专利名称：电容式微陀螺敏感信号的单路谐波提取装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及传感技术，尤其涉及一种电容式微陀螺敏感信号的单路谐波提取装置。
背景技术：
谐振式微陀螺利用电容极板间交变静电力，使振子产生机械振动，利用转动角速度产生的柯里奥利力，使振子在与驱动方向正交的方向上振动。这个正交振动通过另外一组传感电容检测出来。传统的信号调理方法是在公共电极G上加直流偏置，C、D电极上加相差180°的正弦驱动电压，在A、B上检出电容变化。由于静态电容很小，约2pf左右，柯里奥利力作用引起的电容变化量则更小，大约为1％。A、B需要与由高输入阻抗的运算放大器所构成的电荷放大器连接。驱动信号和敏感信号频率相同。由于驱动极和敏感极之间的杂散电容耦合相对于驱动电容或敏感电容处于同一量级，所以采用这种传统方法存在严重的信号耦合问题。被耦合到敏感极上的驱动信号比柯氏力产生的信号大数百倍。用相敏检波方法很难高精度地稳定分离出驱动和敏感两同频正交信号。也有许多用高频信号作为载波加在敏感电容上，企图解决原同频信号耦合的问题的作法，效果并不理想，另外也增加了电路的复杂性。
发明内容
本实用新型提供一种能够减小驱动信号对敏感信号干扰的低干扰电容式微陀螺敏感信号的单路谐波提取装置。
本实用新型采用如下技术方案一种用于实施上述方法的提取装置，由具有微陀螺公共电容电极G、驱动电容电极C、D和敏感电容电极A、B组成，其特征在于驱动电容电极C、D分别连接正负直流偏置电压，在敏感电容电极A、B上分别连接有反相放大器3、4且分别与反相放大器3、4的输入端连接，在反相放大器3、4输出端上连接有差动放大器5且反相放大器3、4输出端分别与差动放大器5的两输入端连接，在差动放大器5的输出端上连接有相敏整流器9且与相敏整流器9的输入端连接，在微陀螺公共电容电极G上连接有放大器7且与放大器7的输出端连接，在放大器7上连接有基波信号源2且与基波信号源2的输出端连接，基波信号源2的输出端依次经过倍频器15和移相器14后与相敏整流器9的相位参考端连接。
与现有技术相比，本实用新型具有如下优点本实用新型使基波信号源发出的基波信号经放大器进行电平变换后输至微陀螺公共电容电极。微陀螺的驱动电容电极用正负直流电压分别偏置，使机械振动频率与基波信号源频率相同。敏感电容电极处于零偏置，使理论上只有柯里奥利力才能在敏感方向产生机械振动。由于微陀螺公共电容电极柯里奥利力敏感方向的机械振动，改变了其与敏感电容电极的电容。驱动电压与驱动电容电极的机械振动在敏感电容中产生二次谐波电流。本实用新型利用利用差动方法从敏感电容所产生二次谐波电流中提取出与驱动方向正交的，即柯里奥利力敏感方向上的机械振动幅度和相位相关的二次谐波电信号(即敏感信号)。本实用新型利用差动方法使基波信号相消，二次谐波信号相长。当微陀螺的的机械参数(谐振刚度、质量、阻尼也即谐振频率和初相)是稳定的时，加在公共电容电极上的幅度频率稳定的驱动电压可以维持稳定的机械振动，即实现稳定的开环驱动。本实用新型用电路硬件或DSP软件产生一个与驱动电压相位同步的二次谐波信号作为相位参考信号，加到相敏整流的相位参考端的控制信号与柯里奥利力所产生的敏感信号同相位。敏感信号与参考信号进行相敏解调得到与转动速度和方向相关的模拟电平信号或数字信号。
本实用新型基本上消除了电容式微陀螺中驱动信号对敏感信号的干扰耦合，解决了电容式微陀螺中微弱的敏感信号的放大拾取问题，降低了对微机械加工精度的要求。
1、本实用新型将基波(驱动)信号加在公共极上，其它各极A、B、C、D交流接地或虚地，这样A、B、C、D之间的杂散耦合电容影响在理论上将为零。驱动频率与驱动方向的机械谐振频率相同。这里采用的二项特别技术a)驱动极C、D用正负直流分别偏置，同时通过大电容交流接地。C、D端交流信号被短路，无法耦合到A、B端。
b)敏感端不加直流偏置，驱动力相互抵消，在敏感方向不会产生驱动信号引起的基频振动。如果残存的结构工艺缺陷仍然存在，出现残余不平衡力，那么只要敏感方向的机械谐振频率不同于驱动信号的二倍频，驱动信号所引起的敏感方向的二倍频残余机械振动将是很微弱的，其幅值远小于柯氏力引起振动的幅值。如果驱动方向的力与敏感方向不完全正交，则静态时(转速为零时)在敏感方向也会出现与驱动方向同频的微弱机械振动，称基波残余耦合振动。基波残余耦合振动正比于驱动方向的机械振动幅值，该相位与驱动方向同向或反向。基波残余耦合振动与柯氏力引起机械振动叠加。如果驱动方向的机械振动处于线性区，则这种叠加也是线性的。
2、柯里奥利力敏感方向上的机械振动敏感极电容变化。这种变化使其通过的电流被二倍频调制。电容中的电流含有基波成分和二倍频谐波成分。由于两个敏感电容A、B的机械振动引入的变化是差动的，因此两敏感电容中电流的基波成分彼此同向，二次谐波相位彼此相反。敏感电容A、B中的二次谐波存在两种成分其一，柯氏力引起的变化成分，称为转动敏感二次谐波；其二，基波残余耦合振动引起的固定值，称为横向干扰。由于微机械加工工艺问题，使得驱动方向的机械振动少量地耦合到了敏感方向，产生了横向干扰二次谐波，其相位与柯里奥利力所产生的振动相位相差90。，即正交。实验还表明横向干扰二次谐波远小于转动敏感二次谐波的满量程值，而且为固定值。这里采用如下技术消除基波干扰a)利用差动放大器，使基波成分抵消(相减)，二次谐波增强(相加)。
当微陀螺的机械结构由于工艺问题不严格对称并且差动放大器也存在失调时，在差动放大后的信号中存在多种成分Ud＝转动敏感二次谐波+转动敏感直流+横向干扰二次谐波+残余基波调整差动放大器两输入部分的放大比率，可最大程度地消除残余基波成份。
b)利用带通滤波器，消除残余的基波成份，转动敏感直流成份，并对二次谐波放大。
3、将二次谐波进行相敏整流，消除与敏感信号正交的残余固定成分。相敏整流后的输出电压幅值正比于角速度，符号和角速度方向对应。
4、如果横向干扰二次谐波较大时，在静态时，即转动角速度为零时，检测敏感电容中的横向干扰二次谐波电流，也可推算出实际的机械振动的状态。如果认为机械振动的刚度、质量、阻尼是时不变的，那么根据静态检测可实现对机械振动的开环稳定性控制。
5、由于线性模拟电路(运算放大器)用量少，如果与小型化的DSP芯片结合，很容易实现传感器微型化，智能化。对于三轴陀螺共用一只DSP，这一优点更为突出。
图1是本实用新型结构框图，其中，8为低通放大器。
图2是本实用新型实施例电路图，其中，8为低通放大器。
具体实施方式
实施例1一种用于获取微陀螺单路敏感信号的谐波提取装置，由具有微陀螺公共电容电极G、驱动电容电极C、D和敏感电容电极A、B组成，敏感电容电极A、B交流虚地，驱动电容电极C、D经电源徬路电容交流接地，驱动电容电极C、D分别连接正负直流偏置电压，在敏感电容电极A、B上分别连接有反相放大器3、4且分别与反相放大器3、4的输入端连接，在反相放大器3、4输出端上连接有差动放大器5且反相放大器3、4输出端分别与差动放大器5的两输入端连接，在差动放大器5的输出端上连接有二次谐波带通放大器6，二次谐波带通放大器6的输出端上连接有相敏整流器9且与相敏整流器9的输入端连接，在微陀螺公共电容电极G上连接有放大器7且与放大器7的输出端连接，在放大器7上连接有基波信号源2且与基波信号源2的输出端连接，基波信号源2的输出端依次经过倍频器15和移相器14后与相敏整流器9的相位参考端连接，上述反相放大器3或4可以采用型号为LF155的运算放大器，反相放大器3或4的另一输入端接地，上述差动放大器5可以采用型号为……的……，放大器7由型号为LF155的运算放大器和电阻R73组成，运算放大器的一个输入端接地，电阻R73跨接于运算放大器的另一输入端与输出端之间，在运算放大器的另一个输入端上连接有相互串联的电阻R71和电容C71且电阻R71的另一端为放大器7的输入端，电容C711的另一端与运算放大器的另一个输入端连接，在相互串联的电阻R71和电容C71的连接点上连接有电阻R72和电容C72，电阻R72的另一端接地，电容C72的另一端与运算放大器的输出端连接，基波信号源2、相敏整流器9、倍频器15和移相器14可以采用下列二种具体方案之一，具体方案一为相敏整流器9由数字信号处理器DSP产生，差动放大器5的输出端与数字信号处理器DSP的A/D输入端连接，基波信号源2、倍频器15和移相器14由数字信号处理器DSP产生，基波信号从数字信号处理器DSP的D/A输出端输至放大器7的输入端，差动放大器5的输出端经二次谐波带通放大器6与数字信号处理器DSP的A/D输入端连接，上述基波信号源2是由数字信号处理器DSP产生的正弦信号序列来实现的，倍频器15和移相器14是由数字信号处理器DSP产生的二倍频并经移相的正弦信号序列来实现的，二次谐波带通放大器6可以采用型号为LF155的运算放大器。
权利要求1.一种涉及传感技术的电容式微陀螺敏感信号的单路谐波提取装置，由具有微陀螺公共电容电极(G)、驱动电容电极(C和D)和敏感电容电极(A和B)组成，其特征在于驱动电容电极(C和D)分别连接正负直流偏置电压，在敏感电容电极(A和B)上分别连接有反相放大器(3和4)且分别与反相放大器(3和4)的输入端连接，在反相放大器(3和4)输出端上连接有差动放大器(5)且反相放大器(3和4)输出端分别与差动放大器(5)的两输入端连接，在差动放大器(5)的输出端上连接有相敏整流器(9)且与相敏整流器(9)的输入端连接，在微陀螺公共电容电极(G)上连接有放大器(7)且与放大器(7)的输出端连接，在放大器(7)上连接有基波信号源(2)且与基波信号源(2)的输出端连接，基波信号源(2)的输出端依次经过倍频器(15)和移相器(14)后与相敏整流器(9)的相位参考端连接。
2.根据权利要求1所述的提取装置，其特征在于相敏整流器(9)由数字信号处理器(DSP)产生，差动放大器(5)的输出端与数字信号处理器(DSP)的A/D输入端连接，基波信号源(2)、倍频器(15)和移相器(14)由数字信号处理器(DSP)产生，基波信号从数字信号处理器(DSP)的D/A输出端输至放大器(7)的输入端。
3.根据权利要求2所述的提取装置，其特征在于差动放大器(5)的输出端经二次谐波带通放大器(6)与数字信号处理器(DSP)的A/D输入端连接。
4.根据权利要求1所述的提取装置，其特征在于驱动电容电极(C和D)经电源徬路电容交流接地，敏感电容电极(A和B)交流虚地。
专利摘要电容式微陀螺单路敏感信号的谐波提取方法及其提取装置，基波信号经放大后输至微陀螺公共电容电极并将其用正负直流分别偏置并接地，敏感电容电极接虚地，从敏感电容电极上分别提取出敏感信号并使其经反相放大器放大后，由差动放大器进行差动放大，输出信号经过相敏整流和低通放大后即得微陀螺敏感信号，上述由基波信号源发出的基波信号经二倍频和移相处理后作为相敏整流的相位参考端的控制信号，其装置由具有微陀螺公共电容电极、驱动电容电极和敏感电容电极组成。它能够减小驱动信号对敏感信号干扰。
文档编号G01C19/5776GK2715110SQ200420062218
公开日2005年8月3日 申请日期2004年6月29日 优先权日2004年6月29日
发明者陈建元, 苏岩, 周百令, 赵琪 申请人:东南大学