开启，如图4、5所示，扩散泵对镀室抽气。关闭阀门则为相反运作，切换压缩空气进入气缸17的方向，让活塞杆16向前运动，推动摇臂15逆时针转动，摇臂15带动水平轴10逆时针转动，与水平轴10固连的连接杆7随水平轴10逆转，通过调节杆组件推动阀盖4翻转下降到达闭合位置。此时，圆头调节杆11与扣盖12之间有空位，圆头调节杆11只起着挂住扣盖12和与扣盖12固连的阀盖4，不承担推动阀盖4下降翻转作用，这样有利于用四支调节螺杆9紧抵着阀盖4，让阀盖4恢复到己调好的平衡状态，推动阀盖平稳下降翻转。当活塞杆16伸到最前端，则摇臂15、水平轴10和连接杆7都逆时针转动 45度，正好阀盖4转回到45度倾斜的阀座板3上，完成闭合，如图I所示，隔开了上阀体5 与下阀体2，切断了扩散泵对镀室的抽气，并利用上、下阀体5、2的气压差把阀盖4与阀座3 压紧关闭。进一步说明运作，活塞杆16拉动摇臂15来回摆动时，摇臂15端头作弧线运动，气缸17的后部设有气缸轴套18，它与气缸座20的受力轴19活动套连，让气缸17绕受力轴 19转动以适应摇臂15的弧线摆动。
权利要求
1.一种大型扩散泵真空机组的高真空阀门，包括由上阀体和下阀体组成的阀体，所述的上阀体和下阀体之间设有阀盖和开孔的阀座板连通或关闭上阀体和下阀体，其特征是 所述的上阀体和下阀体两者处于同一水平，所述的阀座板45度倾斜设置，所述的阀盖的一侧通过水平轴铰接在上阀体上。
2.根据权利要求I所述的大型扩散泵真空机组的高真空阀门，其特征在于所述的阀盖的一侧通过水平轴铰接在上阀体上的结构为至少2条连接杆，其一端插入所述的水平轴内且固连，所述阀盖通过调节组件与所述的连接杆相连；所述调节组件包括扣盖和圆头调节螺杆，扣盖用连接件紧固在阀盖上，扣盖中间开有沉孔，圆头调节螺杆上端穿过沉孔后与连接杆上所开的螺纹孔螺纹连接；还设有调节螺杆，其上端同样通过螺纹结构与连接杆上所开的螺纹孔螺纹连接。
3.根据权利要求2所述的大型扩散泵真空机组的高真空阀门，其特征在于所述的阀盖设有驱动组件，所述驱动组件设在阀体外侧，包括水平设置的气缸，气缸的后端与设于阀体侧面上的受力轴铰接，气缸的活塞杆端与一摇臂的一端相铰接，所述的摇臂的另一端与所述阀盖的水平轴伸出阀体外的一端固定连接。
4.根据权利要求3所述的大型扩散泵真空机组的高真空阀门，其特征在于所述阀体的两管口轴线垂直，一边是下阀体，管口为圆形、向下连通扩散泵，另一边是上阀体管口呈矩形与镀膜机镀室连通，所述下阀体为水平横截面为U型、与上阀体连通的开口倾斜45度的柱体，U型的水平部分与上阀体连通，为宽长高矮的方形过渡管，所述与扩散泵连通的圆形管口直接设于下阀体U型弧段部分的底面。
5.根据权利要求4所述的大型扩散泵真空机组的高真空阀门，其特征在于所述调节螺杆的总数量为3 4个。
全文摘要
本发明公开了一种大型扩散泵真空机组的高真空阀门，包括由上阀体和下阀体组成的阀体，所述的上阀体和下阀体之间设有阀盖和开孔的阀座板连通或关闭上阀体和下阀体，所述的上阀体和下阀体两者处于同一水平，所述的阀座板45度倾斜设置，所述的阀盖的一侧通过水平轴铰接在上阀体上。本发明通过将上、下阀体水平设置和把原来阀盖相对阀座板垂直上、下升降运动改成阀盖相对阀座板翻转45度开合运动，大大降低了高真空阀门的高度，从而可大大降低设备的整体高度，解决了现有技术中大型镀膜设备对厂房高度的要求较高的问题，使其能适应普遍的楼层的高度，大大提高了大型镀膜设备的适应性。
文档编号F16K31/12GK102588618SQ201210040238
公开日2012年7月18日 申请日期2012年2月22日 优先权日2012年2月22日
发明者李志方, 李志荣, 李秋霞, 罗志明 申请人:东莞市汇成真空科技有限公司