干制程设备的放料槽定位销使用方法
【专利摘要】本发明公开了一种干制程设备的放料槽定位销使用方法，每个放料槽内分别具有若干定位销，定位销包括相互连接的定位头和定位柱，定位柱的底部设有底座，底座设于放料槽内，定位柱的外圈包围有一圈接触部件，接触部件表面与被定位部件接触，底座与定位柱的底部为可分离结构，当接触部件表面磨损消耗后，通过更换放料槽内的所有定位销的底座以改变接触部件表面与被定位部件之间的接触位置。本发明减少玻璃基板直接接触部品的更换次数，减少了成本的支出，并且不用整体拆除定位销，只需将其底座拆除后迅速换上其他规格厚度的底座，便可快速安装实现再次利用，节省时间，缩短机台保养时间。
【专利说明】干制程设备的放料槽定位销使用方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及定位部件，尤其涉及一种干制程设备的放料槽定位销使用方法。
【背景技术】
[0002] 在半导体制程中会应用到定位销进行测试定位，现有技术中，干制程设备的放料 槽内定位销结构如图1所示，包括相互连接的定位头1和定位柱2,定位柱2的底部设有底 座3并且底座3与定位柱2为一体成型，底座3设于放料槽内，定位柱3的外圈包围有一圈 接触部件4,接触部件4表面与被定位部件接触，在干制程过程中，被定位部件为玻璃基板。 在经过多次的测试定位后，接触部件4表面发生磨损消耗，一旦磨损程度比较严重，由于底 座3与定位柱2为一体成型，更换时便需要将定位销的整块部件全部换掉，使得部件无法得 到有效利用；另外，在更换过程中，需要将整块部件全部拆解后再进行安装，极为耗费工时。
【发明内容】
[0003] 针对上述存在的问题，本发明的目的是提供一种干制程设备的放料槽定位销使用 方法，更换时不用整体拆换，提高了部件利用率和工作效率。
[0004] 本发明的目的是通过下述技术方案实现的：
[0005] -种干制程设备的放料槽定位销使用方法，每个所述放料槽内分别具有若干所述 定位销，所述定位销包括相互连接的定位头和定位柱，所述定位柱的底部设有底座，所述底 座设于所述放料槽内，所述定位柱的外圈包围有一圈接触部件，所述接触部件表面与被定 位部件接触，其特征在于，所述底座与所述定位柱的底部为可分离结构，当所述接触部件表 面磨损消耗后，通过更换所述放料槽内的所有所述定位销的所述底座以改变所述接触部件 表面与所述被定位部件之间的接触位置。
[0006] 上述干制程设备的放料槽定位销使用方法，其中所述底座有多种规格，且不同规 格的所述底座仅仅厚度不同。
[0007] 上述干制程设备的放料槽定位销使用方法，其中不同规格的所述底座的厚度相互 之间为倍数关系。
[0008] 上述干制程设备的放料槽定位销使用方法，其中所述底座规格有三个，分别为第 一规格、第二规格和第三规格，所述第二规格厚度和所述第三规格厚度分别为所述第一规 格厚度的两倍和三倍。
[0009] 上述干制程设备的放料槽定位销使用方法，其中所述底座为螺母。
[0010] 上述干制程设备的放料槽定位销使用方法，其中所述被定位部件为玻璃基板。
[0011] 上述干制程设备的放料槽定位销使用方法，其中，所述放料槽内设有四个所述定 位销，其中两个位于所述放料槽内的对角线的一端，另外两个位于所述对角线的另一端。
[0012] 与已有技术相比，本发明的有益效果在于：
[0013] -减少玻璃基板直接接触部品的更换次数，减少了成本的支出；
[0014] -不用整体拆除整体定位销，只需将底座拆除后迅速换上其他尺寸的底座，便可快 速安装再次利用，节省时间，缩短机台保养时间。
【专利附图】
【附图说明】
[0015] 图1示出了现有技术中干制程设备的放料槽定位销的结构示意图；
[0016] 图2a示出了本发明干制程设备的放料槽定位销使用方法实施例中具有第一规格 厚度底座的定位销的结构不意图；
[0017] 图2b示出了本发明干制程设备的放料槽定位销使用方法实施例中具有第二规格 厚度的定位销的结构示意图；
[0018] 图2c示出了本发明干制程设备的放料槽定位销使用方法实施例中具有第三规格 厚度的定位销的结构示意图；
[0019] 图3示出了本发明干制程设备的放料槽定位销使用方法实施例中定位销在放料 槽内的分布示意图。
【具体实施方式】
[0020] 下面结合原理图和具体操作实施例对本发明作进一步说明。
[0021] 本发明干制程设备的放料槽定位销使用方法中，每个放料槽内分别具有若干定位 销，结合图2a所示，定位销包括相互连接的定位头1和定位柱2,定位柱2的底部设有底座 3,底座3设于放料槽内，定位柱2的外圈包围有一圈接触部件4,在测试定位过程中，接触部 件4表面与被定位部件接触。底座3与定位柱2的底部为可分离结构，底座3优选为螺母， 被定位部件优选为玻璃基板。当接触部件4表面磨损消耗后，通过更换放料槽内的所有定 位销的底座3以改变接触部件4表面与被定位部件之间的接触位置。
[0022] 如图所示，底座3与定位柱2之间，以及定位头1与定位柱2之间，均设有轴承5， 以在机械传动过程中起固定底座3与定位柱2之间的连接关系，减小载荷摩擦系数的作用。
[0023] 底座3有多种规格，且不同规格的底座3仅仅为厚度不同，优选的，不同规格的底 座3的厚度数值相互之间为倍数关系。在本发明的优选实施例中，底座3的规格有三个，分 别为第一规格、第二规格和第三规格，请分别参看图2a、图2b和图2c所示，第二规格厚度和 第三规格厚度分别为第一规格厚度的两倍和三倍。当然此处不仅仅限制于倍数关系，所有 可以引起厚度变化的设计均包括在本发明实施例中。由于定位销的底座3厚度的变化，使 得定位销的高度有所不同，则接触部件4的表面与被定位部件之间的接触位置也发生了变 化。比如，采用第二规格厚度的底座的定位销和采用第一规格厚度的底座的定位销，从接触 部件的角度来看，前者的接触部件表面与被定位部件之间的接触位置位于后者的下方，而 采用第三规格厚度的底座的定位销的上述位置则落在了更下方，很明显，这是由于底座的 垫高效应引起的。理想情况下，要达到最高的定位销接触部件利用率，计算好底座的厚度和 被定位部件厚度之间的关系以及底座的数量是必须的。
[0024] -旦定位销的接触部件4的磨损程度比较严重，由于底座3与定位柱2为分离式 结构，更换时仅仅将底座3换掉即可，使得部件得到有效利用，节省了大量工时。
[0025] 需要指出的是，如图3所示，在本发明实施例中，放料槽0内总共设有四个定位 销〇〇,其中两个位于放料槽〇内的对角线的一端，另外两个位于对角线的另一端，玻璃基板 (未在图中示出）固定在四个定位销00之间，以这样的分布方式来获得最佳的定位角度和定 位力度。
[0026] 本发明减少玻璃基板直接接触部品的更换次数，减少了成本的支出，并且不用整 体拆除定位销，只需将其底座拆除后迅速换上其他规格厚度的底座，便可快速安装实现再 次利用，节省时间，缩短机台保养时间。
[0027] 以上对本发明的具体实施例进行了详细描述，但本发明并不限制于以上描述的具 体实施例，其只是作为范例。对于本领域技术人员而言，任何等同修改和替代也都在本发明 的范畴之中。因此，在不脱离本发明的精神和范围下所作出的均等变换和修改，都应涵盖在 本发明的范围内。
【权利要求】
1. 一种干制程设备的放料槽定位销使用方法，每个所述放料槽内分别具有若干所述定 位销，所述定位销包括相互连接的定位头和定位柱，所述定位柱的底部设有底座，所述底座 设于所述放料槽内，所述定位柱的外圈包围有一圈接触部件，所述接触部件表面与被定位 部件接触，其特征在于，所述底座与所述定位柱的底部为可分离结构，当所述接触部件表面 磨损消耗后，通过更换所述放料槽内的所有所述定位销的所述底座以改变所述接触部件表 面与所述被定位部件之间的接触位置。
2. 如权利要求1所述干制程设备的放料槽定位销使用方法，其特征在于，所述底座有 多种规格，且不同规格的所述底座仅仅厚度不同。
3. 如权利要求2所述干制程设备的放料槽定位销使用方法，其特征在于，不同规格的 所述底座的厚度相互之间为倍数关系。
4. 如权利要求3所述干制程设备的放料槽定位销使用方法，其特征在于，所述底座规 格有三个，分别为第一规格、第二规格和第三规格，所述第二规格厚度和所述第三规格厚度 分别为所述第一规格厚度的两倍和三倍。
5. 如权利要求1至4中任意一项所述干制程设备的放料槽定位销使用方法，其特征在 于，所述底座为螺母。
6. 如权利要求5所述干制程设备的放料槽定位销使用方法，其特征在于，所述被定位 部件为玻璃基板。
7. 如权利要求6所述干制程设备的放料槽定位销使用方法，其特征在于，所述放料槽 内设有四个所述定位销，其中两个位于所述放料槽内的对角线的一端，另外两个位于所述 对角线的另一端。
【文档编号】F16B5/10GK104121259SQ201310150860
【公开日】2014年10月29日 申请日期:2013年4月26日 优先权日:2013年4月26日
【发明者】刘峻承, 林志明, 曾瑞轩 申请人:上海和辉光电有限公司