专利名称：惯性力传感器及复合惯性力传感器的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于飞机、汽车、机器人、船舶、车辆等移动体的姿势控制 以及导航等的、在各种电子设备中使用的惯性力传感器以及复合惯性力传感 器。
背景技术：
下面，使用在专利文献l中公开的技术对作为现有的惯性力传感器之一 的加速度传感器进行说明。
图15是在专利文献1中公开的现有的加速度传感器的检测元件的俯视 图；图16是所述检测元件的16-16线剖面图，图17是所述检测元件的17-17 线剖面图。
在图15 ~图17中，现有的加速度传感器具有检测加速度的检测元件51、 对从该检测元件51输出的加速度信号进行运算处理并检测出加速度的处理 电路(未图示)。该检测元件51具有支承锤部52的支承部54、经由可挠 部56与支^^部54连接的固定部58,利用该固定部58将^r测元件51安装在 安装基板上。
另外，可挠部56为臂形状，该可挠部56以支承部54为中心配置成十字 状， 一对可挠部56和支承部54配置在同一直线上。
在可挠部56上设置有变形电阻元件60，基于可挠部56的状态变化将变 形电阻元件60的电阻值变化作为加速度信号输出，该可挠部56因锤部52的 活动而发生挠曲。
接着，对使用了该检测元件51的加速度检测进行说明。
在互相正交的X轴、Y轴、Z轴中，在X轴方向和Y轴方向上配置了由 十字状的臂构成的可挠部56的情况下，例如，当在X轴方向产生加速度时， 锤部52要在加速度产生的轴方向上移动。因此，锤部52要以支承部54为中 心并围绕Y轴旋转，从而可挠部56产生挠曲。其结果，在X轴方向配置的 两个可挠部56内， 一个可挠部56沿Z轴正方向产生挠曲，另一个可挠部56沿Z轴负方向产生挠曲。这样，设置在两个可挠部56上的两个变形电阻元件 60也根据可挠部56的挠曲沿Z轴的正负方向产生挠曲，因此，使变形电阻 元件60的电阻值发生变化。将该电阻值变化作为加速度信号输出，从而检测 出力口速度。
使这种加速度传感器与想要检测的检测轴对应，用在车辆等移动体的姿 势控制装置或导航装置等上。
但是，在上述的现有的检测元件中，在图15中，例如，在X轴方向产 生加速度的情况下，锤部52要以Y轴为中心在X轴方向上移动，但是，在 X轴方向配置的可挠部56限制锤部52的移动。存在如下问题，即，由于锤 部52要以支承部54为中心围绕Y轴旋转，因此，可挠部56产生挠曲，但 是，由于可挠部56限制锤52的移动，可挠部的挠曲量变小，变形电阻元件 60的电阻值变化也变小，导致^r测灵敏度下降。
另外，通常情况下，角速度传感器使音叉形状、H形状或T形状等各种 形状的检测元件振动，电检测伴随科里奥利力的产生引起的检测元件的变形， 从而检测出角速度。
例如，在专利文献2中公开了一种角速度传感器，该角度传感器具有音 叉形状的振子，在构成音叉振子的两个音叉臂的内側面和外側面设置有^r测 用电极，在两个音叉臂的表面设置有驱动电极。
该角速度传感器通过从驱动电源向驱动电极提供信号，从而对音叉振子 施予共振振动，当在该状态下施加角速度时，基于科里奥利原理，音叉臂在 与振动方向正交的方向产生挠曲。其结果，根据挠曲的水平，从;险测电极获 取输出作为角速度信号。
与加速度传感器相同，这种角速度传感器也与想要4企测的检测轴对应， 用在车辆等移动体的姿势控制装置和导航装置等中。
在将上述那样的加速度传感器和角速度传感器装载在各种电子设备上的 情况下，现在是要检测角速度时使用专用的角速度传感器，要检测加速度时 使用专用的加速度传感器。
因此，在各种电子设备中，在复合检测角速度和加速度的情况下，将多 个角速度传感器和加速度传感器分别安装在各种电子设备的安装基板上。
因此，在现有的结构中，需要与要检测的角速度和加速度的检测轴对应， 将角速度传感器和加速度传感器分别安装在安装基板上，因此，存在需要确保大的安装面积的问题。
专利文献1:日本特开平10-48243号/>才艮 专利文献2:日本特开2001-208546号公报
发明内容
本发明是为解决上述问题而提出的，目的在于提供一种提高检测灵敏度 的惯性力传感器，另外，提供一种在检测角速度和加速度时，能够降低安装 面积来实现小型化的复合惯性力传感器。
本发明的惯性力传感器，具有检测元件，所述检测元件具有加速度检测 部，并且，所述检测元件具有经由连接部而具有锤部的固定部、与锤部相 对的相对基板、形成在锤部和相对基板各自的相对面上的相对电极，加速度 检测部通过相对电极检测出由伴随连接部的变形产生的锤部的活动？ 1起的状 态变化，从而检测出惯性力，连接部的厚度比锤部的厚度薄。
根据该结构，由于连接部的厚度比锤部的厚度薄，所以容易使连接部产 生变形，提高惯性力的检测灵敏度。
本发明的复合惯性力传感器，具有检测元件，所述检测元件具有加速度 检测部和角速度检测部，并且，所述检测元件具有将第一臂部和第二臂部 正交连接而成的两个正交臂部、支承两个第一臂部的支承部、连接在第二臂 部的前端的锤部、连接在第一臂部的固定部、与锤部相对的相对基板、形成 在锤部和相对基板各自的相对面上的相对电极、输入使第二臂部振动的驱动
信号并形成在第二臂部上的驱动电极、感应第二臂部的变形并输出感应信号 的形成在第二臂部上的感应电极，加速度检测部通过相对电极检测出由伴随 所述第一臂的变形产生的锤部的活动引起的状态变化，从而检测出惯性力， 角速度检测部通过感应电极检测出由锤部的科里奥利力引起的状态变化，从 而检测出角速度，第一臂部的厚度比第二臂部的厚度薄。
根据该结构， 一个检测元件具有加速度检测部和角速度检测部，第一臂 部的厚度比第二臂部的厚度薄，因此，能够用一个检测元件高灵敏度地检测 出加速度和角速度，降低安装面积，实现传感器的小型化。
图1是表示本发明的第一实施方式的复合惯性力传感器的检测元件的分
6解立体图。
图2是图1所示的检测元件的2-2线剖面图。
图3是第一实施方式的配置基板之前的检测元件的立体图。
图4是图3所示的检测元件的剖面图。
图5是表示第一实施方式的产生加速度时的该检测元件的动作状态的说 明图。
图6是表示第一实施方式的检测元件的第一臂和固定部的连接部分的变 形的说明图。
图7是表示本发明的第二实施方式中的复合传感器的^ft测元件的分解立 体图。
图8是图7所示的检测元件的8-8线剖面图。 图9是图7所示的检测元件的9-9线剖面图。
图IO是表示第二实施方式的检测角速度时的检测元件的动作状态的图。 图ll是第二实施方式的检测元件的配置相对基板时的与图8同样的剖面图。
图12是表示第二实施方式的检测检测元件的X轴方向的加速度时的该 ;险测元件的动作状态的图。
图13是第二实施方式的检测元件的配置相对基板时的与图9同样的剖面图。
图14是表示该实施方式的检测检测元件的Y轴方向的加速度时的检测 元件的动作状态图的剖面图。
图15是表示现有的加速度传感器的检测元件的俯视图。
图16是图15所示的检测元件的16-16线剖面图。
图17是图15所示的检测元件的17-17线剖面图。
附图标记的说明
1斗全测元件
2锤部
4固定部
6相对基4反
7框体部
8第一臂10第二臂
11固定臂
12支承部 14第一相对电极 16第二相对电极 18第三相对电扭_ 20第四相对电极 22驱动电^L 24检测电极 26第一感应电极 28第二感应电极 30压电层 32上部电^L 34下部电招^
具体实施例方式
以下，参照附图来说明本发明。 (第一实施方式)
图l是本发明第一实施方式的复合惯性力传感器的分解立体图，图2是 图1的2-2线剖面图。
在图1中，本实施方式的复合惯性力传感器具有检测元件1，该检测元 件1具有后述的加速度检测部和角速度检测部。该检测元件1具有将第一臂 8 (第一臂部)与第二臂10 (第二臂部)沿着大致正交方向连接而形成的两 个正交臂(正交臂部)。该检测元件还具有支承两个第一臂80的一端的支承 部12和连接两个第一臂8的另一端的方形形状的固定部4。即，在本实施方 式中，第一臂8构成连接部。第一臂8的另一端固定在固定部4的边部。该 第一臂8的厚度与第二臂10的厚度以及锤部2的厚度相比形成得非常薄。各 第二臂IO折弯到与第二臂10自身相对，在第二臂IO各自的折弯的前端上连 接有锤部2。此外，第一臂8和支承部12配置在大致同一直线上，第一臂8 和第二臂IO相对;险测元件1的中心对称配置，检测元件1具有对称形状。
另外，以与各锤部2相对的方式，在锤部2的上表面相对配置相对基板6，在锤部2和相对基板6各自的相对面上，配置有第一相对电才及14、第二 相对电极16、第三相对电极18、第四相对电极20作为相对电极。
进而，在一侧的互相相对的两个第二臂10的表面上设置有使锤部2驱动 振动的驱动电极22和检测锤部2的驱动的检测电极24。另外，在另一侧的 相互相对的两个第二臂10的表面上，设置有检测第二臂10的变形的第一感 应电极26、第二感应电极28作为感应电极。
如图2所示，第一相对电极14、第二相对电极16、第三相对电极18、 第四相对电极20、驱动电极22、检测电极24、第一感应电极26、第二感应 电极28各自具有上部电极32和下部电极34，并且，在该上部电极32和下 部电极34之间有压电层30。
由如上结构构成的本实施方式的复合惯性力传感器的检测元件，将连接 有第 一臂8的另 一端的固定部4的边部固定在未图示的安装基板上。
接着，对角速度检测部和加速度检测部进行说明。首先，对角速度检测 部进行说明。
图3是本实施方式的配置相对基板6之前的检测元件1的立体图。针对 如下情况进行说明，即，如图3所示，在互相正交的X轴、Y轴、Z轴中， 将4企测元件1的第一臂8配置在X轴方向，将第二臂10配置在Y轴方向。 当在驱动电极22上施加共振频率的交流电压时，以配置有驱动电极22的第 二臂的支承部12为起点，第二臂10发生驱动振动。伴随于此，锤部2也在 第二臂10的相对方向(用实线箭头和虛线箭头示出的驱动振动方向)上发生 驱动振动。另外，4个第二臂10和4个锤部全都同步地在第二臂10的相对 方向上发生驱动振动。即，该检测元件1的驱动振动方向为X轴方向。
此时，例如，在绕Z轴的逆时针旋转时产生角速度的情况下，与锤部2 的驱动振动同步，在与锤部2的驱动振动方向正交的方向(用实线箭头和虛 线箭头所示的科里奥利方向(Y轴方向))上产生科里奥利力，因此，能够使 第二臂IO产生由绕Z轴逆时针旋转的角速度引起的变形。即，根据因科里奥 利力发生挠曲的该第二臂10的状态变化(在第二臂产生的变形)，从第一感 应电极26和第二感应电极28输出电压，基于该输出电压，检测出角速度。
接着，对加速度检测部进行说明。
图4是表示本实施方式的检测元件的剖面图。针对如下情况进行说明， 即，如图4所示，在互相正交的X轴、Y轴、Z轴中，将相对基板6配置在XY平面。若没有产生加速度，相对^^反6与各锤部2的相对面的第一相对电 极14的相对距离(Hl )和相对基板6与锤部2的相对面的第二相对电极16 的相对距离(H2)相等。虽然没有图示，但是第三相对电极18的相对距离 和第四相对电极20的相对距离也同样相等。
此时，例如，在X轴方向上产生加速度的情况下，如图5示意性地所示， 锤部2将以支承部12为中心，围绕Y轴进行旋转。其结果，相对基板6与 锤部2的相对面的第一相对电极14的相对距离(Hl )变小，相对基板6与 锤部2的相对面的第二相对电极16的相对距离(H2)变大。虽然没有图示， 但是同样地，第三相对电极18的相对距离变小，第四相对电极20的相对距 离变大。
另一方面，在Y轴方向上产生加速度的情况也同样，由于锤部2将以支 承部12为中心围绕X轴旋转，所以例如第三相对电极18、第四相对电极20 的相对距离变大，第一相对电极14、第二相对电极16的相对距离变小。
即，由于各相对电极之间的静电容量发生变化，所以基于该静电容量的 变化，4全测出X轴方向或Y轴方向的加速度。
根据上述结构，在本实施方式中，通过加速度检测部，将由锤部2的在 厚度方向的活动引起的状态变化作为相对电极之间的容量变化检测出，从而 检测出加速度，其中，锤部2的在厚度方向的活动是由第一臂8的变形产生 的。另外，通过角速度检测部，检测出由科里奥利力引起的状态变化，从而 检测出角速度。即，由于通过一个检测元件1就能够检测出加速度和角速度， 所以，降^^安装面积，实现小型化。
特别是相对于互相正交的X轴、Y轴、Z轴，在将第一臂8配置在X轴 方向，将第二臂10配置在Y轴方向上的情况下，在加速度的检测中，例如 对于在X轴方向的加速度，锤部2将以支承部12为中心围绕Y轴进行旋转， 而由于第一臂8的厚度比第二臂10的厚度更薄，所以，易于围绕Y轴旋转, 能够提高加速度的检测灵敏度。
另外，在角速度的检测中，如上所述，在使第二臂IO驱动振动的状态下， 感应由科里奥利力引起的第二臂IO的变形，从而检测出角速度。此时，由于 将第 一臂8的另 一端固定在安装基板上，第 一臂8和第二臂10相对检测元件 1的中心对称配置，所以难以产生伴随第二臂10的驱动振动产生的不需要的 振动，能够更加提高角速度的检测精度。
10例如，在将第一臂8的另一端连接在方形形状的框体即固定部4上的情 况下，若通过所连接的固定部4的边部固定在安装基板上，则能够确实地固 定在安装基板上。进而，如图6所示，固定部4的边部固定在安装基板上， 因此，能够抑制在连接部分36的附近部分容易产生的变形，能够提高检测精 度。
此外，在本实施方式中，通过固定部4的边部固定在安装基板上，但是， 也可以利用第一臂8的另一端固定在安装基板上。另外，第二臂10即使不折 弯也能够检测出锤部2的活动。
另外，在本实施方式中，第一臂8的厚度比第二臂10的厚度和锤部2 的厚度薄，但是，在本发明中，即使作为连接部的第一臂8的厚度比锤部2 的厚度薄，也能够提高检测灵敏度。 (第二实施方式)
图7是本发明第二实施方式的复合惯性力传感器的检测元件的分解立体 图，图8是图7的8-8线剖面图，图9是图7的9-9线剖面图。
在图7~图9中，本实施方式的复合惯性力传感器与第一实施方式相同， 具有检测元件1,该检测元件1具有加速度检测部和角速度^^测部。该检测 元件1具有使所述锤部2配置在内侧的框体形状的框体部7,该框体部7经 由后述的第一连接部连接锤部2。另外，检测元件l具有相对基板6，其与 锤部2的上表面相对；框体形状的固定部4，其用于固定在安装基板上，经 由后述的第二连接部连接框体部7，并使所述锤部2配置在内侧。
具体地说，具有将第一臂8与第二臂10在大致正交方向上连接而成的两 个正交臂，两个第一臂8各自的一端由支承部12支承，两个第一臂8各自的 另一端连接在框体部7上。各第二臂IO弯折呈U字状，直到与第二臂10自 身相对，被弯折第二臂10各自的前端连接有锤部2。各第一臂8和支承部12 配置在大致同一直线上，各第一臂8和各第二臂IO相对检测元件1的中心对 称配置，检测元件1呈对称形状。
另外，框体部7通过固定臂11与固定部4的边部连接，该边部固定在未 图示的安装基板上。如上所述，在本实施方式中，第一臂8相当于第一连接 部，固定臂ll相当于第二连接部。第一臂8和固定臂11的厚度与第二臂10 和锤部2的厚度相比形成得非常薄，并且，第一臂8和固定臂11在相互正交 的方向配置。另外，与各锤部2相对地配置相对基板6,锤部2和相对基板6各自的 相对面上，配置有第一相对电极14、第二相对电4及16、第三相对电极18、 第四相对电极20。另外，在一侧的互相相对的两个第二臂10各自的表面上 设置有使锤部2驱动振动的驱动电极22和检测锤部2的驱动的检测电极24。 另外，在另一侧的相互相对的两个第二臂IO各自的表面上，设置有检测第二 臂10的变形的第一感应电极26、第二感应电极28。在这些电极中，如图2 所示，至少驱动电极22、；险测电极24、第一感应电极26、第二感应电4及28 各自具有上部电极32和下部电极34,在上部电极32和下部电极34之间有 压电层30。
并且，从这些第一相对电极14、第二相对电极16、第三相对电极18、 第四相对电极20、驱动电极22、片企测电极24、第一感应电极26、第二感应 电极28,引出信号线(未图示)至框体部7，进而将信号线引出至支承部4。 各电极通过该信号线的端部并经由引线接合(wire bonding)等电连接在安装 基板的配线图形上。
接着，对角速度检测部和加速度4企测部进行说明。
首先，对角速度检测部进行说明。针对如下情况进行说明，即，如图10 所示，在互相正交的X轴、Y轴、Z轴中，将检测元件1的第一臂8配置在 X轴方向，将第二臂IO配置在Y轴方向。当在驱动电极22上施加共振频率 的交流电压时，以配置有驱动电极22的第二臂的支承部12为起点，第二臂 IO发生驱动振动。伴随于此，各锤部2也在第二臂10的相对方向(用实线 箭头和虛线箭头示出的驱动振动方向)上发生驱动振动。另外，4个第二臂 10和4个锤部2全都同步，在第二臂10的相对方向(驱动振动方向)上发 生驱动振动。即，该检测元件1的驱动振动方向为X轴方向。
此时，例如，在绕Z轴逆时针旋转产生角速度的情况下，与锤部2的驱 动振动同步，在与锤部2的驱动振动方向正交的方向(用实线箭头和虚线箭 头所示的科里奥利方向(Y轴方向))上产生科里奥利力。因此，能够使第二 臂10产生由绕Z轴逆时针旋转的角速度引起的变形。即，根据因科里奥利力 发生挠曲的该第二臂IO的状态变化(在第二臂IO产生的变形)，从第一感应 电极26和第二感应电极28输出电压，基于该输出电压，检测出角速度。
接着，对加速度检测部进行说明。
首先，对X轴方向的加速度进行说明。针对如下情况进行说明，即，如图7、图11所示，在互相正交的X轴、Y轴、Z轴中，将相对基板6配置在 XY平面。若没有产生加速度，相对基板6与锤部2的相对面的第一相对电极 14的相对距离(Hl )和相对基板6与锤部2的相对面的第二相对电极16的 相对距离(H2)相等。虽然没有图示，但是第三相对电极18的相对距离和 第四相对电极20的相对距离也相等。
此时，例如，在X轴方向上产生加速度的情况下，如图7、图12所示， 锤部2以在Y轴方向上配置的固定臂11为中心轴围绕Y轴进行旋转。其结 果，相对基板6与锤部2的相对面的第一相对电极14的相对距离(Hl)变 小，相对基板6与锤部2的相对面的第二相对电极16的相对距离(H2)变 大。同样地，第三相对电极18的相对距离变小，第四相对电极20的相对距 离变大。
接着，对Y轴方向加速度进行说明。针对如下情况进行说明，即，如图 7、图13所示，在互相正交的X轴、Y轴、Z轴中，将相对基4反6配置在XY 平面。若没有产生加速度，相对基板6与锤部2的相对面的第一相对电极14 的相对距离(Hl )和相对基板6与锤部2的相对面的第三相对电极18的相 对距离(H2)相等。虽然没有图示，但是，第二相对电极16的相对距离和 第四相对电极20的相对距离也相等。
此时，在Y轴方向上产生加速度的情况下，如图7、图14所示，锤部2 以在X轴方向上配置的第 一连接部的第 一臂8为中心轴，围绕X轴进行旋转， 因此，例如第三相对电极18、第四相对电极20的相对距离变大，第一相对 电极14和第二相对电极16的相对距离变小。
即，由于各相对电极之间的静电容量发生变化，所以基于该静电容量的 变化，4全测X轴方向或Y轴方向的加速度。
根据上述结构，通过加速度检测部，检测在锤部2与相对基板6各自的 相对面上配置的第一相对电极14、第二相对电极16、第三相对电极18、第 四相对电极20的静电容量，以检测出加速度。进而，通过角速度传感部，由 第一感应电极26、第二感应电极28才全测出因科里奥利力发生挠曲的可挠部 的状态变化，从而能够用一个检测元件1检测出加速度和角速度。因此，能 够降低两个检测部的安装面积，实现小型化。
另外，在互相正交的X轴、Y轴、Z轴中，例如，在X轴方向上配置由 第一臂8构成的第一连接部，在Y轴方向上配置由固定臂11构成的第二连接部的情况下，当在Y轴方向上产生加速度时，4垂部2以第一连4矣部为中心轴 围绕X轴进行旋转，因此，锤部2与相对基板6的相对电极之间的静电容量 发生变化。锤部2围绕X轴旋转是因为，第一连接部的厚度比锤部2的厚度 薄，因此，Z轴方向上的锤部的重心位置和第一连接部的重心位置发生偏移， 锤部2的重心将围绕第一连接部旋转，第一连接部被扭转。若产生加速度则 该第一连接部容易产生扭转，所以相对电极之间的静电容量的变化也容易产 生，能够提高检测灵敏度。
进而，当在X轴方向上产生加速度时，锤部2将以在与第一连接部正交 的方向配置的第二连接部为中心轴围绕Y轴进行旋转，因此，锤部2与相对 基板6的相对电极之间的静电容量发生变化。与上述同样，锤部2围绕Y轴 旋转是因为，第二连接部的厚度比锤部2的厚度薄，所以Z轴方向上的锤部 2的重心位置和第二连接部的重心位置发生偏移，锤部2的重心将围绕第二 连接部旋转，使第二连接部扭转。若产生加速度，则该第二连接部容易产生 扭转，所以相对电极之间的静电容量的变化也容易产生，能够提高检测灵敏度。
特别是，在检测X轴方向Y轴方向的加速度时，Y轴方向的加速度通过 锤部2以第一连接部为中心轴围绕X轴旋转来检测，X轴方向的加速度通过 锤部2以第二连接部为中心轴围绕Y轴旋转来检测。即，由于能够分别独立 地4企测，所以能够抑制^r测灵敏度下降。
此外，在本实施方式中，使第一连接部和第二连 接部正交，但即使不正 交，也能够发挥同样的效果。
另外，在本实施方式中，使第二臂10折弯，但是本发明并不限于此。
进而，在本实施方式中，使第一连接部和第二连接部正交，但是本发明 不限于此。
产业上的可利用性
本发明的惯性力传感器和复合惯性力传感器由于能够提高安装密度且提 高检测灵敏度，因此，可适用于移动体的控制和导航等各种电子设备。
权利要求
1、一种惯性力传感器，具有检测元件，所述检测元件具有加速度检测部，并且，所述检测元件具有经由连接部而具有锤部的固定部、与所述锤部相对的相对基板、形成在所述锤部和所述相对基板各自的相对面上的相对电极，所述加速度检测部通过所述相对电极检测出由伴随所述连接部的变形产生的锤部的活动引起的状态变化，从而检测出惯性力，其特征在于，所述连接部的厚度比所述锤部的厚度薄。
2、 如权利要求1所述的惯性力传感器，其特征在于，所述检测元件具有将第 一臂部与第二臂部正交连接而成的两个正交臂 部、支承两个所述第一臂部的支承部，在所述第二臂部的前端具有所述锤部， 由所述第一臂部构成所述连接部，所述第一臂部的厚度比所述第二臂部的厚 度薄。
3、 如权利要求2所述的惯性力传感器，其特征在于， 所述第二臂部通过折弯使其前端与所述第二臂部相对。
4、 如权利要求1所述的惯性力传感器，其特征在于， 在所述锤部与所述固定部之间，具有使所述锤部配置在内侧的框体部，通过第一连接部连接所述框体部和所述锤部，所述固定部使所述锤部配置在 内侧，并通过第二连接部与所述框体部连接，所述第一连接部和所述第二连 接部各自的厚度比所述锤部的厚度薄。
5、 如权利要求4所述的惯性力传感器，其特征在于，所述检测元件具有将第 一臂部与第二臂部正交连接而成的两个正交臂 部、支承两个所述第一臂部的支承部，在所述第二臂部的前端具有所述锤部， 由所述第一臂部构成所述第 一连接部，所述第一臂部的厚度比所述第二臂部 的厚度薄。.
6、 如权利要求4所述的惯性力传感器，其特征在于， 所述第一连接部和所述第二连接部正交配置。
7、 如权利要求1所述的惯性力传感器，其特征在于，所述固定部为使所述锤部配置在内侧的方形形状，所述连接部连接在所 述方形形状的固定部的边部，所述边部固定在安装基板上。
8、 如权利要求1所述的惯性力传感器，其特征在于，所述;^测元件呈对称形状。
9、 一种复合惯性力传感器，具有检测元件，所述检测元件具有加速度检 测部和角速度检测部，并且，所述检测元件具有将第一臂部和第二臂部正 交连接而成的两个正交臂部、支承两个所述第一臂部的支承部、连接在所述 第二臂部的前端的锤部、连接在所述第一臂部的固定部、与所述锤部相对的 相对基板、形成在所述锤部和所述相对基板各自的相对面上的相对电极、输 入使所述第二臂部振动的驱动信号并形成在所述第二臂部上的驱动电极、感 应所述第二臂部的变形并输出感应信号且形成在所述第二臂部上的感应电 极，所述加速度检测部通过所述相对电极检测出由伴随所述第一臂的变形产 生的锤部的活动引起的状态变化，从而检测出惯性力，所述角速度检测部通 过所述感应电极检测出由所述锤部的科里奥利力引起的状态变化，从而4企测 出角速度，其特征在于，所述第一臂部的厚度比所述第二臂部的厚度薄。
10、 如权利要求9所述的复合惯性力传感器，其特征在于， 所述第二臂部通过折弯使其前端与所述第二臂部相对。
11、 如权利要求9所述的复合惯性力传感器，其特征在于， 在所述锤部与所述固定部之间，具有使所述锤部配置在内侧的框体部，所述框体部通过由所述第一臂部构成的第一连接部与所述第二臂部连接，所 述固定部通过第二连接部与所述框体部连接，所述第一连接部和所述第二连 接部各自的厚度比所述锤部的厚度薄。
12、 如权利要求ll所述的复合惯性力传感器，其特征在于， 所述第一连接部和所述第二连接部正交配置。
13、 如权利要求9所述的复合惯性力传感器，其特征在于，所述固定部为使所述锤部配置在内侧的方形形状，所述第 一臂部连接在 所述方形形状的固定部的边部，所述边部固定在安装基^1上。
14、 如权利要求9所述的复合惯性力传感器，其特征在于， 所述^r测元件呈对称形状。
全文摘要
一种惯性力传感器，具有检测元件(1)，所述检测元件(1)具有加速度检测部，并且，所述检测元件(1)具有将第一臂(8)和第二臂(10)在正交方向上连接而成的两个正交臂、支承两个第一臂(8)的一端的支承部(12)、连接两个第一臂(8)的另一端的固定部(4)、固定在第二臂(10)的前端的锤部(2)，第一臂(8)的厚度比第二臂(10)和锤部(2)的厚度薄，从而提高检测灵敏度。
文档编号G01C19/56GK101617198SQ20088000546
公开日2009年12月30日 申请日期2008年2月19日 优先权日2007年2月20日
发明者大内智, 相泽宏幸 申请人:松下电器产业株式会社