专利名称：用于管理半导体特性评估装置的方法和其计算机程序的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体特性评估装置，并涉及在开发和制作晶片阶段的半导体器件中的评估和测量计算机程序和数据的管理。
背景技术：
在半导体元件的开发和制作中，采用了半导体特性评估装置来进行晶片流程管理，如根据未实审的日本专利公开No.[Kokai]H2 -56947的半导体参数测试装置。自然，晶片管理流程在诸如集成电路之类的半导体元件的量产中是重要的，并且优选地从半导体元件的开发阶段积累并建立知识以平滑移动到量产阶段。对于晶片制作流程，各个公司在2004年已经引入了300mm的晶片。然而，新工艺的开发必须一直进行下去以在每年都取得进展。
简而言之，在本说明书中，半导体元件的开发以及晶片流程管理被称为“晶片开发”。
图5中的简单示例被用来解释晶片开发期间的参数测试。在图5中，项目A(400)指示晶片开发中一系列各种计算机程序和各种数据类型之间的转变。项目中晶片的开发阶段被划分为阶段1(401)、阶段2(411)和阶段3(421)，其分别开发晶片类型A1的晶片(402)、晶片类型A2的晶片(410)和晶片类型A3的晶片(420)。晶片类型指在每个阶段中试制的晶片类型，并且由形成在晶片上的待测器件(DUT)的类型和数量来区分。晶片类型在阶段中总是相同的类型，但是有时候随着阶段中试制造的数目增加，类型会略有不同。
例如，考虑这样的情况，项目A的目标是向晶片中加入测试元件以用于新的评估项。在阶段1中，作为初始阶段，制作和评估测试元件的基本形状。在阶段2和3中，基本形状被略微改变和进步，最终在晶片上完成测试元件。
在每个阶段中，考虑传统参数测试的计算机程序和数据。在阶段1中，制作多个晶片类型A1(402)的原型晶片。为测试创建测试程序PA1(404)和其设置数据或参数设置数据SA1(406)。从每个原型晶片的测试结果中产生所得到的测试结果RA1(408)并存储RA1。类似地，在阶段2中，制作多个晶片类型A2(410)的原型晶片。创建测试程序PA2(412)和设置数据SA2(414)。产生并存储测试结果RA2(416)。在阶段3中，制作多个晶片类型A3(420)的原型晶片。预备测试程序PA3(422)和设置数据SA3(424)以用于测试。产生并存储测试结果RA3(426)。
在过去，这些计算机程序、设置数据和结果都被用户分配一个文件名，并且保存在软盘(注册商标)或硬盘上。然而，如果用户不注意文件名，则可能发生先前创建的计算机程序和设置数据被盖写的风险。此外，找到在其他项目中所用的计算机程序和设置数据，以及找到其他项目的测试结果以与最新的测试结果相比较是困难的步骤。这些搜索由所有用户的管理负责。因此，每个用户按照详细的规则输入文件名，并需要管理其自身的符号字段以保存每个文件的属性集合。
如果文件名不被故意改变并且数据被拷贝，则在每个阶段中保存的设置数据会被盖写。在对某些阶段的第一晶片试制进行测试时所用的设置数据不被保留，即使使用该数据是优选的。
换句话说，在上述由多个项目进行的半导体开发和制作的复杂流程中，用户并不容易管理项目，以能够重复使用各种计算机程序、设置数据和测试结果。
以上解释了图5中的简单示例。然而，在实际的晶片开发中，有时在一个晶片上形成有多个各种类型的DUT。预备有多个测试程序，并且这些程序包括在所有类型的多个DUT中所用的测试程序。一个测试程序利用多个设置数据来执行，测量数据的数目变得巨大。在该复杂情形中，非常难以提供管理，以能够重复使用各种计算机程序、设置数据和测试结果。
发明内容
本发明的目的是解决上述问题，并且提出了一种用在跨多个项目的晶片开发中的测试装置和其方法，以容易地管理并重用诸如半导体参数测试中所用的半导体特性评估装置的各种测试程序和各种数据类型(设置数据和测试结果数据)。
本发明的另一个目的是提出一种在上述的晶片开发中容易地管理半导体特性评估测试的测试程序和各种数据的计算机程序。
本发明的另一个目的是提供一种用于在被称为工作空间的单元中收集多个项目的测试程序和各种数据类型以管理晶片开发的生命周期的评估装置和其计算机程序。
本发明的另一个目的是提供一种能够在被称为工作空间的单元中通过基于工作内容或用户的访问权限加以区分来防止由于无意盖写而引起的数据丢失的评估装置和其计算机程序。
根据本发明的管理方法是在包括控制单元、存储器单元和输入/输出单元的半导体特性评估装置中的数据管理方法，并且包括选择包括用于测试多个晶片类型的测试程序的工作空间的步骤；记录历史并且存储所选的工作空间中的测试结果的步骤；以及从存储的测试结果的历史中搜索所需的测试结果的步骤。
此外，根据本发明的管理方法包括将设置数据存储为所选的工作空间中的历史的步骤；以及从存储的设置数据的历史中搜索所需的设置数据的步骤。
此外，根据本发明的另一种管理方法包括对多个晶片类型存储测试结果的步骤、搜索该测试结果的步骤、存储这些设置数据的步骤以及搜索这些设置数据的步骤。
此外，根据本发明的另一种管理方法包括通过搜索测试的日期和时间来搜索该测试结果的步骤。
此外，根据本发明的另一种管理方法包括存储该测试结果而不输入文件名的步骤。
此外，根据本发明的另一种管理方法包括具有包括用于测试多个晶片开发项目的测试程序的工作空间。
此外，根据本发明的计算机程序执行上述管理方法中的任何一个。
从上述内容可见，如果使用了本发明，则可以容易地管理在跨多个项目的晶片开发生命周期中的各种测试程序和数据类型，并且可以避免由大意的盖写而引起的测试程序和各种数据类型的丢失，而且搜索过去的测试程序和各种数据类型变得容易。因此，这些测试程序和各种数据类型变得容易重复使用，并且可以减少晶片开发的时间和成本。
图1是示出了根据本发明的实施例的框图。
图2是图示了根据本发明实施例的半导体特性评估装置的执行屏幕的示意图。
图3是示出了根据本发明实施例的工作空间的选择屏幕的示意图。
图4是示出了用于解释根据本发明的工作空间的效果的晶片开发流程的示意图。
图5是示出了根据传统技术执行的项目管理中的开发流程的示意图。
图6是解释根据本发明的管理方法的流程图。
具体实施例方式
参考图1，图1示出了基于本发明优选实施例的半导体特性评估装置10。半导体特性评估装置10包括由晶片上的待测器件(DUT)11中的多个管脚连接的各种测量单元(20、21、22)。每个测量单元20-22连接到控制单元12。控制单元12连接到输入和输出单元，如键盘13、鼠标15和监视器14。控制单元12遵循来自诸如键盘13或鼠标15之类的输入设备的输入、或存储在存储器单元60中的测试程序、或在执行测试程序以控制每个测量单元20-22时的设置数据，以获得测试结果，并将测试结果存储在存储器单元中。在控制单元12中提供有存储单元16和搜索单元18。存储单元16提供了用于将测试程序、设置数据和测试结果存储在存储器单元60中的功能。搜索单元18提供了用于搜索存储器单元60中的测试程序、设置数据和测试结果的功能。例如，诸如加载有Windows(注册商标)操作系统(OS)的个人计算机(PC)之类的计算机可用于控制单元12、存储器单元60、键盘13、鼠标15和监视器14。
存储器单元60中的多个工作空间中可以存储各种计算机程序和各种数据。图1图示了三个工作空间区域工作空间1(62)、工作空间2(64)和工作空间3(66)。每个工作空间可以管理覆盖多个项目的各种计算机程序和各种数据。工作空间1(62)可以由用于存储与该工作空间有关的各种测试程序的历史的测试程序历史区域82、用于存储与该工作空间的测试程序有关的设置数据的历史的设置数据历史区域84和用于存储与该工作空间有关的测试结果的历史的测试结果历史区域86。这三个历史区域(82-86)可以存储覆盖多个项目的各种计算机程序和各种数据，或者可以存储覆盖多个晶片类型的各种计算机程序和各种数据。因此，这并不意味着计算机程序和数据在工作空间中以项目名区别存储，而是在每个历史区域中混合存储了覆盖大量项目的计算机程序和数据。
应当注意，在本说明书中“历史”的表达方式是在用户没有明示指定文件名的情况下所存储的计算机程序和数据的积累，而不是保存改变目的或目标描述的列表。例如，测试程序历史区域82存储每种版本的在测试属于工作空间1(62)的晶片类型时所用的测试程序和用户想要保存的测试程序。设置数据历史区域84存储每种版本的属于工作空间1(62)的测试程序所用的设置数据和用户想要保存的设置数据。测试结果历史区域86存储与工作空间1(62)有关的已执行的测试的全部测试结果。
应当注意，当用户想要保存存储在每个历史区域中的计算机程序或数据的新版本的计算机程序或数据时，在制作在先版本的计算机程序或数据的拷贝的同时执行保存，并且不盖写在先的版本。保存形式可以是要保存的整个计算机程序或数据，也可以是用于管理区别的压缩形式。当用户希望保存新版本的测试程序或设置数据时，用户可以给定不是新版本的文件名的标题或名称并加以保存。这种情况下，注意标题几乎没有格式约束，除了不能是文件名以外。
测试结果历史区域86累积工作空间1(62)中每次测试执行的结果。同样，在这种情况下，无需用户在测试执行时指定保存文件名，测试结果可以自动从存储单元16存储到存储器单元60中。用户从测试结果历史选择所需的条目，并且可以显示或运行评估。在测试结果历史中，可以存储覆盖多个项目或晶片类型的测试结果。对于多个类型或多个DUT，可以积累多次的测试结果。例如，在对于某些DUT“试”测量之后进行测量时，每个测试结果被存储在历史中。
在测试程序历史82中，用户可以在创建测试程序的每个版本的拷贝的同时进行保存，这种创建通过为测试程序分配不是文件名的标题并保存来实现。
此外，与工作空间2有关的测试程序历史(70)、设置数据历史(72)和测试结果历史(74)被存储在工作空间2的区域64中。类似地，与工作空间3有关的测试程序历史(76)、设置数据历史(77)和测试结果历史(78)被存储在工作空间3的区域66中。
下面参考图4，图4示出了在本发明的实施例中被管理为一个工作空间的项目、晶片类型、各种计算机程序和各种数据之间的关系。图4在水平轴上示出了经过时间，在垂直轴上示出了项目类型，并且图示了从晶片开发生命周期所见的项目转变。
在图4中，从以上内容可见，对于项目A的每个阶段具体示出了晶片类型、测试程序、设置数据和测试结果。输入了数字以实现对原理的理解。
首先关注项目A。在阶段1(331)中，制作晶片类型(302)的规定原型晶片。指示为306和308的两个测试程序被预备为要使用的测试程序(303)。这些测试程序(303)所用的设置数据304被预备为三个集合310、312和313。四个集合314、315、316和317的结果被积累为相应的测试结果(305)。
随后，在阶段2(332)中，开发目标在该阶段中发生变化，要制作两种晶片类型320和321的规定晶片，必须创建应用于这些晶片类型的测试程序和设置数据，并积累测试结果。与用于阶段1的晶片类型的DUT的条目相同的条目有时也用于阶段2的晶片类型的DUT。这种情况下，与阶段1相同的对象被用在阶段2的测试程序和设置数据中。
在阶段3(333)中，要制作一种晶片类型的规定晶片。预备测试这种晶片类型所需的测试程序和设置数据。积累相应的测试结果。
随后，当检查项目B时，在项目A的阶段3开始的同时开始项目B的阶段1(350)。也使用直到项目A的阶段2为止的测试程序和设置数据。这种情况下，在本发明中在在先项目A中所创建的测试程序和设置数据可以通过由图1中的搜索单元18从监视器14上所示的屏幕(图2)中进行搜索(将在后面描述)，而容易地被用在项目B的测试中。当检查重新使用的测试程序的测试结果时，在本发明中图1的搜索单元18可以在项目A的测试结果中搜索相同测试程序的测试结果。例如，可以很容易地对当前测试结果中的不利趋势是否已在先前发生过进行比较。
之后，项目B到达最后一个阶段(354)，项目结束。然后开始项目C的阶段1(360)，并执行直到最后一个阶段(364)。无需多说，在项目C的任何一个阶段中，都可以使用本发明的搜索单元18，并且搜索单元18可以容易地搜索对应于项目A或项目B的计算机程序或数据。
在传统的半导体特性评估装置中，用户负责管理，并进行晶片开发生命周期的回顾和改进。例如，在项目A的阶段1(331)中，创建了两个测试程序，使用了三个设置数据集合，并且保留了四个测试结果集合。在设置数据中，只可以改变一小部分内容。根据本发明，即使用户不明示分配文件名，也可以容易地保留历史。另外，内容被保留为设置数据的完整集合。例如，在项目B的阶段1中所用的设置数据很容易使用在项目A的阶段2中所用的最终版本的设置数据的在先版本。测试结果也可以被保存，而无需用户分配文件名(包括关于重复相同任务的多个结果)，因此，对于结果的缺陷部分可以容易地进行分析。
在本发明中，对晶片开发中一系列项目的管理和与多个晶片类型有关的计算机程序和数据可以当作相同工作空间中的事件进行处理，并且可以实现上述优点。
随后参考图2，图2示出了在根据本发明的实施例中的设置数据和测试结果历史的管理。图2图示了在根据本发明的实施例中，在选择了某些工作组，并选择了测试程序MOS Vth的情况下显示在监视器14上的测试的执行环境。类别(Category)100是用于选择测试程序的技术领域的分段。下面由标号101指示的封闭分段是用于在所选的技术领域中选择测试程序(也称为应用)的分段。
形成有对应于所选测试程序的设置数据的屏幕区域是由103指示的封闭区域。该区域103通过选择测试程序来显示。参数可以通过在该区域的每个字段中输入或选择所需的设置数据(即参数)来设定。设置数据的标题显示在108指示的字段中。为了在历史中存储一个集合的设置数据，点击由标号103指示的封闭分段右端的“存储(Store)”按钮。在存储时不一定要输入文件名。当点击存储按钮时，区域103中显示的设置数据被添加，并被显示为区域104的手动设置(On Hand Setup)的图标列表分段中的图标。在区域104中，三个历史集合已经被保存为与计算机程序Vth有关的设置数据。因此，设置数据可以仅通过点击区域103的存储按钮来保存。
测试在区域106封闭的分段中执行。例如，如果点击“单次(Single)”按钮，则测试程序只执行一次。所需的重复次数在“测试计数(Test count)”字段中设定。当点击“重复(Repeat)”按钮时，测试程序可以重复执行所需的次数。
测试结果在区域102封闭的分段中列为测试的执行历史。设置数据的标题(设置标题，Setup Title)、执行时间(日期，Date)、执行次数(计数，Count)、被称为目标ID(Target ID)的测量对象的ID和被称为备注(Remark)的用于写注释的字段被显示以区分测试结果。通过点击所需的题目(heading)，显示可以变为题目内容的分类显示。测试结果通过执行测试程序被自动存储。用户不必每次指定文件名，并且所需的测试结果可以例如基于日期来被区分和选择。当区分很困难时，在备注下输入关于区分的暗示。也可以容易地在“标记(Flag)”字段中设定各种标记。相应的测试程序名和设置数据名被链接并存储在测试结果中，而且重复执行变得简单。
从以上内容可以理解，在根据本发明的实施例中，每个项目名并不被明示地管理。用户可以在测试程序标题、设置数据标题、对象ID或备注中包括项目名。即使用户不在这些字段中写入项目名，所所需的测试结果也可以从这些字段的内容或执行次数中加以区分。换句话说，在区域104中显示的设置数据的历史列表中或在区域102中显示的测试结果的历史列表中，与多个项目有关的条目在属于相同工作空间的情况下被混合并被显示。然而，测试结果可以由日期分类，如果期望显示限于当前项目结果的列表的话。如果要搜索过去的数据，则通过适当的分类，使得发现这些数据变得简单。为了避免用户每次保存时的复杂操作，用户可以在需要搜索时以简单操作灵活响应，对于用户的负担也非常小。这些优点来源于这样的事实，即存储单元16不需要文件名输入，并且搜索单元18仅仅通过由控制单元12提供的对题目(其条目是本发明特有的)的点击来重新分类。
下面参考图3，图3示出了工作空间的选择屏幕200。当用户开始使用半导体特性评估装置(其是根据本发明的实施例)时，工作空间的选择屏幕200被显示，并且可以在任何工作空间中选择开始哪一项操作。当在目标工作空间(Target Workspace)所示的框架中创建新的工作空间时，区域202被选择。当用户选择现有工作空间时，在区域204中进行选择。每个用户工作空间中的信息被显示，可以使用的其他用户的(公共，public)工作空间和仅限于所有者使用的(私有，private)工作空间也被显示。这些设置可以改变。另外，用户是否有使用工作空间的许可可以预先建立。
可以通过为多个用户创建工作空间并基于与一个用户有关的工作内容选择工作空间，或者注册允许使用每个工作空间的用户，来防止计算机程序和数据的无意损失。因为如果工作空间不同，则设置数据和测试结果就不能被访问，所以可以防止错误地盖写某些用户很久以前执行的项目的设置数据和在未被许可的情况下错误地改变项目的设置数据。
最后参考图6，图6示出了根据本发明的管理方法的流程的概述图。首先，在步骤502中，该计算机程序开始。随后在步骤504中，使用用户名来登录。该登录可以使用在PC中设定的用户的登录功能。步骤504可以省略。此外，在步骤506中，选择工作的工作空间。可以创建新的工作空间。
随后在步骤510中，指定或选择用于要测试的晶片上的DUT的测试程序。如果需要，可以加入变化并存储这些变化。此时，测试程序可以搜索、选择或指定已经存储在半导体特性评估装置中的条目。或者，可以新创建测试程序，并且可以指定该程序。
随后在步骤512中，指定或选择在执行测试程序时所用的设置数据，如果需要，可以加入变化并存储这些变化。设置数据是被搜索和指定的现有数据，或者是新创建和指定的，并且可以使用适用于测试程序的相同操作。
随后，在步骤514中运行测试。执行可以重复某些次，并且可以检查结果并再次执行。
随后在步骤516中，搜索并评估测试结果。如果只有该结果被搜索出并被显示，则在该步骤中包括搜索并与过去的测试结果比较。
随后在步骤518中，判决是否要继续进行另一个测试。如果选择继续(是)，则返回到步骤510。如果不(否)，则进行到步骤520，流程结束。
上面解释了根据本发明的实施例。该实施例仅用于说明，本领域的技术人员应当能在本发明的权利要求的范围内进行各种修改和变化。例如，上述的鼠标15可以被点选设备取代，如跟踪球、接触垫或接触面板。
权利要求
1.一种半导体特性评估装置中的管理方法，该管理方法是包括控制单元、存储器单元和输入/输出单元的半导体特性评估装置中的数据管理方法，其中所述管理方法包括选择包括用于测试多个晶片类型的测试程序的工作空间；将所述所选的工作空间中的测试结果存储为历史；以及从先前存储的测试结果的历史中搜索所需的测试结果。
2.如权利要求1所述的管理方法，还包括将所述所选的工作空间中的设置数据存储为历史；以及从先前存储的设置数据的历史中搜索所需的设置数据。
3.如权利要求2所述的管理方法，其中所述存储测试结果的步骤、所述搜索测试结果的步骤、所述存储设置数据的步骤和所述搜索设置数据的步骤对应于多个晶片类型。
4.如权利要求1所述的管理方法，其中所述搜索测试结果的步骤搜索测试的日期和时间。
5.如权利要求4所述的管理方法，其中所述存储测试结果的步骤不输入文件名。
6.如权利要求1所述的管理方法，其中所述工作空间包括用于测试多个晶片开发项目的测试程序。
7.一种执行半导体特性评估装置中的管理方法的计算机程序，该管理方法是包括控制单元、存储器单元和输入/输出单元的半导体特性评估装置中的数据管理方法，其中所述管理方法包括选择包括用于测试多个晶片类型的测试程序的工作空间；将所述所选的工作空间中的测试结果存储为历史；以及从先前存储的测试结果的历史中搜索所需的测试结果。
全文摘要
本发明公开了一种由控制单元、存储器单元和输入/输出单元组成的半导体特性评估装置中的数据管理方法，包括选择包括用于测试多个晶片类型的测试程序在内的工作空间的步骤；将所选的工作空间中的测试结果存储为历史的步骤；以及从存储的测试结果的历史中搜索所需的测试结果的步骤。
文档编号G01R31/28GK1825131SQ20061005767
公开日2006年8月30日 申请日期2006年2月24日 优先权日2005年2月25日
发明者石塚好司 申请人:安捷伦科技有限公司