专利名称：角速度传感器的制作方法
技术领域：
本发明大体上涉及一种角速度传感器，更具体地涉及一种具有多个音叉式振动器的角速度传感器。
背景技术：
角速度传感器检测旋转的角速度，并且用于避免由于手运动而导致图像模糊，并应用于诸如汽车导航系统、机动车、机器人姿态控制系统等系统。日本专利申请特开平9-292229号公报(以下称为文献1)公开了一种配备有多个柱状振动器的角速度传感器。日本专利No.3418245(以下称为文献2)公开了一种检测多个轴线并以两点支承柱状振动器的角速度传感器。上述柱状或棒状振动器被称作音杆式振动器。另外，国际公报No.WO 03/100350(以下称为文献3)公开了一种音叉式振动器，其具有基部以及从该基部延伸的多个臂部。
音杆式振动器不能相对于外部振动调整振动平衡来抵消振动。因此，若如文献1和文献2中所述在一个外壳中布置两个音杆式振动器，那么在各音杆式振动器中由外部振动引起的不必要振动(泄漏振动)会彼此干涉(干涉噪音)，并会使角速度的检测精度变差。此外，音杆式振动器在固有振动频率下具有窄的不动区。如果在各音杆式振动器中支承不动区之外的区域，那么其中一个音杆式振动器的驱动振动会传播到另一音杆式振动器，从而会产生干涉噪音并且角速度的检测精度会变差。另外，由于整个音杆式振动器振动，所以有必要以两点支承音杆式振动器。因此，难以保持两个支承部的位置精度或平衡。
同时，音叉式振动器具有这样的构造，其中左右臂部抵消了外部振动。在具有多个音叉式振动器的角速度传感器中，这可防止角速度的检测精度变差并防止干涉噪音。但是，即使在具有多个音叉式振动器的角速度传感器中，对干涉噪音的抑制也不充分。
发明内容
鉴于上述情况做出了本发明，并且本发明提供了一种角速度传感器，其可以减少多个音叉式振动器之间的干涉噪音。
根据本发明的一方面，提供了一种角速度传感器，该角速度传感器包括多个音叉式振动器，这之中的每个音叉式振动器分别包括基部和从该基部延伸的多个臂部，并且所述多个音叉式振动器之间的臂部长度差至少为所述多个音叉式振动器的臂部长度的平均值的百分之一。因此，可以减少多个音叉式振动器之间的干涉噪音。
下面将参照附图详细描述本发明的示例性实施例，其中图1是本发明第一示例性实施例中采用的角速度传感器的立体图；图2A是本发明第一示例性实施例中采用的角速度传感器的顶视图；图2B是本发明第一示例性实施例中采用的角速度传感器中的音叉式振动器和支承部的立体图；图3A和图3B是表示音叉式振动器的表面上的电极图案的图；图4A和图4B是表示音叉式振动器的振动模式的图；图5是表示相对于两个音叉式振动器的臂部长度差的干涉噪音的曲线图；图6A和图6B是本发明第二示例性实施例中采用的角速度传感器的立体图；图7A和图7B是说明本发明第三示例性实施例中采用的角速度传感器的图；图8A和图8B是本发明第四示例性实施例中采用的角速度传感器中的支承部的图；图9A到图9D是表示在本发明第一到第四示例性实施例中采用的角速度传感器上进行热冲击试验的结果的图；
图10A到图10C是本发明第五示例性实施例中采用的角速度传感器中的支承部的图；图11A到图11D是本发明第六示例性实施例中采用的角速度传感器中的支承部的图；图12A到图12C是本发明第七示例性实施例中采用的角速度传感器中的支承部的图；图13是表示本发明第八示例性实施例中采用的角速度传感器中的音叉式振动器的图；以及图14A到图14C是本发明第八示例性实施例中采用的角速度传感器中的支承部的图。
具体实施例方式
下面将参照附图描述本发明的示例性实施例。
(第一示例性实施例)第一示例性实施例是角速度传感器的一个示例，其中，两个音叉式振动器安装在用作安装部的外壳中。图1是本发明第一示例性实施例中采用的角速度传感器的立体图。图2A是本发明第一示例性实施例中采用的角速度传感器的顶视图(但是没有示出其帽)。图2B是本发明第一示例性实施例中采用的角速度传感器中的音叉式振动器10和支承部20的立体图。参照图1和图2A，通过支承部20a和20b分别将分别具有两个臂部的音叉式振动器10a和10b固定并安装在空腔型外壳30中。音叉式振动器10a和10b彼此大致正交，并且分别检测以检测轴线1和检测轴线2为中心的角速度，而检测轴线1和检测轴线2分别沿着音叉式振动器10a和10b的纵向(臂部的延伸方向)配置。外壳30可以包括例如控制电路42，该控制电路中的电子部件安装在基板中。控制电路42控制音叉式振动器10a和10b，向音叉式振动器10a和10b分别施加驱动信号，并由音叉式振动器10a和10b分别馈给检测信号。帽40用作外壳30的盖。
参照图2B，各个音叉式振动器10a和10b均包括基部13；以及从基部13延伸的两个(多个)臂部11和12。这里，各个音叉式振动器10a和10b表示成音叉式振动器10，并且各个支承部20a和20b表示成支承部20。用于支承音叉式振动器10的支承部20包括用于支承音叉式振动器10的支承面22；以及用于将音叉式振动器10安装在外壳30中的安装面24。这里，音叉式振动器10的长度表示为Lb，臂部11和12的长度表示为La。音叉式振动器10通过结合部件(例如粘合剂等)牢固地固定至支承面22。支承部20的各个安装面24通过结合部件(例如粘合剂等)牢固地固定至外壳30。可以使用诸如环氧树脂等的粘合剂。而且，除了粘合剂之外，可以使用低熔点玻璃或焊料(例如无铅焊料或Au-Sn焊料)作为结合部件。
图3A和图3B表示音叉式振动器10的电极图案。音叉式振动器10可以例如由诸如LiNbO3(铌酸锂)、LiTaO3(钽酸锂)等的压电材料制成。例如，如果采用LiNbO3(铌酸锂)或LiTaO3(钽酸锂)，那么通过使用130℃到140℃的Y形板可以获得K为23的高的机电耦合系数。在音叉式振动器10的表面上形成有诸如Au(金)、Al(铝)或Cu(铜)的金属膜电极。
图3A表示音叉式振动器10的前视图，而图3B表示其后视图。在臂部11处设置有检测电极11a、11b和11c。检测电极11a和检测电极11b通过电极11d连接。为检测电极11a设置有引出电极11f。检测电极11c与引出电极11e连接。按照类似方式，在臂部12处设置有检测电极12a、12b和12c。检测电极12a和检测电极12b通过电极12d连接。为检测电极12a设置有引出电极12f。检测电极12c与引出电极12e连接。在音叉式振动器10的前侧设置有驱动电极14a，其与引出电极14b连接。按照类似方式，在音叉式振动器10的后侧设置有驱动电极15a，其与引出电极15b连接。
图4A和图4B是说明音叉式振动器10的驱动模式和检测模式的图。参照图4A，向音叉式振动器10的驱动电极14a和驱动电极15a馈给驱动信号，以产生使臂部11和12开合的振动模式。该振动与沿臂部11和12的方向布置的平面平行，因而称为面内振动模式。这里，如果向检测轴线施加角速度，那么会由于科氏力(Corilis force)而产生如图4B所示使臂部11和12前后振动的另一振动模式。该振动是垂直于沿臂部11和12方向布置的平面的扭曲振动，因而称为面垂直振动模式。可以通过利用检测电极11a至11c以及检测电极12a至12c检测振动模式而检测绕检测轴线的角速度。驱动模式是指进行驱动所用的振动模式，而检测模式是指进行检测所用的振动模式。驱动模式和检测模式不限制于图4A或图4B所示的振动模式。仅需要在驱动模式中通过科氏力产生检测模式。在各振动模式中，节点(node)是指非振动区域。在图4A中，节点A对应于音叉式振动器10中的对称平面。在图4B中，节点B对应于音叉式振动器10的中心轴线。
接下来，将对具有如图1所示构造的音叉式振动器10的角速度传感器、以及具有由方柱构成的音杆式振动器而不是音叉式振动器10的角速度传感器的干涉噪音(泄漏振动)进行计算。这里，假设在同一外壳中安装有两个振动器，并向其中一个振动器供应固有振动频率的电压以激励驱动振动而所述干涉使得另一振动器产生振动，则干涉噪音是指通过驱动振动的位移分量对所产生的振动的位移分量进行归一化的结果。因此，具有音叉式振动器10的角速度传感器的干涉噪音是具有音杆式振动器的角速度传感器的大约20％。
图5表示|L1-L2|/LAVG与干涉噪音之间的关系。这里，通过音叉式振动器10a和10b的长度La的平均值LAVG对音叉式振动器10a和音叉式振动器10b的臂部长度La之差|L1-L2|进行归一化。黑圆表示测量值，虚线表示计算结果。如果目的是将干涉噪音减少到1/10，即从臂部长度La之差|L1-L2|为0的情况下减少20dB，那么|L1-L2|/LAVG为1％以上将能从臂部长度差|L1-L2|为0的情况减少大约20dB以上的干涉噪音。另外，|L1-L2|/LAVG为2％以上将能从臂部长度差|L1-L2|为0的情况减少20dB以上的干涉噪音。优选地，|L1-L2|/LAVG为4％以上将能进一步减少干涉噪音。
如所述，为了减少干涉噪音，需要将|L1-L2|/LAVG设置为1％以上。优选为2％以上，更优选为4％以上。如果增大|L1-L2|/LAVG，那么多个音叉式振动器之间的角速度敏感度差也会增大。因此，|L1-L2|/LAVG需要足够小以使多个音叉式振动器10之间的角速度敏感度差为容许水平。然而，容许水平会根据应用角速度传感器的系统而不同。如果角速度传感器包括三个以上的音叉式振动器10，那么音叉式振动器10之间的臂部长度La之差分别需要为臂部长度的平均值LAVG的1％以上。|L1-L2|/LAVG为1％以上的一个示例为音叉式振动器10a的长度Lb和臂部长度La分别为4.4mm和3.1mm，而音叉式振动器10b的长度Lb和臂部长度La分别为4.2mm和2.9mm。
(第二示例性实施例)在第二示例性实施例中，在|L1-L2|/LAVG为1％以上的角速度传感器中，在用作安装部的印刷电路板31上设置有吸音部。参照图6A和图6B，分别通过支承部20a和20b将彼此正交的两个音叉式振动器10a和10b安装在印刷电路板31中。参照图6A，在印刷电路板31中设置有用作吸音部的吸音部件32，以便吸收音叉式振动器10a和音叉式振动器10b的振动。吸音部件32可以由用于吸收印刷电路板31的振动的软材料制成，并且可以采用例如诸如环氧树脂、硅树脂等的树脂。参照图6B，在吸音部件32之上设置有重物34，其它结构与图6A的相同。吸音部件32还具有如同粘合剂的功能，以粘附重物34。在图6B中，重物34使得吸音部件32能吸收印刷电路板31的更多振动。根据第二示例性实施例，因为吸音部吸收了沿印刷电路板31从音叉式振动器10a向音叉式振动器10b或者从音叉式振动器10b向音叉式振动器10a传播的振动，所以可以减少干涉噪音。由于吸音部吸收从音叉式振动器10a向音叉式振动器10b或者从音叉式振动器10b向音叉式振动器10a的振动，因此优选将吸音部插设在音叉式振动器10a与音叉式振动器10b之间。可以通过局部增大印刷电路板31等的安装部的厚度以增大惯性矩，从而使得来自音叉式振动器10a或音叉式振动器10b的振动难以传播来吸收振动。
(第三示例性实施例)在第三示例性实施例中，在|L1-L2|/LAVG为1％以上的角速度传感器中，音叉式振动器10的重心布置在支承部上方。图7A和图7B是分别表示带有音叉式振动器10的重心、重力方向和纵向的投影面的图。在第三示例性实施例中，其它结构与第一示例性实施例的相同从而省略对其的描述。参照图7A，重心G设置在一区域的正上方，该区域即用于支承音叉式振动器10的支承部20的支承面22垂直投影在支承面的投影面上所在的区域。这使得即使从外部施加短时振动或冲击，音叉式振动器10也可抑制摆动运动。如果音叉式振动器10进行摆动运动，则尽管没有绕检测轴线的旋转，也会在错误地识别出绕检测轴线进行了旋转之后输出不必要的信号。图7A的角速度传感器能够抑制摆动运动从而抑制任何不必要信号的输出。另外，如果将角速度传感器用在温度急剧变化的环境下(例如用在车辆中)，则用于将音叉式振动器10牢固地装配在支承面22中的诸如粘合剂等的结合部件在某些情况下会由于温度变化而改变硬度，从而会在变软的状态下使音叉式振动器10倾斜。这会改变音叉式振动器10的灵敏度或偏移量(offset)。即使在这种状态下，通过将音叉式振动器10的重心G配置在支承面22的正上方，也可以抑制因温度变化引起的音叉式振动器10的灵敏度或偏移量的变化。
参照图7B，重心G设置在一区域的正上方，该区域即用于安装音叉式振动器10的安装面24垂直投影在图7B的投影面上所在的区域。这使得可以按照与图7A相似的方式抑制摆动运动并抑制不必要信号的输出。还可以抑制由于温度变化使安装面24的结合部件劣化而引起的、音叉式振动器10的灵敏度或偏移量的变化。这里，可以将多个音叉式振动器10中的至少一个的重心G设置在支承面22投影在投影面上所在区域的正上方。第三示例性实施例中所采用的结构可以与第二示例性实施例中的结构一起使用。
(第四示例性实施例)在第四示例性实施例中，在|L1-L2|/LAVG为1％以上的角速度传感器中，支承面具有用于增强与音叉式振动器的结合的结合增强部(第一结合增强部)。图8A和图8B是表示第四示例性实施例中采用的角速度传感器的支承部20的图。参照图8A，支承面22限定有至少一个贯通支承部20的开口或狭缝23a。参照图8B，支承面22限定有至少一个切口23b。按照这种方式，设置结合增强部以增强与音叉式振动器10的结合。通过在第四示例性实施例中被采用并用作结合增强部的狭缝23a或切口23b，可增大支承面22的表面积，从而可以增大与诸如粘合剂等的结合部件的结合面积。这使得音叉式振动器10和支承部20可通过锚固作用以增强方式连接。
图9A到图9D表示音叉式振动器10与支承部20之间的增强结合的改进效果。通过使用第一示例性实施例中采用的角速度传感器(其在支承面22中不包括结合增强部)和第四示例性实施例中采用的角速度传感器(其在支承面22中包括如图8A所示的用作结合增强部的狭缝23a)，在-55℃和125℃进行30分钟的热冲击试验。图9A和图9C是表示在热冲击试验之前和之后，第一示例性实施例中采用的多个角速度传感器与第四示例性实施例中采用的多个角速度传感器在驱动模式和检测模式中的谐振频率差(去谐Δf)相对于热冲击次数(周期)的曲线图。图9B和图9D表示在第一示例性实施例中采用的多个角速度传感器与第四示例性实施例中采用的多个角速度传感器的检测模式中相对于热冲击次数的阻抗变化。
如图9A所示，在第一示例性实施例中采用的角速度传感器中，当热冲击次数超过100时，去谐Δf急剧增大。另一方面，如图9C所示，即使对第四示例性实施例中采用的角速度传感器进行1000次热冲击试验时，去谐Δf才达到2Hz。而且，如图9B所示，在第一示例性实施例中采用的角速度传感器中，当热冲击次数超过100时，检测模式中的阻抗急剧改变。另一方面，如图9D所示，即使对第四示例性实施例中采用的角速度传感器进行1000次热冲击试验时，检测模式中的阻抗也几乎不变。例如，对于在车辆中使用角速度传感器的标准，需要的是在进行了至少1000次或者3000次热冲击试验之后，在去谐Δf为5Hz以下时，检测模式中的阻抗几乎不变。如图9A所示，第一示例性实施例中采用的角速度传感器不满足上述标准。但是，第四示例性实施例中采用的角速度传感器能够在1000次热冲击试验之后使去谐Δf为5Hz以下，如图9C所示。如所述，可以通过在支承面22中设置结合增强部而增强对热冲击的抵抗。仅需要使用于支承音叉式振动器10的多个支承部20的至少一个支承面22包括结合增强部。第四示例性实施例中采用的结构可以与第二或第三示例性实施例中采用的结构一起使用。
(第五示例性实施例)在第五示例性实施例中，在|L1-L2|/LAVG为1％以上的角速度传感器中，安装面具有用于增强与安装部的结合的结合增强部(第二结合增强部)。图10A到图10C是表示第五示例性实施例中采用的角速度传感器的支承部20的图。其它结构与第一示例性实施例中采用的相同。参照图10A，安装面24限定有至少一个贯通支承部20延伸的开口或狭缝25a。参照图10B，安装面24限定有至少一个切口25b。参照图10C，安装面24限定有至少一个凹坑(从底部看时为突起)25c。根据第五示例性实施例，在安装面24中设置有结合增强部以增强与安装部的结合。通过在第五示例性实施例中被采用并用作结合增强部的狭缝25a、切口25b或凹坑25c可以增大安装面24的表面积，从而可以增大与诸如粘合剂等的结合部件的结合面积。这使得外壳30和支承部20可通过锚固作用以增强方式连接。仅需要使得用于支承音叉式振动器10的多个支承部20中的安装面24中的至少一个如此。而且，第五示例性实施例中采用的结构可以与第二到第四示例性实施例中采用的任一结构一起使用。
(第六示例性实施例)在第六示例性实施例中，在|L1-L2|/LAVG为1％以上的角速度传感器中，设置有与音叉式振动器10的臂部11和12的面内振动面相交的支承面26，并且支承面26具有结合增强部(第一结合增强部)。图11A到图11D是表示根据第六示例性实施例的角速度传感器的支承部20的图。其它结构与第一示例性实施例中采用的相同。参照图11A，支承面26与音叉式振动器10的面内振动模式(图4所示)的振动方向的平面直角相交。而且，支承面26具有贯通支承部20延伸的开口或狭缝27a。支承面26和安装面24通过部件29a连接。参照图11B，支承面26限定有切口27b，其它结构与图11A所示的相同。参照图11C，支承面26和安装面24通过形状与部件29a不同的部件29b连接，其它结构与图11A所示的相同。参照图11D，支承面26限定有切口27b，其它结构与图11C所示的相同。
根据第六示例性实施例，支承面26与面内振动面直角相交，该面内振动面即沿音叉式振动器10的臂部11和12的面内振动模式(图4A所示的振动模式)的振动方向虚拟布置的平面，也就是沿多个臂部11和12的方向虚拟布置的平面。在图4A所示的面内振动模式以及图4B所示的面垂直振动模式中，面内振动面具有较大的振动。因此，在第一到第五示例性实施例中，当支承面22支承该面时，用作驱动模式或检测模式的振动模式受到抑制。同时，在面内振动模式和面垂直振动模式中，与面内振动模式虚拟地直角相交的面具有较小的振动。因此，通过用与面内振动模式虚拟地直角相交的面支承音叉式振动器10，可以控制如第一到第五示例性实施例中所述对振动模式的抑制效果。当支承面26与音叉式振动器10的面内振动模式虚拟地直角相交时是优选的且效果最大。但是，当支承面26与面内振动模式相交时是有效的。另外，在支承面26中设置有用于增强与音叉式振动器10的结合的结合增强部(第一结合增强部)。这能够增强支承部20与音叉式振动器10之间的结合。另外，使支承面26与支承部20的安装面24相连接的部件29a或部件29b可以具有任意形状。仅需要使作为支承音叉式振动器10的支承部20中的至少一个部件的支承面26具有结合增强部。第二或第三示例性实施例的结构可以与第六示例性实施例的结构一起使用。
(第七示例性实施例)在第七示例性实施例中，在|L1-L2|/LAVG为1％以上的角速度传感器中，设置有与音叉式振动器10的臂部11和12的面内振动面虚拟相交的支承面26，安装面24具有结合增强部(第二结合增强部)。图12A到图12C是表示根据第七示例性实施例的角速度传感器的支承部20的图。其它结构与第一示例性实施例中采用的相同。参照图12A，支承面26与音叉式振动器10的面内振动面虚拟地直角相交。而且，安装面24限定有贯通支承部20延伸的至少一个开口或狭缝25a。参照图12B，安装面24限定有至少一个切口25b。参照图12C，安装面24具有至少一个凹坑25c(从底部看时为突起)。
根据第七示例性实施例，支承面26与音叉式振动器10的臂部11和12的面内振动面虚拟相交，并且设置有用于增强与音叉式振动器10的结合的结合增强部。这使得能增强支承部20与音叉式振动器10之间的结合。另外，使支承面26与安装面24相连接的部件29a或部件29b可以具有任意形状。仅需要使作为支承音叉式振动器10的支承部20中的至少一个部件的安装面24具有结合增强部。第二、第三或第六示例性实施例的结构可以与第七示例性实施例的结构一起使用。
(第八示例性实施例)在|L1-L2|/LAVG为1％以上的角速度传感器中，支承面设置在音叉式振动器10的节点附近。图13是说明通过结合部件与音叉式振动器10中的支承部20的支承面接触的面的图。例如，在图4A和图4B所示的振动模式中，节点B是图4A的节点A和图4B的节点B的共用节点。参照图13，区域R1(直线)是节点B垂直投影在音叉式振动器10中的基部13的底面S1上所在的区域，而区域R2(点)是后表面S2中的、节点B与后表面S2虚拟相交的区域。在第八示例性实施例中，作为底面S1的包括区域R1的部分的区域17或者作为后表面S2的包括区域R2的部分的区域18由支承面支承。
图14A到图14C是表示第八示例性实施例中采用的角速度传感器的支承部20的图。其它结构与第一示例性实施例中采用的相同。参照图14A，支承面22a支承作为基部13的底面S1的一部分的区域17。参照图14B，支承面26a支承作为基部13的后表面S2的一部分的区域18。参照图14C，支承面22b和支承面26a分别支承区域17和区域18。
根据第八示例性实施例，音叉式振动器10被支承在支承区域17或区域18的支承面22a、22b或26a处，区域17或区域18是面S1或面S2的、分别包括音叉式振动器10的节点投影在基部13的面S1和面S2中的至少一个面上所在的区域R1或R2的部分。节点B是音叉式振动器10不振动的区域。因此，在基部13的面S1或面S2的最靠近节点B的区域中振动较小，换言之，节点B垂直投影在面S1或面S2上所在的区域R1或区域R2的振动较小。优选的是，音叉式振动器10由支承面的包括区域R1或区域R2的部分支承。这样减少了施加到支承面的应力，从而抑制了支承面与音叉式振动器10分离。在第八示例性实施例中，被驱动模式中的节点A和检测模式中的节点B所共用的节点B附近由支承面支承。但是，可以用支承面支承驱动模式中的节点附近以及检测模式中的节点附近。另外，仅需要将当前示例性实施例应用于多个音叉式振动器10中的至少一个。另外，第二至第七示例性实施例中采用的任一结构可以与第八示例性实施例的结构一起使用。
在第一示例性实施例中采用外壳30，在第二示例性实施例中采用印刷电路板31作为安装部。但是，可以应用其它结构，只要安装部具有安装音叉式振动器10a和音叉式振动器10b的功能即可。在上述示例性实施例中，音叉式振动器10a和音叉式振动器10b分别具有两个臂部11和12。但是，音叉式振动器可具有三个或更多个臂部。支承部20不限制于第一到第八示例性实施例中描述的形状，仅需要使支承部20包括支承音叉式振动器10的支承面22以及待安装在安装部上的安装面24。在上述示例性实施例中，采用了两个振动器；但是，可以采用三个或更多个振动器。
尽管示出并描述了本发明所采用的几个具体的示例性实施例，但本领域技术人员应理解，可以在不背离本发明的原理及精神的情况下对这些示例性实施例进行改变，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。
本发明基于2006年4月19日提交的日本专利申请No.2006-116001，其全部公开通过引用结合于此。
权利要求
1.一种角速度传感器，该角速度传感器包括多个音叉式振动器，这之中的每个音叉式振动器分别包括基部和从该基部延伸的多个臂部，其中，所述多个音叉式振动器之间的臂部长度差至少为所述多个音叉式振动器的多个臂部长度的平均值的百分之一。
2.如权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，该角速度传感器还包括多个支承部，所述多个支承部分别支承所述多个音叉式振动器；和安装所述多个支承部的安装部。
3.如权利要求2所述的角速度传感器，其特征在于，该角速度传感器还包括吸音部，该吸音部吸收设置在所述安装部中的所述多个音叉式振动器的振动。
4.如权利要求2所述的角速度传感器，其特征在于，在所述多个音叉式振动器中的至少一个中，其重心位于第一区域的正上方或者位于第二区域的正上方，所述第一区域即支承音叉式振动器的相应支承部的支承面投影在包括该音叉式振动器的重心、该音叉式振动器的重力方向和纵向的投影面上所在的区域，所述第二区域即所述相应支承部的待安装在所述安装部上的安装面投影在所述投影面上所在的区域。
5.如权利要求2所述的角速度传感器，其特征在于，所述多个支承部中的至少一个在支承相应音叉式振动器的支承面中包括第一结合增强部，该第一结合增强部用于增强所述多个支承部中的所述至少一个与所述相应音叉式振动器之间的结合。
6.如权利要求2所述的角速度传感器，其特征在于，所述多个支承部中的至少一个在待安装在所述安装部上的安装面中包括第二结合增强部，该第二结合增强部用于增强所述多个支承部中的所述至少一个与所述安装部之间的结合。
7.如权利要求2所述的角速度传感器，其特征在于，所述多个支承部中的至少一个包括这样的支承面，该支承面与所述音叉式振动器的臂部的面内振动面虚拟相交并支承相应音叉式振动器。
8.如权利要求7所述的角速度传感器，其特征在于，所述多个支承部中的至少一个在所述支承面中包括第一结合增强部，该第一结合增强部用于增强所述多个支承部中的所述至少一个与所述相应音叉式振动器之间的结合。
9.如权利要求7所述的角速度传感器，其特征在于，所述多个支承部中的至少一个在待安装在所述安装部上的安装面中包括第二结合增强部，该第二结合增强部用于增强所述多个支承部中的所述至少一个与所述安装部之间的结合。
10.如权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，所述多个支承部中的至少一个通过一支承面来支承相应的音叉式振动器，该支承面包括相应音叉式振动器的节点投影在相应基部的至少一个平面上所在的区域并支承所述至少一个平面的一部分。
全文摘要
本发明提供了一种角速度传感器。该角速度传感器包括多个音叉式振动器，这之中的每个音叉式振动器分别包括基部和从该基部延伸的多个臂部，并且所述多个音叉式振动器之间的臂部长度差至少为所述多个音叉式振动器的多个臂部长度的平均值的百分之一。
文档编号G01P9/04GK101059347SQ200710096500
公开日2007年10月24日 申请日期2007年4月19日 优先权日2006年4月19日
发明者山地隆行, 石川宽, 今井彰, 小笠原昭二, 胜木隆史, 高桥勇治, 中泽文彦, 高木宏明 申请人:富士通媒体部品株式会社, 富士通株式会社