检测移动衬底的形状变化的方法和装置的制作方法

专利名称：检测移动衬底的形状变化的方法和装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及测量设备，更具体地涉及用于测量平面材料形状变化的装置和方法。
背景技术：
熔制工艺是用于生产玻璃板的基本技术之一，并可生产与诸如浮法和狭槽拉制工 艺之类的替代工艺生产的玻璃板相比具有优良平坦度和光滑度的表面的玻璃板。于是，发 现熔制工艺有利地用在玻璃衬底的生产中，例如用于制造诸如液晶显示器(IXD)的发光显 示器的玻璃衬底。熔制工艺，尤其是溢流下拉熔制工艺包括称为同质管的供给管，该供给管向形成 在耐火体内的收集槽供给熔融玻璃。在溢流下拉熔制工艺期间，熔融玻璃从供给管通入收 集槽并然后在两侧溢出该槽顶部，因此形成沿同质管的外表面向下并然后向内流动的两个 玻璃板。两个玻璃板在同质管的底部或根部处会合，在该处它们熔融在一起形成单个玻璃 带。然后将单个玻璃带馈送到拉制设备，该设备通过将板拉离根部的速率来控制板的厚度。 拉制设备适当地定位在根部的下游，从而单个玻璃带在与设备接触之前已经冷却并变硬。 在该工艺的任何部分期间，最终玻璃带的外表面不与同质管外表面的任何部分接触。这样， 可实现最终板的外表面的优良特性。当玻璃带从同质管行进并通过固化区域时，玻璃带的形状会发生变化。这种形状 变化会导致最终玻璃板具有例如高应力，或诸如弓形的不平变形。通常将具有例如高应力 和/或不平变形的玻璃丢弃，产生废品并增加制造成本。为了检测玻璃带的形状变化，常规玻璃制造系统利用间歇下线破坏性产品质量检 查来检测不平板变形，和/或利用靠近玻璃带设置的诸如热电偶的温度传感器。下线形状 检测设备是破坏性的，因此不能进行100%的取样。在热电偶系统中，玻璃带中形状变化会 致使诸如弓形的变形，这会使热玻璃带的位置相对于温度传感器发生变化。热电偶的响应 比光学板位置传感器慢，因此快速发生且随后反向的形状变化用气温读数是无法识别的。 热电偶也会产生错误判断。在玻璃位置没有变化时，可由短期空气流或玻璃流变化来启动 温度警报限制。因此，需要解决与检测玻璃带形状变化的常规方法相关的上述问题和其它缺点。 这些需要和其它需要通过本发明的位置传感器技术来满足。

发明内容
本发明涉及一种测量设备，且更具体地涉及一种用于测量平坦材料的形状变化的装置和方法。本发明通过使用位置传感器来例如检测玻璃带的一个或多个部分的位置并由 此检测形状变化，从而解决上述问题的至少一部分。在第一个详细方面，本发明提供一种用于检测连续衬底的形状变化的方法，该方 法包括在测量区域的至少一部分内用激光射线照射连续衬底的至少一部分，在光学位置传 感器上检测激光射线的反射的至少一部分，然后确定连续衬底的被照射部分与光学位置传 感器之间的距离，然后将该距离与预定值相比较，差值指示连续衬底的形状变化。本发明的其他方面和优点将在以下详细描述和任意权利要求中部分地陈述，且可 从详细描述中部分地推知，或者可通过实施本发明而部分地习得。通过所附权利要求中特 别指出的要素和组合将会认识和获得下述优点。应当理解，前面的概述和后面的详述都只 是举例和解释，不对所披露的发明构成限制。


包含在说明书中并构成说明书的一部分的

示出了下述的几个方面。在所 有附图中，相同的附图标记表示相同的构件。图1是示出根据本发明一方面用在制造玻璃板的溢流下拉熔制工艺中的同质管 的代表构造的示意图。图2是根据本发明各方面的光学位置传感器和衬底的示意图。图3是示出根据本发明各方面构造成沿垂直于具有弓形的玻璃带表面的方向引 导激光射线(虚线)的位置传感器的示意图。箭头指示成形工艺期间玻璃行进的方向。图4是示出根据本发明各方面构造成沿垂直于玻璃带表面的方向引导激光射线 (虚线)的位置传感器的示意图。箭头指示成形工艺期间玻璃行进的方向。图5是示出根据本发明各方面使用光学位置传感器在形状变化期间收集的连续 玻璃衬底的连续采样的顶部边缘的应力分布的曲线图。图6是示出使用常规热电偶警报器收集的连续玻璃衬底的连续采样的顶部边缘 的应力分布的曲线图。
具体实施例方式参考以下详细描述、示例和权利要求以及前面和后面的描述，可更容易地理解本 发明。然而，在揭示和描述本组成、物件、设备和/或方法之前，应该理解，除非另外规定，本 发明并不局限于所揭示的特定组成、物件、设备和方法，当然同样可作改变。还应当理解本 文所使用的术语仅为了描述特定的方面而不意味着是限制性的。以下提供的对本发明的描述，是为了以目前已知的实施例说明本发明如何能够实 现。为此，相关领域的技术人员能够认识并理解，对本文所描述的本发明的各个方面可以作 出许多改变，并且同样能够获得本发明的有益结果。同样不言而喻，通过选择本发明的一些 特征而不利用其他特征，可以获得一些本发明所需的益处。因此，本领域的工作人员可以认 识到，对本发明作出许多改进和调整是可能的，在某些情况下甚至是所希望的，它们是本发 明的一部分。因此，提供以下描述作为对本发明原理的说明而不构成对本发明的限制。揭示了可用于所揭示的方法和组成、可结合所揭示的方法和组成而使用、可用于 所揭示的方法和组成的制备、或者是所揭示的方法和组成的产物的材料、化合物、组成、以及组分。在本文中揭示了这些和其它的材料，应当理解，当揭示这些材料的组合、子集、相互 关系、组等等而未明确地揭示这些化合物的每个不同的单独的和集合的组合以及排列的具 体参考时，在本文中具体考虑和描述了它们中的每一个。因此，如果揭示了一类替代物A、B 和C并揭示了一类替代物D、E和F并揭示了组合实施例的示例A-D，则可单独地和共同地 构想每一个。因此，在此示例中，根据A、B和C ;D、E和F ；和示例组合A-D的揭示，可具体地 构想组合A-E、A-F、B-D、B-E、B-F、C-D、C-E以及C-F中的每一个，而且应当认为上述组合中 的每一个也被揭示。同样，还可具体构想和揭示这些组合的任意子集或组合。因此，例如根 据A、B和C ；D、E和F ；和示例组合A-D的揭示，可具体构想A-E、B-F以及C-E的子组，而且 应当认为上述子组也被揭示。此概念适用于此公开内容的所有方面，包括但不限于制造和 使用所公开的组成的方法中的任何组成成分和步骤。因此，如果存在可执行的各种附加步 骤，则应当理解可通过所公开方法的实施例的任何特定实施例或组合来执行这些附加步骤 的每一个，而且可具体构想每一个这样的组合且应当认为它被揭示。在以下的说明书和权利要求中，会提到多个术语，这些术语定义为具有以下含 义如本文中所用，单数形式的“一”、“一个”以及“该”包括复数指代物，除非上下文明 确地另作规定。因此，例如，对“化合物”的引用包括具有两个或多个这样的化合物的方面， 除非上下文明确地另作规定。“可选的”或“可选地”是指后述的事件或情况可能发生或可能不发生，且该描述包 括该事件或情况发生和不发生的情况。例如，短语“可选地替代的部件”意思是该部件可被 替代或可不被替代，且该描述包括本发明的未被替代和被替代的方面。在本文中，范围可表达为从“约” 一个特定值和/或到“约”另一特定值。当表示 这样一个范围的时候，另一个方面包括从一个特定值和/或到另一特定值。类似地，当使用 前缀“约”表示数值为近似值时，应理解，具体数值形成另一个方面。还应理解，每个范围的 端值无论是与另一个端值联系起来还是独立于另一个端值，都是有意义的。如上文简要介绍的，本发明提供一种用于检测例如玻璃带的形状变化的方法。本 发明还提供一种通过使用光学位置传感器在例如玻璃制造工艺过程中检测玻璃带的形状 变化的系统。在用于制造玻璃板的常规溢流下拉熔制工艺中，熔融玻璃能够溢流出槽并形成连 续玻璃带。参照图1，常规同质管和玻璃板制造系统包括向形成在称为同质管的耐火体13 内的收集槽11提供熔融玻璃的供给管9。在运行过程中，熔融玻璃可从供给管流到槽，在该 槽处可在两侧从槽顶部溢流而出，形成沿同质管的外表面向下并然后向内流动的两个玻璃 板。该两个板在同质管的底部或根部15处会合，在该处它们可熔融在一起形成单个带。然 后将单个带馈送到拉制设备(由箭头17表示)，该拉制设备控制将带拉离根部的速率，并因 此控制板的厚度。拉制设备通常定位在根部的下游，使得形成的玻璃板在与设备接触之前 已经充分冷却且变硬。应当注意，本发明的方法和系统可用于其中形成平坦材料的连续带 的任何制造工艺，且本发明并不意味着限于用于制造玻璃板的溢流下拉熔制工艺。该玻璃成形工艺可适于生产具有多种形状和大小的玻璃。在一方面，玻璃成形工 艺可生产平坦的玻璃板。在另在一方面，玻璃成形工艺可生产具有诸如弓形或弯曲的特定 特征的玻璃板。诸如当玻璃穿过位于同质管与拉制设备之间的固化区域时玻璃带的形状变化会产生应力并致使玻璃破裂。形状变化的类型和变化量会改变。在一方面，形状变化表示 从平坦衬底形成弓形。在另在一方面，形状变化表示弓形变平或进一步成弓形。在另在一 方面，形状变化表示玻璃带内诸如扭转或挠曲的变形。形状变化的量和由此产生的意义和 /或应力会变化。在各方面，形状变化可表示例如从光学位置传感器到衬底的距离的变化 从约 10 μ m 至约 50，000 μ m 或更多，例如约 10、20、40、80、100、200、400、600、1，000,2, 500、 3，500,5, 000,7, 500,9, 000,10, 000,20, 000,30, 000,40, 000,50, 000 μ m 或更大。在另在一 方面，形状变化可表示从光学位置传感器与衬底之间距离的预定值偏离。在其他方面，形状 变化可以约小于10 μ m或者约大于50，000 μ m。下线产品质量检查可提供信息以量化当玻璃带稳定时玻璃的一个或多个部分的 质量。这里所使用的稳定意思是指在玻璃成形工艺的整个固化区域中持续保持相同位置和 形状的玻璃。当带行进通过固化区域的同时形状变化时，这些形状变化会形成到玻璃板内， 产生应力。在下游工艺中，件与件之间玻璃形状的不同会产生产品质量问题。为了检测玻璃带的形状变化，常规玻璃制造系统利用间歇下线破坏性产品质量检 查来检测出不平平板变形、和/或利用靠近玻璃带设置的诸如热电偶的温度传感器。下线 形状测量技术是破坏性的，且因此不能对生产的玻璃板的主要部分进行有效取样。在热电 偶系统中，玻璃带中产生诸如弓形的变形的形状变化会使热玻璃带相对于温度传感器的位 置发生变化。尽管热电偶系统可检测玻璃位置的变化，并因此检测玻璃带形状的变化，但热 电偶系统经受有限的敏感度、环境误差以及较慢响应时间的问题。此外，热电偶系统可产生 由于与玻璃带和/或热电偶相邻的玻璃流、空气流或环境条件变化引起的错误判断结果。 此外，热电偶系统的通常较慢响应时间将不会检测到快速发生且随后相反的形状变化。本发明提供一种通过使用光学位置传感器检测连续移动的诸如玻璃带的平坦衬 底的形状变化的方法。在一方面，本系统的光学位置传感器可用于识别衬底的不能被诸如 热电偶系统或间歇下线破坏性产品质量检查的常规形状识别工具检测到的孤立的形状变 化。在另一方面，本发明的光学位置传感器可用于检测在例如玻璃制造工艺过程中快速发 生的瞬时形状变化。本发明的光学位置传感器可将激光射线引导到诸如在溢流下拉熔制工艺中形成 的玻璃带的连续移动衬底的一部分上，并在例如光电二极管检测器上检测激光射线的反射 部分。在一方面，引导到衬底上的激光射线不跟踪衬底的运动。在另一方面，有激光射线引 导到其上的连续移动衬底的部分以与衬底相对于光学位置传感器移动速率相同的速率变 化。在一方面，将激光射线引导到定位在测量区域内的衬底的至少一部分上。在玻璃成形 工艺中，在各个方面，测量区域可包括玻璃带行进的从同质管根部到拉制设备的区域。在其 它方面，可将激光射线引导到玻璃制造工艺的例如固化区域内或固化区域下游的连续衬底 的一部分上。然后光学位置传感器可确定连续移动衬底的被照射部分与光学位置传感器之间 的距离，并因此确定衬底的至少被照射部分的相对位置。在一方面，光学位置传感器可检测 入射到衬底上的激光射线反射的至少一部分，确定衬底的被照射部分与光学位置传感器之 间的距离，然后将该距离与预定值相比较，差值可指示衬底的至少一部分的形状变化。在一 方面，光学位置传感器可确定玻璃板的激光射线被引导到其上的被照射部分的相对位置。 在另一方面，光学位置传感器可确定玻璃板或其一部分在玻璃成形工艺内具体位置处的相对位置。本发明的光学位置传感器还可提供指示玻璃的给定部分相对于玻璃带的其它部 分具有不同形状的信号。在一方面，光学位置传感器可用于触发警报来识别从带切割后可 被去除以进行进一步测试、丢弃或回收的玻璃的一个或多个部分。另在一方面，光学位置传 感器可向控制系统提供可从例如玻璃带自动切割并去除玻璃的一部分的信号。在又一方 面，光学位置传感器可具有足以允许检测和识别随后从连续玻璃带切割的单件玻璃的响应 时间。光学位置传感器可在玻璃成形工艺期间向光学控制系统提供关于玻璃带的位置 的连续数据流。控制系统——如果使用的话——识别形状变化并指示应当去除或进行进一 步测试的一个或多个单个玻璃板。本发明的光学位置传感器可提供一种节省成本的方法来快速并精确地测量诸如 平坦玻璃带的衬底上一个或多个位置的变形。此外，由于本发明的光学位置传感器在测量 过程中和/或在玻璃成形工艺过程中可保持在固定位置，所以位置传感器系统可以是稳定 且牢固的。在一方面，光学位置传感器不会有诸如来自与玻璃带和/或位置传感器相邻的 玻璃流、空气流和/或环境条件变化的错误判断读数之类的误差。本发明的光学位置传感器可包括能够确定与其光连通的物体的位置和/或位置 变化的任何合适的光学设备。在各方面，光学位置传感器是距离传感器、位移传感器、位置 传感器或其组合。在一具体方面，光学位置传感器是激光测距仪，诸如可从美国俄勒R州波 特兰(Portland)的施密特测量系统公司(Schmitt Measurement Systems, Inc.)购得的 Acuity AccuRange 4000 激光测距仪。根据本发明的各方面，光学位置传感器可构造成发射可被检测的任何适当形式的 射线，并检测例如位置变化。在一方面，光学位置传感器发射激光射线。在一具体方面，光 学位置传感器发射具有约780nm波长的激光射线。由光学位置传感器发射的射线的具体波 长和/或强度可以变化，且本发明并不限于射线的任何特定波长和/或强度。特定光学位置传感器的操作和检测方法可根据所采用的具体设备而变化，且本发 明并不限于使用任何特定设备和/或操作理论。在一方面，激光位置传感器可利用飞行时 间方法，该方法确定光束到诸如衬底的目标的往返行进所花费的时间量。在这一示例方面， 如图2所示，诸如激光器二极管的照射源22可沿由图2中箭头所指示的衬底10的方向发 射激光射线(虚线)。可使用透镜26收集从衬底10反射的光的一部分，该透镜26可将所 收集的从衬底反射的激光射线聚焦到诸如光电二极管检测器的检测器28。在另一些方面，光学位置传感器可包括诸如带通滤波器的其它光学和/或电子部 件，这可提高测量的精确度。在又一些方面，其中光学位置传感器所放置并运行的环境可被 控制成限制可干扰光学位置传感器和/或限制光学位置传感器的检测和/或精确度的环境 光。在各方面，光学位置传感器可检测约10 μ m或更大的位置变化，例如约100、200、 250、300、500、800、1，000,3,000,5,000,8,000,10,000,15,000,20,000,25,000,30,000、 35，000,40, 000,45, 000,50, 000 μ m或更大。特定光学位置传感器的检测范围可以变化，并
可小于或大于给定制造工艺中衬底形状的预期和/或通常变化。在另一方面，光学位置传 感器的检测范围大于衬底运动的预期范围。
本发明的光学位置传感器可定位在适用于检测诸如玻璃带的衬底的至少一部分 的变形或形状变化的任何位置或构造。在一方面，光学位置传感器定位成沿大致垂直于玻 璃带表面的方向引导激光射线。图3示出其中光学位置传感器20定位成将激光射线沿垂直 于玻璃带表面的方向朝向弓形玻璃带10引导的示例性示意图。图4示出其中光学位置传 感器20定位成将激光射线沿垂直于玻璃带表面的方向朝向平坦玻璃带10引导的示例性示 意图。在另一方面，光学位置传感器定位成以相对于衬底平面成例如约15°至约165°的 角度引导激光射线。在又一方面，光学位置传感器定位成以相对于衬底平面成例如约75° 至约105°的角度引导激光射线。如果光学位置传感器构造成和/或定位成将激光射线以 一定角度朝向衬底引导，则在各方面，激光可与检测器分开，从而检测从衬底反射的激光射 线的镜面反射或其主要部分。当光学位置传感器垂直于或大致垂直于衬底平面定位时，光 学位置传感器的激光器和检测器能够以各种布置定位，诸如彼此相邻或如图2所示同心定 位。在较佳方面，激光器和检测器定位成以相对于衬底平面约90° 士 1.5°的角度同心定 位。本发明的光学位置传感器可按适于光学位置测量技术的到衬底的任何距离定位。 在各方面，光学位置传感器定位成距离衬底从约6英寸至约600英寸(50英尺)或更大， 例如约 6,6. 5、7、7· 5、8、8· 5、9、9. 5,10,10. 5、11、12、15、20、30、40、50、75、80、100、120、140、 160、180、200、225、250、275、300、325、350、375、400、450、500、550 或 600 英寸或更大；较佳 地距离衬底从约 6 至约 36 英寸，例如约 6、6. 5、7、7· 5、8、8. 5、9、9· 5、10、10. 5、11、12、15、20、 30,34或36英寸；或更佳地距离衬底从约8. 5至约9. 5英寸，例如约8. 5,8. 75,9,9. 25或 9. 5英寸。根据使用光学位置传感器的具体环境条件，可提供热控制和/或热绝缘来维持用 于光学位置传感器的适当运行环境。在各方面，在玻璃制造工艺中定位的光学位置传感器 可通过空气和/或水来冷却，从而根据设备的设计规范和容差来保持传感器的运行环境。 当具体设备设计和容差可改变时，热控制和方法也可根据所使用的具体设备和其想要的应 用和环境条件而改变。在一方面，光学位置传感器定位成使精度最大并限制来自例如热噪 声的干扰。本发明的光学位置传感器可包括一个或多个单独的位置传感器。在一方面，光学 位置传感器包括构造成检测玻璃带上单个位置处的位置和/或形状变化的单个位置传感 器。在另一方面，光学位置传感器包括构造成检测玻璃带上各分开的离散位置处的位置和/ 或形状变化的两个位置传感器。在其它方面，光学位置传感器包括构造成检测玻璃带上多 个单独位置处的位置和/或形状变化的3、4、5或更多个单独的位置传感器。如果使用多个 位置传感器，则多个位置传感器中的每个可定位在例如玻璃带的相同侧或相反侧。在一方 面，采用两个光学位置传感器并将其定位在玻璃带的相同侧的分开位置处。在另一方面，采 用两个光学位置传感器并定位在玻璃带的相反侧的分开位置处。尽管已经在详细描述中描述了本发明的几个方面，但应当理解，本发明并不限于 所揭示方面，而是能够有多种再布置、改型或替代而不偏离以下权利要求书所阐述和限定 的本发明的精神。示例为了进一步说明本发明的原理，阐述了以下示例，以为本领域的普通技术人员提供如何实现和评价本发明要求专利保护的组成、物件、设备和方法的完整揭示和描述。它们 的目的仅仅是为本发明提供示例，而不意味着对本发明人视为其发明的内容在范围上作出 限制。已经努力确保数值的准确性(例如数量、温度等)；然而某些错误和偏差可能会出现。 除非另外指出，否则，温度按。C表示或是环境温度，且压力为大气压或接近大气压。有可用 于优化产品质量和性能的工艺条件的多种改变和组合。将仅需要合理且常规的试验来优化 这些工艺条件。示例1-比较形状变化的光学位置传感器检测和热电偶检测在第一示例中，将光学位置传感器与用于检测由溢流下拉熔制工艺形成的连续玻 璃衬底的形状变化的常规热电偶系统相比较。获取了一系列连续测量取样，每个取样包括 跨越玻璃表面的多个单独测量值。图5示出获取的数据，每条线代表沿χ轴线的位置1-23 处的多个单独测量值的一个取样。y轴线代表玻璃的应力分布。除了一个取样之外，其它的 取样都具有可比较的偏差且因此具有可比较的应力大小。其余的取样呈现显著的偏差且因 此呈现显著的应力大小。图6示出使用常规热电偶系统时对玻璃衬底的各类似取样获取的数据。与图5 — 样，每条线代表沿X轴线的位置1-23处的多个单独测量值的一个取样。使用常规热电偶系 统时没有检测到显著偏差。如图5中所用的本发明的光学位置传感器能够方便地检测玻璃衬底内发生的瞬 时偏差。相反，常规热电偶系统不能检测出这种偏差。因此，使用光学位置传感器来检测玻 璃衬底的位置偏差，且因此检测形状变化可提供改进从缺陷检测，便于改进质量控制。可以对本文所述的组成、物件、设备和方法进行各种改型和变化。考虑说明书以及 在此揭示的组成、物件、设备和方法的实践，在此所述的组成、物件、设备和方法的其它方面 也将显而易见。意味着本说明书和实施例应当认为是示例性的。
权利要求
一种用于检测连续衬底形状变化的方法，所述方法包括(a)用激光射线照射测量区域内连续衬底的至少一部分，(b)在光学位置传感器上检测所述激光射线的反射的至少一部分，以及然后(c)确定所述连续衬底的所述被照射部分与所述光学位置传感器之间的距离，以及然后(d)将所述距离与预定值相比较，差值指示所述连续衬底的形状变化。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光学位置传感器处在相对于所述测量 区域的预定固定位置。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述连续衬底连续移动通过所述测量区域。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(c)和(d)反复进行多次。
5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，将所述反复多次的每次中所述连续衬底的 所述被照射部分与所述光学位置传感器之间的距离相比较。
6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，还包括控制系统，如果所述反复多次的每次 中所述连续衬底的所述被照射部分与所述光学位置传感器之间的距离改变预定的量，所述 控制系统能够发出警报。
7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，在穿过所述测量区域后，将所述连续衬底切 割成多件；以及所述控制系统能够识别构成所述连续衬底的一部分的多件中在穿过所述测 量区域时所述连续衬底的所述被照射部分与所述光学位置传感器之间的距离改变预定的 量的任何件。
8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(c)和(d)连续进行。
9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括提供与所述测量区域的至少一部分 光连通的至少一个附加光学位置传感器；所述光学位置传感器和所述至少一个附加光学位 置传感器中的每个用激光射线照射所述测量区域的至少一部分内所述连续衬底的分开部 分，并检测所述激光射线的反射；并确定所述连续衬底的每个所述被照射部分与相应光学 位置传感器之间的距离。
10.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述连续衬底包括玻璃带。
11.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述连续衬底包括用溢流下拉熔制工艺形 成的玻璃带。
12.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述连续衬底的所述被照射部分在玻璃成 形工艺的固化区域内或在所述固化区域的下游。
13.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述距离与所述预定值之间的差值从约 10 μ m 至约 50，000 μ m。
14.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述距离与所述预定值之间的差值从约 1，000 μ m 至约 30，000 μ m。
15.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光学位置传感器能够检测从约100μ m 至约50，000 μ m的距离的差值。
16.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光学位置传感器能够检测从约 1，000 μ m至约30，000 μ m的距离的差值。
17.一种用于检测连续衬底形状变化的装置，所述装置包括(a)激光器，所述激光器照射测量区域内连续衬底的至少一部分，(b)光学位置传感器，所述光学位置传感器检测所述激光射线的反射的至少一部分，以及(c)控制系统，所述控制系统确定所述连续衬底的所述被照射部分与所述光学位置传 感器之间的距离，将所述距离与预定值相比较，并指示所述连续衬底的形状变化。
18.如权利要求17所述的装置，其特征在于(a)所述连续衬底连续移动穿过所述光学位置传感器，以及(b)所述控制系统连续多次确定所述连续衬底的所述被照射部分之间的距离，并将各 次确定的距离相比较，并计算各次之间确定的距离的改变。
19.如权利要求18所述的装置，其特征在于，如果各次之间确定的距离改变大于预定 的量，则所述控制系统发出警报。
20.如权利要求19所述的装置，其特征在于，还包括(a)切割机构，所述切割机构用于在所述连续衬底穿过所述测量区域之后将所述连续 衬底切割成多片，以及(b)其中所述控制系统识别构成连续衬底的一部分的多片中在穿过所述测量区域时各 次之间确定的距离变化超过预定量的任何片。
全文摘要
揭示了一种用于检测连续衬底的形状变化的方法，该方法包括提供连续移动通过测量区域的连续衬底，提供与测量区域的至少一部分光连通的光学位置传感器，用激光射线照射测量区域的至少一部分内连续衬底的至少一部分，并检测激光射线的反射，然后确定连续衬底的被照射部分与光学位置传感器之间的距离。
文档编号G01B11/02GK101910782SQ200880124110
公开日2010年12月8日 申请日期2008年11月24日 优先权日2007年11月30日
发明者S·R·马卡姆 申请人:康宁股份有限公司