专利名称：真空器件的开孔装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及对阴极射线管(CRT)、场发射器件、光源、微波器件等电真空器件进行开孔分析时所采用的开孔装置，特别是对具有玻壳的阴极射线管、场发射显示器、光源等真空器件进行管内残余气体分析时，在不破坏整体结构的情况下将玻壳开孔的装置。
背景技术：
电真空器件内部的残余气体是影响电真空器件性能的主要因素之一，为了分析电真空器件中残余气体对器件失效的影响，往往采用质谱分析的办法。除小型电真空器件可采用放入质谱分析真空系统中击破的方法外，一般将电真空器件的玻壳或金属壳上打一个没有贯穿的孔，然后将孔和质谱分析系统的管道相连接，当真空系统真空度到一定程度后，用磁铁控制小铁锤将开孔处击破，使管内气体通过孔进入真空分析系统。这种开孔装置为了能够观察铁锤的位置，要求器件和系统的连接采用玻璃管道，通常需要配备玻璃工辅助进行管道的连接，同时如果磁铁控制不小心，可能产生铁锤的误操作，使系统破坏或孔的误打开，这对在实验室进行实验研究是不方便和不可靠的。
发明内容
技术问题本实用新型发明的目的是提供一种简化实验的复杂程度、减小误操作、提高开孔成功率、便于对电真空器件进行开孔分析的真空器件的开孔装置。
技术方案为了方便进行实验室研究，本实用新型设计了金属的开孔装置，使其可以和金属管道连接，并且可以在外部通过轻度的敲击开孔针使真空器件的孔打开，避免了误操作。
为了实现以上目的，本实用新型的真空器件的开孔装置包括击破装置、壳体、定位板所组成；在击破装置中，螺杆穿过上法兰，在上法兰上部的螺杆上设有限制波纹管位移量的定位螺母，在上法兰下部的螺杆上设有波纹管，波纹管的一端连接在上法兰上，另一端连接在螺杆上，在螺杆的下端设有用于击破真空器件的开孔击针；壳体由真空连接管道和开孔器壳体、真空密封法兰组成，真空连接管道设在开孔器壳体的侧面且相连通，在开孔器壳体的上部设有真空密封法兰；击破装置中的上法兰与开孔器壳体上的真空密封法兰相连接，使波纹管、开孔击针位于开孔器壳体中；定位板设在开孔器壳体的下端。
波纹管采用金属波纹管，连接上法兰和螺杆，使真空壳体内部与外部的大气隔离。开孔器壳体上的真空密封法兰与击破装置中的上法兰之间设有密封圈，密封圈位于密封槽中，形成真空密封。定位板放置在真空壳体下端的内部。在定位板中，定位孔位于定位板的中央，开孔击针的前端位于定位孔中，用于限制开孔击针的运动方向；在定位板上还设有通气孔用于气体的通过；其定位卡环位于定位板的下部，用于限定开孔器放置在真空器件壁上的位置。
工作时，将开孔器内部通过真空连接管道抽真空到符合测试要求的真空度；放松定位螺母使波纹管在大气压力的作用下伸长，从而使开孔击针到达真空器件的开孔位置的未贯穿的孔内。如果大气的压力不能使真空器件的孔打开的话，轻轻敲击螺杆暴露在大气的一端，使击针击破真空器件的孔，达到开孔的目的。
有益效果应用这种技术可以简化实验的复杂程度，减小误操作，提高开孔的成功率。
本实用新型尤其适用对阴极射线管(CRT)、场发射器件、光源、微波器件等电真空器件进行开孔分析时所采用的开孔装置，特别是对具有玻壳的阴极射线管、场发射显示器、光源等真空器件进行管内残余气体分析时，在不破坏整体结构的情况下将玻壳开孔的装置。
图1是目前现有技术中，开孔装置的结构示意图。
图2是本实用新型开孔装置的整体结构示意图。
图3是本实用新型中击破装置1的结构示意图。
图4是本实用新型中开孔器壳体2的结构示意图。
图5是本实用新型中定位板3的结构示意图。
图6是本实用新型的开孔装置与真空器件相对位置示意图。
以上图中有击破装置1、上法兰11、密封槽111、螺杆12、波纹管13、开孔击针14、定位螺母15；开孔器壳体2、真空连接管道21、真空壳体22、真空密封法兰23；定位板3、定位孔31、通气孔32、定位卡环33；密封圈4、真空器件壁5、真空粘接点6、铁锤7。
具体实施方式
本实用新型的真空器件的开孔装置由由带有密封槽、连接螺杆、开孔击针、定位螺母、密封波纹管的击破装置，带有密封法兰、连接管道的开孔器壳体和放置在开孔器壳体内的定位板和用于法兰密封的密封圈四部分组成。
在带有中心孔的开孔器上密封法兰的中心孔中穿有带螺纹的螺杆，螺杆在法兰暴露大气的一端安装有定位螺母，在带有密封槽的一端穿过真空密封波纹管，真空密封波纹管一端与密封法兰采用真空密封焊接的方法连在一起，另一端和螺杆密封焊接连接在一起，螺杆的波纹管一侧的顶端制作开孔击针。
开孔器壳体的一端和壳体密封法兰连接成一体，壳体上制作连接管道用于和真空系统连接，壳体的另一端用于和要进行开孔分析的真空器件进行密封封接。
定位板放置在壳体内，定位板上开有和开孔击针相配合的定位孔、用于气体流通的通气孔和与真空器件开孔尺寸匹配用于保证与真空器件位置固定的卡环。
密封圈用于上密封法兰和壳体密封法兰的密封。
装配时将上法兰和壳体法兰对应的密封槽内放置密封圈，将两法兰通过固定螺丝压紧实现两法兰的密封；调整定位螺母使真空波纹管收缩；将定位板放置在壳体内，使开孔击针穿过定位孔，卡环嵌入与其匹配的真空器件壳体上所打的没有贯穿的孔内；开孔器壳体和真空器件之间采用真空密封胶粘接在一起。
具体的结构为主体部分采用不锈钢金属制作，它包括击破装置1、壳体2、定位板3所组成；在击破装置1中，螺杆12穿过上法兰11，在上法兰11上部的螺杆12上设有限制波纹管位移量的定位螺母15，在上法兰11下部的螺杆12上设有波纹管13，波纹管13的一端连接在上法兰11上，另一端连接在螺杆12上，在螺杆12的下端设有用于击破真空器件的开孔击针14；壳体2由真空连接管道21和开孔器壳体22、真空密封法兰23组成，真空连接管道21设在开孔器壳体22的侧面且相连通，在开孔器壳体22的上部设有真空密封法兰23；击破装置1中的上法兰11与开孔器壳体22上的真空密封法兰23相连接，使波纹管13、开孔击针14位于开孔器壳体22中；定位板3设在开孔器壳体22的下端。其中，波纹管13采用金属波纹管，连接上法兰11和螺杆12，使真空壳体22内部与外部的大气隔离。开孔器壳体2上的真空密封法兰23与击破装置1中的上法兰11之间设有密封圈4，密封圈4位于密封槽111中，形成真空密封。定位板3放置在真空壳体22下端的内部。在定位板3中，定位孔31位于定位板3的中央，开孔击针14的前端位于定位孔31中，用于限制开孔击针14的运动方向；在定位板3上还设有通气孔32用于气体的通过；其定位卡环33位于定位板3的下部，用于限定开孔器放置在真空器件壁5上的位置。定位板3中的定位孔31与通气孔32可合并为一个孔。
工作时，将开孔器内部通过真空连接管道抽真空到符合测试要求的真空度；放松定位螺母使波纹管在大气压力的作用下伸长，从而使开孔击针到达真空器件的开孔位置。如果大气的压力不能使真空器件上未贯穿的孔打开的话，轻轻敲击螺杆暴露在大气的一端，使击针击破真空器件的孔，达到开孔的目的。
权利要求1.一种真空器件的开孔装置，其特征是该装置包括击破装置(1)、壳体(2)、定位板(3)所组成；在击破装置(1)中，螺杆(12)穿过上法兰(11)，在上法兰(11)上部的螺杆(12)上设有限制波纹管位移量的定位螺母(15)，在上法兰(11)下部的螺杆(12)上设有波纹管(13)，波纹管(13)的一端连接在上法兰(11)上，另一端连接在螺杆(12)上，在螺杆(12)的下端设有用于击破真空器件的开孔击针(14)；壳体(2)由真空连接管道(21)和开孔器壳体(22)、真空密封法兰(23)组成，真空连接管道(21)设在开孔器壳体(22)的侧面且相连通，在开孔器壳体(22)的上部设有真空密封法兰(23)；击破装置(1)中的上法兰(11)与开孔器壳体(22)上的真空密封法兰(23)相连接，使波纹管(13)、开孔击针(14)位于开孔器壳体(22)中；定位板(3)设在开孔器壳体(22)的下端。
2.根据权利要求1所述的真空器件的开孔装置，其特征是波纹管(3)采用金属波纹管，连接上法兰(11)和螺杆(12)，使真空壳体(22)内部与外部的大气隔离。
3.根据权利要求1所述的真空器件的开孔装置，其特征是开孔器壳体(2)上的真空密封法兰(23)与击破装置(1)中的上法兰(11)之间设有密封圈(4)，密封圈(4)位于密封槽(111)中，形成真空密封。
4.根据权利要求1所述的真空器件的开孔装置，其特征是定位板(3)放置在真空壳体(22)下端的内部。
5.根据权利要求1所述的真空器件的开孔装置，其特征是在定位板(3)中，定位孔(31)位于定位板(3)的中央，开孔击针(14)的前端位于定位孔(31)中，用于限制开孔击针(14)的运动方向；在定位板(3)上还设有通气孔(32)用于气体的通过；其定位卡环(33)位于定位板(3)的下部，用于限定开孔器放置在真空器件壁(5)上的位置。
6.根据权利要求1或5所述的真空器件的开孔装置，其特征是定位板(3)中的定位孔(31)与通气孔(32)合并为一个孔。
专利摘要真空器件的开孔装置是对具有玻壳的阴极射线管、场发射显示器、光源等真空器件进行管内残余气体分析时，在不破坏整体结构的情况下将玻壳开孔的装置。该装置在击破装置中，螺杆穿过上法兰，在上法兰上部的螺杆上设有限制波纹管位移量的定位螺母，在上法兰下部的螺杆上设有波纹管，波纹管的一端连接在上法兰上，另一端连接在螺杆上，在螺杆的下端设有用于击破真空器件的开孔击针；壳体由真空连接管道和开孔器壳体、真空密封法兰组成，真空连接管道设在开孔器壳体的侧面且相连通，在开孔器壳体的上部设有真空密封法兰；击破装置中的上法兰与开孔器壳体上的真空密封法兰相连接，使波纹管、开孔击针位于开孔器壳体中；定位板设在开孔器壳体的下端。
文档编号G01N30/00GK2669192SQ20042002408
公开日2005年1月5日 申请日期2004年1月8日 优先权日2004年1月8日
发明者张晓兵, 毛福明 申请人:东南大学