专利名称：浓度测定方法及装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及在锅炉、垃圾焚烧炉、内燃机的燃烧室等密闭容器内产生的气体、或从 该密闭容器向外部排出的气体、或在排出的气体滞留的可能性高的场所的气体状物质浓度 及固体粒子状物质浓度的测定方法及测定装置。
背景技术：
目前，作为用于测定锅炉、垃圾焚烧炉、内燃机的燃烧室等密闭容器内产生的气体 的浓度的方法，开发有使用激光的技术。使用该激光的气体浓度测定技术中，利用每种气体 具有吸收特有波长的特性，在气体环境中照射特定波长的激光，通过对经过气体环境的激 光的光谱进行分析，掌握特定气体种类的浓度。另外，为了测定测定对象中悬浮的固体粒子状物质的浓度，采集一定量的气体，使 其通过圆筒滤纸等，测定通过前和通过后的圆筒滤纸的重量变化，根据采样气体量和滤纸 的重量变化量测定测定对象中的固体粒子状物质的浓度。这样，作为利用激光进行气体浓度的检测、固体粒子状物质的浓度检测的例子，已 知有专利文献1 (日本特开平10-185814号公报)，该专利文献1中公开有一种浓度测定装 置，对测定对象照射测定对象中的气体状物质所固有的吸收波长的激光，同时测定气体状 物质浓度和固体粒子状物质的浓度。其中，如图9所示，激光透射率的基础的衰减量Ap表 示固体粒子状物质的衰减量，峰状的衰减量(吸收量)Ag表示气体状物质的衰减量，从Ap 计算固体粒子状物质浓度，从Ag计算气体状物质浓度。另外，专利文献2(日本特许第3185310号公报)中公开了检测车辆行驶时排出的 烟气的烟气检测器。公开了由激光受光部接受使来自激光发光部的输出光在废气中扩散、 反射的光，基于在多个受光部的受光状态判定黑烟、白烟、水蒸气白烟、或两白烟的混合状 态的技术。但是，在上述专利文献1中，如上所述，公开了同时测定气体状物质浓度和固体粒 子状物质的浓度的浓度测定装置，但固体粒子状物质被作为一个值进行测量。即，虽然能 够一并掌握固体粒子状物质的整体浓度，但对于在固体粒子状物质中有黑烟、白烟、水蒸气 等，将它们分离并分别进行测量的技术没有公开。另外，在上述专利文献2的技术中，仅测量固体粒子状物质的黑烟、白烟、水蒸气 等，不能同时测定废气浓度、例如NH3 (氨)浓度、NOx(氮氧化物)浓度等特定的气体浓度。
发明内容
于是，本发明是鉴于这样的背景而创立的，其课题在于，提供测定方法及装置，能 够在测定气体状物质浓度的同时测定固体粒子状物质浓度，并且可以对固体粒子状物质浓 度中的黑烟、白烟、水蒸气等多个物质同时简单且可靠地进行各自的浓度测定。为解决所述课题，第一方面提供一种浓度测定方法，对测定对象照射该测定对象 中的气体状物质所固有的吸收波长的激光，根据检测出的光透射率和光吸收量检测测定对
3象中的气体状物质浓度和固体粒子浓度，其特征在于，预先设定所述吸收波长的与相对于 包含黑烟及白烟的多种固体粒子状物质的浓度的激光衰减量的关系，相对于要测定的气体 状物质分别照射多个吸收波长的激光，分别测定照射的多个吸收波长的激光的衰减量，且 将该测定结果的衰减量、和基于所述预先设定的关系算出的衰减量进行对比，分别计算所 述多种固体粒子状物质的浓度。另外，第二方面提供用于实施第一方面的方法发明的装置发明，该第二方面提供 一种浓度测定装置，对测定对象照射该测定对象中的气体状物质所固有的吸收波长的激 光，根据检测出的光透射率和光吸收量检测测定对象中的气体状物质浓度和固体粒子状物 质浓度，其特征在于，分别设置多个相对于要测定的气体状物质照射吸收波长的激光的发 光单元、及接收来自该发光单元的激光的受光单元，并且具备激光衰减系数映射，预先设 定所述吸收波长的与相对于包含黑烟及白烟的多种固体粒子状物质的浓度的激光衰减量 的关系；和衰减量计算单元，其根据由所述受光单元接收的激光计算激光的衰减量；和固 体粒子浓度计算单元，其将该衰减量计算单元算出的衰减量和由所述激光衰减系数映射的 衰减系数计算出的衰减量进行对比，分别计算所述多种固体粒子的浓度。根据该第一及第二方面，对测定对象照射多个要测定的测定气体状物质的吸收波 长的激光，同时，预先求出所述各吸收波长的相对于包含黑烟及白烟的多种固体粒子状物 质的激光衰减系数，且设定成激光衰减系数映射。而且，分别测定相对于所照射的多个吸收 波长的激光的衰减量，将来自该测定结果的衰减量、和使用所述激光衰减系数映射的衰减 量进行对比，从而可计算黑烟、白烟等固体粒子状物质的浓度。具体而言，当例如为用于测定CO的气体浓度的吸收波长为λ 1的激光，例如为用 于测定NH3的气体浓度的吸收波长为λ 2的激光时，预先求出相对于波长λ 1的黑烟的衰 减系数a、和相对于白烟的衰减系数b，进而求相对于波长λ 2的黑烟的衰减系数C、和相对 于白烟的衰减系数d。另外，这些衰减系数被设定为具有图4、图5所示的特性关系的激光 衰减系数映射。而且，波长λ 1的激光衰减量A λ 1、和波长λ 2的激光衰减量A λ 2如下式(1)、⑵ 所示，可作为黑烟浓度(Nb)引发的衰减量、和白烟浓度(Nw)引发的衰减量之和表示。AAl = aNB+bNff(1)A λ 2 = cNB+dNff(2)而且，通过对Nb黑烟浓度、Nw白烟浓度求解式(1)、(2)的联立方程式，可计算各自 的浓度。另外，波长λ 1的激光衰减量Αλ 1、和波长λ 2的激光衰减量Αλ 2分别是基于来 自受光部的受光强度信号计算出的衰减量。S卩，根据该第一及第二发明，照射波长不同的多个激光，可以根据各波长的激光的 衰减量同时简单且可靠地计算该多个固体粒子状物质的浓度。另外，在第一方面中，优选的是，可以如下构成将激光除对测定对象照射以外，还 相对于要测定的封入了气体状物质的标准气体的参照单元进行照射，基于通过了该参照单 元的激光的强度信号和通过了所述测定对象的透射强度信号求出所述测定结果的衰减量。另外，在第二方面中，优选的是，可以为，所述衰减量计算单元将激光除对测定对 象照射以外，还相对于要测定的封入了气体状物质的标准气体的参照单元进行照射，基于 通过了该参照单元的激光的强度信号和通过了所述测定对象的透射强度信号计算所述吸
4收波长的激光的衰减量。根据该构成，由于基于通过了封入有标准气体的参照单元的激光的强度信号、和 通过了测定对象的透射强度信号计算吸收波长的激光的衰减量，因此，可以进行对激光发 送强度的变动也不受影响的测量。另外，在第一方面中，优选的是，可以如下构成将激光除对测定对象照射以外，还 相对于要测定的封入了气体状物质的标准气体的参照单元进行照射，基于通过了该参照单 元的激光的接收信号将所述激光的波长锁定为封入到参照单元的气体的吸收波长。另外，在第二方面中，优选的是，可以为，将来自所述发光单元的激光除对测定对 象照射以外，还相对于要测定的封入了气体状物质的标准气体的参照单元进行照射，基于 通过了该参照单元的激光的接收信号将所述激光的波长锁定为封入到参照单元的气体的 吸收波长。根据该构成，通过对封入到参照单元的标准气体的吸收波长锁定激光的波长，消 除来自发光单元的激光的波长偏差，从而可以抑制波长偏差带来的测定精度的降低。另外，在第一方面中，优选的是，可以为，具备波长调制单元及解调单元，对所述要 测定的气体状物质照射多个吸收波长的激光，利用各吸收波长中的气体状物质的吸收量测 定所述气体状物质的浓度。另外，在第二方面中，优选的是，可以为，具备气体状物质浓度计算单元，该气体状 物质浓度计算单元具备波长调制单元及解调单元，通过所述发光单元对所述要测定的气体 状物质照射吸收波长的激光，利用各吸收波长中的气体状物质的吸收量测定所述气体状物 质的浓度。根据该构成，可以同时测定多种气体状物质的浓度。即，可以测定黑烟、白烟、水蒸 气等多个固体粒子状物质浓度，并且，可以同时测定多种气体状物质的浓度，从而废气浓度 的分析效率提高。根据本发明，提供测定方法及装置，可以在测定在锅炉、垃圾焚烧炉、内燃机的燃 烧室等密闭容器内产生的气体、或从该密闭容器向外部排出的气体等气体状物质浓度的同 时，同时测定固体粒子状物质浓度，并且，对于固体粒子状物质浓度中的黑烟、白烟、水蒸气 等多种物质，能够同时简单且可靠地进行各自的浓度测定。
图1是将本发明的浓度测定装置适用于柴油发动机的废气测定的整体构成图；图2是第一实施方式的浓度测定装置的整体构成图；图3是表示波长锁定信号的说明图；图4是表示相对于黑烟的激光衰减系数映射的说明图；图5是表示相对于白烟的激光衰减系数映射的说明图；图6是表示本发明和现有技术的黑烟的排出测定结果的说明图；图7是第二实施方式的浓度测定装置的整体构成图；图8是表示气体浓度信号的说明图；图9是表示现有技术的说明图。
具体实施例方式下面，参照附图示意性详细说明本发明的最佳实施方式。但是，本实施方式所记载 的构成零件的尺寸、材质、形状、其相对配置等只要没有特别记载，则不是将本发明的范围 限定于此，只不过是说明例而已。(第一实施方式)图1表示将本发明第一实施方式的浓度测定装置3用于柴油发动机(发动机)5 的废气浓度测定的例子。在发动机5的排气通路7，以横穿排气通路7照射多个激光、在此为二个激光的方 式安装有测量传感器部9，該测量传感器部9由发光侧的准直仪(光学透镜)lla、llb、及受 光侧的准直仪(光学透镜)13a、13b构成。来自浓度测定装置3的第一发光部(发光单元)15a、第二发光部(发光单元)15b 的激光使用光纤17被输送到测量传感器部9，由该测量传感器部9照射的激光在透过废气 后，由第一受光部(受光单元)19a和第二受光部(受光单元)19b转换为受光信号，通过电 缆21输入解析装置23进行浓度解析。另外，设有波长调制单元25、解调单元27，并且，在 解析装置23中具有激光衰减系数映射29、衰减量计算单元31、固体粒子浓度计算单元33、 气体状物质浓度计算单元35。如图2，发光源由发出波长λ 1的激光的第一发光部15a和发出波长λ 2的激光 的第二发光部15b构成，第一发光部15a、第二发光部15b分别具有用于使激光振荡的半导 体激光二极管LDl、LD2，其分别与LD驱动器的第一驱动电路、第二驱动电路连接，控制LDl、 LD2的驱动鼋流。另外，从第一波长调制单元37对第一发光部15a的第一驱动电路分别施加第一调 制信号Π、第一波长锁定信号wl，从第二波长调制单元39对第二发光部15b的第二驱动电 路分别施加第二调制信号f2、第二波长锁定信号w2。该调制信号fl、f2是为了对激光实施频率调制而施加的信号，另外，调制信号fl、 f2为了取出与调制信号fl、f2同步的信号，也分别对第一解调单元41、第二解调单元43施 加。由测量传感器部9的受光侧接收的激光分别由第一受光部19a、第二受光部19b接 受且输出强度信号。该第一受光部19a、第二受光部19b分别由将接收的激光转换为电信 号的光敏二极管PD1、PD2和从所转换的电信号进行放大的前置放大器构成。由第一受光 部19a、第二受光部19b接受且输出的强度信号由未图示的直流成分检测器和交流成分检 测器分别分开，直流成分表示图9所示的激光透射率的基础的衰减量Ap，表示固体粒子状 物质引起的衰减量。而且，该直流成分的信号作为透射强度信号I1I2被输入解析装置23。另一方面，从第一发光部15a发出的激光由分波器分波并导向第一参照单元45， 且使其在被封入第一参照单元45的一定压力的已知的标准气体内流通，由第三受光部47 受光，将该第三受光部47的受光信号输入第一解调单元41。另外，从第一波长调制单元37 向第一解调单元41输入第一调制信号Π，且从受光信号取出与第一调制信号fl同步的信 号，检测第一参照单元45内的气体种类的正确的吸收波长。而且，以使第一发光部15a的 LDl振荡该吸收波长的方式将第一波长锁定信号wl向第一发光部15a的驱动电路输出。另外，对于从第二发光部15b分波并导向第二参照单元49的激光也相同，将第四
6受光单元51的受光信号输入第二解调单元43，同时，从第二波长调制单元39向第二解调单 元43输入第二调制信号f2，从受光信号取出与第二调制信号f2同步的信号，作为第二波长 锁定信号《2输入第二发光部15b的LD2的驱动电路。另外，在第一参照单元45封入作为要测定的气体种类的例如CO标准气体，另外， 在第二参照单元49封入作为其它要测定的气体种类的例如NH3标准气体，利用第一参照单 元45检测正确的吸收波长λ 1，利用第二参照单元49检测正确的吸收波长λ2，输出波长 锁定信号wl、w2。图3表示该波长锁定信号和激光波长的关系。在波长控制范围内进行调 制。另外，第三受光部47的受光信号的强度作为入射强度信号I, I02被输入解析装 置23。在该解析装置23中，如下进行浓度解析。设置图4、图5所示的激光衰减系数映射29，图4是对于黑烟的激光衰减系数映 射，如图所示，按一次函数的关系设定例如用于测定CO的气体浓度的吸收波长为λ 1的激 光相对于黑烟的衰减系数a、和波长λ 2的激光相对于2黑烟的衰减系数C。另外，图5是相对于白烟的激光衰减系数映射，如图所示，按一次函数的关系设定 例如用于测定CO的气体浓度的调制中心波长为λ 1的激光相对于白烟的衰减系数b、和波 长λ 2的激光相对于白烟的衰减系数d。而且，波长λ 1的激光衰减量A λ 1和波长λ 2的激光衰减量A λ 2如下式⑴、⑵ 可以作为黑烟浓度(Nb)的衰减量和白烟浓度(Nw)的衰减量之和表示。另外，Nb表示黑烟浓 度、Nw表示白烟浓度。AAl = aNB+bNff (1)A λ 2 = cNB+dNw (2)而且，通过对Nb黑烟浓度、Nw白烟浓度求解式(1)、(2)的联立方程式，可计算各自 的浓度。波长λ 1的激光衰减量A λ 1、和波长λ 2 O激光衰减量Αλ 2分别通过衰减量 计算单元31计算，在该衰减量计算单元31中，使用表示第三受光部47的受光强度的入 射强度信号Icu、Itl2、和表示第一受光部19a的受光强度的透射强度信号Ip I2，设定Αλ 1 ="Log (VI01)进行计算，对于A λ 2也相同，设定A λ 2 = -Log (I2/I。2)进行计算。即，通过 衰减量计算单元31计算的衰减量Αλ 1、Αλ 2基于实际上测定的受光强度信号来计算。另外，使用上述式(1)、式(2)，通过设于解析装置23的固体粒子浓度计算单元33 进行Nb黑烟浓度、Nff白烟浓度的计算。另外，在求取水蒸气的固体粒子状物质的浓度的情况下，与上述黑烟和白烟两种 情况的计算方法相同，对于波长λ 、λ2、λ 3(例如NOx的吸收波长)预先设定黑烟、白 烟、水蒸气各自的衰减系数，可通过在式(1)、(2)上进一步增加了水蒸气浓度(Ns)的下式 (3) (5)表示。AAl = aNB+bNff+eNs(3)A λ 2 = cNB+dNff+fNs(4)A λ 3 = gNB+hNff+iNs(5)而且，通过对Nb黑烟浓度、Nw白烟浓度、Ns水蒸气浓度求解式(3) (5)的联立方程式，可以计算各自的浓度。另外，e是表示波长λ 3的测定气体的黑烟浓度和光衰减量之间的关系的衰减系 数。f是表示波长λ3的测定气体的白烟浓度和光衰减量的关系的衰减系数。g表示波长 λ 1的测定气体相对于水蒸气的衰减系数、h表示波长λ 2的测定气体相对于水蒸气的衰减 系数、i表示波长λ 3的测定气体相对于水蒸气的衰减系数。如上，根据第一实施方式，照射多个测定对象的气体状物质的吸收波长λ 1、λ 2 的激光，同时，预先求上述各吸收波长的相对于包含黑烟及白烟的多种固体粒子状物质的 激光衰减系数，并设定为激光衰减系数映射29。而且，分别测定相对于所照射的多个吸收波 长的激光的衰减量A λ 1、Α λ 2，通过使用来自该测定结果的衰减量、和使用由上述激光衰减 系数映射29计算的激光衰减系数表示的由黑烟、白烟等的固体粒子状物质的浓度计算出 的激光的衰减量，能够分别简单且可靠地计算黑烟、白烟等的固体粒子状物质的浓度。另外，对封入有要测定的气体状物质的标准气体的第一、第二参照单元45、49进 行照射，将通过了该参照单元45、49的激光的强度信号分别作为入射强度信号Ic^Itl2进行 计算，另外将通过了测定对象的各激光的强度信号作为透射强度信号Ip I2进行计算，基于 这些入射强度信号IcilUtl2和透射强度信号I1U2计算吸收波长的激光的衰减量，因此，可以 进行激光振荡强度的变动不受影响的测量。另外，将激光除对测定对象照射以外，还对封入有要测定的气体状物质的标准气 体的第一、第二参照单元45、49进行照射，基于通过了该参照单元45、49的激光的接收信号 将第一发光部15a、第二发光部15b的激光的波长锁定成封入参照单元的气体的吸收波长， 即将激光的波长锁定成被封入参照单元45、49的标准气体的吸收波长λ 1、λ 2，因此，不会 产生来自第一发光部15a、第二发光部15b的激光的波长偏差，能够抑制波长偏差带来的测 定精度的降低。另外，将本实施方式的黑烟浓度的测定结果与现有的气体采样的测量方法进行比 较，如图6特别是如A区域所示，确认了在现有装置的测量中，测量中产生响应延迟、显像缓 和化，与之相对，在本实施方式中，可响应性良好地进行浓度检测。(第二实施方式)其次，参照图7、8参照对第二实施方式进行说明。第二实施方式中，在第一实施方式的固体粒子状物质的浓度的测定的基础上，可 以同时测定多种气体状物质的浓度。与第一实施方式相同的构成标注同一符号，省略说明。图7的整体构成图与第一实施方式的图2的整体构成图相对应，相对于第一实施 方式进一步设置了第三解调单元55、第四解调单元57、气体状物质浓度计算单元35。该第三解调单元55，由第一受光部19a接受的强度信号通过未图示的直流成分检 测器和交流成分检测器分别分开，如第一实施方式所说明，直流成分表示图9的激光透射 率的基础衰减量Ap，被用于固体粒子状物质的衰减量的计算。对于交流成分，通过第三解调 单元55取出与来自第一波长调制单元37的第一调制信号f 1同步的信号，通过过滤器除去 噪声，通过波峰状显示于解调信号的吸收信号的大小检测气体浓度。如图9所示，波峰状的 衰减量(吸收量)Ag表示气体状物质带来的衰减量，可通过该Ag计算气体状物质浓度。利用通过第三解调单元55得到的波峰信号A1和第一受光部19a的接收强度的透 射强度信号I1，利用Ngl= α IXA1A1可以计算波长λ 的吸收波长的气体浓度Ngl。
另夕卜，关于波长λ 2的吸收波长的气体浓度Ng2，可通过Ng2= α2ΧΑ2/Ι2计算。α 1、 α 2为比例常数。另外，这些气体浓度的计算通过解析装置23的气体状物质浓度计算单元 35进行。根据第二实施方式，可测定两种气体状物质(C0、NH3)的浓度。即，可测定黑烟、白 烟的多个固体粒子状物质浓度，同时，可测定两种气体状物质的浓度，从而柴油发动机5的 废气浓度的分析效率提高。另外，不仅是两种气体状物质(例如CO、NH3)的浓度，如果设为三种(例如CO、 NH3, NOx)，也可以在进行气体状物质的浓度测定的同时，也测定黑烟、白烟、水蒸汽的多个固 体粒子状物质浓度，因此，废气浓度的测定效率进一步提高。另外，不限于两种、三种气体状物质，当然，根据需要可测定多个气体状物质的浓 度，同时可测定多种固体粒子状物质浓度。另外，第一、二实施方式中，以半导体激光二极管为例说明了光源，但也可以适用 于其它的可进行波长调制、振幅调制的激光振荡器。产业上的可利用性根据本发明，可以在测定锅炉、垃圾焚烧炉、内燃机的燃烧室等密闭容器内产生的 气体、或从该密闭容器向外部排出的气体等气体状物质浓度的同时，同时测定固体粒子状 物质浓度，并且，对于固体粒子状物质浓度中的黑烟、白烟、水蒸汽等多种物质，可以同时简 单且可靠地进行各自的浓度测定，因此，在对浓度测定方法及装置应用时有益。
9
权利要求
一种浓度测定方法，对测定对象照射该测定对象中的气体状物质所固有的吸收波长的激光，根据检测出的光透射率和光吸收量检测测定对象中的气体状物质浓度和固体粒子状物质浓度，其特征在于，预先设定所述吸收波长的与相对于包含黑烟及白烟的多种固体粒子状物质的浓度的激光衰减量的关系，相对于要测定的气体状物质分别照射多个吸收波长的激光，分别测定照射的多个吸收波长的激光的衰减量，且将该测定结果的衰减量、和基于所述预先设定的关系算出的衰减量进行对比，分别计算所述多种固体粒子状物质的浓度。
2.如权利要求1所述的浓度测定方法，其特征在于，将激光除对测定对象照射以外，还 相对于要测定的封入了气体状物质的标准气体的参照单元进行照射，基于通过了该参照单 元的激光的强度信号和通过了所述测定对象的透射强度信号求出所述测定结果的衰减量。
3.如权利要求1所述的浓度测定方法，其特征在于，将激光除对测定对象照射以外，还 相对于要测定的封入了气体状物质的标准气体的参照单元进行照射，基于通过了该参照单 元的激光的接收信号将所述激光的波长锁定为封入到参照单元的气体的吸收波长。
4.如权利要求1所述的浓度测定方法，其特征在于，具备波长调制单元及解调单元，对 所述要测定的气体状物质照射多个吸收波长的激光，利用各吸收波长中的气体状物质的吸 收量测定所述气体状物质的浓度。
5.一种浓度测定装置，对测定对象照射该测定对象中的气体状物质所固有的吸收波长 的激光，根据检测出的光透射率和光吸收量检测测定对象中的气体状物质浓度和固体粒子 浓度，其特征在于，分别设置多个相对于要测定的气体状物质照射吸收波长的激光的发光单元、及接收来 自该发光单元的激光的受光单元，并且具备激光衰减系数映射，其预先设定所述吸收波长的与相对于包含黑烟及白烟的多种固体 粒子状物质的浓度的激光衰减量的关系；衰减量计算单元，其根据由所述受光单元接收的 激光计算激光的衰减量；和固体粒子浓度计算单元，其将该衰减量计算单元算出的衰减量 和由所述激光衰减系数映射的衰减系数计算出的衰减量进行对比，分别计算所述多种固体 粒子的浓度。
6.如权利要求5所述的浓度测定装置，其特征在于，所述衰减量计算单元将激光除对 测定对象照射以外，还相对于要测定的封入了气体状物质的标准气体的参照单元进行照 射，基于通过了该参照单元的激光的强度信号和通过了所述测定对象的透射强度信号计算 所述吸收波长的激光的衰减量。
7.如权利要求5所述的浓度测定装置，其特征在于，将来自所述发光单元的激光除对 测定对象照射以外，还相对于要测定的封入了气体状物质的标准气体的参照单元进行照 射，基于通过了该参照单元的激光的接收信号将所述激光的波长锁定为封入到参照单元的 气体的吸收波长。
8.如权利要求5所述的浓度测定装置，其特征在于，具备气体状物质浓度计算单元，该 气体状物质浓度计算单元具备波长调制单元及解调单元，通过所述发光单元对所述要测定 的气体状物质照射吸收波长的激光，利用各吸收波长中的气体状物质的吸收量测定所述气 体状物质的浓度。
全文摘要
本发明提供测定方法及装置，能在测定气体状物质浓度的同时测定固体粒子状物质浓度，并且能对于固体粒子状物质浓度中的黑烟、白烟、水蒸气等多种物质同时简单可靠地进行各自的浓度测定。对测定对象照射该测定对象中的气体状物质所固有的吸收波长的激光，根据检测出的光透射率和光吸收量检测测定对象中的气体状物质浓度和固体粒子状物质浓度，其中，预先设定各吸收波长的与相对于包含黑烟及白烟的多种固体粒子状物质的浓度的激光衰减量的关系，对于要测定的气体状物质分别照射多个吸收波长的激光，分别测定照射的多个吸收波长的激光的衰减量，且将该测定结果的衰减量和基于预先设定的关系计算出的衰减量进行对比，计算多种固体粒子状物质的浓度。
文档编号G01N15/06GK101981432SQ20098011130
公开日2011年2月23日 申请日期2009年4月15日 优先权日2008年10月29日
发明者团野实, 氏原裕子, 牟田研二, 田浦昌纯, 胜木将利 申请人:三菱重工业株式会社