专利名称：一种长寿命晶体管高温反偏老化台的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种长寿命晶体管高温反偏老化台，属半导体器件试验设备技 术领域。
背景技术：
随着微电子技术的飞速发展，人类科技的不断进步，半导体器件已广泛应用于 宇航、军事、工业和民用产品当中。为了保证半导体器件在各类产品中的稳定性，许多 器件在被使用之前需要做一些必要的老化、筛选试验。如半导体场效应晶体管在筛选时 需要做高温反偏老化实验，以检验产品PN结的稳定可靠性等。现在国内生产高温反偏老 化台设备的厂家很多，对高温反偏老化台的设计也是五花八门，但其共同点是高温反偏 板采用印制板布线，用高温焊锡固定限流电阻和引线插孔在印制板上。这样，在长时间 的高温反偏工作中，反偏板的印制铜膜易起翘，而且焊锡在高温下易氧化、挥发，不利 于环保要求。给器件产品长时间的反偏老化工作带来困难。
发明内容本实用新型的目的是，解决传统晶体管高温反偏老化试验台存在的印制板电路 铜膜易损坏，焊锡易氧化等问题，设计一种长寿命、耐高温的反偏老化试验台，以满足 晶体管筛选和检验的需要。本实用新型的技术方案是，本实用新型长寿命晶体管高温反偏老化台由高温烘 箱、反偏老化板、反偏电源、放置反偏板固定框架组成；待做老化的晶体管插入安置在 反偏老化板上的晶体管绝缘插孔内，插有老化晶体管的反偏老化板插入放置反偏板固定 框架的U形槽中，插有反偏老化板的固定框架焊接固定在高温烘箱中，放置在高温烘箱 外部的直流反偏电源通过耐高温的绝缘导线向烘箱内部的反偏老化板上的晶体管供电。反偏老化板用于固定老化器件，并且能够加偏置电源。要保证反偏老化板具有 一定的强度和导电性，使用3-6mm的硬铝板制做反偏板，既有良好的导电性又便于在板 上开孔以固定器件。由于器件在反偏时要加偏置电源，必须使需要反偏的晶体管电极间 相互绝缘，故使用耐温和导电绝缘较好的聚四氟乙烯做绝缘子，(聚四氟乙烯可在260°C 下连续工作)，即晶体管绝缘插件。在反偏板上均勻布置了许多老化板晶体管绝缘插孔， 供晶体管绝缘插件绝缘部分插入固定，在老化板晶体管绝缘插孔旁还开了二个小孔，供 接负极短路的二个极的引出线插入。为了保持供接负极短路的二个极的引出线固定在插 孔中不至于掉落，使用弹性较好的磷铜片做器件外引线的固定夹安装在反偏板的反面。 由于反偏极要在高温条件下使用，故反偏板所有的导电或紧固材料都用金属材料，而彼 此需要绝缘的地方都用聚四氟乙烯材料。放置反偏 板固定框架是用于固定反偏老化板和老化电源的部件，可根据烘箱的 实际大小设计，尽可能的利用烘箱的内部空间，以增加老化器件的数量，放置反偏板固 定框架一般为长方形的框架结构，可以做成一层或二层以上，每层都设有多条供多块反偏板插入放置的U形导轨。整个放置反偏板固定框架焊接固定于烘箱中，为了保持框架 不易形变和锈蚀，可采用强度较好的不锈钢型材。用于固定反偏板的导轨做成U形槽以 便卡住固定反偏板。将反偏电源的引至框架前面形成反偏板的接触点，以便操作人员在 反偏前检测电压。高温烘箱的选择，考虑到为了保证温度的均勻性和烘箱长时间工作不至于内腔 生锈，采用产品性能较好的不锈钢鼓风烘箱。高温反偏电源采用普通的直流稳压电源，输出电压范围满足工艺要求。直流稳 压电源放置在烘箱的外部，引入到烘箱内部的电源线采用耐高温的聚四氟乙烯材料做导
线套管。本实用新型与现有技术比较的有益效果是，本实用新型高温反偏板不采用印制 板布线，也不用高温焊锡来固定限流电阻和引线插孔在印制板上，而是采用铝板做反偏 板，采用晶体管绝缘插件结构来安装需老化的晶体管，同时，所用的绝缘材料为耐高温 的聚四氟乙烯材料，可以使老化台耐高温、长寿命，大大提高了设备的使用寿命和工作效率。本实用新型适用于各类晶体管的高温反偏老化试验。
图1为装有反偏老化板的反偏板放置固定框架示意图；图2为本实用新型晶体管反偏老化板示意图；图3为反偏板放置固定框架示意图；图4为晶体管绝缘插件(绝缘部分固定于老化板上)；图5为用于反偏的电原理图；图中图号表示(1)反偏老化板；(2)反偏板放置固定框架；(3)反偏电源插 孔；(4)反偏板U形导轨槽；(5)晶体管引线插孔；(6)耐高温的聚四氟乙烯绝缘材料； (7)表面镀金的金属插件；(11)老化板晶体管绝缘插孔；(12)老化板提手；A-反偏老化 板插入方向；V-反偏电压；R-偏置电阻；G-栅极；D-漏极；S-源极。
具体实施方式
本实用新型实施例晶体管长寿命反偏老化台由高温烘箱、反偏老化板(1)、反偏 电源、放置反偏板固定框架(2)组成；待做老化的晶体管插入安置在反偏老化板上的晶 体管绝缘插孔(11)内，插有老化晶体管的反偏老化板插入放置反偏板固定框架的U形槽 (4)中，插有反偏老化板的固定框架焊接固定在高温烘箱中，放置在高温烘箱外部的直流 反偏电源通过耐高温的绝缘导线向烘箱内部的高温反偏板上的晶体管供电。反偏老化板用于固定老化器件，并且能够加偏置电源。本实施例采用5_的硬 铝板制做反老化偏板，既有良好的导电性又便于在板上开孔以固定器件。由于器件在反 偏时要加偏置电源，必须使需要反偏的晶体管电极间相互绝缘，故采用耐温和导电绝缘 较好的聚四氟乙烯做晶体管绝缘插件(图4)的绝缘材料(6)。在反偏板上均勻开设了许 多老化板晶体管绝缘插孔(11)，供晶体管绝缘插件插入，在老化板晶体管绝缘插孔(11) 旁还开了二个小孔，供接负极短路的D极(漏极)和 S极(源极)的引出线插入，G极(栅极)插入晶体管绝缘插件的晶体管引线插孔(5)。为了保持供接负极短路的二个极的 引出线固定在插孔中不至于掉落，使用弹性较好的磷铜片做器件外引线的固定夹。由于 反偏极要在高温条件下使用，故反偏板所有的导电或紧固材料都用金属材料，而彼此需 要绝缘的地方都采用聚四氟乙烯材料。放置反偏板固定框架是用于固定反偏板和老化电源的部件，本实施例做成二 层，两层上下都设有5条U形导轨(4)，每层可供5块反偏板插入放置。整个放置反偏 板固定框架焊接固定于烘箱中，为了保持框架不易形变和锈蚀，采用强度较好的不锈钢 型材。用于固定反偏板的导轨做成U形槽以便卡住固定反偏板。将反偏电源的引至框架 前面形成反偏板的接触点，以便操作人员在反偏前检测电压。本实施例高温烘箱采用产品性能较好的不锈钢鼓风烘箱。高温反偏电源采用普通的直流稳压 电源，输出电压范围满足工艺要求。直流稳 压电源放置在烘箱的外部，引入到烘箱内部的电源线采用耐高温的聚四氟乙烯材料做导 线套管。
权利要求1. 一种长寿命晶体管高温反偏老化台，其特征是，所述老化台由高温烘箱、反偏老 化板、反偏电源、放置反偏板固定框架组成；待做老化的晶体管插入安置在反偏板上的 晶体管绝缘插孔内，插有老化晶体管的反偏老化板插入放置反偏板固定框架的U形槽 中，插有反偏老化板的固定框架焊接固定在高温烘箱中，放置在高温烘箱外部的直流反 偏电源通过耐高温的绝缘导线向烘箱内部的反偏老化板上的晶体管供电。
2.根据权利要求1所述的一种晶体管长寿命反偏老化台，其特征是，所述反偏老化板 上均勻布置了许多老化板晶体管绝缘插孔，供晶体管绝缘插件绝缘部分插入固定，在老 化板晶体管绝缘插孔旁还开了二个小孔，供接负极短路的二个极的引出线插入；使用弹 性较好的磷铜片做器件外引线的固定夹安装在反偏老化板的反面；
3.根据权利要求1所述的一种长寿命晶体管高温反偏老化台，其特征是，放置反偏板 固定框架为长方形的框架结构，做成一层或二层以上，每层都设有多条供多块反偏老化 板插入放置的U形导轨；放置反偏板固定框架焊接固定于烘箱中。
4.根据权利要求2所述的一种长寿命晶体管高温反偏老化台，其特征是，所述晶体管 绝缘插件绝缘部分材料为聚四氟乙烯。
专利摘要一种长寿命晶体管高温反偏老化台，该老化台由高温烘箱、反偏老化板(1)、反偏电源、放置反偏板固定框架(2)和电源插孔(3)组成；待老化的晶体管插入安置在反偏板上的晶体管绝缘插孔内(11)，插有老化晶体管的反偏老化板插入放置反偏板固定框架的U形槽中，插有反偏老化板的固定框架焊接固定在高温烘箱中，放置在高温烘箱外部的直流反偏电源向烘箱内部的反偏板上的晶体管供电。所述反偏板上布置了许多老化板晶体管绝缘插孔，供晶体管绝缘插件绝缘部分插入固定，在老化板晶体管绝缘插孔旁还开了二个小孔，供接负极的二个极的引出线插入；使用磷铜片做器件外引线的固定夹安装在反偏板的反面。本实用新型适用于各类晶体管的高温反偏老化试验。
文档编号G01R31/26GK201796114SQ20102024457
公开日2011年4月13日 申请日期2010年7月1日 优先权日2010年7月1日
发明者徐昌九, 蔡家梁 申请人:江西联创特种微电子有限公司