总有机碳测定装置的制作方法

专利名称：总有机碳测定装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及测定试样水中的总有机碳(TOC)量的总有机碳测定装置 (也称为TOC测定装置)。尤其涉及集成以下功能的pTAS (Micro Total Analysis System微型全分析系统)，即，将称作纯水或超纯水的杂质少的 水所含有的有机物质通过二氧化碳分离部来进行分离，且通过电导率测定 部来测定TOC。
背景技术：
管理制药用水、半导体制造工序水、冷却水、锅炉水、自来水等杂质 少的试样水的目的在于，对这些水所含有的有机物的TOC进行测定。
在总有机碳测定装置中，已知有在高温的炉中将有机物燃烧氧化的燃 烧式氧化法、或使用紫外线和氧化剂来将有机物化学氧化的湿式氧化法， 但对于纯水或超纯水那样的高灵敏度测定来说后者的湿式氧化法比较普 遍。
作为湿式氧化法的TOC的测定方法，已知有通过如下工序进行测定 的方法(参照专利文献1、 2)，即，将试样水中的有机体通过氧化反应器 向二氧化碳转化的工序，经由气体透过膜使二氧化碳向测定水移动的工 序，通过将二氧化碳移动后的测定水向电导率测定部输送而对电导率进行 测定而检测出二氧化碳浓度的工序。
作为二氧化碳的电导率测定，己知有如下方法通过将至少两个电极 配置在试样水的氧化前和氧化后的位置，而检测氧化前和氧化后的电导率 的差值，从而测定有机化合物的TOC (参照专利文献3)。
在测定像半导体或制药用水等那样的杂质少的水时，已知有如下作为 能够在比较小型的装置中精度良好地进行测定的方法，即，通过紫外线分 解有机物而生成二氧化碳，经由二氧化碳分离部来进行电导率测定。
另外，本发明者们提出通过使用微加工技术来集成化设备，从而开发同时实现降低试样水或试样水消耗量且降低从配管的溶出或透过的总 有机碳测定装置，从而对比现有装置少的容量的水进行测定(参照专利文
当使用将设备集成了的总有机碳测定装置时，为了将有机物充分地氧 化需要停止试样水的输送而照射紫外线。这种情况下，由于来自UV (紫 外线)灯照射的紫外线在强度分布上存在偏差，因此在有机物氧化部的流 路内进行不均匀的氧化。存在以下问题在流路内没有充分地照射紫外线 的部分，有机物被氧化后所生成的二氧化碳的浓度变低，即使到达二氧化 碳分离部也不会使电导率充分地上升，从而总有机碳浓度变得低于真值。
因此，本发明的目的在于提供一种使电导率的测定精度提高的总有机 碳测定装置。
本发明的总有机碳测定装置具备计测部；控制部，其控制上述计测 部中的输送液体动作；数据处理部，其根据测定水的电导率求解总有机碳 浓度。所述计测部具备有机物氧化部，其对被供给的试样水照射紫外线， 将试样水中的有机物氧化而转化为二氧化碳；二氧化碳分离部，其具备使 经过上述有机物氧化部后的试样水流动的试样水流路以及使含有去离子 水的测定水流动的测定水流路；电导率测定部，其测定来自二氧化碳分离 部的测定水的电导率，在上述二氧化碳分离部中，试样水流路和测定水流 路之间以气体能够透过的方式相接，且从上开始依次层叠而一体化，并且 上述各部从上开始依次层叠而构成计测部。
而且，所述控制部在对有机物进行氧化时停止试样水的输送，且在使 试样水向所述有机物氧化分解部以及二氧化碳分离部移动时进行试样水 的输送，上述数据处理部根据照射相对强度为一定值以上的紫外线后的试 样水到达二氧化碳分离部时的电导率，测定总有机碳浓度。
献4)。
专利文献1 专利文献2 专利文献3 专利文献4
日本专利第2510368号公报； 日本特开2006-90732号公报； 日本特开2001-281189号公报； 日本特开2006-300633号公报
发明内容
若通过紫外线分解有机物，则从化合物中所含有的氮化合物等含有碳 以外的元素的化合物生成二氧化碳以外的气体成分，其与二氧化碳一起移 动而成为对电导率测定产生影响的妨碍。
因此，作为上述二氧化碳分离部可以在试样水流路和测定水流路之间 具备中间水流路，该中间水流路中存在具有高于试样水流路中流动的试样 水的pH值的中性区域的中间水，试样水流路和中间水流路之间以及中间 水流路和测定水流路之间分别通过气体透过膜相接，且试样水流路、中间 水流路以及测定水流路从上开始依次层叠而一体化。
通常，在具备二氧化碳分离部且通过测定水的电导率测定来测量TOC 的方式中，由于以溶解二氧化碳成分的去除、气体成分向试样水的移动促 进、测定的稳定化等为目的而对试样水进行氧添加，因此试样水变为强酸 性。若在这样的强酸性条件下将含有尿素等氮化合物的试样水通过紫外线 进行氧化分解，则由氮化合物产生硝酸和亚硝酸。
如图6所示，亚硝酸和硝酸离子的存在比如图6所示根据pH变化。
即，在酸性条件下气体成分作为亚硝酸存在，在从中性到碱性条件下作为 亚硝酸离子存在。
在二氧化碳分离部中试样水和测定水通过气体透过膜相接的现有的
TOC测定装置中，由于酸性的试样水和中性的测定水通过气体透过膜相 接，因此试样水中生成的亚硝酸通过气体透过膜而向测定水移动，变成亚 硝酸离子。其结果，亚硝酸在电导率测定中产生电导率变高的方向的正的 妨碍影响。
另一方面，在本发明中，在试样水流路和测定水流路之间具备中间水 流路，该中间水流路中存在具有高于试样水流路中流动的试样水的pH值 的中性区域的中间水，试样水所产生的亚硝酸透过气体透过膜而向中间水 流路移动，通过将中间水的pH保持在中性附近，由此亚硝酸作为气体成 分的存在比减少，而变成亚硝酸离子。由于亚硝酸离子不透过气体透过膜， 因此能够抑制亚硝酸向测定水的移动。
在例如都使用去离子水作为中间水以及测定水的情况下，两者溶解后 的碳酸保持在pH5-7。在这种条件下，相对于碳酸成分的大部分为气体成 分，亚硝酸大部分作为离子成分存在。由于气体从中间水向测定水的移动速度通过两者的浓度差来确定，因此大部分作为离子存在的亚硝酸的移动速度比碳酸的移动速度低。利用该速度差，并对中间水和测定水间的气体透过膜的膜厚或与膜的接触液体面积进行适当地设计，由此能够减小亚硝酸对二氧化碳的影响。
这样，通过设置中间水流路，能够同时实现将二氧化碳的气体透过速度维持在高速、且降低妨碍物质的影响。作为妨碍物质举出亚硝酸作为一个实例，但只要是在酸性侧作为气体状态存在、且在从中性到碱性的条件下离子化的成分，都能够对该成分的妨碍影响进行抑制。
另外，通过设置中间水流路而使装置成为多层结构，即使在难以将试样水、中间水以及测定水的流速比或输送液体的时间保持为一定时，本发明也由于使充分氧化后的试样水向二氧化碳分离部流动，因此能够求解准
确的TOC值。
本发明的总有机碳测定装置的有机物氧化部的一例是具备试样水流动的流路和用于对流动在该流路中的试样水照射紫外线的紫外线入射部的机构。由于紫外线照射的有机物氧化部不需要加热部或加压部，因此能够制成小型，且容易与其他部分一体化。在这样的有机物氧化部中为了加长紫外线照射时间而提高氧化效率，在试样水流动的流路中，为了加长流路长度，可以在紫外线入射部中蜿蜒。
在二氧化碳分离部中为了加长试样水和中间水的接触时间而提高从
试样水向中间水的气体透过效率，可以在试样水流路中使与气体透过膜相接的部分蜿蜒以加长流路长度。
在二氧化碳分离部中，为了加长测定水和中间水的接触时间提高从中间水向测定水的气体透过效率，可以在测定水流路中使与气体透过膜相接的部分蜿蜒，以加长流路长度。
另外，为了加长中间水流路中的中间水的滞留时间，可以在中间水流路中使与气体透过膜相接的部分蜿蜒，以加长流路长度。
在中间水中pH的设定很重要。除纯水或去离子水之外，还可以使用pH设定在中性区域的缓冲液作为中间水。发明效果
在本发明的总有机碳测定装置中，由于控制部在对有机物进行氧化时停止试样水的输送，在使试样水向有机物氧化分解部以及二氧化碳分离部移动时进行试样水的输送，数据处理部根据照射相对强度为一定值以上的紫外线后的试样水到达二氧化碳分离部时的电导率，测定总有机碳浓度，因此能够测定准确的TOC值。


图1是示意地表示本发明的总有机碳测定装置的一个实施例的剖面图。
图2是示意地表示二氧化碳分离部的另一方式的剖面图—。 图3A是没有将氧化部流路的流路图案最佳化的实例。图3B是使氧化部流路的流路图案最佳化时的实例。图4A是使用图3A所示的流路图案来进行实验的结果。图4B是使用图3B所示的流路图案来进行实验的结果。图5是示意地表示二氧化碳分离部的另一方式的剖面图。图6是表示亚硝酸和二氧化碳的相对于pH的分子状成分比的图表。符号说明2-试样水流路，4-中间水流路，6-测定水流路，8、 10-气体透过膜，20-二氧化碳分离部，24-有机物氧化部，34-电导率测定部控制部，40-控制部，41-数据处理部，42-输送液体装置，64-试样水导入口， 66-试样水排出口。
具体实施例方式
以下，说明本发明的实施例。
图1是示意地表示总有机碳测定装置的一个实施例的剖面图。该总有机碳测定装置具备计测部，其将有机物氧化部24、 二氧化碳分离部20以及电导率测定部34—体化而集成；输送液体装置42，其向计测部输送试样水；控制部40，其控制输送液体装置42;数据处理部41，其根据电导率值求解TOC值。需要说明的是，在区别称呼各基板的表面和背面时，在图1的状态下将上侧的面称为"表面"，将下侧的面称为"背面"。
有机物氧化部24由紫外线入射侧的基板60和与其接合的基板62构成。为了通过从上方照射的紫外线来进行有机物的分解，使用透过紫外线的石英基板作为一方的基板60。基板60中、紫外线入射的部分作为紫外
线入射部。在基板60开口有作为试样水导入口的贯通孔64和作为试样水排出口的贯通孔66。另一个基板62也使用石英基板。在基板62的表面形成有在试样水导入口 64的位置具有一端的氧化部流路68。在基板62的背面形成有在与试样水排出口 66对应的位置具有一端的试样水流路62。在基板62开口有连结氧化部流路68的另一端和试样水流路2的另一端的贯通孔70和连结试样水流路2的一端和试样水排出口 66的贯通孔72。在基板62的背面即与基板60的接合面的相反侧的面形成有划定紫外线照射区域的遮光用金属膜33。遮光用金属膜33是例如厚度为0.05pm以上的Pt/Ti膜(形成钛膜作为密接层，并在其上形成铂膜)。
氧化部流路68以及试样水流路2并不特别局限于限定尺寸的结构，例如宽度lmm、深度0.2111111、长度200mm左右，可以通过湿蚀刻或千蚀刻等加工而形成。另外，贯通孔64、 66、 70可以通过喷砂加工等形成。基板60、 62间的接合通过氟化氢接合来实现。
电导率测定部34在形成于石英基板74上的Pt/Ti膜的电极图案76上，经由切断流路部分的膜78接合石英基板80的背面而形成。
作为膜78，例如使用粘接性氟树脂(例如，厚度100pm的NEOFLONEFEP (大金工业株式会社的注册商标))膜或PDMS (聚二甲基硅氧烷)(例如厚度lO(Him的道康宁公司的SYLGARD184 (注册商标))膜。在电极图案76上通过膜78形成有测定水流动的流路。
电极图案76可以通过以下方法形成将Pt/Ti膜溅射成膜，可以通过在半导体制造工序或微细加工技术的领域中使用的光刻法和蚀刻而构成图案，但电极图案76的形成方法并不特别局限于此。另外，在电极图案76上用于形成流路的膜并不局限于NEOFLON膜或PDMS膜，也可以通过粘接性有机膜或涂敷了粘接剂的薄膜等实现，并不局限于这些方法。
在石英基板80的表面形成有测定水流路6，在石英基板80形成有与测定水流路6的一端相连的测定水分支流路82和将测定水流路6的另一端与电导率测定部34的电极图案76的流路连结的贯通孔84。另外，在石英基板80开口有作为引导中间水的中间水分支流路的贯通孔86和作为排出中间水的中间水排出口的贯通孔88。石英基板80的厚度并没有特别限定，使用例如厚度lmm的结构。
在石英基板74开口有用于供给离子交换水作为去离子水的离子交换水导入口即贯通孔90、排出多余的离子交换水的离子交换水排出口即贯通孔92。在通过基板74、 80间的PDMS膜78形成的流路的作用下，离子交换水导入口 90与测定水分支流路82、中间水分支流路86以及离子交换水排出口 92相连。
在石英基板74还开口有贯通孔94和贯通孔96，所述贯通孔94作为从电导率测定部34的电极图案76的流路将检测后的测定水排出的测定水排出口，所述贯通孔96作为与石英基板80的中间水排出用贯通孔88连接而排出中间水的中间水排出口 。
二氧化碳分离部20是在构成有机物氧化部24的基板62的背面和构成电导率测定部34的单元的基板80的表面之间夹着构成二氧化碳分离部20的两个气体透过膜8、 10而接合的机构。
在气体透过膜8、 10之间夹着PMDS膜98，且根据该PDMS膜98的厚度形成间隙，根据该PDMS膜98的图案形成有中间水流路4。中间水流路4形成为一端与石英基板80的中间水导入用的中间水分支流路86相连，另一端与中间水排出用的贯通孔88相连的形状。
具有高于试样水的pH值的中性区域的中间水在中间水流路4流动。中间水流路4形成为至少一部分与试样水流路2以及测定水流路6平行地相接。
在气体透过膜8、 10和基板62、 80之间通过PDMS膜等膜来进行密封，从而在气体透过膜8和基板62之间形成试样水流路2，在气体透过膜10和基板80之间形成测定水流路6。
气体透过膜8、 IO并没有特别限定，使用对二氧化碳没有选择性的结构。可以使用例如多孔质氟树脂膜(例如厚度为30)im的POREFLON;住友电工公司制)等作为这样的气体透过膜8、 10。
在该实施例中，试样水从基板60的试样水导入口64导入，从氧化部流路68通过试样水流路2而从试样水排出口 66排出。试样水在这期间在有机物氧化部24中接受紫外线照射而被氧化，经由二氧化碳分离部20的气体透过膜8与中间水接触，而将二氧化碳等气体成分分配到中间水。离子交换水在该装置的外部生成，从离子交换水导入口 90导入。将导入的离子交换水的大部分直接从离子交换水排出口 92排出，仅将需要
的流量从测定水分支流路82供给到测定水流路6，从中间水分支流路86供给到中间水流路4。
由于中间水流路4与气体透过膜8和气体透过膜10双方相接，所述气体透过膜8与试样水相接，所述气体透过膜10与测定水相接，因此从试样水进入的气体成分在中间水中达到与离子的平衡并同时向测定水分配气体成分，从而经过中间水排出口 88、 96向外部排出。另外，测定水在测定水流路6中接受气体成分后，通过电导率图案76从测定水排出口94排出。
试样水的流量根据输送液体装置42和控制部40的动作，在对有机物进行氧化时停止试样水的输送，在将试样水向有机物氧化分解部或二氧化碳分离部20移动时进行试样水的输送。另外，数据处理部41能够根据照射相对强度为一定值以上的紫外线后的试样水到达二氧化碳分离部20时的电导率，测定总有机碳浓度。
在同一实施例中，可以使用例如滨松光子制笔型低压水银灯(L937-02)作为对试样水照射紫外线的UV灯。该灯的强度分布如图2所示。
图2中的实线的曲线表示前后配光，虚线的曲线表示侧方配光。前后配光表示从笔型灯的前端照射的光，侧方配光表示从笔型灯的侧面照射的光。圆弧所示的角度表示将灯配置在中心时来自灯的紫外线的辐射角度，与中心的距离表示相对辐射强度。
根据图2可知，笔型低压水银灯在紫外线的强度分布上存在偏差。特别，使灯在中心30°以内的辐射角度下具有90%以上的紫外线强度，在45°以外的辐射角度下变为80%以下的紫外线强度。
若笔型低压水银灯和照射对象的距离变远则紫外线强度衰减，因此希望灯和照射对象的距离尽可能地近，但若距离靠近则能够照射高强度的紫外线的面积受到限定。因此，对照射对象的流路图案和紫外线强度的关系进行研究。
图3A和图3B是表示氧化部流路68的形成例的俯 图。图3A是没有使流路图案最佳化的实例，图3B是使流路图案最佳化时的实例。虚线
围成的区域是配置笔型低压水银灯的区域。图3A的流路形状为从试样水 导入口 64到贯通孔70复杂地蜿蜒。图3A的斜线部表示紫外线的辐射强 度为80%以下的区域。另一方面，图3B的流路形状为从试样水导入口64 到贯通孔70沿着水银灯平行地蜿蜒。图3B的斜线部表示紫外线的辐射强 度为90%以上的区域。
由此，如图3A以及图3B所示，存在以下情况对试样水进行照射 的紫外线在强度上存在偏差，根据向二氧化碳分离部输送液体的时间的不 同，从试样水中产生的二氧化碳的浓度不同。
接下来，将使用图3A以及图3B检测出电导率时的结果用图4A以及 4B表示。图3A的流路容量为大约130pL，在将从试样水导入口 64注入 的有机物氧化后，以100pL/分向试样水流路2输送。在这种情况下，照射 了辐射强度80%以下的紫外线的试样水在大约40~70秒内到达试样水流路 2。图3B的流路容量为大约200^L,在将从试样水导入口 64注入的有机 物氧化后，以100pL/分向试样水流路2输送。在这种情况下，照射了辐射 强度90%以上的紫外线的试样水在大约30~90秒内到达试样水流路2。
图4A是使用图1的装置并通过图3A所示的流路图案来进行实验的 结果，图4B是使用图1的装置并通过图3B所示的流路图案来进行实验的 结果。在图4A、图4B中，使用了容易氧化分解的邻苯二甲酸氢钾(KHP) 和氧化分解困难的三甲基胺盐酸盐(TMA)作为试样水。两种试样水一共 2.2mgC/L。获取电导率的时间在KHP的电导率尽可能稳定的输送液体时 间60秒附近进行，并使用测量线换算为TOC值。
若比较图4A的KHP和TMA可知，KHP在输送液体时间60附近电 导率上升，但TMA以输送液体时间40秒附近为峰值而在输送液体时间 60秒时电导率变低。这样，在将输送液体时间60秒的电导率换算为TOC 值时，TMA显示出低于真值的TOC值，从而产生误差。推测原因在于， KHP即使照射辐射强度为80%以下的弱紫外线也发生分解，但TMA在不 发生分解的状态下输送到二氧化碳分离部20。
图3B的流路图案设计为在输送液体时间经过了 60秒时、照射了辐射 强度90%以上的紫外线的试样水被充分输送到二氧化碳分离部20,如图4B所示可知，即使在输送液体时间60秒附近，KHP和TMA的电导率也 不变低，TMA的TOC值表示真值。
另外，在图3B的流路图案中，照射了辐射强度90%以下的紫外线的 试样水在输送液体时间0~30秒内向二氧化碳分离部20输送，根据下述的 理由这是必需的。即，若将有机物氧化部的试样水向二氧化碳分离部输送 则在二氧化碳分离部的死区容积中试样水的二氧化碳产生扩散，在二氧化 碳分离部中二氧化碳的浓度变薄，从而产生由电导率测定部测定出的二氧 化碳的浓度变低的现象。这是因为，在进行电导率的检测之前，通过将氧 化分解某种程度的有机物的试样水向二氧化碳分离部输送，提高二氧化碳 分离部的死区容积的二氧化碳的浓度，由此能够尽可能地防止由检测部测 定的二氧化碳浓度下降的情况，且防止检测灵敏度下降。
这样，本发明通过控制部40，在氧化有机物时停止试样水的输送，在 将试样水向有机物氧化分解部或二氧化碳分离部移动时进行试样水的输 送，并且通过数据处理部42,根据照射相对强度为一定值以上的紫外线后 的试样水到达二氧化碳分离部时的电导率，对总有机碳浓度进行测定，因 此，能够减少试样水的消耗量，且能够测定准确的TOC值。
另外，如上所述为了在测定时以外也尽可能地减少输送液体的试样水 量，只要尽可能地减小二氧化碳分离部20的死区容积即可。二氧化碳分 离部20的死区容积主要是多孔质氟树脂膜(气体透过膜8、 10)，在可能 的情况下通过减少多孔质氟树脂膜所含有的气体的容积来减少死区容积。
为了减少多孔质氟树脂膜所含有的气体的容积，举出使膜的厚度变薄 作为第一个方法，但制造上具有某一程度的厚度。还有一个方法是无限地 减小多孔质氟树脂膜8的面积。由于在多孔质氟树脂膜8的下方存在中间 水流路4和测定水流路6，因此可以通过使与多孔质氟树脂膜接触的试样 水流路2、中间水流路4或测定水流路6的面积为必要最低限度，来减小 多孔质氟树脂膜的面积。
分离二氧化碳时的流路越浅，扩散的二氧化碳的移动时间越短，(根 据扩散方程式，移动时间与距离的平方成比例)为使在短时间内二氧化碳 向其他的纯水进行移动因此流路长度也变短。从而，通过使分离二氧化碳 时使用的流路尽可能地浅，由此能够缩短流路长度，且能够减小多孔质氟树脂膜的面积。
图5与图1的实施例同样，是将一体化各部后的实施例作为分解立体
图来示出的图。氧化部流路68在石英基板62的表面62a形成为深度0.6mm 的槽，试样水流路2在石英基板62的背面62b形成为厚度6(Him的槽。中 间水流路4形成为在厚度lOOpm的粘接性氟树脂(例如，NEOFLON EFEP (大金工业株式会社的注册商标))膜98a贯通的槽，测定水流路6在石 英基板80 (参照图1)的与气体透过膜10对置的面80a形成为深度60iam 的槽。氧化部流路68、试样水流路2、中间水流路4以及测定水流路6为 了加长流路长度而形成蜿蜒形状。这些流路2、 6、 68可以通过例如喷砂 加工来形成。
电导率测定部34的电极图案形成在符号76a所示的位置，分别形成 在与基板80的面80a相反侧的面和石英基板74 (参照图1)的基板80侧 的面上。测定水流动的流路在由基板80和74夹着的厚度为100pm的粘接 性氟树脂(例如，NEOFLONEFEP (大金工业株式会社的注册商标))膜 78a形成为剪切(切抜^ )图案。
为了调整试样水和中间水的接触面积，在中间水流路4和试样水流路 2之间设有带开口部的遮蔽膜14，为了调整中间水和测定水的接触面积， 在中间水流路4和测定水流路6之间设置带有开口部的遮蔽膜16。遮蔽膜 14、 16是例如厚度为25pm的粘接性氟树脂(例如，NEOFLONEFEP (大 .金工业株式会社的注册商标))膜。气体透过膜8、 10是例如厚度为3(Him 的氟树脂多孔质材料(例如，POREFLON (大金工业株式会社的注册商 标))。
这些石英基板62、气体透过膜8、遮蔽膜14、粘接性氟树脂膜98a、 遮蔽膜16、气体透过膜10、石英基板80a、电极图案76a以及粘接性氟树 脂膜78a从上开始依次层叠，在最上层设置相当于图1的石英基板60的 基板，在最下层设置相当于石英基板74的基板，接合整体而一体化后的 机构为图5的总有机碳测定装置。
权利要求
1.一种总有机碳测定装置，其中，具备计测部，其具备有机物氧化部，其对被供给的试样水照射紫外线，将试样水中的有机物氧化而转化为二氧化碳；二氧化碳分离部，其具备使经过所述有机物氧化部后的试样水流动的试样水流路以及使含有去离子水的测定水流动的测定水流路；电导率测定部，其测定来自所述二氧化碳分离部的测定水的电导率，在所述二氧化碳分离部中，所述试样水流路和所述测定水流路之间以气体能够透过的方式相接，且从上开始依次层叠而一体化，并且所述各部从上开始依次层叠而构成计测部；控制部，其控制所述计测部中的输送液体动作；数据处理部，其根据测定水的电导率求解总有机碳浓度，所述控制部在对有机物进行氧化时停止试样水的输送，且在使试样水向所述有机物氧化分解部以及所述二氧化碳分离部移动时进行试样水的输送，所述数据处理部根据照射相对强度为一定值以上的紫外线后的试样水到达所述二氧化碳分离部时的电导率，测定总有机碳浓度。
2. 根据权利要求l所述的总有机碳测定装置，其特征在于， 所述二氧化碳分离部在所述试样水流路和所述测定水流路之间具备中间水流路，该中间水流路中存在具有高于所述试样水流路中流动的试样 水的pH值的中性区域的中间水，所述试样水流路和所述中间水流路之间以及所述中间水流路和所述 测定水流路之间分别通过气体透过膜相接，且所述试样水流路、所述中间 水流路以及所述测定水流路从上开始依次层叠而一体化。
3. 根据权利要求1或2所述的总有机碳测定装置，其特征在于，在所述试样水流路中，为了加长流路长度，与所述气体透过膜相接的 部分蜿蜓。
4. 根据权利要求1~3中任一项所述的总有机碳测定装置，其特征在于，在所述测定水流路中，为了加长流路长度，与所述气体透过膜相接的部分蜿蜓。
5. 根据权利要求2~4中任一项所述的总有机碳测定装置，其特征在于，在所述中间水流路中，为了加长流路长度，与所述气体透过膜相接的 部分蜿蜒。
6. 根据权利要求2~5中任一项所述的总有机碳测定装置，其特征在于，使用pH设定在中性区域的缓冲液作为中间水。
全文摘要
本发明提供一种总有机碳测定装置，其具备计测部，其将有机物氧化部(24)、二氧化碳分离部(20)以及电导率测定部(34)一体化而集成；控制部(40)；数据处理部(41)。为了提高电导率的测定精度，控制部(40)在对有机物进行氧化时停止试样水的输送，在使试样水向有机物氧化分解部(20)以及二氧化碳分离部(24)移动时进行试样水的输送，数据处理部(41)根据照射相对强度为一定值以上的紫外线后的试样水到达二氧化碳分离部(24)时的电导率，对总有机碳浓度进行测定。
文档编号G01N27/06GK101636652SQ20078005221
公开日2010年1月27日 申请日期2007年3月20日 优先权日2007年3月20日
发明者明地将一, 藤山阳一, 阿部浩久 申请人:株式会社岛津制作所