一种真空压力调节系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及真空技术的领域，尤其涉及一种真空压力调节系统。
【背景技术】
[0002]真空压力调节器是真空设备上必不可少的部件，用来调节真空设备的压强，其操作的可控性和稳定性直接影响真空设备的使用性能。真空压力调节器一般通过调节阀口流导大小来调节反应室真空度，流导是真空管道、孔、挡板、阱及阀门等元件传输气体的能力。一般阀门的最小可控流导越小，阀的灵敏度越高，因此真空压力调节器设计过程中需尽可能增大阀芯厚度，同时又要顾及到阀芯在阀腔内转动自如，间隙不能过小，因此要求阀腔、阀芯和阀杆具有较高的精度，这就给设计和制造带来了难度。
【发明内容】
[0003]本发明主要解决的技术问题是提供一种真空压力调节系统，整个过程快速自动实现对真空阀的调节，精度较高，同时采用电机作动力源，经济、实用。整个阀结构紧凑，体积小，适合广泛推广。
[0004]为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是:提供了一种真空压力调节系统，包括控制器、真空阀、压力传感器、电位器、电机以及操控面板，所述的控制器通过真空阀与压力传感器相通讯，所述的电机与真空阀相连接，所述的压力传感器分别与多个所述的电位器相通讯，所述的操控面板与控制器相连接。
[0005]在本发明一个较佳实施例中，所述的控制器采用变频控制器。
[0006]在本发明一个较佳实施例中，所述的电位器的数量为三个。
[0007]本发明的有益效果是:本发明的真空压力调节系统，整个过程快速自动实现对真空阀的调节，精度较高，同时采用电机作动力源，经济、实用。整个阀结构紧凑，体积小，适合广泛推广。
【附图说明】
[0008]为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中:
图1是本发明真空压力调节系统的一较佳实施例的结构示意图；
附图中的标记为:1、壳体，2、滤清器，3、过滤器，4、压力换转器，5、真空室，6、硅片，7、电气连接端。
【具体实施方式】
[0009]下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
[0010]如图1所示，本发明实施例包括:
一种真空压力调节系统，包括控制器、真空阀、压力传感器、电位器、电机以及操控面板，所述的控制器通过真空阀与压力传感器相通讯，所述的电机与真空阀相连接，所述的压力传感器分别与多个所述的电位器相通讯，所述的操控面板与控制器相连接。
[0011]上述中，所述的控制器采用变频控制器。变频器远程控制器是一种实现变频器远程操作的智能仪表，通过RS485网络远程控制变频器的启动、停止、加速、减速、正反转，并实时显示变频器的工作频率、转速等运行状态信息。单机通讯距离可达1200M (9600bps)，有效减少变频器的干扰。
[0012]本实施例中，所述的电位器的数量为三个。电位器(英文:Potent1meter)是可变电阻器的一种。通常是由电阻体与转动或滑动系统组成，即靠一个动触点在电阻体上移动，获得部分电压输出。电位器的电阻体有两个固定端，通过手动调节转轴或滑柄，改变动触点在电阻体上的位置，则改变了动触点与任一个固定端之间的电阻值，从而改变了电压与电流的大小。
[0013]综上所述，本发明的真空压力调节系统，整个过程快速自动实现对真空阀的调节，精度较高，同时采用电机作动力源，经济、实用。整个阀结构紧凑，体积小，适合广泛推广。
[0014]以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。
【主权项】
1.一种真空压力调节系统，其特征在于，包括控制器、真空阀、压力传感器、电位器、电机以及操控面板，所述的控制器通过真空阀与压力传感器相通讯，所述的电机与真空阀相连接，所述的压力传感器分别与多个所述的电位器相通讯，所述的操控面板与控制器相连接。2.根据权利要求1所述的真空压力调节系统，其特征在于，所述的控制器采用变频控制器。3.根据权利要求1所述的真空压力调节系统，其特征在于，所述的电位器的数量为三个。
【专利摘要】本发明公开了一种真空压力调节系统，包括控制器、真空阀、压力传感器、电位器、电机以及操控面板，所述的控制器通过真空阀与压力传感器相通讯，所述的电机与真空阀相连接，所述的压力传感器分别与多个所述的电位器相通讯，所述的操控面板与控制器相连接。通过上述方式，本发明提供的真空压力调节系统，整个过程快速自动实现对真空阀的调节，精度较高，同时采用电机作动力源，经济、实用。整个阀结构紧凑，体积小，适合广泛推广。
【IPC分类】F16K31/04, F16K51/02
【公开号】CN105135050
【申请号】CN201510605585
【发明人】陈学兵, 王光辉
【申请人】苏州普京真空技术有限公司
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2015年9月22日