专利名称：水平传感器的制作方法
技术领域：
本发明涉及检测激光的受光位置的中心的水平传感器。 (优先权主张)
本申请主张基于2005年11月29日向日本专利局提出的日本专利申请 2005-343360号的优先权，并在此引述其内容。
背景技术：
现有技术的、上下并列设置有多个受光元件的水平传感器已为人所知。例 如，参照日本专利特开2004-309440号公报。
这样的水平传感器是由多个放大器分别对从各受光元件输出的受光信号 进行放大，再用多个比较器分别对各放大器输出的信号和阈值进行比较，根据 各比较器输出的比较信号求出作为激光束的中心位置的水平位置。
这种水平传感器中，由于必须对各受光元件设置放大器和比较器，所以存 在电路复杂，造价高等问题。
因此，很有必要寻求一种仅设置简单的电路就能检测出激光的受光位置的 水平传感器。
发明内容
为了满足上述需求，本发明的第一特征在于具备并列设置的多个受光元件 的水平传感器，所述多个受光元件的相互邻接的输出端子分别用电阻相连接， 由连接于所述水平传感器上的运算控制装置根据从所述被连接的受光元件的 两端输出的信号比较输出信号，由此来解析受光位置。
本发明的第二特征在于沿受光元件的排列方向配置有多个水平传感器。 本发明的第三特征在于改变连接于所述受光元件上的电阻的大小使输出 端的信号比达到相等的受光位置变化，由此，所述运算装置以任意位置为受光 位置检测的基准，解析受光位置。本发明的第四特征在于对所配置的所述多个水平传感器的输出信号之比 进行加权平均，再用运算装置解析受光位置。本发明的第五特征在于连接配置多个水平传感器通过比较相邻的水平传 感器的输出，来解析该相邻的水平传感器之间的受光位置。本发明的第六特征在于所述连接配置的水平传感器被设置成使得相邻的 水平传感器的受光位置相重复。本发明的第七特征在于检测激光的受光位置的中心的水平传感器中，具有 一个极连接在一起而排列起来接收激光的多个受光元件、连接在所述受光元件 的另一个极和邻接该受光元件的另一个极之间，变换为与接收的激光的光量成 比例的电信号的第一电信号变换元件、与配置在所述多个受光元件中的一个方 向的最端部的受光元件的另一个极相连接，变换为与接收的激光的光量成比例 的电信号的第二电信号变换元件、与配置在所述一个方向的相反方向的最端部 的受光元件的另一个极相连接，变换为与接收的激光的受光量成比例的电信号 的第三电信号变换元件以及接收所述第二电信号变换元件中发生的第一电信 号和所述第三电信号变换元件中发生的第二电信号的计算机，所述计算机具有 根据所述第一电信号和所述第二电信号进行求出所述第一电信号和所述第二 电信号之比的运算的运算解析处理部以及对所述多个受光元件的排列的原点 位置处的信号之比与由所述运算求出的结果进行比较的比较解析处理部。本发明的第八特征在于检测激光的受光位置的中心的水平传感器中具有 第一受光部、与该第一受光部的一个端部相连接，变换与接收的激光的光量成 比例的电信号的第一电信号变换元件、与所述第一受光部的另一个端部相连 接，变换为与接收的激光的光量成比例的电信号的第二电信号变换元件、光一 电特性与所述第一受光部相同且与该受光部结合起来的第二受光音^与该第二 受光部的一个端部相连接，变换为与接收的激光的光量成比例的电信号的第三 电信号变换元件、与该第二受光部的另一方的端部相连接用来变换为与接收的 激光的光量成比例的电信号的第四电信号变换元件以及接收所述第一电信号 变换元件中发生的第一电信号、所述第二电信号变换元件中发生的第二电信 号、所述第三电信号变换元件中发生的第三电信号和所述第四电信号变换元件 中发生的第四电信号的计算机，所述计算机具有根据所述第一电信号和所述第 二电信号进行求出所述第一电信号与所述第二电信号之比的运算的运算解析处理部以及对所述多个受光元件的排列的原点位置处的信号之比与由所述运 算求出的结果进行比较的比较解析处理部。本发明的第九特征在于具有本发明的第八特征的发明中，所述第一受光部 与所述第二受光部具有规定量的重复部分。本发明的第十特征在于具有本发明的第九特征的发明中还具有第三受光 部和第四受光部，该第三受光部与所述第二受光部结合，而且具有规定量的重 复部分，该第四受光部与所述第三受光部结合，而且具有规定量的重复部分。
图1是表示本发明的第一实施例的水平传感器的结构框图。图2是表示配置成受光元件间距不同的受光元件的示意图。图3是表示本发明的第一实施例的运算控制装置的结构框图。图4是表示本发明的第一实施例的水平传感器的功能的流程图。图5是表示本发明的第二实施例的水平传感器的结构框图。图6是表示本发明的第二实施例的受光部的电路图。图7是表示从本发明的第二实施例的受光部输出的输出信号和受光位置的关系的有关点光源的图表。图8是表示本发明的第二实施例的变形是使两个受光部的一部分重叠的说明图。图9是表示从本发明的第二实施例的受光部输出的输出信号和受光位置 的关系的图表，示出束径大时的状况。图IO是表示本发明的第三实施例，是具有四个受光部并且使其受光部的 一部分相互重叠的说明图。符号说明10 水平传感器11X 受光部PDXl PDXn 受光传感器RXl RXn 电阻具体实施方式
以下根据
本发明的水平传感器的实施方式即实施例。图1是表示本发明的水平传感器10的结构框图。该水平传感器10设置有 受光部IIX、放大从该受光部11X的一个端子lla输出的受光信号的第一放大 电路20X、保持从第一放大电路20X输出的放大信号的峰值的第一峰值保持电 路12X、放大从受光部分11X的另一个端子llb输出的受光信号的第二放大电 路40X、保持从第二放大电路40X输出的放大信号的峰值的第二峰值保持电路 13X以及根据第一和第二峰值保持电路12X、 13X所保持的峰值解析并求出受 光部11X的激光的受光位置的运算控制装置(运算控制器)60。受光部IIX是将例如由光电二极管、PIN光电二极管等构成的多个受光元 件PDXl PDXn+l上下(垂直方向)并列设置且用电阻RXl RXn连接在各个受 光元件PDXl PDXn+l的阳极之间而成的部件。换言之，是分别用电阻RX1 RXn将相邻接的受光元件PDXl PDXn+l的输出端子连接而成的部件。此外，受光元件PDX1的阳极经电阻RXH接地；受光元件PDXn+l的阳极经 电阻RXL接地。一般，将光电二极管用作受光元件，但是，如果要求高速性，则可以采用 PIN型光电二极管。运算控制装置60具有将第一、第二峰值保持电路12X、 13X的峰值变换为 数字的数字变换电路部61和根据被该数字变换电路部61变换出的数字值解析 并求出受光部11X的激光的受光位置的运算解析控制部62。下面，说明如上构成的水平传感器10的动作。首先，简单说明激光在被照射的受光部11X上的位置即受光位置P的求 法。图1示出激光和受光位置P。一旦激光照射在受光元件PDXl PDXn+l上，则接收激光的受光元件中就 产生电流Ip。由于该电流流经电阻RXH、 RXL，所以在该电阻的两端产生电压。设电阻RXH、 RXL的电压分别为VXh、 VX1，假设电阻RX^电阻RXL。此外， 为了有效地检测出受光位置P，只要ER (RXl RXn的总和)〉>RXH (RXL) 即可。受光位置P以第1受光元件PDX1的中心和第n+l受光元件PDXn + l 的中心之间的中间点到激光照射位置的距离Lp来表示。在图1上，将第1受 光元件PDX1的中心和第n+l受光元件PDXn+l的中心之间的中间点设定为原点位置，到受光位置P的距离Lp可以由下式(1)算出。Lp = L/2X ((VXh—VXl) / (VXh+VX1))…(1)其中，L是受光部11X的长度。该长度L表示第1受光元件PDX1的中心 和第n + l受光元件PDX n+l的中心之间的长度。下面，来求受光位置P处的输出电压VXp。若将从受光位置P看的到RXH、 RXL为止的电阻值的总和分别设为i:RXh、 ERX1，则将ERXh和i:RXl并联能 够求出受光位置P处的表观电阻RXp。即，RXp= (ERXhXERXl) / (ERXh + ERX1)。因此，受光位置P上的输出电压VXp是VXp二IpXRXp。此外， 一旦求出VXh和VXl，则能够得到VXh=VXpXRXH/ ERXh、 VX1 = VXpXRXL/ ERX1。以下记载了这些数值的一例。可以使用波长为500nm 1000nm的激光，在本实施例中使用波长为870nm 的激光。对于870nm波长的激光，受光元件的变换增益(发射灵敏度)是0. 47A /W。当激光的发射输出密度为lmW/mm2时， 一个受光元件产生的电流Ip是 Ip=l,2 XO. 47A/WXlmW/mm2=0. 47mA。实际上，将PIN光电二极管用作受光元件，其受光面积(一般称为有效面 积)为1腿X1腿。某个二极管和与其相邻接的二极管的距离即间距的长度必 须是5mm或者小于5mra，在本实施例中的实际安装间距的长度是3. lmm。受光 元件的个数是20个(PDX1 PDX20)，因为其长度L是由实际安装间距的长度 和受光元件的个数一1的乘积来求出，所以L二3. lmmX 19 = 58. 9mm。当VXh二2. 88V、 VX1 = 2. 72V时，为了算出公式(1)的Lp，将上述数值 代入，得出Lp二32.25mm。还得出RX1 = =RX19 = 7. 5 Q 、 ERXh = 123. 5 Q 、 ERX1 = 131Q、 RXp = 63. 6Q、 lp=0. lmA、 VXp = 6. 36 mV的值。另一方面，某个受光元件和邻接的受光元件之间的电阻为RX1到RX19， 其电阻值相等，即RX1二…二RX19二7. 5Q，连接在PDX1的阳极上的电阻RXH 和连接在PDX20的阳极上的电阻RXL是RXH二RXL二56Q。因此，ER二ERX1 + +RX19 = 142. 5Q，这种情况下，ER RXH (RXL)不成立。实际上，即便在刃1 1 01 (RXL)不成立的情况下，只需要乘以激光照 射在受光部11X的终端位置时的光量比a即可，这一数值可以容易地从各电阻 RXl至RXn和RXH、 RXL算出来。虽然该光量比a可以从作为传感器中心处的输出和位于传感器最端部的 受光元件的输出之比的输出比求出，但由于这些输出可用电阻值表示，所以可表示成a 二(ERXn+RXL) / (ERXn — RXH)。可以根据下式使用光量比a算出到受光位置P的距离Lp。 Lp=aXL/2X ((VXh—VX1) / (VXh+VX1))…(l') 具体地讲，如果i:RXn二142. 5Q、 RXL=RXH=56Q，那么a = (142.5 +56) / (142.5 — 56) 二2.294。此外，虽然在本实施例中将受光元件之间的间隔设定为等间隔，但是，实际上不必是等间隔，能够通过调整受光元件之间的电阻值得到与等间隔同样的状态。图2是表示配置成作为受光元件之间间距的间距不同的受光元件的示意 图。最初，配置五个受光元件，使之对邻接的受光元件分别保持间距L，并假 设邻接的受光元件的阳极之间连接有电阻值为R的电亂接下来如图2所示， 将配置在上方的三个受光元件之间的间距L分别改为L的1. 5倍即1. 5XL， 则需要将电阻值R也改成1.5倍即1.5XR。具体地讲，如果间距L为3. l腿，电阻值R为7. 5 Q ，当间距成为L的1. 5 倍即4. 65mm时，电阻值R也需要改成1. 5倍即11. 25 Q 。另外，无需使用受光元件的性能(面积、光电变换量)同等的受光元件。 总之，利用电压VXh和VX1的比率能够容易地算出高度位置Lp。一旦受光部IIX接收从未图示的旋转激光装置发射出来的激光则该受光 部11X的受光位置即接收到激光的受光元件PDX放出对应于其受光量的电流， 从端子lla、 lib输出与该受光元件PDX的电流和该受光元件PDX的位置对应 的电压(VXh、 VX1)的受光信号。该电压VXh、 VX1由第一、第二放大电路20X、 40X进行放大。由第一、第 二峰值保持电路12X、 13X保持经该第一、第二放大电路20X、 40X放大过的受 光信号的电压的峰值。图3是表示本发明的第一实施例的运算控制装置60的结构框图。省略了 由受光部11X进行的激光的检测和向电压的变^由第一放大器20X和第二放 大器40X进行的电压放大、由第一峰值保持电路12X和第二峰值保持电路13X 进行的电压峰值的保持等的框图。运算控制装置60具有将模拟信号变换成数字信号的数字变换电路部61
和与该数字变换电路部61相连接的运算解析控制部62o该运算解析控制部62 具有接收数字变换后的信号的输入部即数字信号输入部63、对所输入的数字 信号的运算/比较的解析等进行控制的运算解析控制部64、对所输入的数字信 号进行运算并解析/处理的运算解析处理部65以及对所输入的数字信号进行 比较并解析/处理的比较解析处理部66。
图4是表示本发明的第一实施例的水平传感器10的功能的流程图。参照 图l，说明图4所示的流程。在步骤S1，受光部11X检测出激光。分别用电阻 RXH、电阻RXL检测出电压VXh、 VX1;在步骤S2，分别由第一放大器20X和第 二放大器40X放大这些电压VXh和VXl。之后，这些己被电压放大过的信号分 别由第一峰值保持电路12X和第二峰值保持电路13X保持电压的峰值。
在步骤S3，这些模拟信号被输入到运算控制装置60，并由数字变换电路 部61变换成数字信号。如步骤S4所示，这些数字信号是基于模拟信号电压 VXh、 VX1的信号。在步骤S5，这些数字信号被输入到运算解析处理部65，如 步骤S6所示，从信号比的运算开始，进行加减乘除的运算解析。在步骤S7， 比较解析处理部66进行比较零位置受光时的信号比和上述运算处理结果的比 较解析处理。
其结果，在步骤S9，如式(i)和(r)所示，求出到受光位置P的距离。 另外，运算解析控制器64被连接于运算解析处理部65，控制其运算解析， 同时还被连接于比较解析处理部66，控制其比较解析。
如上所述，只设置第一、第二放大电路20X、 40X和第一、第二峰值保持 电路12X、 13X即可，而不必像现有技术那样对每一个受光元件PDXl PDXn十 1设置放大器和比较器，因此能以简单的结构完成其电路构成。
图5是表示采用第二实施例的受光部111的水平传感器110的结构框图。 受光部111由受光部IIX和受光部11Y的结合而构成。受光部IIY沿受光 部11X的受光元件PDXl PDXn + l的并列设置方向配置。
图6是表示本发明的第二实施例的受光部的电路图。受光部IIX在有关图 1的说明中已有记载，在此省略其记载。如图6所示，受光部11Y与受光部11X 一样，上下并列设置由光电二极管等构成的多个受光元件PDYl PDYn+l，各 个受光元件PDYl PDYn+l的阴极之间分别用电阻RYl RYn连接。此外，受光元件PDY1的阴极经电阻RYH接地，受光元件PDYn+l的阴极经电阻RYL接地。 在图5中，20Y是对从受光部11Y的一个端子llYa输出的受光信号进行 放大的第三放大电路，12Y是保持从第三放大电路20Y输出的放大信号的峰值 的第三峰值保持电路，40Y是对从受光部11Y的另一个端子11Yb输出的受光 信号进行放大的第四放大电路，13Y是保持从第四放大电路40Y输出的放大信 号的峰值的第四峰值保持电路，160是根据第一 第四峰值保持电路12X、 13X、 12Y、 14Y保持的峰值解析并求出受光部11X、 IIY的激光的受光位置的 运算控制装置。该运算控制装置160具有数字变换电路部161和运算解析控制 部162，而该运算控制装置160的功能和图1记载的运算控制装置60的功能 相同。因此，在此省略其说明。
下面，说明如上构成的受光部111和水平传感器110的动作。 在此，为了便于说明，假定受光部11X和受光部11Y之间不存在间隙，且 不存在重复部分。
因为受光部11X、 IIY分别经电阻RXH、 RXL、 RYH、 RYL接地，所以根据被 照射到受光部11X、 11Y的激光的位置，从受光部11X、 11Y的端子11a和llb、 11Ya和11Yb输出的VXh和VX1、 VYh和VYl的信号输出的电压出现差异。
这些信号输出与激光照射的位置关联，并随其位置的变化而变化。
若激光为理想的点光源，则从受光部11X、 11Y的各端子lla、 llb、 llYa、 llYb输出的电压VXh、 VX1、 VYh、 VY1如图7中的图表所示。
只关注受光部11X，可由下式(2)算出从端子lla、 llb的输出电压VXh、 VX1到受光位置P的距离Lx。
Lx=aXL/2X (VXh—VX1) / (VXh+VXl)…(2)
若将在实施例1中使用的数值L二58.9匪，a =1.786代入(2)式，那么 Lx = 52.5977X (VXh—VXl) / (VXh+VXl)。
对于受光位置P处的输出电压VXp，根据欧姆定律，电压和电阻存在正比 关系。也就是说，即使激光的功率变化、电流变化，VXh、 VXl的比率也不变， 仅仅取决于电阻值。尽管在此为了易于理解而以激光仅照射一个受光元件的情 况作了说明，但是，即便在激光束变大而照射到多个受光元件的情况下，也能 维持这一关系。即，不依存于激光束亮度或者大小，而可以算出受光位置P。
此外，只关注受光部11Y，可由下式(3)算出从端子llYa、 llYb的输出电压VYh、 VY1到受光位置P的距离Ly。
<formula>formula see original document page 12</formula>
其中，设受光部11X、 IIY的长度为L，将激光通过其1 / 2L的位置设定 为0位置(原点位置)。
关于式(3)的Ly，若和式(2)的Lx的情况相同，使用具体数值，那么
<formula>formula see original document page 12</formula>
从该结果可知，不依存于激光束亮度或者大小，而可以算出受光位置P。 例如，如果将受光部IIX和受光部IIY之间的位置(也可以不是中间位置)
设定为0位置(原点位置)，则在激光照射到受光部11X的情况下，(1)式的
到受光位置P的距离Lpx为 Lpx= (L/2) +Lx... (4)
在激光照射到受光部11Y的情况下，到受光位置P的距离Lpy为 Lpy=— (L/2) —Ly…(5)。
在第二实施例中，通过结合受光部11X和受光部11Y而使整体长度变长， 所以能够在广范围内检测出受光位置。其中，关于精度与实施例l相同。
在此第二实施例中，受光部11X、 IIY之间的间隙为零，但是只要该间隙
在激光的束径以内，则可以检测出激光的受光位置。
图8是本发明第二实施例的变开A是表示将两个受光部的一部分重叠的说 明图。如图8所示，若使受光部11X、 IIY左右错开，同时对受光部11X、 11Y 的一部分配置成上下方向重复，则能够提高受光部11X、 IIY间的原点位置附 近的精度。
关于受光部11X和受光部11Y重叠部分的量(重复量)，激光的束径是cl) 5mm 20腿左右，优选其重复量是束径的1 / 2左右。另外，没有必要使重复 部分大于束径。也就是说，如果考虑最小束径为5mm，则重复量也可以是5mm。 但是，在此数值以下，也可得到充分的效果。总之，根据测量的激光束径的大 小，适当地决定重复量即可。
再者，激光具有一定的束径，例如，当束径大到10mm时，从实施例2中
的受光部11X、 11Y的各个端子lla、 llb、 11Ya、 11Yb输出的电压VXh、 VX1、 VYh、 VY1与受光位置的关系如图9所示的图表。
在图9中，在受光位置的原点(用O表示)，用P来表示电压VXh、 VY1的值，用Q来表示电压VX1， VYh的值。因为P、 Q值和图7所示图表的值相比 较，数值较小，因此必须进行改善，而得到比P、 Q值大的输出电压。如图8 所示，使受光部11X和受光部11Y局部重合，由此实现这种改善。
当束径较小时，例如等于或小于5mm的情况下，求出受光的一个受光部 IIX或者11Y的哪一方的传感器是否在接收激光照射，并且从受光侧的水平传 感器的受光状态求出受光位置。
当束径较大时，例如等于或大于5mm的情况下，从受光部11X、 IIY两方 的受光状态求出受光位置。在此情况下，将从受光部11X、 IIY输出的信号比 进行加权平均，求出受光位置。以下，说明其求法。
在激光照射到受光部11X、 IIY的情况下，受光位置Lp是
<formula>formula see original document page 13</formula>6)
其中，<formula>formula see original document page 13</formula>9)
在此，若只有受光部IIX被激光照射，则Vy二O， Vx = Vxy，因此由式(6) 得出
Lp= (LpxXVx + LpyXO) /Vx = Lpx。
同样，若只有受光部IIY被激光照射，则Vx二O， Vx=Vxy，因此由式(6) 得出
Lp= (LpxXO+LpyXVy) /Vy=Lpy。
这表示与受光位置上的激光是点光源或具有束径无关，可以由式(6)求 出受光位置。
其中，受光部11X、 IIY之间的间隙的中点既是位置检测上的零位置(原 点位置)，同时也是机械零位置和电零位置(电压为零)，意味着其位置是一定 的。例如，即使激光束中存在亮度不均匀，若其位置一定，则电零位置不变化。 因此，可以向用户提供具有更高可靠性的水平传感器。
如上所述，从受光部11X、 11Y的各个端子lla、 llb、 11Ya、 11Yb输出的 电压VXh、 VX1、 VYh、 VY1被放大器20X、 40X、 20Y、 40Y放大，被各放大器 20X、 40X、 20Y、 40Y放大后的电压峰值由第一 第四峰值保持电路12X、 13X、12Y、 14Y加以保持。之后，运算控制装置160基于第一 第四峰值保持电路 12X、 13X、 12Y、 14Y所保持的峰值，按照式(6)求出受光部IIX、 11Y的激 光的受光位置。
图IO是本发明的第三实施例，是表示具有四个受光部且将其受光部的一 部分相互重叠起来的说明图。在上述第二实施例中，受光部lll由两个受光部 IIX、 IIY构成，但是如图10所示，也可由四个受光部11X、 IIY、 11Xa、 11Ya 构成。这种情况下，受光部11X的下方端部和受光部11Y的上方端部、受光部 11Y的下方端部和受光部11Xa的上方端部、受光部11Xa的下方端部和受光部 11Ya的下方端部分别重复。
前面已经说明受光部IIX和受光部11Y的重复鼂其重复量也适用于第三 实施例。即，优选重复量是束径的l/2左右。
由一组电路构成的水平传感器中，为了保持精度而扩展受光部部分存在限 度，但是并列设置多个受光部，能够保持精度不变而宽范围且廉价地扩展受光 部分。
根据本发明，由于用电阻分别将多个受光元件的相互邻接的输出端子连接 起来，所以只设置简单的电路即可以求出水平高度。
本发明能够适用于在测量领域中检测接收的激光的中心位置即受光位置 的水平传感器。
1权利要求
1.一种水平传感器，具备并列设置的多个受光元件，其特征在于所述多个受光元件的相互邻接的输出端子分别用电阻相连接、由连接于所述水平传感器的运算控制装置根据从所述被连接的受光元件的两端输出的信号来比较输出信号，由此解析受光位置。
2. —种水平传感器，其特征在于沿受光元件的排列方向配置有多个权利要求1记载的水平传感器。
3. 根据权利要求1所述的水平传感器，其特征在于改变连接于所述受光 元件的电阻的大小使输出端子的信号比达到相等的受光位置发生变化，由此， 所述运算装置以任意位置为受光位置检测的基准，解析受光位置。
4. 根据权利要求2所述的水平传感器，其特征在于对所配置的所述多个 水平传感器的输出信号之比进行加权平均，用运算装置解析受光位置。
5. —种水平传感器，其特征在于连结配置多个权利要求1的水平传感器， 通过对相邻的水平传感器的输出进行比较来解析该相邻的水平传感器之间的 受光位置。
6. 根据权利要求5所述的水平传感器，其特征在于所述连结配置的水平 传感器被设置成使得相邻的水平传感器的受光位置相重复。
7. —种检测激光的受光位置的中心的水平传感器，其特征在于具有 一个极连接在一起而接收激光的被排列的多个受光元件、 连接在所述受光元件的另一个极和邻接该受光元件的另一个极之间，变换为与接收的激光的光量成比例的电信号的第一电信号变换元件、与配置在所述多个受光元件中的一个方向的最端部的受光元件的另一个 极相连接，变换为与接收的激光的光量成比例的电信号的第二电信号变换元 件、与配置在所述一个方向的相反方向的最端部的受光元件的另一个极相连 接，变换为与接收的激光的受光量成比例的电信号的第三电信号变换元件、以 及接收所述第二电信号变换元件中发生的第一电信号和所述第三电信号变 换元件中发生的第二电信号的计算机，所述计算机具有根据所述第一电信号和所述第二电信号进行求出所述第 一电信号和所述第二电信号之比的运算的运算解析处理部以及对所述多个受 光元件的排列的原点位置处的信号之比与由所述运算求出的结果进行比较的 比较解析处理部。
8. —种检测激光的受光位置的中心的水平传感器，其特征在于具有 第一受光部、与该第一受光部的一个端部相连接，变换为与接收的激光的光量成比例的 电信号的第一电信号变换元件、与所述第一受光部的另一个端部相连接，变换为与接收的激光的光量成比 例的电信号的第二电信号变换元件、光一电特性与所述第一受光部相同且与该受光部结合的第二受光部、与该第二受光部的一个端部相连接，变换为与接收的激光的光量成比例的 电信号的第三电信号变换元件、与该第二受光部的另一端部相连接，变换为与接收的激光的光量成比例的 电信号的第四电信号变换元件、以及接收所述第一电信号变换元件中发生的第一电信号、所述第二电信号变换 元件中发生的第二电信号、所述第三电信号变换元件中发生的第三电信号和所 述第四电信号变换元件中发生的第四电信号的计算机，所述计算机具有根据所述第一电信号和所述第二电信号进行求出所述第 一电信号与所述第二电信号之比的运算的运算解析处理部以及对所述多个受 光元件的排列的原点位置处的信号之比与由所述运算求出的结果进行比较的 比较解析处理部。
9. 根据权利要求8所述的水平传感器，其特征在于所述第一受光部与所 述第二受光部具有规定量的重复部分。
10. 根据权利要求9所述的水平传感器，其特征在于还具有第三受光部和 第四受光部，该第三受光部与所述第二受光部结合，而且具有规定量的重复部分、 该第四受光部与所述第三受光部结合，而且具有规定量的重复部分。
全文摘要
本发明提供一种水平传感器，其具备并列设置的多个受光元件(PDX1～PDXn)的受光部(11X)，由电阻(RX1～RXn)分别将多个受光元件(PDX1～PDXn)的相互邻接的输出端子连接。
文档编号G01C15/00GK101317071SQ200680044399
公开日2008年12月3日 申请日期2006年11月29日 优先权日2005年11月29日
发明者片山康隆 申请人:株式会社拓普康