专利名称：气针式传感器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种气针式传感器。
背景技术：
气动测量方法是以高压气体作为测量介质，利用气体在气室中的流量或压力随喷嘴的几何尺寸或形状的不同而改变的特性，将尺寸量或位移量转换成流量或压力的变化量，并进一步转化为电参量，从而实现尺寸和位移的测量。由于气动传感方式可以实现非接触测量，并且高压气流喷向工件表面时具有清洁作用，对环境要求不高；加之结构简单、操作维护方便、造价低等优点而广泛应用于机械、冶金、航天等领域。现有的气动测量一般采用φ0.4～φ2mm的喷嘴尺寸，其测量精度无法继续提高。对于小尺寸公差高精度测量场合，要求测量点面积小、分辨力高，现有的气动测量方法显然无法满足要求。
发明内容
本发明的目的是提供一种气针式传感器，它是一种可以将气动测量技术拓展到用于微尺寸公差的高精度气动测量传感器。
本发明是这样来实现的，它包括针体、压力传感器，其特征是针体的一端为进气喷嘴，另一端为测量喷嘴，针体壁上连接压力传感器，针体内腔为气室。
本发明的另一技术方案是在针体的一端连接压力传感器，另一端为测量喷嘴，针体壁上开有进气喷嘴，针体内腔为气室。
本发明的优点是(1)结构微小化设计，使安装使用方便；(2)测量分辩率高，可用于亚微米尺寸测量。
图1为本发明的直线式进气结构示意图；图2为本发明的侧进式进气结构示意图；在图中1、针体 2、压力传感器 3、进气喷嘴 4、气室 5、测量喷嘴 6、工件
具体实施例方式
如图1所示，本发明它包括针体1、压力传感器2，其特征是针体1的一端为进气喷嘴3，另一端为测量喷嘴5，针体1壁上连接压力传感器2，针体1内腔为气室4，整个针体1呈圆柱状，直径小于10mm，长度小于100mm。其进气喷嘴3与测量喷嘴5中轴线平行或重合。喷嘴直径使用微细加工方法，直径100um左右。在测量时工件6对着测量喷嘴5，测量喷嘴喷射的气流呈圆柱状，形如细针。测量的位移分辨率可达0.1um。
如图2所示，本发明它包括针体1、压力传感器2，其特征是针体1的一端连接压力传感器2，另一端为测量喷嘴5，针体1壁上开有进气喷嘴3，针体1内腔为气室4，针体1也为圆柱状，直径小于10mm，长度小于100mm。其进气喷嘴与测量喷嘴中轴线垂直。喷嘴直径使用微细加工方法，直径100um左右。测量时工件6对着测量喷嘴5，测量喷嘴喷射的气流呈圆柱状，形如细针。测量的位移分辨率可达0.1um。
权利要求
1.一种气针式传感器，它包括针体、压力传感器，其特征是针体的一端为进气喷嘴，另一端为测量喷嘴，针体壁上连接压力传感器，针体内腔为气室。
2.一种气针式传感器，它包括针体、压力传感器，其特征在于针体的一端连接压力传感器，另一端为测量喷嘴，针体壁上开有进气喷嘴，针体内腔为气室。
全文摘要
一种气针式传感器，它包括针体、压力传感器，其特征是针体的一端为进气喷嘴，另一端为测量喷嘴，针体壁上连接压力传感器，针体内腔为气室。本发明的优点是(1)结构微小化设计，使安装使用方便；(2)测量分辨率高，可用于亚微米尺寸测量。
文档编号G01B13/02GK1948898SQ20061012490
公开日2007年4月18日 申请日期2006年10月30日 优先权日2006年10月30日
发明者梁发云, 赵前程, 邓善熙 申请人:南昌大学