谐振器长度的测量的制作方法

专利名称：谐振器长度的测量的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种确定谐振器的长度的方法、一种确定谐振器的长度的设备、以及一种用于测量谐振器的长度的计算机程序。测量是基于对从所述谐振器接收的、被记录的电磁谱所进行的分析。
背景技术：
近年来，对工艺中高准确度测量产生需求。对于许多应用而言，测量过程优选地应当是快速的，使得该过程能够被用于连续地控制例如铣床或者EDM(放电加工机床)。以上所述通过下面的例子来进行说明。在EDM中，卡盘和夹具通常被用来夹住要进行加工的工件。在卡盘平面中的位置准确度通常大约为+/-2 μ m,并且该准确度对大多数应用而言是足够了。然而，主要的应用领域是制造用于EDM: ing(放电加工)的电极，以及作为最后一步的通过EDM: ing进行制模。近年来，将有对高准确度模具的需要，这些高准确度模具被用于生产例如有非常高准确度的和有非常精细的微型零件的光学镜片。此外，还有对微型零件进行极其精细的加工的需要。关于连接的位置准确度必须在亚微米级上(例如+/-0. 2 μ m)。使用常规的连接这是不可能实现的，并且特别是不能在电极和模具的制造过程的环境中使用，因为常规的系统需要空间并且敏感于液体的痕迹，比如来自过程的绝缘和冷却的液体、雾、烟、粉末以及颗粒。此外，夹具的微米级位置受到过程力和温度梯度的影响。因此，优选地使用有微米级准确度的连续位置测量。此外，卡盘会受到磨损，这依赖于钳位的数量、过程力和来自过程的颗粒。磨损影响位置准确度，并且必须受到监控以在卡盘被磨损用坏之前更换该卡盘。通常，由于磨损造成的准确度损失现在在分离的过程中，通常是手动的而不是在每个钳位上进行测量。US 6078706公开了一种准静态光纤压力传感器，其使用了基于宽带半导体源的自参照干涉测量法，其探测在其中使用了双光栅光谱仪解调相位的法布里-珀罗 (Fabry-Perot)谐振腔内的压板偏斜，使用偏斜压板的光学探询提供压力的实时高分辨率远程测量。该技术以纳米级的分辨率在宽范围的间距长度上实时产生绝对间距的测量。通过调节压板的设计以覆盖间距范围并且能够解决偏斜，在kpsig的压力范围内能够观察到具有psi (每平方英寸磅数)分辨率的压力传感。US 7099015B2描述了一种其他的光纤传感设备，其使用法布里-珀罗谐振腔来感测物理参量。谐振腔调制入射的多色光。被调制光由光学光谱仪装置来记录。光谱则在信号处理单元中进行分析，所述信号处理单元规范化光谱，并且确定被调制信号的相位。积聚在整个波长范围上的相位被用于使用查询表来识别物理参量。谐振腔、多色光源以及分光镜装置通过光纤装置连接。Egrov, S A“Spectral signal processing in intrinsic interferometric sensors based on birefringent polarization-maintaining optical fibers，，，Journal of lightwave technology,Vol. 13,No. 7,July 1995,pages 1231—1236，ISSN :0733-8724, 其相对比于从中该申请要求了优先权的EP 08166344被引用，其描述了应用于本征应变中的光谱信号处理技术、基于双极化保偏光纤的温度和分布式线性位置的干涉测量光纤传感器。该方法提供了对影响了传感光纤的外部物理参量的非增量测量。还讨论了对网络中传感器的同时探询。根据本文，根据一频谱谐振的平移，利用已知的干涉级，计算在远离预定频率的一自由光谱范围的边界上光程差的准确值。此外，本文强调所描述的信号处理算法的先决条件是对干涉级的无二义性确定。此外，本文解释了对于干涉级的无二义性确定，其要求光程长度的测量偏差小于波长的六分之一。因此，其限制是该算法适用于测量小的长度差，以及该算法需要对干涉级的无二义性确定。目前，提出了一种光学设置，其使得位置测量能够有改进的准确度。该设置在EP 1 849 556中有所描述，此处通过引用将其并入。根据一个实施方式，此处提出的卡盘具有嵌入式的位置传感器，用于测量六个自由度(X、Y、Z、Xrot, Yrot和D。这些传感器的位置以及夹具上类似梁结构的交叉允许位置偏差被转化为例如在所有方向上的力和力矩(Fx、Fy、 Fz、Mx、My、Mz)。位置和负载的信息可被用于监控和自适应控制的目的。EP 1849556指的是DE 195^676，其描述了一种光学系统、以及一种使用了两种不同频率的激光器的绝对距离测量的方法。根据DE 19528676的测量原理，使用了干涉仪， 其中来自激光器中的一个的光被发送到干涉仪的一条支路中，并且朝着物体表面被反射， 到该物体表面的距离是要确定的距离。而来自其他激光器的光被发送到干涉仪的其他支路中，并且朝着参考表面被反射，到该参考表面的距离是已知的距离。两条被反射的光束被重叠，并且通过连续地改变激光器中的一个的频率，形成变化的中间频率。该中间频率包含距离测量需要的所有必需相位信息。周期信号正比于激光器频率中的改变、以及干涉仪的路程差。以上所描述的方法的缺点在于，从参考物体接收的光学信号必须与来自参考干涉仪的信号进行连续比较，以便能够确定到物体的距离。因此，参考干涉仪中的年龄变化可能导致测量结果中的改变。进一步地，由于组件的数量相当大，系统要占用很大空间。此外，因为测量结果通过干涉仪的两条支路之间的路程差被部分地确定，该设备对校准不当敏感。发明概述本发明提供了新的方法和装置，其用于确定具有用于反射电磁辐射的两个端面的谐振器的长度。与现有技术相关的缺点和局限性通过在所附权利要求中阐明的普通类别中的方法、装置、和计算机程序被有效地消除，或者至少得到缓解。本发明具有其他优势，其将从如以下所阐明的详细描述中变得明显。本发明的主要目的是提供一种用于确定在谐振器中的两个端面之间距离的被改进的方法，该方法是快速的，其可凭借基本算法来实现，并且其可被执行而不使用参考干涉仪。根据其第一方面，本发明涉及一种用于确定谐振器或谐振腔或干涉仪的长度的方法，其包括-提供谐振器或谐振腔或干涉仪，其具有第一和第二反射端面；-在波导中传送电磁辐射，并且将所述辐射射入所述谐振器或谐振腔或干涉仪，其中所述辐射包括至少一个谐振波长；-凭借所述辐射在所述谐振器或谐振腔或干涉仪内部形成至少一个谐波；
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-在波导中，将被发射出所述谐振器或谐振腔或干涉仪的所述辐射的光谱传送到记录单元；-由所述记录单元记录所述被发射出的光谱，并且将所述被记录的光谱提供到分析单元；-在所述分析单元上，利用所述被记录的光谱来估算或确定谐振器或谐振腔或干涉仪的长度的至少一个值；-在所述分析单元上，通过确定所述被记录的光谱的最大点、最小点、或者拐点来选择所述光谱的至少一个标记波长；-基于所述谐振器或谐振腔或干涉仪的长度的至少一个值和所述工作波长的比值的两倍来计算被估算的干涉数；-将真实的干涉数确定为最接近所述被估算的干涉数的可能干涉数；-基于所述真实干涉数与所述工作波长的乘积来计算谐振器或谐振腔或干涉仪的长度的第二个值。关于本发明，将真实的干涉数确定为最接近所述被估算的干涉数的可能干涉数的动作更具体地可通过将真实的干涉数确定为最接近所述被估算的干涉数的整数或半整数来实现。选择最接近的可能整数或半整数通常是通过计算2*Lest/ λ Μ，即所述至少一个谐振器的长度的值和所述标记波长的比值的两倍，来实现的，并随后选择最接近的可能整数或半整数。然而，如果不是计算4*Lest/ λ Μ的乘积，并选择了最接近的整数，关于本发明这被认为是选择了最接近所述被估算的干涉数的可能半整数。此外，如果计算了乘积4*Lest/Xm， 并且选择了最接近的偶数，关于本发明，这被认为是选择了最接近所述被估算的干涉数的可能整数。因此，如果不是计算2*Lest/ λ Μ的乘积，并选择了最接近的整数，则关于本发明， 这被认为是选择了最接近所述被估算的干涉数的可能半整数，等等。要注意的是，只要能实现所需结果，以上所描述的测量或步骤可以按任意适合的顺序执行。该方法具有的优势代表了一种快速且有效的方式，其通过利用在高级编程语言中实现的数学函数，来改进对谐振器长度的确定的准确度或精度。可使用已有的数学函数来实现，这增加了编程的易用性，但通常也增加了程序的执行时间。此外，该方法是快速的， 因为只有相对较少的几步用于确定谐振腔长度要执行的数学运算。对例如等于大约SOOnm 的光源的中心波长而言，确定的准确度优选为好于+/-1 μ m，更优选地是好于+/-0. 5 μ m， 而再更优选的则是好于+/-lOOnm，并且最优选的是好于+/-50nm。此外，因为其独立于参考干涉仪的连续测量，所以测量的准确度不依赖于参考干涉仪的状况。此外，根据本发明的大多数例子，其是有利的，因为其提供对谐振腔长度的绝对测量。也就是说，为了能够确定谐振腔的长度，通常不需要参考表面，或者移动表面。也不需要通过测量在已知情况下的谐振腔的长度，即当谐振腔的长度已知时，进行任何校准测量，以便确定之后要由长度确定算法使用的一个或多个常数。换句话说，关于执行对谐振器的长度进行确认所必需的参量值， 该方法是自维持的，也就是说确定谐振腔长度不需要校准程序。与大多数应用相反，为了以足够的或所需的准确度确定谐振腔的长度，从谐振器中发射出的一个光谱中所包含的信息是足够的。此外，该方法还是有利的，因为其允许当谐振腔具有低可见度时测量谐振腔长度。此外，该方法可被用于在宽光谱范围上测量谐振腔长度，所述宽光谱范围包括例如上千对于具有5nm的自由光谱范围的测量设置以及从30 μ m变化到 120 μ m的谐振腔长度而言，以上所描述的方法可被用于仅通过一次测量并且不使用任何参考测量，也就是说在相应于大约18000个自由光谱范围的区间内，测量谐振腔长度。根据其第二方面，本发明涉及在系统中使用所述方法，用于确定谐振器的长度，其中系统包括-谐振器；-第一组辐射传送装置，其被布置成将电磁辐射传送至所述谐振器；-记录装置，其可操作记录电磁谱；-第二组辐射传送装置，其被布置成将辐射从所述谐振器传送至所述记录装置； 以及-分析器，其可操作确定所述谐振器的长度，这通过-使用所述被记录的谱来估算或确定谐振器的长度的至少一个值；-通过估算所述被记录的谱的最大点、最小点、或者拐点来选择所述谱的至少一个标记波长；-计算被估算的干涉数，这基于谐振器的长度的所述至少一个值与所述工作波长的比值；-将实际的干涉数确定为最接近所述被估算的干涉数的可能干涉数(I)；-计算谐振器的长度的第二个值，这基于所述实际干涉数与所述工作波长的乘积。根据其第三方面，本发明涉及计算机程序，其包括用于控制例如根据本发明的所述第二方面的系统的计算机程序指令，并且对可编程的处理装置进行编程使其可操作以执行包括以下步骤的方法-接收由谐振器修正的被记录的电磁谱；-使用所述被记录的谱来估算或确定谐振器的长度的至少一个值；-通过确定所述被记录的谱的最大点、最小点、或者拐点来选择所述谱的标记波长；-计算被估算的干涉数，这基于谐振器的长度的所述至少一个值与所述标记波长的比值；-将实际的干涉数确定为最接近所述被估算的干涉数的可能干涉数；-使用所述实际干涉数与所述标记波长的乘积来计算谐振器的长度的第二个值。根据其第四方面，本发明涉及计算机程序承载介质，其包括用于控制根据本发明的所述第二方面的系统的计算机程序，并且对可编程的处理装置进行编程使其可操作以执行包括以下步骤的方法-接收由谐振器修正的被记录的电磁谱；-使用所述被记录的谱来估算或确定谐振器的长度的至少一个值；-通过确定所述被记录的谱的最大点、最小点、或者拐点来选择所述谱的标记波长；-计算被估算的干涉数，这基于谐振器的长度的所述至少一个值与所述标记波长的比值；-将实际的干涉数确定为最接近所述被估算的干涉数的可能干涉数；
-使用所述实际干涉数与所述标记波长的乘积来计算谐振器的长度的第二个值。本发明的所述第二和第三这两方面牵涉如根据与关于其所述第一方面所讨论的相同的优势。此外，当通过被发射出的谱确定了谐振腔的长度时，该系统对校准不当较不敏感，与上面所讨论的现有技术相比，这是由于例如恶劣的环境条件和粗糙处理造成的。基本上，本发明提供了一种方法、系统、和计算机程序承载介质，其用于通过分析包括了从反射谐振器发射出的谐波的电磁谱来确定或测量反射谐振器的长度。被发射出的谱被用于估算谐振腔的第一长度。之后，通过首先计算关于谱的至少一个干涉数，依赖于谐振器的配置将该干涉数的值调节到可能的干涉数例如整数或半整数，并且之后使用被调节或被校正的干涉数的值来重新计算谐振器的长度，来改进该估算。以上步骤提供了一种有效的方法，该方法改进了在确定谐振器的物理特性时的准确度。该方法和系统可例如被用于确定许多类型的谐振器或干涉仪例如法布里-珀罗干涉仪、菲佐(Fizeau)干涉仪、吉尔-图洛(Gires-Tournois)标准具、迈克尔逊 (Michelson)干涉仪、圆形谐振器等等的长度。关于本发明，术语辐射发射装置指的是能够发射具有适当波长范围的电磁辐射的任何辐射源。根据一个实施方式，所述辐射源是光源，其发射在一个或多个光谱中的辐射， 所述光谱是从包括了可见光谱、近红外光谱、红外光谱、近UV光谱、UV光谱、X射线光谱以及微波光谱的组中选择出的。换句话说，所述电磁辐射可以是在光域中的辐射、或光、或可见光。关于本发明，术语谐振器指的是包括两个端面的装置，在所述的两个端面之间可形成驻波或谐波。也就是说表面中的至少一个必须反射入射的辐射的至少一部分。谐振器的光程可以是直的或弯曲的。具有弯曲光程的谐振器优选地包括用于转送辐射的反射装置。具有直光程的谐振器的壁优选地为在实质上平行的。换句话说，一个表面的倾斜相比于其他小于10°，优选为小于5°，甚至更优选的是小于3°，而还更优选的则是小于1°，并且最优选的是小于0.5°。谐振器可被打开或关闭。在打开或关闭谐振器之间的差异是关闭的谐振器具有一个或数个被布置在所述侧表面之间的壁。根据本发明的一个实施方式， 所述谐振器包括两个反射的、实质上平行的壁，用于在所述谐振器的内部形成所述辐射的驻波。根据一个例子，所述谐振器是法布里-珀罗谐振腔，并且优选为不对称的法布里-珀罗谐振腔。在不对称的法布里-珀罗谐振腔中，谐振器各自的端壁之间的反射性有实质性的差异。该本文件中，词汇谐振器、谐振腔、和干涉仪可交换使用。根据一个例子，所述谐振器是一个单臂(armed)谐振器，比如法布里_珀罗谐振腔，与接收沿两条不同路径行进的两条光束的双臂谐振器相比，在其中所有光都沿着相同的路径行进。根据一个例子，谐振器的长度长于1 μ m,或者长于10 μ m,或者长于50 μ m。额外地或可选择地，谐振器的长度短于50cm，或者短于15cm，或者短于10cm，或者短于1cm，或者短于10mm，或者短于1mm，或者短于500 μ m,或者短于200 μ m。以上值的任何组合都是有可能的。此处希望测量的、谐振器的长度的变化，可以是至少lOnm、或者lOOnm、或者0.5μπκ或者10 μ m、或者至少50 μ m、或者至少100 μ m、或者至少0. 5mm。换句话说，该方法可测量至少10nm、或者至少10 μ m、或者至少50 μ m、或者至少100 μ m、或者至少0. 5mm的谐振腔的长度变化。
关于本发明，术语带宽指的是波长或频率的间隔(interval)，其是例如从LED连续发射的，或是例如从可调谐激光器随着时间的推移发射的。本说明书通篇可将带宽与可调谐范围交换使用。换句话说，光源可以是多色光源，其生成在宽光谱上的光。根据一个例子，光源发射带宽，其相应于在要被测量的谐振器中的至少3个或至少7自由光谱范围。关于本发明，术语干涉数I，例如为I = 2L/λ κ，并且确定谐波的阶。对于每个谐振器，存在基础频率和谐波，所述基础频率相应于具有最低频率的驻波，并且谐波是基础频率的倍数。对于每个谐振器，存在预定值，该预定值为可承担的干涉数，这些值也被称为可能干涉数。对于双壁的谐振腔或谐振器，辐射在端壁的一个上被发射，通常存在两种类型的谐振第一种类型是谐波满足表达式λκ1 = 2L/N, N = 1、2、3…；并且第二种类型是谐波满足表达式λΚ2 = 4 Λ2Ν-1)，Ν= 1、2、3…。换句话说，对于第一种类型的谐振器，可能干涉数等于I = 2L/XK1 = N = 1、2、3，即任何正整数值。对于第二种类型的谐振器，可能干涉数等于〗= !^/^^= QN-1)/^2 = 0.5,1.5,2. 5，即任何正半整数值。基础频率具有最低的干涉数，一次谐波具有第二低的干涉数，等等。当分析谐振器的波长或频谱时，一般只有谐振波长或谐振频率中的一部分能在光谱的中心进行区分。尽管对某一区域最大点或最小点的干涉数进行估算，其可例如依赖于谐振腔的配置使用2L/ λ Ε进行计算，并且随后将该值调节到最接近的可能干涉数。基于谐振器的配置和辐射源，可在理论上确定该组可能干涉数。可选择地，对于之后用于长度确定的光源的波长范围中的至少一部分，技术人员可确定某谐振器的可能干涉数，这例如通过将具有非常窄带宽的已知波长的辐射发射到谐振器中，并且分析从该谐振器发射出的辐射的强度来实现。从谐振器发射出的强度也可在光源的整个带宽上被分析，所述光源被用于长度确定。
如果已获得了两个连续的干涉波长入工和λ 2，以下方程组能够被用于估算谐振器
权利要求
1.一种用于确定谐振器(1)的长度(L)的方法，包括-提供谐振器，该谐振器具有第一反射端面(4)和第二反射端面(5)； -在波导中传送电磁辐射(λ J，并且将所述辐射发射到所述谐振器中，其中所述辐射包括至少一个谐振波长；-凭借所述辐射(XJ在所述谐振器内部形成至少一个谐波；-在波导中，将从所述谐振器发射出的所述辐射的谱(Sk)传送到记录单元(700、800)；-由所述记录单元记录所述发射出的谱(Sk)，并且将所述被记录的谱提供给分析单元；-在所述分析单元处使用所述被记录的谱来估算所述谐振器的长度的至少一个值(Lest)；-在所述分析单元处，通过确定所述被记录的谱的最大点、最小点、或者拐点，选择所述谱的至少一个标记波长(λΜ)；-基于所述谐振器的长度的所述至少一个值(Lest)与所述工作波长(λΜ)的比值的两倍0*LEST/XM)，来计算被估算的干涉数(Iest)；-将实际的干涉数(Iotk)确定为最靠近所述被估算的干涉数(Iest)的整数或半整数； -基于所述实际的干涉数(Iotk)与所述工作波长Um)的乘积(I·* λ Μ)，计算所述谐振器的长度的第二个值(Lam)。
2.如前述权利要求中任一项所述的方法，还包括-在所述辐射被传送并发射到所述谐振器中之前，从辐射源接收所述辐射；以及 -通过将所述被记录的波长谱与参考谱相比较，并且优选地与所述辐射源的参考谱相比较，来规范化所述被记录的波长谱。
3.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中对所述谐振器的长度(L)的至少一个值的所述确定还包括在确定所述谐振器的长度之前，对所述被记录的谱中的至少一部分执行傅里叶变换，并且其中所述谐振器的长度的所述确定优选地包括确定谐振部分的位置的中心。
4.如权利要求3所述的方法，其中对所述谐振器的长度(L)的至少一个值的所述确定还包括在执行所述傅里叶变换之前，将所述波长谱中的至少一部分转换到频域中。
5.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中选择所述辐射(λJ的带宽，使得所述被记录的谱包括至少两个干涉最小点或者至少两个干涉最大点。
6.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中对至少一个标记波长(λΜ)的所述选择包括通过确定所述谱的其他的不同最大点和/或最小点来选择其他的标记波长。
7.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中对第二干涉数(Iam)的所述确定还包括提供一组预定的可能干涉数。
8.一种用于确定谐振器(1、400)的长度的系统，包括 -谐振器(1、400)；-第一组辐射传送器(360、410、412)，其被布置成向所述谐振器传送电磁辐射(XJ ； -记录器，其操作来记录电磁谱(Sk)；-第二组辐射传送器，其被布置成从所述谐振器(1)向所述记录装置(700、800)传送辐射；以及-分析器(800)，其操作来通过以下步骤来确定所述谐振器的长度(L) -使用所述被记录的谱来估算所述谐振器的长度的至少一个值(Lest)； -通过估算所述被记录的谱的最大点、最小点、或拐点来选择所述谱的至少一个标记波长 Um)；-基于所述谐振器的长度的所述至少一个值(Lest)与所述工作波长(λΜ)的比值的两倍0*LEST/XM)，来计算被估算的干涉数(Iest)；-将实际的干涉数(Iotk)确定为最靠近所述被估算的干涉数(Iest)的整数或半整数； -基于所述实际的干涉数(Iotk)与所述工作波长Um)的乘积(I·* λ Μ)，计算所述谐振器的长度的第二个值(Lam)。
9.如权利要求8所述的系统，其中所述谐振器由工作台单元(600)的第一表面和第二表面形成，其中所述工作台单元优选地包括能够分离的第一部分和第二部分，其中所述第一表面是所述第一部分的表面，并且所述第二表面是所述第二部分的表面。
10.如权利要求8或9所述的系统，其中所述谐振器包括两个反射的、实质上平行的表面，用于形成所述辐射的谐波。
11.如权利要求8至10中任一项所述的系统，其中所述谐振器是从包括了法布里-珀罗干涉仪、菲佐干涉仪、吉尔-图洛标准具、迈克尔逊干涉仪、和圆形谐振器的组中选择出来的谐振器。
12.如权利要求8至11中任一项所述的系统，其中所述辐射传送装置包括波导，并且优选地包括光纤(360)。
13.如权利要求8至12中任一项所述的系统，其中所述谐振器被布置成包含流体。
14.一种计算机程序，包括了计算机程序指令，该计算机程序指令用于控制如权利要求 8所述的系统，并且对可编程的处理装置进行编程，来使该可编程的处理装置可操作以执行包括以下步骤的方法-接收由谐振器(1)修正的被记录的电磁谱(Sk)；-使用所述被记录的谱来估算或确定所述谐振器的长度的至少一个值(Lest)； -通过确定所述被记录的谱的最大点、最小点、或者拐点来选择所述谱的标记波长 (λΜ)；-基于所述谐振器的长度的所述至少一个值(Lest)与所述标记波长(λΜ)的比值的两倍0*LEST/XM)，来计算被估算的干涉数(Iest)；-将实际的干涉数(Iotk)确定为最靠近所述被估算的干涉数(Iest)的整数或半整数； -使用所述实际的干涉数(Iotk)与所述标记波长Um)的乘积(I·* λ Μ)，计算所述谐振器的长度的第二个值(Lam)。
15.一种计算机程序承载介质，包含计算机程序，该计算机程序用于控制如权利要求8 所述的系统，并且对可编程的处理装置进行编程，来使该可编程的处理装置可操作以执行包括以下步骤的方法-接收由谐振器⑴修正的被记录的电磁谱( ； -使用所述被记录的谱来估算所述谐振器的长度的至少一个值(Lest)； -通过确定所述被记录的谱的最大点、最小点、或者拐点来选择所述谱的标记波长 (λΜ)；-基于所述谐振器的长度的所述至少一个值(Lest)与所述标记波长(λΜ)的比值的两倍0*LEST/XM)，来计算被估算的干涉数(Iest)；-将实际的干涉数(Iotk)确定为最靠近所述被估算的干涉数(Iest)的整数或半整数； -使用所述实际的干涉数(Iotrr)与所述标记波长Um)的乘积(IraRR*XM)，计算所述谐振器的长度的第二个值(Lam)。
全文摘要
本发明提供了一种方法和系统，其用于通过分析从反射谐振器发射出的电磁谱来测量反射谐振器的长度。该发射出的谱用于估计第一谐振腔长度。之后，通过首先计算关于谱的至少一个干涉数，依赖于谐振器的配置将该干涉数的值调节到例如整数或半整数，来改进该估算，并且之后使用干涉数的被调节的值来重新计算谐振器的长度。以上提供了一种有效的方法，该方法改进了在确定谐振器的物理特性时的准确度。
文档编号G01B11/14GK102177409SQ200980140143
公开日2011年9月7日 申请日期2009年10月9日 优先权日2008年10月10日
发明者H·达尔奎斯特, 安德斯·尤普舍巴卡 申请人:3R系统国际有限公司, 阿克里奥公司