专利名称：面形传感器的制作方法
技术领域：
本发明属于一种传感器技术，具体涉及一种测量长度或位移的传感器。
背景技术：
传统的几何量测量方法均采用各种类型传感器对被测件的各点各尺寸进行逐点 测量，测量过程中被测件或传感器需变换不同的位置，得到其测量数据，在在线测量 中，这种测量方式限制了这类传感器在许多工业流水线上的应用。现有的传感器往往单 个使用，将多个传感器集成为一个传感器的产品目前市场上还没出现，
发明内容
本发明就是要解决传统测量过程中被测件或传感器需变换不同的位置，限制传 感器在许多工业流水线上应用的问题。 本发明可通过以下技术方案实现 一种面形传感器，包括子传感器l、传感器 壳体2、填充物3、引线4，传感器壳体2中设有2个以上的子传感器1，子传感器l通过 填充物3固定在传感器壳体2中，传感器壳体2外设有将子传感器信号传送到信号处理电 路中的引线4。子传感器l选用光纤传感器或激光三角位移传感器或电感传感器或光栅传 感器或容栅传感器中的一种或多种，子传感器l的类型依据被测点的情况确定，子传感 器1数量、排列形式和角度依据被测量的数量和位置确定，传感器壳体2形状依据子传感 器1的位置和数量确定，依据子传感器类型，采用接触或非接触的测量方法。
本发明与现有技术相比具有以下有益效果本发明将多个传感器进行集成， 测量时可以同时得到多个点的数据，不需使用机械式探头扫描即可实现大范围的高速测 量，且能够达到与单个传感器相同的测量精度和分辨率，能有效提高传感器系统的测试 速度、测量精度和可靠性，从而，可以提高被测件整体测量精度，提高测量效率。此 外，传感器阵列的表面形状、排列形式可以灵活多样，可以非常方便地对复杂表面形状 的零件进行检测，实现工业制造中流水线上产品的测量控制。
图1为本发明的结构示意图；
图2本发明的另一种结构示意图。
具体实施例方式
下面结合附图通过实施例进一步详述。
实施例1 —种面形传感器，包括子传感器l、传感器壳体2、填充物3、引线4，传感器壳 体2中设有5个子传感器1，子传感器1采用光纤传感器，子传感器1通过填充物3固定 在传感器壳体2中，传感器壳体2外设有将子传感器信号传送到信号处理电路中的引线
34。从图1中可见本面形传感器测量面为平面。光纤传感器，测量范围为lOym以上， 分辨率为li;m，其工作过程是由发射光纤照射工作表面，接收光纤经光电转换分别得信 号A和U2，对A和U2经电路处理，即可求出光纤与工件表面的距离。
实施例2 —种面形传感器，包括子传感器l、传感器壳体2、填充物3、引线4，传感器壳 体2中设有12个子传感器1，子传感器1采用激光三角位移传感器，子传感器l通过填充 物3固定在传感器壳体2中，传感器壳体2外设有将子传感器信号传送到信号处理电路中 的引线4。从图2中可见本面形传感器测量面为曲面。
实施例3 —种面形传感器，包括子传感器l、传感器壳体2、填充物3、引线4，传感器壳 体2中设有12个子传感器1，其中4个子传感器1采用电感传感器，4个子传感器1采用 光栅传感器，4个子传感器1采用容栅传感器，子传感器1通过填充物3固定在传感器壳 体2中，传感器壳体2外设有将子传感器信号传送到信号处理电路中的引线4。从图2中 可见本面形传感器测量面为曲面。
权利要求
一种面形传感器，包括子传感器(1)、传感器壳体(2)、填充物(3)、引线(4)，其特征在于传感器壳体(2)中设有2个以上的子传感器(1)，子传感器(1)通过填充物(3)固定在传感器壳体(2)中，传感器壳体(2)外设有将子传感器信号传送到信号处理电路中的引线(4)，子传感器(1)选用光纤传感器或激光三角位移传感器或电感传感器或光栅传感器或容栅传感器中的一种或多种。
全文摘要
本发明公开了一种面形传感器，包括子传感器(1)、传感器壳体(2)、填充物(3)、引线(4)，传感器壳体(2)中设有2个以上的子传感器(1)，子传感器(1)通过填充物(3)固定在传感器壳体(2)中，传感器壳体(2)外设有将子传感器信号传送到信号处理电路中的引线(4)。本发明适用于多点测量，可将多点测量值一次测得，提高测量效率，传感器阵列的表面形状、排列形式可以灵活多样，可以非常方便地对复杂表面形状的零件进行检测，实现工业制造中流水线上产品的测量控制。
文档编号G01B11/02GK101691993SQ20091007571
公开日2010年4月7日 申请日期2009年10月13日 优先权日2009年10月13日
发明者刘振华, 晏浩, 李成贵, 盛佃清 申请人:山西省计量监督检定测试所