专利名称：磁流体密封真空阀门及真空泵的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种磁流体密封真空阀门及真空泵。
背景技术：
现有的真空阀门在轴向的运动密封普遍采用波纹管密封或“O”型橡胶圈密封，而真空泵在轴封上安装有油封。由于上述密封形式轴运动与密封都是直接接触，存在磨损、增加功耗、使用寿命低和漏率大等问题。而在运动速度高的时候，真空阀门和真空泵的密封性能急速下降，各方面根本达不到设计的要求，使用范围受限制。
实用新型内容为了克服上述的缺陷，本实用新型提供一种密封效果更好的磁流体密封真空阀 门。为达到上述目的，一方面，本实用新型提供一种磁流体密封真空阀门，至少包括驱动源、连接在驱动源上的运动轴、包围在运动轴根部的密封单元和包围在运动轴端部的阀体真空内腔，所述密封单元至少包括围绕运动轴设置的磁流体、设置在所述磁流体两端面的永久磁铁和磁极、设置在磁流体外侧的密封主体、以及设置在所述密封主体端面上的径向密封圈。另一方面，本实用新型提供一种磁流体密封真空泵，至少包括电机、通过朕轴器与电机连接的旋转轴、包围在旋转轴根部的密封单元和包围在旋转轴端部的泵体，所述密封单元至少包括围绕旋转轴设置的磁流体、设置在所述磁流体两端面的永久磁铁和磁极、设置在磁流体外侧的密封主体、以及设置在所述密封主体端面上的径向密封圈。本实用新型磁流体密封真空阀门采用磁流体作为密封单元的主体，替代现有各种密封圈，利用磁流体良好的密封性对真空阀门起到密封作用，密封效果好。真空阀门运动轴处磨损少，装置使用寿命长。本实用新型磁流体密封真空泵采用磁流体作为密封单元的主体，替代现有密封圈，利用磁流体对真空阀门起到密封作用，密封效果好。真空泵旋转轴与密封材料之间的磨损少，增长了泵体的使用寿命。
图I为本实用新型磁流体密封真空阀门优选实施例结构示意图。图2为本实用新型磁流体密封真空泵优选实施例结构示意图。
具体实施方式
下面结合说明书附图对本实用新型做详细描述。磁流体又称磁性液体、铁磁流体或磁液，是一种新型的功能材料，它既具有液体的流动性又具有固体磁性材料的磁性。是由直径为纳米量级(10纳米以下)的磁性固体颗粒、基载液(也叫媒体)以及界面活性剂三者混合而成的一种稳定的胶状液体。该流体在静态时无磁性吸引力，当外加磁场作用时，才表现出磁性。当磁流体注入磁场的间隙时，它可以充满整个间隙，形成一种“液体的O型密封圈”。在均匀稳定磁场的作用下，使磁流体充满于设定的空间内，建立起多级“O型密封圈”，从而达到密封的效果；每级密封圈一般可以承受大于O. 15 O. 2个大气压的压差。总承压为各级压差之和，一般设计为2. 5个大气压，总体耐压随液态“O”形圈的级数增加而增加。磁流体密封是目前被世界各国广泛公认的“零泄漏”动密封先进技术。如图I所示，磁流体密封真空阀门包括驱动源11、连接在驱动源11上的运动轴15、包围在运动轴15根部的密封单元和包围在运动轴15端部的阀体真空内腔17。密封单元至少包括围绕运动轴15设置的磁流体12、设置在磁流体12两端面的永久磁铁和磁极、设置在磁流体12外侧的密封主体13、以及设置在密封主体13端面上的径向密封圈14。 如图2所示，磁流体密封真空泵包括电机21、通过朕轴器29与电机21连接的旋转轴25、包围在旋转轴25根部的密封单元和包围在旋转轴25端部的泵体27。密封单元至少包括围绕旋转轴25设置的磁流体22、设置在磁流体22两端面的永久磁铁和磁极、设置在磁流体22外侧的密封主体23、以及设置在密封主体23端面上的径向密封圈24。以上，仅为本实用新型的较佳实施例，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求所界定的保护范围为准。
权利要求1.一种磁流体密封真空阀门，至少包括驱动源、连接在驱动源上的运动轴、包围在运动轴根部的密封单元和包围在运动轴端部的阀体真空内腔，其特征在于所述密封单元至少包括围绕运动轴设置的磁流体、设置在所述磁流体两端面的永久磁铁和磁极、设置在磁流体外侧的密封主体、以及设置在所述密封主体端面上的径向密封圈。
2.一种磁流体密封真空泵，至少包括电机、通过朕轴器与电机连接的旋转轴、包围在旋转轴根部的密封单元和包围在旋转轴端部的泵体，其特征在于所述密封单元至少包括围绕旋转轴设置的磁流体、设置在所述磁流体两端面的永久磁铁和磁极、设置在磁流体外侧的密封主体、以及设置在所述密封主体端面上的径向密封圈。
专利摘要本实用新型公开一种磁流体密封真空阀门及真空泵，为解决现有装置易磨损等问题而设计。本实用新型磁流体密封真空阀门至少包括驱动源、运动轴、密封单元和阀体真空内腔，密封单元至少包括磁流体、永久磁铁、磁极、密封主体和径向密封圈。本实用新型磁流体密封真空泵至少包括电机、朕轴器、旋转轴、密封单元和泵体；密封单元至少包括磁流体、永久磁铁、磁极、密封主体和径向密封圈。本实用新型磁流体密封真空阀门及真空泵采用磁流体作为密封单元的主体，替代现有各种密封圈，利用磁流体良好的密封性起到密封作用，密封效果好；旋转轴和/或运动轴处磨损少，延长装置的使用寿命。
文档编号F16K51/02GK202769028SQ201220431600
公开日2013年3月6日 申请日期2012年8月28日 优先权日2012年8月28日
发明者陈林, 郑荣禧, 陈月增, 王丽宇 申请人:川北真空科技(北京)有限公司