专利名称：流量探测装置的制作方法
技术领域：
流量探测装置
技术领城
本实用新型涉及集成电路制造领域，具体地说，涉及一种用以探测化学机 械研磨设备的液体流量是否符合要求的流量探测装置。
随着金属互连的金属层间介质的增加，导致晶片表面严重的不平整，以致 无法满足图形曝光的焦深要求，为解决这一矛盾和提高芯片的成品率，要求晶 片表面必须平整、光滑和洁净，化学机械研磨工艺便是目前最有效、最成熟的 平坦化技术。化学机械研磨工艺包括晶片研磨以及研磨后清洗。其中，研磨后 清洗的主要目的是去除研磨剂残留、金属污染物以及游离态离子，去除晶片表 面的污染物。
现有的化学机械研磨设备包括一供液管路，所述供液管路可输送柠檬酸清
洗液(CST-100)至清洁单元，进而利用柠檬酸清洗液去除晶片表面的污染物。 因此柠檬酸清洗液的流量对晶片的清洗效果有重大影响。 一旦柠檬酸清洗液的 流量发生改变，晶片的清洗效果也随之受到影响。现有的化学机械研磨设备包 括一流量传感器，所述流量传感器可以探测到供液管路中是否有流量，但不能 探测出实际的供液管路的液体流量是否与设定的流量值相符。目前，可以通过 安装在供液管路上的浮标型流量计，显示供液管路的柠檬酸清洗液流量值。因 此，需要操作人员经常以视觉方式来观测流量计中浮标的位置，来判断供液管 路的柠檬酸清洗液的流量是否符合要求。而一旦操作人员疏忽，未能及时观测 流量计中浮标的位置，此时若供液管路的液体流量已与设定值不符，操作人员 无法得知，则严重影响晶片的清洗效果，给工艺生产带来巨大的损失。因此， 提供一种可自动探测化学机械研磨设备的液体流量是否符合要求的流量探测装 置已成为急需解决的问题。
实用新型内容
本实用新型提供一种流量探测装置，以解决现有的化学机械研磨设备无法 自动探测其液体流量是否符合要求的问题。
有鉴于此，本实用新型提出了一种流量探测装置，包括流量计以及光学 传感器，所述光学传感器设置于所述流量计上。
可选的，所述流量探测装置还包括数据板，其具有一负载端，所述光学传 感器的信号线连接到所述数据板的负载端。
可选的，所述流量探测装置还包括报警装置，所述报警装置与所述数据板 电性连接，当所述流量探测装置探测到液体流量不符合要求时，所述数据板启 动所述报警装置报警。
可选的，所述光学传感器包括发射端和接收端，分别位于所述流量计的两侧。
可选的，所述光学传感器为五线传感器。 可选的，所述流量计为浮标型流量计。
本实用新型所提供的流量探测装置包括流量计以及光学传感器，所述光学 传感器设置于所述流量计上，所述流量探测装置可探测化学机械研磨设备的液 体流量是否符合要求，当所述流量探测装置探测到液体流量不符合要求时，报 警装置报警通知操作人员，可确保晶片的清洗效果。
图1为本实用新型一实施例所提供的流量探测装置的示意图； 图2为本实用新型一实施例所提供的流量探测装置的安装示意图； 图3为本实用新型一实施例所提供的流量探测装置的工作原理图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的流量探测装置作进一步详 细说明。
如图1所示，其为本实用新型一实施例所提供的流量探测装置的示意图，所述流量探测装置100用以探测化学机械研磨设备的液体流量是否符合要求， 其包括流量计110以及光学传感器120,所述光学传感器120设置于所述流量 计110上。所述流量探测装置IOO还包括数据板130以及报警装置140，光学传 感器120的信号线连接到数据板130的负载端131，报警装置140与数据板130 电性连接。
在背景技术中已经提及，流量计110安装在化学机械研磨设备的供液管路 上，其用以显示化学机械研磨设备的供液管路的柠檬酸清洗液的流量。如图2 所示，流量计110为浮标型流量计，其包括标示有刻度的管道111以及位于管道 111之中的活动的浮标112,浮标型流量计IIO才艮据浮标112的位置显示供液管 路的柠檬酸清洗液的流量。光学传感器120包括发射端121以及接收端122,其 中发射端121以及接收端122分别位于流量计110的两侧，当流量探测装置100 探测到流量计110中的液体流量不符合要求时，数据板130启动报警装置140 报警通知操作人员。
请继续参见图3,其为本实用新型一实施例提供的流量探测装置100的工作 原理图，所述光学传感器120为五线传感器，光学传感器120的两根信号线连 接到直流电源的正负极上，其中，光学传感器120对直流电源的电压要求是10 伏到30伏，由于化学机械研磨设备本身自带5伏，12伏，24伏等标准电源， 在本实用新型一实施例中，光学传感器100连接直流12伏的电源，电源的正极 连接到数据板130的负栽端131的正极端子上，而负载端131的负极端子连接 光学传感器120的接收端122的信号线。当光学传感器120被触发，光学传感 器120内的开关被导通的时候，数据板130的负载端131两端便被接上了 12伏 的直流电压，数据板130的负载端131被触发，数据板130会根据负载端131 的地址判断出具体的触发位置启动报警装置140报警。
具体地说，在本实用新型一实施例中，化学机械研磨设备的柠檬酸清洗液 的流量为3ml/min时符合要求，因此，光学传感器120的发射端121以及接收端 122安装于流量计110的刻度值为3ml/min的位置两侧，当浮标111升至3ml/min 的刻度处时，将传感器120的发射端121及接收端122之间的光线挡住，这时 说明有柠檬酸清洗液流过，即化学机械研磨设备的供液管路的柠檬酸清洗液的 流量为3ml/min，供液管路的液体流量符合要求。而一旦浮标111没有升起至3ml/min的刻度处，即化学机械研磨设备的液体流量不符合要求，传感器100的 发射端110及接收端120之间的光线未被挡住，光学传感器120被触发，数据 板130的负载端两端便被接上了 12伏的直流电压，数据板130的负载端131被 触发，数据板130根据负载端131的地址判断出具体的触发位置后，启动报警 装置140报警通知操作人员，此时操作人员即可采M目应的措施，避免因柠檬 酸清洗液的流量不符合要求而影响晶片的清洗效果。
本实用新型所提供的流量探测装置，当化学机械研磨设备的供液管路设定 的柠檬酸清洗液的流量值改变时，可相应的调整光学传感器的发射端以及接收 端的安装位置，方便地探测出化学机械研磨设备的液体流量是否符合要求。
综上所述，本实用新型提供一种流量探测装置，用以探测化学机械研磨设 备的液体流量是否符合要求，所述流量探测装置包括流量计以及设置于所述流 量计上的光学传感器，所述流量探测装置可自动探测所述化学机械研磨设备的 液体流量是否符合要求，当所述流量探测装置探测到所述流量计的流量不符合 要求时，报警装置报警通知操作人员，可确保晶片的清洗效果。
显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离 本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实 用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动 和变型在内。
权利要求1、一种流量探测装置，其特征在于，包括流量计；以及光学传感器，设置于所述流量计上。
2、 如权利要求1所述的流量探测装置，其特征在于，还包括数据板，其具 有一负载端，所述光学传感器的信号线连接到所述数据板的负载端。
3、 如权利要求2所述的流量探测装置，其特征在于，还包括报警装置，与 所述数据板电性连接，当所述流量探测装置探测到液体流量不符合要求时，所 述数据板启动所述报警装置报警。
4、 如权利要求1所述的流量探测装置，其特征在于，所述光学传感器包括 发射端和接收端，分别位于所述流量计的两侧。
5、 如权利要求1所述的流量探测装置，其特征在于，所述光学传感器为五 线传感器。
6、 如权利要求1所述的流量探测装置，其特征在于，所述流量计为浮标型流量计o
专利摘要本实用新型提供一种流量探测装置，用以探测化学机械研磨设备的液体流量是否符合要求，所述流量探测装置包括流量计以及设置于所述流量计上的光学传感器，当所述流量探测装置探测到化学机械研磨设备的液体流量不符合要求时，报警装置报警通知操作人员，可确保晶片的清洗效果。
文档编号G01F15/06GK201364183SQ20092006683
公开日2009年12月16日 申请日期2009年1月13日 优先权日2009年1月13日
发明者宋林飞, 张溢钢, 张闻来, 涛 杨, 蒋锡兵 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司