静态高真空阀的制作方法

文档序号:5559098阅读:185来源:国知局
专利名称:静态高真空阀的制作方法
技术领域
本发明属工程元件,阀类。
真空与真空器件到处可见,如各种各样的气体激光管、气体放电灯。彩电显象管等不下千百种。由于物理的、化学的,气体放电的原因,高真空器件普遍存在着一个使用寿命短,工艺复杂,价格较贵的问题,使用寿命短一般都是由于气体放电老化,玻壁物理渗漏、电极溅射,杂质污染工作气体等原因所引起,而这些竞又是如此不可避免,本发明就是要解决这些问题,静态高真空阀可使高真空器件重复高真空后,重新得到使用,从而延长了高真空器件的工作寿命。
本发明的主要特点是该阀能够工作于静态高真空,而动态时它可以方便地偶合于真空系统,对器件进行真空抽除。该真空阀的构件包括偶合于真空器件的前接口(1)、后接口(2)、阀嘴(3)、阀体空腔部(4)、波纹管(5)、加热装置(6)和一种在阀嘴与阀体空腔部之间的工作介质(7)其工作过程如下静态时,充填于阀嘴与阀体空腔部之间的工作介质处于凝固状态,阀处于关闭状态,即真空系统与真空器件可以脱离;当真空系统对器件进行高真空时,该器件的后接口偶合于真空系统,加热装置对工作介质加热,加热到工作介质的熔点时,阀嘴打开,阀处于接通状态,此时即为动态,当器件达到特定的高真空技术指标后,加热装置停止加温,工作介质回复到凝固状态,后接口脱离真空系统,此时阀体工作于静态。
阀嘴与阀体空腔部可以不止一个,即可以多个串联使用。阀嘴与阀体空腔部可以外加温或内加温,显而易见,如采用外加温结构,整个阀体可以设计得较为简单。


图1为静态高真空阀的示意图。
高真空器件有了静态高真空阀之后,重复高真空就显得非常容易,必将显示出其社会效益与经济效益。
权利要求
1.一种静态高真空阀其特征在于该阀的构件包括偶合于真空器件的前接口(1)、后接口(2)、阀嘴(3)、阀体空腔部(4)、波纹管(5)、加热装置(6)和一种在阀嘴与阀体空腔部之间的工作介质(7)。
2.一种如权利要求1所述的静态高真空阀其特征在于阀嘴与阀体空腔部可一个以上。
全文摘要
静态高真空阀可使由于气体放电老化、电极溅射、工作气体污染的高真空器件重复高真空后,重新得到使用,从而延长了高真空器件的工作寿命。该阀的构件包括前接口、后接口、阀嘴、阀体空腔部、波纹管、加热装置和工作介质,如图示。该阀能工作于静态高真空,而动态时可方便地偶合于真空系统,对器件进行真空抽除。
文档编号F16K51/02GK1030821SQ8710501
公开日1989年2月1日 申请日期1987年7月20日 优先权日1987年7月20日
发明者黄明荣 申请人:黄明荣
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