一种晶圆清洗设备废水的排放系统及其应用
【技术领域】
[0001]本发明涉及工业废液的分类排放技术领域，具体涉及一种晶圆清洗设备废水的排放系统及其应用。
【背景技术】
[0002]在WET单片晶圆清洗过程中，会用到多种化学品，并产生相应的清洗废液。多种废液目前一般采用混合排放，或者在硬件设计上，对废液做简单的酸碱排放分类，然后直接排放。这种排放方式会影响厂务废液处理的难度和成本，以及降低可回收化学品和水的品质和回收量。对废液的分类排放或回收能够有效的降低成本和利于环保。
[0003]目前，在单片清洗制程中，最常用的制程为PRS和RCA，会有SCl，SC2，SPM、HF、IPA和DI等多种废液排放。当前的对废液排放分类不足，或者没有分类，造成厂务废液处理的困难和成本增加。
[0004]以RCA chamber 为例，会用到 SCI (NH40H、H202、H2O 混合物)，SC2 (HCl、H202、H2O 混合物)，HF、IPA和DI。一般使用硬件切换对IPA和其他化学品分类排放。但由于硬件设计的空间，成本，控制可行度等限制，很难对所有化学品全部做分类处理。
【发明内容】
[0005]为解决现有技术的不足，本发明提供了一种晶圆清洗设备废水的排放系统及其应用。
[0006]—种晶圆清洗设备废水的排放系统，系统包括多组提供清洗液的供液管路和与每组所述的供液管路对应的排放清洗废液的排放管路，在每条所述的供液管路上设置有供液气动开关阀，在每条所述的排放管上设置有排放气动开关阀，系统还包括输出开关信号的控制装置、由所述控制装置控制的供液电磁阀和由所述控制装置控制的排放电磁阀，所述供液电磁阀连接各个所述的供液气动开关阀，所述排放电磁阀连接各个所述的排放气动开关阀，系统还包括多条废液收集槽，每条所述的废液收集槽将一组相互对应的供液管路和排放管路连通，或者，每条所述的废液收集槽将多组相互对应的供液管路和排放管路连通。
[0007]优选的，在所述控制装置和所述排放电磁阀之间设置有延时器。
[0008]延时器可以通过供应开关的信号，延迟后来控制废液的排放开关。延时器的时间设定由具体管路长度决定。
[0009]优选的，在所述控制装置向所述供液电磁阀和所述排放电磁阀发出关闭信号后，所述延时器将所述关闭信号延时3?1s后传递给所述排放电磁阀。
[0010]优选的，各组相互对应的供液管路和排放管路分别进行不同种类清洗液的清洗。
[0011]优选的，当某条所述的废液收集槽将多组相互对应的供液管路和排放管路连通时，所述控制装置在控制一组相互对应的供液管路和排放管路工作完后，再控制另一组相互对应的供液管路和排放管路工作。
[0012]本发明还提供了一种所述的晶圆清洗设备废水的排放系统的应用，用于单片晶圆清洗设备废水的排放。
[0013]有益效果
[0014]通过本发明所提供的晶圆清洗设备废水的排放系统，可以对废液的排放进行切换，达到废液的分类排放效果，降低废液排放和回收的处理成本，提高回收化学品的品质和回收量，并有利于环保。
【附图说明】
[0015]图1是本发明所提供的晶圆清洗设备废水的排放系统的整体结构示意图。
[0016]附图1中，各标号所代表的部件列表如下:
[0017]1、供液管路，2、排放管路，3、供液气动开关阀，4、排放气动开关阀，5、控制装置，6、供液电磁阀，7、排放电磁阀，8、废液收集槽，9、延时器。
【具体实施方式】
[0018]以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实施例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。
[0019]在一个【具体实施方式】中，如图1所示，一种晶圆清洗设备废水的排放系统，系统包括5组提供清洗液的供液管路I和与每组的供液管路I对应的排放清洗废液的排放管路2。分别为SC1、SC2、HF、IPA和DI清洗管路。该系统可用于单片晶圆清洗设备废水的排放。
[0020]在每条的供液管路I上设置有供液气动开关阀3，在每条的排放管上设置有排放气动开关阀4。
[0021]系统还包括输出开关信号的控制装置5、由控制装置5控制的供液电磁阀6和由控制装置5控制的排放电磁阀7，供液电磁阀6连接各个的供液气动开关阀3，排放电磁阀7连接各个的排放气动开关阀4。
[0022]系统还包括两条废液收集槽8。一条废液收集槽8将SCl、SC2、和HF清洗管路连通，即SC1、SC2、和HF公用一条废液收集槽。另一条废液收集槽将IPA和DI清洗管路连通，即IPA和DI共用一条废液收集槽。
[0023]在控制装置5和排放电磁阀7之间设置有延时器9。在控制装置5向供液电磁阀6和排放电磁阀7发出关闭信号后，延时器9将关闭信号延时3?1s后传递给排放电磁阀I。
[0024]本发明通过对排液管路加装开关气动阀门，对废液排放管路进行切换。将各化学品的废液分类排放到不同的管路，便于厂务对各种化学品废液进行处理或回收。
[0025]废液分类切换之气动阀门的开关信号来自化学品的供应信号，并一一对应。S卩，当某条的废液收集槽8将多组相互对应的供液管路I和排放管路2连通时，控制装置5在控制一组相互对应的供液管路I和排放管路2工作完后，再控制另一组相互对应的供液管路I和排放管路2工作。从而，保证了所有化学品废液能够排放到对应的排放管路。
[0026]基于对化学品供应后，到达排放管路需要一定时间(T)，在排放管路的控制信号前加装一个延时器。因此在化学品供应开始后一定时间(T)，排液管路打开；在化学品供应结束后，排液管路会继续排液一定时间(T)可以确保化学品的排放准确性和分类排放效果。该时间(T)由化学品从chamber到达排液气阀的管路长短决定，可根据实际情况设定一般约为3?1S0
[0027]以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种晶圆清洗设备废水的排放系统，其特征在于:系统包括多条提供清洗液的供液管路(I)和与每条所述的供液管路(I) 一一对应的排放清洗废液的排放管路(2)，在每条所述的供液管路(I)上设置有供液气动开关阀(3)，在每条所述的排放管路(2)上设置有排放气动开关阀(4)，系统还包括输出开关信号的控制装置(5)、由所述控制装置(5)控制的供液电磁阀(6)和由所述控制装置(5)控制的排放电磁阀(7)，所述供液电磁阀(6)连接各个所述的供液气动开关阀(3)，所述排放电磁阀(7)连接各个所述的排放气动开关阀(4)，系统还包括多条废液收集槽(8)，每条所述的废液收集槽(8)将一组相互对应的供液管路(I)和排放管路(2)连通，或者，每条所述的废液收集槽(8)将多组相互对应的供液管路(I)和排放管路(2)连通。2.根据权利要求1所述的晶圆清洗设备废水的排放系统，其特征在于:在所述控制装置(5)和所述排放电磁阀(7)之间设置有延时器(9)。3.根据权利要求2所述的晶圆清洗设备废水的排放系统，其特征在于:在所述控制装置(5)向所述供液电磁阀(6)和所述排放电磁阀(7)发出关闭信号后，所述延时器(9)将所述关闭信号延时3?1s后传递给所述排放电磁阀(7)。4.根据权利要求3任一所述的晶圆清洗设备废水的排放系统，其特征在于:各组相互对应的供液管路(I)和排放管路(2)分别进行不同种类清洗液的清洗。5.根据权利要求1至4任一所述的晶圆清洗设备废水的排放系统，其特征在于:当某条所述的废液收集槽(8)将多组相互对应的供液管路(I)和排放管路(2)连通时，所述控制装置(5)在控制一组相互对应的供液管路(I)和排放管路(2)工作完后，再控制另一组相互对应的供液管路(I)和排放管路(2)工作。6.一种根据权利要求1至5任一所述的晶圆清洗设备废水的排放系统的应用，其特征在于:用于单片晶圆清洗设备废水的排放。
【专利摘要】本发明涉及工业废液的分类排放技术领域，具体涉及一种晶圆清洗设备废水的排放系统及其应用。该系统包括多组提供清洗液的供液管路和与每组的供液管路对应的排放清洗废液的排放管路，在每条的供液管路上设置有供液气动开关阀，在每条的排放管上设置有排放气动开关阀，系统还包括输出开关信号的控制装置、由控制装置控制的供液电磁阀和由控制装置控制的排放电磁阀，供液电磁阀连接各个的供液气动开关阀，排放电磁阀连接各个的排放气动开关阀，系统还包括多条废液收集槽。通过本发明所提供的系统，可以对废液的排放进行切换，达到废液的分类排放效果，降低废液排放和回收的处理成本，提高回收化学品的品质和回收量，并有利于环保。
【IPC分类】F17D1/08, H01L21/67, B08B13/00, F17D3/01
【公开号】CN105202369
【申请号】CN201510513973
【发明人】金小斗
【申请人】武汉新芯集成电路制造有限公司
【公开日】2015年12月30日
【申请日】2015年8月20日