专利名称：具有板上表征单元的ic的制作方法
技术领域：
本发明涉及集成电路(IC)测试领域。
背景技术：
在制造期间，特别是在生产周期结束时，IC被测试以确保其质量和功能。如果在生产周期的任一点发现IC无法正常运行，或具有落在规定范围以外的操作参数，那么它会被废弃以便节省时间和金钱。
这种测试必须便宜和有效，并且必须使用尽可能少的专门的测试设备以便最小化测试成本。
除了确定功能性的测试以外，还执行其它测试以确定IC的一些操作参数，例如最大和最小工作电压和/或温度，以及最大和最小可用时钟频率。
这些测试能够实现IC的‘表征(characterization)’，并且还用昂贵的测试设备来执行。这种表征使用户很容易得到IC产品的规格说明，使他们能够确定器件对特定应用的适用性。因此，所执行的任何表征都必须正确，并且是集成电路器件的生产周期中的重要部分。
但是，由于成本的原因，并非所有的IC都被表征。在当前的工艺技术中，这仍是可以接受的。然而，在未来技术中，工艺扩展将以这样的方式增加，即单晶片上的管芯将得到不同的物理参数，因此，表征每个IC将成为强制性的，以保证得到高质量产品。在这种情况下，表征必须足够便宜，以便它可应用于每个IC。
图1示出了使用昂贵的测试设备所执行的一般表征过程的结果。图1是所谓的‘Shmoo图’，其示出IC的频率的表征与所述IC的电源电压的关系曲线。特别地，如图1所示的Shmoo图是表示当例如频率、电压、或温度之类的参数变化时特定测试如何通过或失败，以及该测试如何在所述IC上重复执行的图。失败区域的形状是有意义的，并且有助于确定失败的原因。在图1的Shmoo图中，通过被显示为白色正方形，并且失败被显示为灰色正方形。正常的电路工作的Shmoo图示出随电源电压增加的更好的高频性能，如图1所示。
为使表征测试可行，它们必须被快速执行，并且使用尽可能少的测试设备。但是，正如所提及的，由于新的半导体IC技术的增加的工艺变换(甚至在单晶片上)，表征测试不可能对每个IC产生相同的结果(即操作参数)。但是，为了确保低生产成本，使用测试设备在其生产过程结束时分别表征每个IC是不可行的。
US 2001/0035766(Nakajima)公开了用于提供器件(或产品)的表征的方法和器件。该Nakajima文献公开了，该方法可在IC测试器件中实施。然而，所嵌入的器件与将要测试的器件是分开的，由于Nakajima专利的方法和器件是针对另一个器件的表征的，因此并没有解决当前的表征问题。
因此，需要一种方法和系统，其能够提供节省成本并节省空间的IC表征，并且其避免需要独立的、昂贵的和/或大量的测试设备，以及其为每个IC提供可靠的表征数据。
发明内容
根据本发明的一个方面，提供由可操作用于为器件提供表征数据的整体表征单元来表征的半导体器件。
根据本发明的一个方面，提供表征包括功能器件的半导体器件的方法，其特征在于在半导体器件中提供整体表征单元，并从该整体表征单元中获得表征数据。
图1是在表征状态下的器件的Shmoo图；图2示出根据本发明的一个方面的IC结构；图3示出根据本发明的另一个方面的IC结构；图4示出根据本发明的另一个方面的IC结构。
具体实施例方式
图2示出一个IC 201，其具有根据本发明的一个方面的结构。
IC 201的电源电压和时钟信号分别由电压控制器203和时钟控制器205控制。根据本发明的一个方面，电压控制器203可操作用于将可变电源电压提供到在表征状态下的器件(DUC)207，而时钟控制器205可操作用于将可变时钟信号提供到DUC 207(即具有可变周期的时钟信号)。控制器203、205可被有效描述为‘表征参数控制器’，以便将它们的功能描述为可操作用于控制DUC 207的表征参数的控制器。
提供测试接口以便为控制器203、205提供指令。在图2的实现中，硬件或软件控制器在IC 201外部是可用的，以便执行表征。测试激励从外部通过接口施加于DUC 207。时钟控制器205还可操作用于从IC201输出时钟信号，以便使测试激励和其对外界的响应同步。
特别地，图2的系统的实现需要测试接口，其可操作用于为电压控制器203和时钟控制器205提供所要求的参数，以便启动表征过程。通过另外的接口从外部硬件或软件源向DUC 207提供测试激励。
DUC 207提供IC 201的功能性，并且IC 201的所有其它部分，例如电压控制器203和时钟控制器205都是辅助项，它们根据本发明在IC 201上提供测试功能性。
分别通过电压和时钟控制器203、205供应测试激励和可变电压以及时钟信号的组合允许相对于由控制器203、205控制的参数来表征DUC 207。在图2示出的实例中，用来执行表征的参数因此是电压和时钟周期。但是，应当理解，适于形成DUC 207的表征的任何参数都可由控制器203、205控制。
以这种方式，可在‘芯片内’执行IC表征，由此提供内置芯片表征(BICC)系统。
图3示出一个具有根据本发明第二实施例的结构的IC 301。在表征状态下的器件303(DUC)被可操作用于产生测试激励并观察响应的内置式自测试(BIST)硬件305包围。BIST的使用在本领域内是众所周知的。本发明并非直接涉及BIST，因此将不对此进行任何进一步的详细描述。
IC 301的电源电压和时钟信号由电压控制器307和时钟控制器309控制。如同在前的实施例，电压控制器307可操作用于将可变电源电压提供到DUC 303和BIST硬件305，而时钟控制器309可操作用于将可变时钟信号提供到DUC 303。时钟信号还被提供到BIST硬件305。控制器307、309都通过使用外部软件或硬件控制装置(未示出)来控制。控制器307、309通过IC 301的测试接口接收数据。
如同前面，DUC 303提供IC 301的功能性，并且IC 301的所有其它部分，例如BIST硬件305、电压控制器307以及时钟控制器309都是辅助项，其提供关于IC 301的测试功能性。
在图3的实现中，外部硬件或软件控制器用来执行表征过程。从内部通过BIST模块309来产生测试激励。通过测试接口输出测试结果。
采用类似于图2的系统的方式，控制器307、309可操作用于改变DUC 303的表征参数。对于该表征参数的每一个值，在DUC 303上执行测试。照这样，执行DUC 303的表征，其结果从IC输出，如上所述。这些结果可用来产生与图1所示相似的Shmoo图，以便相对于由控制器307、309控制的参数(即在图3的实例中分别为电压和时钟周期)提供DUC 303的表征。
图2和图3的实现提供了BICC功能性，但需要使用外部(相对于IC 201、301)软件或硬件。这样，由于不需要内部全局控制模块，因此可节省IC区域。
图4示出根据本发明的另一个实施例的IC 401。在图4中，BICC系统包括电压控制器403、时钟控制器405、DUC 407、以及由BIST硬件409提供的BIST功能性，与图3所示的相似。
提供测试接口以便为全局控制器411提供指令。在一种操作方法中，全局控制器411通过该测试接口接收提示，以启动表征过程。该提示可包括对全局控制器411开始该过程的请求，并且还可包括将在该过程期间被表征的芯片401的参数。
一旦接收了该提示数据，控制器411就可操作用于通过使用控制器403、405改变芯片401的一些参数(其在这种情况下分别控制电压和时钟信号)。
特别地，已通过测试接口接收必要的提示和表征参数之后，全局控制器411可操作用于通过使用控制器403、405来改变DUC 407的一些参数。在图4所示的实例中，控制器403、405分别控制DUC 407的电压和时钟信号，并将因此使DUC 407的表征能够相对于IC电源电压和时钟频率来执行。这种表征采用如以上参考图1所描述的Shmoo图的形式来有效描绘。
全局控制器411可操作用于对控制器403、405重复编程，由此可产生‘虚拟’Shmoo图。
如图2和图3所示的本发明的实现方式同样能够有利地产生‘虚拟’Shmoo图，但不是全局控制器为表征参数控制器提供数据，而是通过测试接口用软件或硬件来提供。
如果在表征过程中使用BIST(图3和图4)，则Shmoo图将仅仅具有通过/失败信息。但是，如果没有使用BIST(图2)，则Shmoo图还可包括每一测试的故障数。但是，通常，由本发明的表征过程产生的虚拟Shmoo图与使用外部测试设备产生的那些相同。对于由测试设备产生的Shmoo图来说必需的是，需要外部软件以便能够观察和估计Shmoo图。
本领域的技术人员应当理解，虽然参考电压和时钟控制器对本发明进行了描述，但DUC 403的任何适当参数都可由控制器403、405控制。电压和时钟控制器的使用并非旨在限制，而仅仅是被包括在此以便更好地解释由本发明所产生的发明概念以及特殊优点。
如果在IC 401上存在可用的存储模块413，则可以将所产生的Shmoo图保存在存储器中，因此可以在Shmoo图产生的结束时将其读出。这将使表征过程加速，因为将不需要在每个测量周期之后从IC输出时钟/电压数据。
但是，如果没有可用的存储模块，则直接通过测试接口输出表征信息。
本领域的技术人员应当理解，以上参考图2到图4给出的并在其中示出的实例被提出是为了更好地解释由本发明体现的发明概念，而并非旨在限制。特别地，应当理解，在此没有明确提及的本发明的替换实现是可以的。特别地，在芯片内和芯片外所执行的任务的确切性质(其指示芯片上存在的控制和测试模块的数目)可改变，以便例如适应特定应用，或者节省芯片空间。因此，以上仅参考附图所解释的实现给出了根据本发明的发明概念的IC结构的三个具体实例。
权利要求
1.一种包括功能器件(207)的半导体器件(201)，其由可操作用于为器件(201)提供表征数据的整体表征单元(203)来表征。
2.如权利要求1所述的半导体器件(201)，其中整体表征单元(203)可操作用于提供用于控制器件(201)的操作参数的控制信号。
3.如权利要求2所述的半导体器件(201)，其中整体表征单元(203)可操作用于提供用于控制器件(201)的电源电压的控制信号。
4.如权利要求2或3所述的半导体器件(201)，其中整体表征单元(203)可操作用于提供用于控制器件(201)的时钟信号的控制信号。
5.如权利要求1到4中的任何一个所述的半导体器件(201)，其中功能器件(207)可操作用于接收测试数据。
6.如权利要求5所述的半导体器件(201)，其中功能器件(207)可操作用于响应所述测试数据来产生测试响应。
7.如权利要求5或6所述的半导体器件(201)，其中功能器件(207)可操作用于从所述整体表征单元(207)接收控制信号。
8.如权利要求4所述的半导体器件(201)，其中整体表征单元(203)可操作用于将时钟信号从外部提供到所述器件(201)。
9.如前述权利要求中的任何一个所述的半导体器件(201)，包括测试接口，并且其中整体表征单元(207)可操作用于通过该测试接口接收数据。
10.如前述权利要求中的任何一个所述的半导体器件(201)，进一步包括可操作用于将控制数据提供到整体表征单元(207)的软件控制装置。
11.如前述权利要求中的任何一个所述的半导体器件(201)，进一步包括可操作用于将控制数据提供到整体表征单元(207)的硬件控制装置。
12.如权利要求10或11所述的半导体器件(201)，其中控制装置可操作用于通过器件(201)的测试接口将控制数据提供到整体表征单元(207)。
13.如权利要求5所述的半导体器件(301)，进一步包括可操作用于将测试数据提供到功能器件(303)的内置式测试硬件(305)。
14.如权利要求13所述的半导体器件(301)，其中内置式测试硬件(305)是符合IEEE 1149.1的。
15.如权利要求13或14所述的半导体器件(301)，包括测试接口，并且其中内置式测试硬件(305)可操作用于通过器件(301)的测试接口接收测试数据。
16.如权利要求13到15中的任何一个所述的半导体器件(301)，其中内置式测试硬件(305)可操作用于响应提供到所述功能器件(303)的所述测试数据来提供测试响应数据。
17.如权利要求16所述的半导体器件(301)，其中内置式测试硬件(305)可操作用于从器件(301)输出所述测试响应数据。
18.如前述权利要求中的任何一个所述的半导体器件(401)，进一步包括存储模块(413)，其可操作用于存储器件(401)的表征数据。
19.如前述权利要求中的任何一个所述的半导体器件(401)，进一步包括控制器(411)，其可操作用于将控制数据提供到整体表征单元(407)。
20.如权利要求19所述的半导体器件(401)，当其附加到权利要求13时，其中控制器(411)可操作用于将控制数据提供到内置式测试硬件。
21.如权利要求19所述的半导体器件(401)，当附加到权利要求18时，其中控制器(411)可操作用于同存储模块(413)通信。
22.如权利要求19所述的半导体器件(401)，其中控制器(411)可操作用于通过器件(401)的测试接口接收数据。
23.一种表征包括功能器件(207)的半导体器件(201)的方法，其特征在于在半导体器件(201)中提供整体表征单元(203)，并从该整体表征单元(203)中获得表征数据。
24.如权利要求23所述的方法，进一步包括提供用来控制器件(201)的操作参数的控制信号。
全文摘要
一种用于提供半导体器件(201)的内置式表征的系统和方法。该器件设有内置式整体表征单元(203)，其在不需要外部测试设备的情况下允许表征该器件。
文档编号G01R31/316GK1820205SQ200480019482
公开日2006年8月16日 申请日期2004年7月1日 优先权日2003年7月9日
发明者K·M·M·范卡姆 申请人:皇家飞利浦电子股份有限公司