专利名称：探针卡用台车和使用该台车的探针卡的操作方法
技术领域：
本发明涉及在进行高温检查或低温检査的检査装置上装卸探针卡 时使用的探针卡用台车，更详细地说，涉及能够在将用台车搬送的探 针卡安装在检查装置上之后，立刻进行晶片等的被检查体的高温检查 或低温检查，而且能够缩短被检査体的检查时间的探针卡用台车和使 用该台车的探针卡的操作方法。
背景技术：
在进行晶片等的被检査体(以下以"晶片"代表)的高温检查或
低温检査的情况下，使用设置有探针卡的检查装置。例如图6所示， 该检查装置具有相互邻接的装载室1和探测室2。
如图6所示，装载室1包括以盒为单位载置晶片W的载置部3， 从盒内一个个地搬送晶片W的晶片搬送机构(未图示)，和在搬送晶 片W的途中进行晶片的预对准的副卡盘(未图示)。
如图6所示，探测室2包括载置通过装载室1的晶片搬送机构 搬送来的晶片W的能够调节温度的主卡盘4;配置在主卡盘4上方的 顶板5的大致中央的探针卡6;和进行探针卡6的探针6A与主卡盘4 上的晶片W的电极垫的对准的对准机构7，在通过对准机构7进行晶 片W的电极垫与探针6A的对准之后，通过主卡盘4将晶片W加热或 冷却至规定的温度，在各个温度下进行晶片W的高温检査或低温检查。
如图6所示，对准机构7具有对晶片W进行摄像的第一摄像单元 7A和对探针进行摄像的第二摄像单元7B，以第一摄像单元7A通过对 准桥(alignment bridge) 7C在探测室2的背面和探针中心之间移动的 方式构成。探针卡6通过连接环8与测试头9电连接。
在被检査体的检査中，具有例如在IO(TC左右的高温区域进行的高 温检査和例如在一数十'C的低温区域进行的低温检査。在进行高温检 查的情况下，通过温度调节器(以下简称"温调器")将主卡盘4的温
度设定为例如检查温度IO(TC，并进行晶片W的检查。在进行低温检 查的情况下，通过内置在主卡盘4中的温调器将主卡盘4上的晶片W 设定在一数十x:的检査温度，并在该温度下进行晶片的低温检查。
在进行高温检査或低温检查的情况下，必须根据各个检查更换探 针卡6。探针卡6随着晶片W的大口径化和器件的微细化而重量化， 不能由操作员进行搬送。因此，在保管场所和检査装置之间搬送探针 卡6时使用台车。
例如图7 (a)所示，在更换检查装置的探针卡6的情况下，如同 图的(d)所示，使用台车10将接下来使用的探针卡6'从保管场所搬 送至检查装置的探测室2的正面。如图7 (b)所示，该台车10的搬送 机构11包括支承探针卡6的臂IIA、前后移动引导该臂11A的第一导 轨IIB，和支承第一导轨11B并且在台车10上沿前后方向移动的支承 基板IIC。
此处如图7 (b)的箭头所示，通过台车10上的搬送机构11将探 测室2内的探针卡6搬出，如同图的(c)的箭头所示，将搬出到台车 10上的探针卡6收纳在收纳箱60内。如同图的(a)、 (b)所示，该收 纳箱60被设置在装载室1的侧面。接着，从该收纳箱60取出由台车 10搬送的探针卡6'，如同图的(d)的箭头所示，移载到台车10上 的搬送机构11上，进一步如同图的(e)的箭头所示，使用搬送机构 11将探针卡6'搬入探测室2内，并安装在探测室2内。而且，当探 针卡6'被搬入探测室2内时，探针卡6通过主卡盘4自动安装在规定 的位置。
使用新的探针卡6'，例如在将晶片加热至10(TC并进行晶片的高 温检查的情况下，在进行检查之前使主卡盘接近探针卡6'，通过被温 调器加热的主卡盘对探针卡进行预热，直至高温检查的环境温度。通 过预热探针卡6'热膨胀，所以在高温检查时不会由于探针卡6'的热 膨胀导致探针(未图示)的针尖产生位置偏移，能够使探针和晶片的 电极垫准确接触，能够进行可靠性高的高温检查。此外，在进行低温 检查的情况下，通过主卡盘冷却探针卡。
但是在进行晶片的高温检査的情况下，在更换探针卡6时将新的 探针卡6'安装在检查装置上，由于每次都必须进行预热直至规定的检
查温度，所以对应于该预热时间，晶片的高温检查的开始时间延迟， 结果检査时间增长，在检查时间的縮短上存在极限。
发明内容
本发明是为了解决上述课题而提出的，其目的在于提供探针卡用 台车和使用该台车的探针卡的操作方法，在将探针卡安装在检查装置 上之后，能够不预热就开始被检查体的检査，从而能够缩短检査时间。
本发明的第一方面的探针卡用台车，其搬送在进行高温检查或低 温检查的检查装置中使用的探针卡，其特征在于，包括装卸自由地 安装上述探针卡的台座；和将安装在该台座上的上述探针卡加热或冷 却至上述被检査体的检查所要求的规定的温度的温度调节机构。
此外，本发明的第二方面的探针卡用台车的特征在于，在第一方 面所述的发明中，上述温度调节机构具有检测上述探针卡的温度的温 度传感器。
本发明的第三方面的探针卡用台车的特征在于，在第二方面所述 的发明中，上述温度调节机构具有根据上述温度传感器的检测值对上 述探针卡已达到规定的温度的情况进行通知的通知单元。
此外，本发明的第四方面的探针卡用台车的特征在于，在第一方 面 第三方面中的任一项所述的发明中，在上述台座上邻接形成有载 置其他探针卡的载置部。
此外，本发明的第五方面的探针卡的操作方法，是在进行高温检 査或低温检查的检査装置上装卸探针卡时的探针卡的操作方法，其特 征在于，包括将上述探针卡安装在台车的台座上的工序；通过上述 台车内的温度调节机构将安装在上述台座上的上述探针卡加热或冷却 至上述高温检査或低温检查所要求的规定的温度的工序；和将调整到 上述规定的温度的上述探针卡安装在上述检査装置上的工序。
此外，本发明的第六方面的探针卡的操作方法的特征在于，在第 五方面所述的发明中，具有在将上述探针卡安装在上述检査装置上之 前，卸下上述检查装置内的其他探针卡的工序。
本发明的第七方面的探针卡的操作方法的特征在于，在第五方面 或第六方面所述的发明中，具有对上述探针卡已达到规定的温度的情
况进行通知的工序。
根据本发明，能够提供在将探针卡安装在检查装置上之后，能够 不进行预热就开始被检查体的检查，从而能够縮短检査时间的探针卡 用台车和使用该台车的探针卡的操作方法。
图1 (a)、 (b)为分别表示本发明的探针卡用台车的一实施方式的
图，(a)为其长度方向的截面图，(b)为其平面图。
图2 (a)、 (b)为表示使用图1所示的台车的本发明的探针卡的操
作方法的一实施方式的工序图。
图3 (a)、 (b)为表示图2所示的工序的后续工序的工序图。
图4为表示图3所示的工序的后续工序的工序图。
图5 (a)、 (b)为分别表示本发明的探针卡用台车的另一实施方式
的相当于图1 (a)、 (b)的图。
图6为断裂表示检査装置的一个例子的正面的一部分的正面图。 图7 (a) (e)为分别表示现有的探针卡的操作方法的一个例子
的工序图。 符号说明 6、 6' 探针卡
20、 20A温调台车(探针卡用台车)
21A 台座
21B载置部
22温度调节机构
W晶片(被检查体)
具体实施例方式
以下，对图1 图4所示的本发明的探针卡用台车的一实施方式进 行说明，对与现有技术相同或相当的部分标注相同的符号。而且，在 更换前后的探针卡上标注与现有技术相同的符号"6"、 "6'"以进行说明。
例如图1 (a)、 (b)所示，本实施方式的探针卡用台车20包括
台车主体21;在台车主体21的上面形成为开口部并且用于装卸探针卡
6'的台座21A;配置在台座21A的下方的温度调节机构22;和对温 度调节机构22供电的供电装置23，通过来自供电装置23的供电使温 度调节机构22动作，加热或冷却安装在台座21A上的探针卡6'。以 下将本实施方式的探针卡用台车20称为温调台车20以进行说明。
台座21A以能够设置例如带卡支架(cardholder)的探针卡6'的 方式构成。温度调节机构22具有加热器和冷却器。在台车主体21上 配置有未图示的检测温度调节机构22的温度的温度传感器、温度设定 单元和开关，在通过温度设定单元设定为规定的高温度或低温度之后， 闭合开关，则加热器或冷却器动作，加热或冷却探针卡6'。当探针卡 6'被加热或冷却至检查所要求的温度时，温度传感器检测出该温度， 并进行通知。当操作员得知探针卡6'已达到规定的温度时，断开开关， 使温度调节机构22停止，如后述那样将探针卡6'安装到检查装置上。
此外，温度调节机构22也可以由单独的加热器或单独的冷却器构 成。此外，即使不在台车主体21上设置温度设定单元，也能够通过温 度传感器得知探针卡6'已达到规定的温度的事实。
如图1 (a)、 (b)所示，在台车主体21的背面设置有容纳收容探 针卡6'的收纳箱60的收纳部24。如同图的(a)所示，收纳箱60以 通过铰链(hinge)开闭的方式构成，打开收纳箱60，取出探针卡6'。 此外，在台车主体21上，在台座21A的后方(同图的左侧)形成有暂 时载置收纳探针卡6'的收纳箱60的载置部21B。在台车主体21的两 侧面的下端部，前后隔开规定间隔安装有两对脚轮(caster) 25。而且， 收纳箱60并不限定于通过铰链开闭的类型。
在将探针卡6'从保管场所向检査装置搬送的情况下，从保管场所 取出收纳探针卡6'的收纳箱60，将收纳箱60收纳在收纳部24并进 行搬送。在将探针卡6'安装在台座21A上时，如图1 (b)所示，操 作员从收纳部24取出收纳箱60并向载置部21B进行载置，打开收纳 箱60取出探针卡6'，并安装在台座21A上。当探针卡6'被安装在 台座21A上时，通过温度调节机构22将探针卡6'加热或冷却至预先 设定的规定的温度。当探针卡6'被加热或冷却至规定的温度时，能够 通过温度传感器的检测得知该情况。将加热或冷却后的探针卡6'如后述那样与检查装置的探针卡6进行交换。
接着，参照图2 图4对使用本实施方式的台车的探针卡的操作方
法进行说明。
首先，操作员将探针卡6'以收纳在收纳箱60中的状态从保管场 所中取出，并载置在温调台车20的载置部21B上。如图2 (a)所示， 打开载置在载置部21B上的收纳箱60。之后，操作员从收纳箱60中 取出探针卡6'，将探针卡6'安装在台座21A上。将变空的收纳箱 60收纳在收纳部24中。然后，例如在进行高温检查的情况下，操作员 在通过温度调节机构22的温度设定单元设定至规定的温度(例如100 。C)之后，闭合开关，使温度调整机构22的加热器运行。如同图的(b) 所示，操作员在利用温度调整机构22将探针卡6'加热至规定的温度 的过程中使温调台车20前进至规定的检査装置。
然后，如图3 (a)所示，通过预先配置在探测室2的正面的台车 10上的搬送机构11，将探针卡6从探测室2搬出到台车10上之后， 如同图的(a)中箭头所示，操作员将台车10上的探针卡6移载到温 调台车20的载置部21B。此时，因为台座21A的探针卡6'被加热至 规定的温度，所以如同图的(b)中箭头所示，将该探针卡6'从温调 台车20移载到台车10的搬送机构11上。
接着，当操作员通过台车10的搬送机构11将探针卡6'搬入探测 室2内时，探针卡6'在探测室2内自动安装在规定的场所。此时，因 为探针卡6'已经被加热至高温检査所要求的温度，所以能够立刻开始 晶片的高温检查。在此期间，取出探针卡6'而变空的收纳箱60立于 装载室1的侧面。使从检査装置取出的探针卡6通过温调台车20返回 保管场所。而且，因为台车10具有搬送机构11，所以仅在将探针卡6 '搬入搬出探测室2时使用。
根据以上说明的本实施方式，在搬送进行高温检查的检查装置中 使用的探针卡6'时，使用包括装卸自由地安装探针卡6'的台座21A、 和将安装在该台座21A上的探针卡6'加热至晶片的检查所要求的规 定的温度的温度调节机构22的温调台车20，将探针卡6'搬送至检査 装置，所以探针卡6'在安装于检查装置之前已被加热至晶片的高温检 査所要求的温度，因此，只要将探针卡6'安装在检査装置内，不需要
像现有技术那样对探针卡进行预热就能够立刻进行检查，省略了预热 所需的时间，能够縮短晶片的检查时间，从而能够提高检查的通过量。 此外，根据本实施方式，因为温度调节机构22具有检测被加热的
探针卡6'的温度的温度传感器，所以能够可靠地检测出探针卡6'为 检査所要求的温度。进一步，因为温度调节机构22具有根据温度传感 器的检测值对探针卡6'已达到规定的温度的情况进行通知的通知单 元，所以能够可靠地得知探针卡6'已被预热的情况，能够迅速地安装 探针卡6'，有助于进一步縮短检查时间。此外，因为在温调台车20 的台车主体21的上面形成有与台座21A邻接的载置部21B，所以在更 换探针卡6'的情况下，能够将使用后的探针卡6从检查装置中移载并 暂时安置在载置部21B上。
此外，例如图5 (a)、 (b)所示，本发明的温调台车也能够省略暂 时载置探针卡6'的载置部。如同图的(a)、 (b)所示，本实施方式的 温调台车20A，在台车主体21上仅设置有台座21A，在台车主体21 的内部设置有温度调节机构22和供电装置23。因为该温调台车20A 在台车主体21上没有载置部，所以不能够将从检査装置取出的探针卡 6暂时安置在台车主体21上，在此之外具有与图1的(a)、 (b)所示 的温调台车20相同的功能。
而且，本发明不受上述实施方式的任何限制，能够根据需要适当 变更各构成要素。例如在上述实施方式中对被检查体的高温检查进行 了说明，但同样也能够适用于被检査体的低温检査。
产业上的可利用性
本发明能够应用于进行晶片等的被检査体的电特性检查的检査装置中。
权利要求
1.一种探针卡用台车，其搬送在进行高温检查或低温检查的检查装置中使用的探针卡，其特征在于，包括装卸自由地安装所述探针卡的台座；和将安装在该台座上的所述探针卡加热或冷却至所述被检查体的检查所要求的规定的温度的温度调节机构。
2. 如权利要求l所述的探针卡用台车，其特征在于 所述温度调节机构具有检测所述探针卡的温度的温度传感器。
3. 如权利要求2所述的探针卡用台车，其特征在于 所述温度调节机构具有根据所述温度传感器的检测值对所述探针卡已达到规定的温度的情况进行通知的通知单元。
4. 如权利要求1 权利要求3中任一项所述的探针卡用台车，其特征在于在所述台座上邻接形成有载置其他探针卡的载置部。
5. —种探针卡的操作方法，是在进行高温检查或低温检查的检查 装置上装卸探针卡时的探针卡的操作方法，其特征在于，包括将所述探针卡安装在台车的台座上的工序；将安装在所述台座上的所述探针卡通过所述台车内的温度调节机构加热或冷却至所述高温检査或低温检査所要求的规定的温度的工序；和将调整到所述规定的 温度的所述探针卡安装在所述检查装置上的工序。
6. 如权利要求5所述的探针卡的操作方法，其特征在于，包括在将所述探针卡安装在所述检查装置上之前，卸下所述检查装置 内的其他探针卡的工序。
7. 如权利要求5或权利要求6所述的探针卡的操作方法，其特征在于，包括 对所述探针卡已达到规定的温度的情况进行通知的工序。
全文摘要
本发明提供一种探针卡用台车和使用该台车的探针卡的操作方法，在检查装置上安装探针卡之后，不需要预热，能够缩短对应于预热时间的检查时间。本发明的探针卡用台车(20)在搬送进行高温检查或低温检查的检查装置中使用的探针卡(6′)时使用，包括装卸自由地安装探针卡(6′)的台座(21A)；和将安装在该台座(21A)上的探针卡(6′)加热至晶片的检查所要求的规定的温度(例如100℃)的温度调节机构(22)。
文档编号G01R31/26GK101354428SQ20081008698
公开日2009年1月28日 申请日期2008年4月3日 优先权日2007年7月25日
发明者长坂旨俊 申请人:东京毅力科创株式会社