一种新型的真空锁阀的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种新型的真空锁阀。
【背景技术】
[0002]现有的连续真空镀膜生产线中，一般在镀膜室与进料室之间存在一个或多个抽气分隔室，每一个分隔室之间采用真空锁阀将大气与进料室或前后两室的气体隔开，尤其是进料室需要填充大气与抽真空循环交换，如图1所示，现有的真空锁阀包括设置在进料室壁上的密封法兰板1、用于密封的阀板3、设置在阀板3上并与密封法兰板I之间的密封圈3、与阀板连接的压紧臂4、用于同时压紧压紧臂的转动轴5、提供动力的大直径的气缸7和连接气缸7与转动轴5的摆动臂6，由于气缸动力轴与摆动臂6的夹角较小，阀板上起主要密封作用的密封圈受到的压紧力很小，导致密封圈压缩量不足，门阀密封不可靠。
[0003]如图1的真空锁阀的结构，即使不采用气缸作为驱动力，换用电机推杆等结构，但由于推杆与阀阀摆臂之间的作用夹角，无法避免上述的缺点，此外，由于气缸缸径过大，整个机构的动作很慢，影响整个生产线的生产速度，降低生产效率。
【实用新型内容】
[0004]为了克服上述真空锁阀压力不大，密封不可靠的技术缺陷，本实用新型提供一种密封可靠、密封效率高的新型真空锁阀。
[0005]为了解决上述问题，本实用新型按以下技术方案予以实现的:
[0006]本实用新型所述，包括驱动机构、锁转动轴、压紧臂和用于密封的锁阀板、用于支撑所述锁转动轴的固定座，所述锁转动轴通过所述压紧臂与所述锁阀板连接，所述锁转动轴的一端连接有齿轮，所述驱动机构上设置有与所述齿轮配合的齿条。
[0007]进一步地，所述固定座、锁转动轴、压紧臂和锁阀板均设置在真空室内，真空室的壁上设置有锁转动轴伸出的通孔，所述齿轮设置在真空室外。
[0008]进一步地，所述锁转动轴处于所述通孔外侧外位置设置有密封座。
[0009]进一步地，所述锁阀板与壁体接触的平面上设置有密封圈。
[0010]进一步地，所述齿轮与锁转动轴通过平键连接。
[0011]进一步地，所述驱动机构为气液增压缸。
[0012]与现有技术相比，本实用新型的有益效果是:
[0013]I)本实用新型通过齿条齿轮进行动力转换，动力无损耗，无脉动变化。
[0014]2)采用气液增压缸提供动力，锁阀开合转动过程的动力为小动力，最后压紧时为大动力，动力分配更理，转换过程无冲击。
[0015]3)气缸所需的压缩空气量小，气缸动作迅速，开关阀的时间可减少一半，耗气量为大气缸的十分之一。
[0016]4)最终输出的力为可调，增压力与气缸推力成线性关系，调整气压即可改变最终输出的增压力。
【附图说明】
[0017]下面结合附图对本实用新型的【具体实施方式】作进一步详细的说明，其中:
[0018]图1是现有的真空锁阀结构示意图；
[0019]图2是本实用新型所述新型的真空锁阀的结构示意图；
[0020]图3是本实用新型所述新型的真空锁阀的侧视图；
[0021]图4是本实用新型所述新型的真空锁阀的动力结构示意图。
[0022]图中:11_密封法兰板，12-密封圈，13-阀板，14-压紧臂，15-转动轴，16-摆动臂，17-气缸，20-气液增压缸，21-真空室，22-锁阀板，23-锁转动轴，24-固定座，25-压紧臂，26-密封座，27-齿轮，28-密封圈，29-齿条。
【具体实施方式】
[0023]以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0024]如图2?图4所示，本实用新型所述新型的真空锁阀，包括设置在真空室21内的锁转动轴23、用于支撑所述锁转动轴23的固定座24、用于密封真空室21出气口的锁阀板22和用于连接锁转动轴23与锁阀板22的压紧臂25，所述锁转动轴23 —直延伸至真空室21夕卜，所述锁转动轴23向外伸出位置设置有密封座26，所述锁转动轴23伸出室外的端轴位置通过平键连接有齿轮27，真空室21外还设置有驱动机构，该驱动机构为气液增压缸20，所述气液增压缸20上连接有与所述齿轮27配合的齿条29。
[0025]所述锁阀板22与真空室21壁体接触的表面设置有密封圈28。
[0026]本实用新型所述新型的真空锁阀的工作原理是:
[0027]气液增压缸驱动齿条，从而带动齿轮转动，带动锁转动轴转动，通过压紧臂转动锁阀板，将锁阀板压紧在真空室的壁体上，密封真空室的入气口，当锁阀板压紧壁体时，气液增压缸增压，提供大于气缸压力10倍的压力，压紧所述锁阀板，从而达到密封的作用，需要给真空室填充空气时，先将气液增压缸切换至不增压状态，再通过气液增压缸驱动齿条、齿轮、锁转动轴和压紧臂，从而松开锁阀板。
[0028]本实用新型采用齿条、齿轮传动动力，减小动力损耗，并且采用气液增压缸作为驱动机构，在开启和关闭锁阀板时，气液增压缸处于不增压状态，所需要的动力小，驱动效率高，在需要密封时，将气液增压缸调到增压状态，提供大于10倍的气缸压力，使锁阀板完全压紧进气口，达到可靠密封的目的。
[0029]本实施例所述新型的真空锁阀的其它结构参见现有技术。
[0030]以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，故凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
【主权项】
1.一种新型的真空锁阀，包括驱动机构、锁转动轴、压紧臂和用于密封的锁阀板，其特征在于:还包括用于支撑所述锁转动轴的固定座，所述锁转动轴通过所述压紧臂与所述锁阀板连接，所述锁转动轴的一端连接有齿轮，所述驱动机构上设置有与所述齿轮配合的齿条。
2.根据权利要求1所述新型的真空锁阀，其特征在于:所述固定座、锁转动轴、压紧臂和锁阀板均设置在真空室内，真空室的壁上设置有使锁转动轴贯穿的通孔，所述齿轮设置在真空室外。
3.根据权利要求2所述新型的真空锁阀，其特征在于:所述锁转动轴处于所述通孔外侧位置设置有密封座。
4.根据权利要求1所述新型的真空锁阀，其特征在于:所述锁阀板与壁体接触的平面上设置有密封圈。
5.根据权利要求1所述新型的真空锁阀，其特征在于:所述齿轮与锁转动轴通过平键连接。
6.根据权利要求1所述新型的真空锁阀，其特征在于:所述驱动机构为气液增压缸。
【专利摘要】本实用新型公开了一种新型的真空锁阀，包括驱动机构、锁转动轴、压紧臂和用于密封的锁阀板、用于支撑所述锁转动轴的固定座，所述锁转动轴通过所述压紧臂与所述锁阀板连接，所述锁转动轴的一端连接有齿轮，所述气缸上设置有与所述齿轮配合的齿条。本实用新型采用齿条、齿轮传动动力，减小动力损耗，并且采用气液增压缸作为驱动机构，在开启和关闭锁阀板时，气液增压缸处于不增压状态，所需要的动力小，驱动效率高，在需要密封时，将气液增压缸调到增压状态，提供大于10倍的气缸压力，使锁阀板完全压紧进气口，达到可靠密封的目的。
【IPC分类】F16K35-00, F16K31-53
【公开号】CN204267848
【申请号】CN201420652363
【发明人】潘振强, 梁凯基
【申请人】肇庆市振华真空机械有限公司
【公开日】2015年4月15日
【申请日】2014年11月4日