专利名称：用于质量流量控制器的控制器增益调度的制作方法
技术领域：
本发明公开的实施方式一般地涉及流体流量的测量和控制，且更具体 地涉及基于模型的用于质量流量控制器的控制器增益调度。
背景技术：
质量流量控制器(MFC)为设定、测量并控制流经设备的例如为气体 或蒸汽的流体的流率和量的设备。设计和校准这些设备，以高精度地在预 定流率范围内控制气流。
例如为半导体制造的一些制造过程需要精确控制传送给处理室或工具 的气体或蒸汽的流率和量(质量)。通常，精确的流体流率和量(流体的总 质量)对于确保最佳的结果是关键的。应用范围包括流入处理室以用于随 后在工件上的喷镀的气体或蒸汽的精确量的计量、干法蚀刻以移除材料、 在半导体中使用的离子及等离子束以及制药工业等等。质量流量控制器尤 其适于这些以及其它的作业。
参照图1，质量流量控制器系统10典型地将质量流量控制器12与流动 通道14接合。选定的流体通过入口 16进入通道，流经控制器12并以被精 确控制的方式通过出口 18离开控制器。流体流量路径20在内部将控制器 12分成旁路路径和传感器路径。具体地，在第一分叉接合点22处， 一小部 分流体从主路径20中分离并在旁路管26的主旁路路径和传感器40的毛细 传感器管24的传感器路径之间分开。传感器管24和旁路管26在位于第一 接合点22下游的第二汇合接合点28处重新结合。所述第二接合点28使流 经传感器及旁路的管24及26的流体重新混合。重新混合后的流体30然后 流经控制阀50，所述控制阀50反过来控制流体流量，如在附图标记36处 所示，所述流体30通过出口 18离开控制器12。层流或流量分流元件32通 常设置在旁路管26内的第一和第二接合点22及28之间，以便产生流经两 个接合点之间的旁路管26的层流。由于流经旁路管的层流和毛细管的内部 毛细管尺寸，流经毛细管和旁路管的质量流量将在仪器的整个预先设计的
4流率范围内保持在精确的旁流比。
设计传感器40以提供表示流经传感器管24的流体的流率的信号。由 于旁流比在整个仪器预先设计的流率范围内保持恒定，所以由传感器40提 供的信号表示流经旁路和传感器管24及26两者的混合流量(即流经质量 流量控制系统10的混合流量)。传感器40的信号输出被应用于处理器60。
已知用于基于温度测量结果而测量流量的传感器，同时已知用于基于 压力测量结果而测量流量的其它传感器。典型的基于温度的传感器具有两 个传感器线圈44、 46，上游线圈用于向流经毛细管的气体或蒸汽注入热量， 而下游的另一个线圈用于测量两个线圈之间的温度损失。这种温差代表流 率。其它温度传感器的设置是已知的，其包括采用一个或三个线圈的传感 器。
控制器12还包括用于响应于来自处理器60的信号而控制流体流动的 控制阀50。所述处理器60被构造成并设置成将由传感器40探测的实际流 量与通常由使用者和/或被控制的过程确定的设定点(SP)值比较，并向阀 50提供信号，以将阀50设置在正确的位置以产生由SP值确定的所需流量。 因此，如果处理器60从传感器40检测到流体流动太快，那么处理器60将 向控制阀50发出信号以降低流率，反之亦然。
处理器60可被构造成以至少两种阀的设计控制阀。 一种阔的设计包括 常开阀，其中，阀保持打开直到电信号被发送到控制阀。另一种设计为常 闭阀设计，其中，阀被关闭直到电信号被发送到控制阀。
质量流量控制器也已经被设计成对来自于控制器上游的压力波动不敏 感。在授予Ali Shajii等并转让给本受让人的美国专利No. 6712084中描述 了压力不敏感的质量流量控制器(兀MFC或piMFC)的一个例子。受专利 权保护的兀MFC也包括基于热能的流量传感器，且类似于至此结合图1所 描述的MFC，并且还包括被接合以测量阀50上游流体的压力的压力传感器 70 (在图1中由虚线示出)。压力传感器70向处理器60提供所测得的表示 流经设备的流体的压力的信号。在受专利权保护的兀MFC中，通过传感器 40、处理区60和控制阀50之间的协调工作，以及使用由压力传感器70所 测得的压力测量结果获得对压力不敏感的控制。受专利权保护的KMFC的 目的在于使输出流量36对上游或下游的压力干扰不敏感。基于传感器的输 入以及上游压力的测量结果使用算法(在处理器60中处理)控制控制阀50。
5兀MFC还包括与流动主体相连的温度传感器80以用于测量流入控制器的 流体的温度。
在工作中，MFC经由例如为输出流率a追踪流量设定点SP的反馈控 制环控制所述阀的打开。MFC的控制器增益通常在例如为在室温下40个绝 对压强的入口氮气的已知校准条件下确定，以在流量设定点变化时具有良 好的控制性能。对于在不同于校准条件的条件下工作的MFC,例如在不同 的气体类型、不同的入口气体压力或不同的入口气体温度的条件下，经常 出现两种常见的控制性能问题。第一种常见的控制性能问题为如图2A中所 示的当设定点改变时的超调(overshoot)。该问题与当入口气体从氮气转换 为例如为氦的轻质气体或入口气体压力从高压力变到低压力时的低控制器 增益设定有关。第二种常见的控制性能问题为如图2B中所示的当设定点改 变时的振荡。该问题与当入口气体从氮气转换为例如为六氟化硫(SF6)的 重质气体或入口气体压力从低压力变到高压力时的高控制器增益设定有 关。在需要仔细的、高精度的流体流率的时间控制的半导体制造过程中， 这些控制问题是非常难以解决的。
在授予Lull的美国专利No. 6,962,164中论述了根据流经MFC的气体 压力和气体类型而克服不同响应的这种问题的一种方法。Lull试图通过基 于流体流量的变化而经验地确定阀增益项来克服控制问题，所述流体流量 被在多个预定流率下阀位移(在基于热能的MFC中使用的阀的位移)的相 应变化而分流。换句话说，通过将流体流量与阀位移相关联而确定设置作 为基于工作的函数的增益。使用预定的流率，Lull推导出用于给定条件(即 阀位移)的适当的流率，并适当地调节仪器的增益。人们认为，通过利用 来自于不同预定流率的数据，阀增益项会更准确。然而，该方法不必要地 复杂化了。
因此，本领域需要能够提供更可靠的流体流量控制的MFC，其中，实 际的流量更平稳地落于设定点上，而没有超调或者振荡的控制响应。
发明内容
一种具有反馈控制器增益的质量流量控制器，包括构造成探测流经 所述控制器的流体流量的传感器；设置成调节流经所述控制器的流体流量 的阀；以及构造成按照所述传感器所测得的流体流量的函数来控制所述阀的处理器。所述传感器和阀设置在反馈系统内，且所述处理器基于至少一 个校准气体参数与至少一个工作气体参数的比值而实时修正反馈控制器增 益，以使得反馈系统的闭环传递函数无关于工作条件而保持基本上恒定， 从而在不同于校准条件的工作条件下具有一致的控制性能。
图1为基于热能的MFC的框图2为示出在不同于校准条件的工作条件下的现有技术的MFC的不合
需要的控制响应的曲线图3为用于MFC的控制器增益调度方法的框图；以及
图4为示出在不同于校准条件的工作条件下使用控制器增益调度方法
的重要的控制性能改善曲线图。
具体实施例方式
参照图3中示出的实施方式，MFC控制系统100的框图包括负反馈控 制环。反馈控制系统一般地包括输入和输出，以及将输出和输入相结合的 关联。在所述反馈控制环中，^>102 (理想的设定点流率)为输入。在附图 标记116处表示的所获得的实际流率2为输出。在下面的描述中，例如为2(0 和2wW的所有时域变量都被转换成如2(s)和^^)的拉普拉斯域变量，这是
在控制领域中所使用的常用手段。
控制系统100的物理模型包括在附图标记104处表示的控制器^")，以 及以在附图标记110处表示的阀^W。反馈控制器尺W产生在附图标记108 处表示的控制命令电流刷以调节阀的打开，使得阀的输出、实际的流率2(》 追踪理想的设定点流率^^)102。此处，我们假设，流量传感器提供快速准 确的测量，以使得流量传感器的动态(dynamic)与阀的动态相比可被忽略。 如果传感器的动态不能忽略，那么可将流量传感器的动态与阀的动态结合 作为整个阀的动态模型「(》。
阀IIO可通过阀传递函数描述为
(l) 脊寧^(Mj,r,尸)4)
其中，t(M，y，『，"为取决于工作条件的阀增益函数，所述工作条件例如为入口气体分子量^f、入口气体热容量比率r、入口气体压力P以及入口气
体温度r。 F(》为独立于这些工作条件的阀动态传递函数。
一般地，反馈控制器W》104可定义为
<formula>formula see original document page 8</formula>
其中，A为控制器增益，而G("为独立于所述工作条件的控制器动态传递函
数o
反馈系统的闭环传递函数^W为<formula>formula see original document page 8</formula>闭环传递环数"W决定反馈控制系统的控制性能。如果闭环传递函数恒定， 那么即使工作条件变化，反馈控制系统的控制性能也保持不变。为了在不
同的工作条件下具有恒定的闭环传递函数ciW，控制器《W必须基于工作
条件调节其自身以使得对"("的净效应恒定。因此，需要用于MFC的控制 器增益调度方法，以便于在不同的工作条件下具有一致的控制性能。
根据本发明，用于控制器增益&的增益调度由如下的校准气体参数与
工作气体参数的比值而确定<formula>formula see original document page 8</formula>
其中，u为在校准条件下确定的最佳控制器增益。校准气体参数为校准气
体分子量Mm/、校准气体热容量比率^/、校准气体温度^、校准气体压力
4/。工作气体参数为入口气体分子量M、入口气体热容量比率r、入口气
体温度r以及入口气体压力z5。
对于方程(4)的控制器增益调度方法，闭环传递函数CZW在不同工作
条件下(例如不同的M、 y、 r、尸)保持恒定，其可被证明如下
<formula>formula see original document page 8</formula>从上述方程中可看出，闭环传递函数ci(》确实独立于例如为入口工作
气体分子量m、入口工作气体热容量比率z、入口工作气体温度r以及入u
工作气体压力尸的工作条件，因为如上所述，f(j和g("两者都独立于这些
工作条件。
关于入口气体分子量m和入口气体热容量比率/的信息都储存在形成 质量流量控制器一部分的处理器的存储器中。当质量流量控制器处于工作 条件下时，所述入口气体的信息被检索出，入口气体温度由温度传感器测 得，而入口气体压力由质量流量控制器内部的压力传感器测得。然后，质 量流量控制器根据方程(4)的控制器增益调度方法实时修正控制器增益t 这样，如方程(5)所证明的那样，闭环传递函数"W保持恒定。因此，在 工作条件下的控制性能与校准条件下的控制性能相同，尽管这两种条件在 大多数情形下不同。
如果在工作条件下的入口气体温度与在校准条件下相比没有很大程度 的变化，或者如果由于在质量流量控制器中缺少温度传感器而不能获得入 口气体温度，那么可如下式将控制器增益调度中的气体温度效应的因子提 出
一 、(M，y，尸)
同样，如果在工作条件下的入口气体压力与在校准条件下相比没有很 大程度的变化，或者如果由于质量流量控制器中缺少压力传感器而不能获 得入口气体压力，那么可如下式将控制器增益调度中的气体压力效应的因
子提出
一 、(M，j/,r)
如果在工作条件下的入口气体温度和入口气体压力与在校准条件下相 比都没有很大程度的变化，或者如果由于质量流量控制器中缺少测量传感 器而不能获得入口气体温度和入口气体压力，那么可如下式将控制器增益 调度中的它们的效应的因子提出
(8) ," t。'
还可以将控制器增益调度中的气体类型的效应的因子、即m和y提出， 如果它们不可获得，或者如果所述气体在工作条件下与在校准条件下相同的话。
应当注意的是，不管控制阀为常闭阀还是常开阀，前述分析均成立。
另外，尽管已经针对基于温度的MFC而描述了图1，但是所述控制器增益 调度方法针对例如为基于压力的MFC的其它类型的MFC也能起作用。最 后，显而易见的是，控制器基于如下的一个或多个的校准气体参数与工作 气体参数的比值而实时修正反馈控制器增益入口气体分子量；入口气体 热容量的比率；入口气体温度以及入口气体压力；以使得反馈系统的闭环 传递函数无关于工作条件而保持基本上恒定，从而在不同于校准条件的工 作条件下具有一致的控制性能。
使用控制器增益调度的控制性能独立于工作条件，因为不必建立用于 不同工作条件的一组预定的流率、使这些流率与阀位移测量结果相关联、 以及从所述预定的组插值。不用基于工作条件而调换不同的增益公式/方程。 该方法更精确地导出控制器增益，因为其不基于一系列的线性数据插值法。 相反，控制器增益基于流体参数而直接被计算出，而不是基于预定工作条 件，这很大地改进了在不同工作条件下的控制性能。
图4示出了作为与图2中的一个参考示例比较的、使用用于兀MFC的 控制器增益调度的控制性能的示例。在图4的两个图表中，在X轴上以秒 作单位表示时间。对于流体输出(&)和设定点(指标目标值SP)，第一Y 轴被用于以标准立方厘米每秒(sccm)作单位表示流率。对于流体压力(P)， 第二Y轴被用于以绝对压强(磅每平方英寸)(psia)作单位表示压力。如 图2所示，在兀MFC的工作中，兀MFC试图使流体流量输出与设定点匹配。 如从流经兀MFC的轻质气体(流体)的图4A和重质气体(流体)的图4B 可看出的那样，所述控制器增益调度方法基本上已经消除了所有的超调及 振荡问题。
已经详细的描述了本发明的实施方式，对于本领域技术人员来说，将 易于进行各种修改及改进。这样的修改及改进应当包括在本发明的范围内。 因此，前述的说明仅为示例，而不作为限定。本发明仅仅由如随后的权利 要求及其同等内容所定义的范围而限定。
10
权利要求
1、一种具有反馈控制器增益的质量流量控制器，包括构造成探测流经所述控制器的流体流量的传感器；设置成调节流经所述控制器的流体流量的阀；以及构造成按照所述传感器所测得的流体流量的函数来控制所述阀的处理器；其中，所述传感器和阀设置在反馈系统内，且所述处理器基于至少一个校准气体参数与至少一个工作气体参数的比值而实时修正反馈控制器增益，以使得反馈系统的闭环传递函数无关于工作条件而保持基本上恒定，从而在不同于校准条件的工作条件下具有一致的控制性能。
2、 根据权利要求1的质量流量控制器，其特征在于，所述至少一个校 准气体参数和所述至少一个工作气体参数从以下参数的一个或多个中选 择入口气体分子量^^ 入口气体热容量比率y;入口气体温度r;以及入口气体压力尸。
3、 根据权利要求2的质量流量控制器，其特征在于，还包括用于探测入口气体温度r的温度传感器以及用于探测入口气体压力尸的压力传感器，其中，所述控制器按照如下的函数实时修正控制器增益h一 t(M,y，r,尸) 其中，^为在校准条件下确定的控制器增益，ji^,为校准气体分子量，为校准气体热容量比率，T^为校准气体温度，i^为校准气体压力，以及/U ) 为取决于工作条件的阀增益函数，所述工作条件例如为入口气体分子量M、入口气体热容量比率y、入口气体温度r以及入口气体压力尸。
4、 根据权利要求2的质量流量控制器，其特征在于，还包括用于探测入口气体压力户的压力传感器，并假设入口温度r与在校准条件下相比没有很大程度的变化和/或假设它不可获得，其中，所述控制器按照如下的函 数实时修正控制器增益A::
5、 根据权利要求2的质量流量控制器，其特征在于，还包括用于探测入口气体温度r的温度传感器，并假设入口压力户与在校准条件下相比没 有很大程度的变化和/或假设它不可获得，其中，所述控制器按照如下的函数实时修正控制器增益A::,=K(d"匸,)
6、 根据权利要求2的质量流量控制器，其特征在于，假设入口温度r 和入口压力尸与在校准条件下相比没有很大程度的变化和/或假设它们不可 获得，所述控制器按照如下的函数实时修正控制器增益h一 、(m,"
7、 根据权利要求2的质量流量控制器，其特征在于，所述阀为常闭的。
8、 根据权 要求2的质量流量控制器，其特征在于，所述阀为常开的。
全文摘要
一种具有反馈控制器增益的质量流量控制器，包括构造成探测流经所述控制器的流体流量的传感器；设置成调节流经所述控制器的流体流量的阀；以及构造成按照所述传感器所测得的流体流量的函数来控制所述阀的处理器。所述传感器和阀设置在反馈系统内，且所述处理器基于至少一个校准气体参数与至少一个工作气体参数的比值而实时修正反馈控制器增益，以使得反馈系统的闭环传递函数无关于工作条件而保持基本上恒定，从而在不同于校准条件的工作条件下具有一致的控制性能。
文档编号G01F1/68GK101636641SQ200780044834
公开日2010年1月27日 申请日期2007年7月12日 优先权日2006年12月7日
发明者丁军华 申请人:Mks仪器公司