专利名称：加速度传感器的结构及其制造方法
技术领域：
本发明涉及加速度传感器，尤其涉及能够消除用微细加工工艺制造的加速度传感器中制造时存在的问题，并能提高形成的加速度传感器的耐冲击性的技术。
背景技术：
现有技术的三维加速度传感器一般由固定在外部的基板等上的台座部，锤，以及设置了检测加速度的检测部并可以挠曲地连接锤和台座部的支撑梁构成。并且，现有技术的三维加速度传感器从大的方面可以分为将形成了台座部、锤和支撑梁等的多个层粘结起来形成层叠结构体，由层叠结构体构成的加速度传感器；以及通过用微细加工工艺在SOI(Silicon on Insulator，绝缘体上外延硅)等预先层叠的层叠基板上加工锤等形成层叠结构体，由层叠结构体构成的加速度传感器。
本发明涉及通过在层叠基板上进行微细加工形成的三维加速度传感器的结构及其制造方法。
下面用图7～图12说明现有技术的加速度传感器的结构及其制造方法。
图7为现有技术的加速度传感器的透视图，图8为图7的俯视图。
如图7所示，现有技术的加速度传感器通过在由3层构成的层叠基板进行微细加工而形成。这里为了便于说明，从上层开始分别作为第1层701、连接层702和第2层703进行说明。另外，在以下的说明中，“上”表示从第2层到第1层的方向，“下”表示从第1层到第2层的方向，上面和下面表示各层的上面和下面。并且，在以下的说明中使用的“垂直方向”和“平行面”这样的表示是指将多个层粘结起来时与结合面垂直的方向和平行的面。
如图8所示，该加速度传感器的结构具有框形台座710、连接在台座710各边的中间部位上的支撑梁720、连接在支撑梁720上的锤730、以及覆盖锤730的阻挡器740。另外，图8用虚线补上了被阻挡器740遮挡的部分。
下面用图7、图9～图12说明现有技术的加速度传感器的制造方法。图10(a)、图11(a)和图12(a)为各工序中沿图7的A-A′线的剖视图。图10(b)、图11(b)和图12(b)为各工序中沿图7的B-B′线的剖视图。图10(c)、图11(c)和图12(c)为各工序中第1层、连接层和第2层的俯视图。该加速度传感器的制造方法准备由第1层701、连接层702和第2层703这3层构成的层叠基板(图9)。接着，在最上面作为支撑梁的部分形成压敏电阻元件，然后通过使第1层成为图10(c)所示的形状，划分台座710的一部分、支撑梁720、锤730的一部分和阻挡器740。此时，A-A′线截面和B-B′线截面分别成为图10(a)和图10(b)。接着从下侧开始通过使第2层形成为图11(c)所示的形状，划分台座710的一部分和锤730的一部分。此时，A-A′线截面和B-B′线截面分别成为图11(a)和图11(b)。最后，通过使第2层形成为图12(c)所示的形状，形成台座710和锤730。此时，A-A′线截面和B-B′线截面分别成为图12(a)和图12(b)。经过这些工序完成现有技术的加速度传感器。
作为用这样的工序在层叠基板上进行微细加工形成的加速度传感器，有例如专利文献1所公开的技术。
并且，作为公开根据固定电极与可动电极之间的电容检测加速度的加速度传感器中防止可动电极与形成固定电极的基板粘接的技术，有例如专利文献2所公开的技术。
在整体形成阻挡器的加速度传感器中，有时将锤与阻挡器分开，这时需要进行湿法蚀刻除去锤与阻挡器之间存在的物质。
但是，在微细化不断进步的今天，由于锤与阻挡器之间的间隔很窄，清洗湿法蚀刻使用的药液时锤与阻挡器之间有可能残留清洗液。因此，当干燥残留的清洗液时，存在清洗液表面的张力使锤与阻挡器粘接，产生所谓“粘附”效果，使加速度传感器制造时产生不良。
并且，虽然专利文献2中公开了在可动电极与基板之间形成蚀刻残留的技术，但在整体形成阻挡器的加速度传感器中，由于锤质量大，因此台座与锤之间的间隔小，本发明不能使用通过设置专利文献2所记载的凸起部形成蚀刻残留的方法。
日本特开2004-198243[专利文献2]日本特开2004-294401发明内容本发明是鉴于上述问题而提出的。解决上述问题的本发明的加速度传感器及其制造方法具有以下特征。
本发明的加速度传感器具有第1基板，所述第1基板具有锤固定部、离开该锤固定部并围绕该锤固定部的台座固定部、可以挠曲地连接该锤固定部与该台座固定部的支撑梁，和离开该锤固定部和该支撑梁并与该台座固定部相连的阻挡器；通过第1连接层连接在上述锤固定部上并与上述阻挡器分离地重叠的锤部；与上述锤部分离，通过第2连接层连接在上述台座固定部上的台座部；以及与上述阻挡器分离，形成在该阻挡器与上述锤部之间的该锤部上的凸起部。
本发明的加速度传感器的制造方法，其特征在于，具有以下工序准备由第1基板和通过连接层连接的第2基板构成的层叠基板的第1工序；在上述第1基板上形成划分锤固定部、离开该锤固定部并围绕该锤固定部的台座固定部、连接该锤固定部与该台座固定部的支撑梁、离开该锤固定部和该支撑梁但与该台座固定部相连的阻挡器的第1沟槽的第2工序；在上述第2基板上形成划分与上述阻挡器分离地重叠的锤部和与该锤部分离的台座部的第2沟槽的第3工序；除去上述连接层以形成连接上述锤固定部和上述锤部的第1连接层，连接上述台座固定部和上述台座部的第2连接层，以及与上述阻挡器分离、形成在该阻挡器与该锤部之间的该锤部上的凸起部的第4工序。
如果采用本发明的加速度传感器，通过在阻挡器与锤部之间的锤部一侧形成凸起部，能够防止制造加速度传感器时的粘附效果，能够消除阻挡器与锤部粘接的问题。并且不用增加工序数、不用在凸起部以外追加附加的形状就能够形成。
图1本发明的实施例1的加速度传感器的透视2本发明的实施例1的加速度传感器的俯视3(a)为图1中的A-A′线的剖视图，(b)为图1中的B-B′线的剖视图，(c)为图1中C的局部放大4(a)为本发明的实施例1的加速度传感器的第1层101的俯视图，(b)为本发明的实施例1的加速度传感器的连接层102的俯视图，(c)为本发明的实施例1的加速度传感器的第2层103的俯视5说明本发明的实施例1的加速度传感器的制造方法的6说明本发明的实施例1的加速度传感器的通孔502的布置的7现有技术的加速度传感器的透视8现有技术的加速度传感器的俯视9说明现有技术的加速度传感器的制造方法的10说明现有技术的加速度传感器的制造方法的11说明现有技术的加速度传感器的制造方法的12说明现有技术的加速度传感器的制造方法的图具体实施方式
下面参照
本发明的实施形态。另外，本发明的加速度传感器及其制造方法有可能使用硅基板等众所周知的材料或蚀刻加工等众所周知的方法，此时，这些材料和方法的详细说明有时省略。
下面用图1图6说明本发明的实施例1的加速度传感器。
下面用图1～图4说明本发明的实施例1的加速度传感器的结构。
图1为本发明的实施例1的加速度传感器的透视图。图2为图1所示的本发明的实施例1的加速度传感器的俯视图。图3为图1所示的本发明的实施例1的加速度传感器的剖视图和局部放大图，图3(a)为图1中的A-A′线的剖视图，图3(b)为图1中的B-B′线的剖视图，图3(c)为图1中C的局部放大图。并且，图4为构成图1所示的本发明的加速度传感器的各层的俯视图，图4(a)为最上层即第1层101的俯视图，图4(b)为位于第1层101下方的连接层102的俯视图，图4(c)为位于连接层102下方的第2层103的俯视图。
本发明的实施例1的加速度传感器如图1所示，用由3层构成的层叠基板构成，依次层叠有第1层101、连接层102和第2层103，并且，各层的上表面为同一方向。并且，本发明的实施例1的加速度传感器具有台座110、支撑梁120、锤130、阻挡器140和凸起部150。
台座110为由第1层101上形成的台座固定部111、连接层102上形成的台座连接部112(第2连接层)、第2层103上形成的台座部113构成的层叠结构体。并且，台座110的形状为形成了贯穿具有上表面和下表面的方形层叠基板的上表面和下表面的通孔的形状。换言之，台座110的形状为形成了隔出通孔的内壁的形状。作为台座110的最上层的台座固定部111与后述的支撑梁120的第1端121相连。
支撑梁120具有与台座固定部111的内壁相连的第1端121和与后述的锤130相连的第2端122。而且，支撑梁120具有柔性，支撑梁120上形成有当加速度使支撑梁120弯曲时检测支撑梁120的弯曲的压敏电阻元件(图中没有表示)。
锤130为由第1层101上形成的锤固定部131、连接层102上形成的锤连接部132(第1连接层)和第2层103上形成的锤部133构成的层叠结构体。锤固定部131包括连接上述支撑梁120的第2端122的部分。
阻挡器140形成在台座固定部111的内壁上与上述支撑梁120的第1端连接的部分离开的部分上。其中，阻挡器140上形成有多个通孔141。
凸起部150形成在阻挡器140与锤部133之间、锤部133的上面。凸起部150形成为在阻挡器140一侧具有尖顶的四棱锥形。凸起部150通过与阻挡器140碰撞能够控制锤130的位移量。
图2为图1所示本发明的加速度传感器的俯视图。如图2所示，从上面一侧看去第1层101、连接层102和第2层103上形成的锤130与阻挡器140重叠。这里为了便于说明，有时用虚线补足被第1层101遮挡的部分。
构成锤130的锤连接部132，其上表面形状形成为与锤固定部131的上表面形状相同。锤部133形成为从上面一侧看锤部133的面积比从上面一侧看锤固定部131的面积大。此时如果从上面一侧将锤固定部131和锤部133重叠，则锤固定部131由完全与锤部133重叠地形成的部分和锤部133自身构成。而且，锤130具有在支撑梁120的周边、离开支撑梁120向台座110突出的部分。即，为了增大支撑梁120的第1端121与第2端122的距离，尽可能地增大连接第1端121的台座110与连接第2端122的锤130的距离，同时为了增大锤130的质量，在台座110和支撑梁120围成的空间内尽可能地离开台座110和支撑梁120、向台座110的方向突出地形成锤130。
阻挡器140沿方形台座固定部111的相邻的两条边的整个边形成，从上面一侧看时离开锤130的锤部133与锤固定部131重叠的部分，仅与锤部133的部分重叠地形成。本发明的实施例1的加速度传感器的阻挡器140形成为包括台座固定部111的相邻的两条边的三角形，但只要是与锤部133重叠的形状，阻挡器140的形状并不局限于此。并且，阻挡器140形成在4个地方，每个阻挡器上形成有多个通孔141。
从上面一侧看去，凸起部150形成在阻挡器140上形成的多个通孔141之间。由此，凸起部150的顶端可以与阻挡器140接触。因此，通过调节凸起部150的高度能够控制锤130的位移量，能够防止过大的加速度使支撑梁破损。
图3(a)为图1所示的本发明的加速度传感器的A-A′线的剖视图，在A-A′线的截面上，表示了台座110、支撑梁120、锤部133、阻挡器140和凸起部150。如图3(a)所示，台座110由台座固定部111、台座连接部112和台座部113构成。锤部133离开台座110配置在台座110内。并且，锤部133的厚度比台座部113的厚度薄8～15μm。这是为了确保锤130在垂直方向的位移量而设定的，根据需要适当设定。阻挡器140的形状为从台座固定部111向支撑梁120伸出，以便盖住锤部133的一部分。凸起部150形成在锤部133的被阻挡器140覆盖的部分上。
图3(b)为图1所示的本发明的加速度传感器的B-B′线的剖视图，在B-B′线的截面上，表示了台座110、支撑梁120和锤130。如图3(b)所示，台座110由台座固定部111、台座连接部112和台座部113构成。锤130由锤固定部131、锤连接部132和锤部133构成。支撑梁120由连接在台座固定部111的内壁上的第2端和连接在锤固定部131上的第1端构成。
图3(c)为图1所示本发明的加速度传感器的C部分局部放大图，表示锤130和凸起部150。如图3(c)所示，凸起部150形成在锤130的锤部133的不与锤固定部131和锤连接部132重叠的部分上。并且，图3(c)所示直线虚线部分151的正上方形成阻挡器140的端部。锤部133的不与锤固定部131和锤连接部132重叠的部分、即由直线虚线部分151形成凸起部150一侧的上方被阻挡器140覆盖。而且，图3(c)所示的圆形虚线部分152为与阻挡器140上形成的通孔141相对应的区域。即，圆形虚线部分152的正上方配置阻挡器140上形成的通孔141。如图3(c)所示，在本发明的实施例1的加速度传感器中，凸起部150被与阻挡器140的通孔141相对应的多个圆形虚线部分152包围地配置。并且，在本发明的实施例1中，凸起部150为四棱锥，分别被4个圆形虚线部分152包围。
图4为构成图1所示本发明的加速度传感器的各层的俯视图，图4(a)为最上层即第1层101的俯视图。图4(a)所示本发明的实施例1的加速度传感器的第1层101为以硅为材料、厚度为3～8μm的基板。第1层101由台座110的台座固定部111、支撑梁120、锤130的锤固定部131和阻挡器140构成。换言之，台座固定部111、支撑梁120、锤固定部131和阻挡器140通过在第1层101上形成宽度为10～25μm的第1沟槽401来划分。即，实际上它们并不存在明确的分界线，只是为了便于说明，根据各自的功能将第1层101分成各个部分。即，台座固定部111是指第1层101上通过台座连接部112连接台座部113的部分，锤固定部131是指第1层101上通过锤连接部132连接锤部133的部分，支撑梁120是指第1层101上具有与加速度相对应弯曲的功能的部分，阻挡器140是指第1层101上具有限制锤130在垂直方向的位移量的功能的部分。
图4(b)为位于第1层101下方的连接层102的俯视图。图4(b)所示的本发明的实施例1的加速度传感器的连接层102为厚度在1～3μm的硅氧化膜。连接层102由台座110的台座连接部112、锤130的锤连接部132和凸起部150构成。台座连接部112连接台座固定部111和台座部113；锤连接部132连接锤固定部131和锤部133。凸起部150形成在锤部133的不与锤固定部131和锤连接部132重叠的部分上。本发明实施例1的加速度传感器中不与锤固定部131和锤连接部132重叠的部分有4处，每个部分上形成有多个凸起部150。本发明的加速度传感器的锤130由于在三维方向上位移，因此在为单数的情况下，可以认为4处中的一个与阻挡器140碰撞，在应力集中到1个凸起部150上的情况下，可以认为阻挡器140破损。在阻挡器140破损的情况下，由于锤130的位移量不受限制，因此在产生过度的加速度的情况下，过度的位移有可能产生支撑梁120破损的问题。因此为了分散应力，优选在一处形成多个凸起部150。另外，专利文献2在从上面一侧看去的俯视图中，沿面积增大的方向设置有一组突起。因此为在形成了平面面积扩大的突起的部分上形成沿与平面垂直的方向突出的一个蚀刻残留的结构。但是，在图7所示的加速度传感器的结构中，要在从上面一侧看去的俯视图中沿面积增大的方向新设置多个突起，必须缩小锤的面积进行变更形成。即，不减轻锤的重量牺牲灵敏度就不能达到，因此难以采取这样的结构。这样一来，图7所示的加速度传感器的结构中，难以通过在俯视图中沿面积增大的方向形成突起来形成与平面垂直的方向上的多个凸起部150。在本发明中，可以不增加突起这样的新结构而形成多个凸起部150。并且，在从上面一侧看去的俯视图中，最好不要在处于与锤130的形成位置相同的位置的阻挡器140上形成凸起部150。这是因为各凸起部150的顶端之间互相接触，当产生垂直方向的加速度时，各凸起部150产生位移使顶端错位。由此，加速度以外的原因引起锤130位移，有可能给准确地测量加速度带来障碍。因此，凸起部150最好不要形成在俯视图中与锤130上形成的凸起部150相同位置的阻挡器140上。这是为了不妨碍在阻挡器140上形成不至于产生上述问题的蚀刻残留。而且，凸起部150也可以不形成在锤130上而形成在阻挡器140上。此时也可以不增加工序地形成凸起部150。
图4(c)为位于连接层102下方的第2层103的俯视图。图4(c)所示的本发明实施例1的加速度传感器的第2层103为以硅为材料、厚度为200～400μm的基板。第2层103由台座110的台座部113、锤130的锤部133构成，但由于如前所述锤部133的厚度形成得比台座部113的厚度薄1～15μm，因此第2层103的厚度与台座部113的厚度相等。
本发明实施例1的加速度传感器的结构为将图4(a)～图4(c)所示的第1层101、连接层102和第2层103这几层层叠起来的结构。台座110由第1层101的台座固定部111、连接层102的台座连接部112和第2层103的台座部113构成；锤130由第1层的锤固定部131、连接层102的锤连接部132和第2层103的锤部133构成。并且，支撑梁120可以挠曲地连接台座110的台座固定部111和锤130的锤固定部131；阻挡器140覆盖锤130的锤部133的一部分地形成。凸起部150形成在被阻挡器140覆盖的锤部133上。
如果采用本发明实施例1的加速度传感器，由于在被阻挡器140覆盖的锤部133上有凸起部150，因此能够与阻挡器140点接触，能够防止粘附效果，能够消除阻挡器140与锤130粘接的问题。并且，通过形成多个凸起部150，在阻挡器140与凸起部150碰撞时能够分散应力，因此阻挡器140不会破损，不会降低耐冲击性。而且，通过调整凸起部150的高度，能够调整锤130在垂直方向上的位移量。
下面用图4～图6说明本发明实施例1的加速度传感器的制造方法。
本实施例如图5(a)所示使用将第1层101、连接层102和第2层103层叠起来的SOI基板。第1层101、连接层102和第2层103分别具有上表面和下表面，各自的上表面沿同一方向层叠。图5(b)～图5(e)表示图1的A-A′线截面的形成工艺。图6(a)～图6(d)表示后述的通孔141的布局及形成的凸起部150。
如图5(b)所示，第1层101上用半导体电路形成工艺形成压敏电阻元件(图中没有表示)，将其配置在支撑梁上，第1层101的俯视图为图4(a)，形成第1沟槽401。第1沟槽401用各向异性蚀刻加工形成，划分成台座固定部111、支撑梁120、锤固定部131和阻挡器140。其中，在形成第1沟槽401的同时，在阻挡器140上形成多个通孔141。本发明实施例1的加速度传感器形成有4个阻挡器140，通过在其每一个上形成多个通孔141，形成多个凸起部150。多个通孔141是为了有效地蚀刻加工阻挡器140正下方形成的连接层102而形成的，但通过改变这些通孔141的配置或改变蚀刻加工条件形成凸起部150。
接着，如图5(c)所示，形成第2层103下面的台阶501。台阶501的深度设定为8～15μm，是为了达到使锤部133的厚度比台座部113的厚度薄而形成的。因此，第2层103上形成的台阶501的一部分作为锤部133，第2层103的没有形成台阶501的部分作为台座部113。这一工序根据安装本发明的加速度传感器的部件的结构不同，也可以省略。即，安装加速度传感器的部件如果是例如锤130的正下方形成有凹陷的结构的话，则即使不进行这一工序，锤130也能够向下位移。这样一来，在安装加速度传感器的部件的结构使锤130能够向下位移的情况下，可以省略本工序。
接着如图5(d)所示，使第2层103的俯视图为图4(c)那样形成第2沟槽502。第2沟槽502用各向异性蚀刻加工形成，划分成台座部113和锤部133地形成。
接着如图5(e)所示，除去连接层102以形成连接台座固定部111与台座部113的台座连接部112(第2连接层)，连接锤固定部131和锤部133的锤连接部132(第1连接层)，以及与阻挡器140分离、形成在阻挡器140与锤部133之间的锤部133上的凸起部150。形成台座连接部112、锤连接部132和凸起部150的工序用湿法蚀刻进行，湿法蚀刻所使用的蚀刻液通过第1沟槽401、第2沟槽502和通孔141到达连接层102，除去连接层102。由于此时湿法蚀刻为各向同性蚀刻，因此从蚀刻液接触的部分开始向全周方向并且等距离地除去连接层102，从而在远离多个通孔141的部分、即多个通孔141之间的锤部133一侧形成凸起部150。由此，凸起部150不会形成在通孔141的正下方，因此在锤130沿垂直方向位移时，凸起部150与阻挡器140接触。并且，由于通过调节湿法蚀刻能够调节凸起部150的高度，因此不管连接层102的厚度如何都能调节垂直方向的位移量。至于湿法蚀刻的条件，由于连接层102用硅氧化膜形成，因此药液适当选择对氧化膜有选择比的药液。本发明实施例1的加速度传感器的连接层102的厚度为1～3μm，通过将湿法蚀刻的时间设定为约70分钟，能够获得形成了凸起部150的加速度传感器。这里作为比较，如果现有技术的加速度传感器的制造方法将湿法蚀刻的时间设定为约80分钟的话，则能够形成没有形成凸起部150的加速度传感器。即，通过将形成没有形成凸起部150的加速度传感器的湿法蚀刻时间缩短约10％～13％形成凸起部150。另外，蚀刻加工时间为总时间，也可以通过多次湿法蚀刻形成。通过将工序分成多次湿法蚀刻，不仅能够除去被去除的硅氧化膜，而且能够更换反应后的药液，从而促进湿法蚀刻。而且，在每个湿法蚀刻工序之前也可以追加浸渍到界面活性剂中的工序。通过浸渍到界面活性剂中降低药液和清洗液的表面张力，不仅能够有效地使药液到达细微的部分，而且能够有效地进行细微部分的清洗。
通过以上工序完成本发明的加速度传感器。下面再说明图6中的通孔141的布局。阻挡器140上形成的通孔141根据其配置的不同所形成的凸起部150的位置和形状也不同。本发明实施例1中形成的凸起部150由图6(a)所示的通孔141的布局形成。这是将通孔141等间隔地排列在与四边形的每个角相对应的位置上的布局。此时将通孔141的直径大小设定为3～4μm，通孔彼此之间的间隔设定为5.5～4.5μm。本发明实施例1中通孔141的布局将通孔的直径的大小与通孔彼此之间的间隔之和设定为8.5μm。整体布局为，任意地设定2个通孔，假设存在通过2个通孔中的一个并与连接这2个通孔的第1假想直线呈90°的角度的第2假想直线，新的通孔设置在该第2假想直线上。此时将新的通孔的直径的大小与通孔之间的间隔之和也设定为一定值。通过反复进行这些过程完成整体布局。因此，凸起部150由四棱锥形状形成。图6(b)～图6(d)为使用了图6(a)的布局，图6(b)为将通孔141配置成等边三角形的布局，图6(c)为将通孔141配置成六边形的布局，图6(d)为将通孔141配置成八边形的布局。图6(a)中第1假想直线与第2假想直线之间的夹角为90°，但也可以例如在图6(b)中设定为60°、在图6(c)中设定为120°、在图6(d)中设定为135°地进行通孔的布局。由此，凸起部150在图6(b)中用三棱锥形形成，在图6(c)中用六棱锥形形成，在图6(d)中用八棱锥形形成。这样一来，通过改变通孔141的布局能够控制凸起部150的形状。另外，虽然图中没有表示，通孔141的布局也可以形成为近似圆锥的形状。并且，图6(a)～图6(d)所示的A部分表示形成凸起部150的最小单位的通孔141组，也可以不像图6(a)～图6(d)所示那样在锤部133整面形成，可以局部地在适当地选择了最小单位的通孔141组的位置上形成。而且，凸起部150的形状中侧面的数量越多通孔141也越多，因此蚀刻加工的速度快、能够高效率地进行蚀刻加工，但是由于通孔141多，阻挡器140的耐冲击性就变低。凸起部150的形状中侧面的数量越少通孔141也越少，因此虽然阻挡器140的耐冲击性不会变低，但蚀刻加工的速度变慢了。鉴于这些优缺点，凸起部150的形状优选四棱锥形。
如果采用本发明实施例1的加速度传感器的制造方法，通过在多个通孔141之间的锤部133上形成多个凸起部150，能够防止进行清洗湿法蚀刻所使用的药液后的干燥时锤130与阻挡器140粘接。并且，通过形成多个凸起部150，不管连接层102的膜厚如何都能调整锤130在垂直方向上的位移量。
虽然以上用实施例说明了本发明，但本发明并不局限于实施例的范围，毋庸置疑，在各技术方案所记载的技术思想的范围内可以适当变更。
权利要求
1.一种加速度传感器，其特征在于，具有第1基板，所述第1基板具有锤固定部、离开该锤固定部并围绕该锤固定部的台座固定部、可以挠曲地连接该锤固定部与该台座固定部的支撑梁，和离开该锤固定部和该支撑梁并与该台座固定部相连的阻挡器；通过第1连接层连接在上述锤固定部上并与上述阻挡器分离地重叠的锤部；与上述锤部分离，通过第2连接层连接在上述台座固定部上的台座部；以及与上述阻挡器分离，形成在该阻挡器与上述锤部之间的该锤部上的凸起部。
2.如权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，上述第1连接层、上述第2连接层和上述凸起部用同一种材料形成。
3.如权利要求1或2所述的加速度传感器，其特征在于，上述阻挡器具有多个通孔；上述凸起部形成有多个，配置在上述锤部的与这些通孔相对应的多个区域之间。
4.如权利要求3所述的加速度传感器，其特征在于，上述凸起部为与配置在该凸起部周围的上述多个区域的个数相对应的多棱锥。
5.如权利要求4所述的加速度传感器，其特征在于，上述凸起部为四棱锥。
6.一种加速度传感器的制造方法，其特征在于，具有以下工序准备由第1基板和通过连接层连接的第2基板构成的层叠基板的第1工序；在上述第1基板上形成划分锤固定部、离开该锤固定部并围绕该锤固定部的台座固定部、连接该锤固定部与该台座固定部的支撑梁、离开该锤固定部和该支撑梁但与该台座固定部相连的阻挡器的第1沟槽的第2工序；在上述第2基板上形成划分与上述阻挡器分离地重叠的锤部和与该锤部分离的台座部的第2沟槽的第3工序；除去上述连接层以形成连接上述锤固定部和上述锤部的第1连接层，连接上述台座固定部和上述台座部的第2连接层，以及与上述阻挡器分离、形成在该阻挡器与该锤部之间的该锤部上的凸起部的第4工序。
7.如权利要求6所述的加速度传感器的制造方法，其特征在于，上述第4工序借助湿法蚀刻加工进行。
8.如权利要求7所述的加速度传感器的制造方法，其特征在于，上述第2工序包括在阻挡器上形成多个通孔的工序；上述第4工序为在上述锤部的与上述多个通孔相对应的区域之间形成多个上述凸起部的工序。
全文摘要
具有阻挡器结构的加速度传感器及其制造方法，尤其是通过微细加工工艺制造的具有阻挡器结构的加速度传感器，其可以消除锤与阻挡器粘接的问题。本发明提供具有下述特征的加速度传感器，具有第1基板，所述第1基板具有锤固定部，离开该锤固定部并围绕该锤固定部的台座固定部，可以挠曲地连接该锤固定部与该台座固定部的支撑梁，离开该锤固定部和该支撑梁但与该台座固定部相连的阻挡器；通过第1连接层连接在上述锤固定部上，与上述阻挡器分离但与其重叠的锤部；与上述锤部分离，通过第2连接层连接在上述台座固定部上的台座部；与上述阻挡器分离，形成在该阻挡器与上述锤部之间的该锤部上的凸起部。
文档编号G01P15/00GK101037184SQ20071007894
公开日2007年9月19日 申请日期2007年2月16日 优先权日2006年3月14日
发明者野村昭彦 申请人:冲电气工业株式会社