专利名称：一种改进型隧道结生物传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及生物传感器技术领域，具体为一种改进型隧道结生物传感
器°
(二)
背景技术：
现有的生物传感器芯片采用自旋阀式的隧道结传感器作为生物分子识别器
件，巨磁阻效应一般在5%~15%，饱和场不超过30兆特斯拉(mT)，其检测灵 敏度和监测范围受到限制，由于传感器灵敏度与被探测物的距离成反比，所以 尽量减小传感器与被探测生物分子的距离是提高生物传感器探测灵敏度的重要 手段。目前隧道结传感器生物传感器基本上采用氮化硅作为保护层，再于其上 喷镀一层金膜，进一步在金膜上通过生物、化学的方法加工出生物膜，这几层 膜结构加起来的厚度超过了 300nm，增加了传感器与待测点的距离，降低了检 测信号的强度。并且，氮化硅的生长、加工工艺复杂，厚度和均匀性难于控制， 以其作为保护层的生物传感器在使用时还需要预先进行复杂的表面修饰过程。 这类器件温度稳定性较差，能耗和背景噪声相对较高，因此影响检测结果的准 确性。
实用新型内容
针对上述问题，本实用新型提供了一种改进型隧道结生物传感器，其能够 增强检测信号的强度，且其工艺简单，降低了成本。
其技术方案是这样的，其包括自旋阀式的隧道结传感器，所述隧道结传感 器上覆盖有生物保护层，其特征在于所述生物保护层材质为聚二甲基硅氧烷， 所述生物保护层的厚度小于100nm。
本实用新型的上述结构中，由于所述隧道结传感器上覆盖有生物保护层， 所述生物保护层材质为聚二甲基硅氧垸，所述生物保护层的厚度小于100nm, 由于传感器与被探测生物分子的距离小于100nm，比现有技术的300nm的厚度 大大降低，其可以将检测信号提高27倍以上，检测灵敏度最大可达10's奥斯特 (Oe)，且由于原来的保护层、金膜、生物膜縮减到了现在的一层生物保护层，其加工工艺得到简化，降低了成本。
图1为本实用新型的原理示意具体实施方式
见图l，本实用新型包括自旋阀式的隧道结传感器l，隧道结传感器l上覆
盖有生物保护层6，生物保护层6材质为聚二甲基硅氧垸，生物保护层6的厚度 小于100nm。
其工作原理如下隧道结传感器1上覆盖有一层材质为聚二甲基硅氧烷的 生物保护层6，操控标记好的样品溶液进入传感器件所在的生物分子识别区，传 感器件上绑定有特定的已知受体4、 5，能特异的与相应的靶分子2、 3结合，如 标记好的样品溶液含有能特异的与传感器件上绑定的已知受体相结合的靶分子 2、 3，则二者结合，然后利用外加磁场清除掉未结合的样品，传感器件将检测 到靶分子2、 3上标记的磁微球7产生的磁场信号，达到检测出生物分子识别的 目的。
权利要求1、一种改进型隧道结生物传感器，其包括自旋阀式的隧道结传感器，所述隧道结传感器上覆盖有生物保护层，其特征在于所述生物保护层材质为聚二甲基硅氧烷，所述生物保护层的厚度小于100nm。
专利摘要本实用新型为一种改进型隧道结生物传感器。其能够增强检测信号的强度，且其工艺简单，降低了成本。其包括自旋阀式的隧道结传感器，所述隧道结传感器上覆盖有生物保护层，其特征在于所述生物保护层材质为聚二甲基硅氧烷，所述生物保护层的厚度小于100nm。
文档编号G01N27/414GK201397316SQ200920041809
公开日2010年2月3日 申请日期2009年3月24日 优先权日2009年3月24日
发明者磊 王 申请人:无锡市纳微电子有限公司