专利名称：用于对对象的多个侧面成像的系统和方法
技术领域：
本发明涉及用于检查诸如电气对象的对象的系统和方法，所述对象尤其是小而细长的电气对象，例如，但不限于电容器。
背景技术：
外部形貌是通过将被检查对象的图像与参考图像比较进行的检查方法之一。对于一面或两面成像，例如晶圆或印刷电路板而言，从垂直视图或从下方视图拍摄图像进行检查，这是简单的任务。对于六面对象而言，流程更加复杂。对于很多产品而言需要这样的检查，一些这种产品非常小或量很大。例如，需要检查微电子生产(陶瓷电容器、芯片和电阻器)中使用的电气对象的整个侧面；利用自动光学检查系统可以识别出很多缺陷，例如尺寸测量、陶瓷缺陷和终端缺陷。在检查过程期间或检查过程之前可能会损伤诸如但不限于小电容器的对象。灰尘以及对象碎片可能会阻塞检查装置。测量诸如电容器的绝对电气特性是较长的过程，这限制了检查过程的处理量。越来越需要提供检查对象的高效率系统和方法。
发明内容
根据本发明的实施例，提供了一种用于采集对象的多个图像的系统。该系统可以包括(a)用于将所述对象传送到第一成像区域的第一纵向传送机；(b)用于将所述对象传送到第二成像区域的第二纵向传送机；(C)适于获得位于所述第一和第二成像区域的每个中的对象的图像的成像器；(d)旋转模块，所述旋转模块被配置成在所述对象的第一侧面面对成像器时从所述第一纵向传送机接收对象，绕所述对象的纵轴旋转每个对象使得所述对象的第二侧面面对所述成像器，并将所述对象提供给所述第二纵向传送机；以及(e) 气体供应单元；其中所述第一和第二纵向传送机的每个包括多个通道；其中每个通道包括 (i)对象传送部分以及(ii)防止对象进入的气体输送部分；其中每个通道成形为防止对象阻塞所述防止对象进入的气体输送部分并便于以纵向方式在所述对象传送部分之内传送对象；其中所述对象传送部分具有毫米级的宽度；其中所述气体供应单元被配置成向每个通道的防止对象进入的气体输送部分供应气体；并且其中气体供应有助于在每个通道的所述对象传送部分之内传送对象。根据本发明的实施例，提供了一种用于采集对象的多个图像的方法。该方法可以包括(a)通过第一纵向传送机的多个通道的对象传送部分将对象纵向传送到第一成像区域；其中所述纵向传送包括向所述通道的防止对象进入的气体输送部分提供气体；其中每个通道成形为防止对象阻塞所述防止对象进入的气体输送部分；其中所述对象传送部分具有毫米级的宽度；在所述第一成像区域获得所述对象第一侧面的图像；(b)由第一旋转模块旋转所述对象，所述第一旋转模块绕所述对象的纵轴旋转所述对象；(c)通过第二纵向传送机的多个通道的对象传送部分将对象纵向传送到第二成像区域；其中所述纵向传送包括向所述通道的防止对象进入的气体输送部分提供气体；其中每个通道成形为防止对象阻塞所述防止对象进入的气体输送部分；其中所述对象传送部分具有毫米级的宽度；以及 (C)在所述第二成像区域获得所述对象第二侧面的图像。
这里将参考附图仅通过举例的方式描述本发明。现在详细具体参考附图，应当强调的是，细节只是以举例的方式示出的，其目的在于对本发明的各实施例进行说明性的讨论。在附图中图Ia-Ib示出了根据本发明实施例用于对对象成像的系统；图2a_2c是根据本发明的各实施例的第一纵向传送机的两个通道的截面图；图3a_;3b是根据本发明实施例的第一纵向传送机的通道的截面图； 图3c示出了多个通道以及向这些通道供应气体的气体供应元件；图4示出了根据本发明实施例的两个纵向传送机和多个停止元件的一部分；图5a_5c示出了根据本发明各实施例的第一旋转模块的旋转元件和第一和第二纵向传送机的部分；图6示出了根据本发明实施例的系统；图7a、7b和8示出了根据本发明实施例的总线、加载机的加载元件和卸载机的卸载元件；图9a和9b示出了根据本发明实施例的方法；图10示出了根据本发明实施例的方法；以及图11示出了根据本发明实施例的方法。
具体实施例方式在以下说明书中，将参考本发明实施例的具体范例描述本发明。不过，显然，在不背离所附权利要求界定的涵盖更宽的本发明的精神和范围的情况下，可以在其中做出各种修改和变化。因为实施本发明的设备大部分由本领域技术人员已知的电子对象和电路构成，将不会比上文所示认为必要的程度更多地解释电路细节，以便理解和认识本发明的基础概念并不会使本发明的教导模糊或发生偏离。对对象的多个侧面成像，对象例如是电气对象，尤其是小而细长的电气对象。小而细长的电气对象长度通常不超过几毫米。以下描述将参考这种对象。要指出的是，这些对象是方便的小而细长的电气对象，例如后来形成诸如PCB的电路一部分的毫米级电容器。这种毫米级电容器可以是但不限于0. 06英寸长、0. 03英寸宽的多层陶瓷电容器(MLCC)、0. 04 英寸长0. 02英寸宽的MLCC、0. 02英寸长0. 01英寸宽的MLCC以及0. 01英寸长0. 005英寸宽的MLCC，以及毫米级的电阻器。对对象的多个侧面(或面)成像，然后处理这些图像以确定例如这些对象的功能。 方便地，可以通过对对象的多个侧面照明并对这些侧面成像以在每秒钟对很多对象成像。鲁棒地且高处理量的成像系统包括多个通道，通过其可以传送对象。通道成形为有助于通过经通道中禁止对象进入的气体输送部分诱发气体来通过通道平稳输送对象。参考图la，这是系统10的示意图。系统10包括成像器30、第一纵向传送机110、 第一旋转模块210、第二纵向传送机120、第二旋转模块220、第三纵向传送机130、第三旋转模块230、第四纵向传送机140、延迟元件150、分选单元170和处理器160。成像器30能够获得位于第一成像区域510、第二成像区域520、第三成像区域530 和第四成像区域MO中的对象的图像。成像器30能够以串行或并行方式获得这些图像。第一纵向传送机110、第一旋转模块210、第二纵向传送机120、第二旋转模块220、 第三纵向传送机130、第三旋转模块230和第四纵向传送机140的每一个包括多个通道。 通过这些通道，尤其是通过这些通道的对象传送部分传送对象。对象传送部分可以比对象稍宽，但可以足够窄，以防止在传送期间对象绕其纵轴旋转。例如，如果每个对象的截面为 TXT毫米，那么对象传送部分的宽度可以超过T，但比截面对角线窄(TX2的平方根)。每个通道还包括一个或多个防止对象进入的气体输送部分，其成形为使得其不受传送对象阻塞并提供辅助对象的传送的气体。对象不能进入或者否则完全阻塞气体通过防止对象进入的气体输送部分的输送。方便地，系统10在管道方式下工作，从成像区域向另一成像区域移动元件组，并可以在每个成像周期期间获得来自多个成像区域的图像。表1示出了流水线过程的初始化，系统100通过该初始化工作。“周期”表示发生一个阶段的检查周期。LTS1-LTS4是第一到第四纵向传送机110-140，“图像”表示拍摄哪些图像，Sx(Gy)表示第y组电路的第χ侧面的图像。为了解释简单起见，未示出电路的旋转模块。
权利要求
1.一种用于采集对象的多个图像的系统，所述系统包括 第一纵向传送机，用于将所述对象传送到第一成像区域； 第二纵向传送机，用于将所述对象传送到第二成像区域；成像器，所述成像器适于获得位于所述第一和第二成像区域的每一个中的对象的图像；旋转模块，所述旋转模块配置成在所述对象的第一侧面面对成像器时从所述第一纵向传送机接收对象，绕所述对象的纵轴旋转每个对象，使得所述对象的第二侧面面对所述成像器，并将所述对象提供给所述第二纵向传送机；以及气体供应单元；其中，所述第一和第二纵向传送机的每一个包括多个通道； 其中，每个通道包括对象传送部分以及防止对象进入的气体输送部分； 其中，每个通道成形为防止对象阻塞所述防止对象进入的气体输送部分并且有助于以纵向方式在所述对象传送部分之内传送对象； 其中，所述对象传送部分具有毫米级的宽度；其中，所述气体供应单元配置成向每个通道的所述防止对象进入的气体输送部分供应气体；并且其中，气体供应有助于在每个通道的所述对象传送部分之内传送所述对象。
2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述气体供应单元还配置成向每个通道的对象传送部分供应气体。
3.根据权利要求1所述的系统，其中，所述防止对象进入的气体输送部分比每个对象窄。
4.根据权利要求1所述的系统，其中，一对防止对象进入的气体输送部分从每个对象传送部分的两侧延伸。
5.根据权利要求1所述的系统，其中，一对防止对象进入的气体输送部分的位置接近所述对象传送部分的上部。
6.根据权利要求1所述的系统，其中，一对防止对象进入的气体输送部分的位置接近所述对象传送部分的中心。
7.根据权利要求1所述的系统，其中，每个防止对象进入的气体输送部分延伸通过整个通道。
8.根据权利要求1所述的系统，其中，每个防止对象进入的气体输送部分都结束于多个形成于所述对象传送部分的壁中的间隔开的开口。
9.根据权利要求1所述的系统，其中，所述旋转模块包括多个防止对象进入的气体输送部分和多个对象旋转部分。
10.根据权利要求1所述的系统，其中，所述对象是毫米级的电容器。
11.根据权利要求1所述的系统，还包括适于以横向方式将所述对象传送到其它成像区域的横向传送机，并且其中所述成像器配置成获得所述对象的与在所述第一和第二成像区域成像的对象侧面不同的两个相对侧面的图像。
12.根据权利要求10所述的系统，其中，所述横向传送机包括多个电触点，所述电触点接触由所述横向传送机传送的对象；其中所述多个电触点耦合到电气测试器，所述电气测试器对所述对象进行电气测试。
13.一种用于采集对象的多个图像的方法，所述方法包括通过第一纵向传送机的多个通道的对象传送部分将对象纵向传送到第一成像区域；其中，所述纵向传送包括向所述通道的防止对象进入的气体输送部分提供气体；其中每个通道成形为防止对象阻塞所述防止对象进入的气体输送部分；其中所述对象传送部分具有毫米级的宽度；在所述第一成像区域获得所述对象的第一侧面的图像；由第一旋转模块旋转所述对象，所述第一旋转模块绕所述对象的纵轴旋转所述对象；通过第二纵向传送机的多个通道的对象传送部分将对象纵向传送到第二成像区域；其中，所述纵向传送包括向所述通道的防止对象进入的气体输送部分提供气体；其中每个通道成形为防止对象阻塞所述防止对象进入的气体输送部分；其中所述对象传送部分具有毫米级的宽度；以及在所述第二成像区域获得所述对象的第二侧面的图像。
14.根据权利要求12所述的系统，包括向每个通道的所述对象传送部分供应气体。
全文摘要
本发明涉及一种用于对对象的多个侧面成像的系统和方法。其中一种用于采集对象的多个图像的系统包括四个包括多个通道的纵向传送机，通过所述通道将对象传送到四个成像区域；其中，四个纵向传送机利用气压差通过通道传送电路；其中，至少一个纵向传送机具有可动部分，在将可动部分放到特定位置时，暴露至少一个通道的至少大部分；三个配置成绕对象纵轴旋转对象的旋转模块；其中，每个旋转模块位于两个纵向传送机之间；以及成像器，配置成在四个成像区域的每一个中获得对象的图像。
文档编号G01N21/88GK102375104SQ20101028179
公开日2012年3月14日 申请日期2010年9月14日 优先权日2010年8月13日
发明者S·科亨 申请人:康代有限公司