专利名称：液位指示工具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种液位指示工具。
背景技术：
在半导体生产中，化学气相沉积工艺(英文简称CVD)是指单独或综合利用热能、 辉光放电等离子体、紫外光照射、激光照射等能源，使气态物质在固体热表面上发生化学反 应并在该表面上沉积，从而形成稳定的固态物质膜。由此可见，CVD工艺中会使用到很多气 源进行反应，为了保证CVD工艺的顺利、稳定进行，工作人员必须要保证气源的稳定供应。 目前气源的供应是通过将钢瓶(即存放液体的容器)内的液体经过加热装置转化气体来实 现的。在生产过程中，操作人员需要掌握每个钢瓶内的液位。目前，操作人员是通过触摸工 作站的用户界面，并转到传感器界面，来读取各个钢瓶的三种读值高位、中位或低位。一旦 读值到了低位，就要及时地更换气源瓶。但是这种显示，非常粗略，不利于操作人员及时掌 握钢瓶内的精确液位。而且液位的显示不够直观，操作比较麻烦、费时。因此，如何提供一种可以直观显示容器内的液体剩余情况的液位指示工具是本领 域亟待解决的一个技术问题。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种液位指示工具，使用方便，可以直观显示容器内 的液体剩余情况。为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案一种液位指示工具，用于显示容器内的液位，包括磁性浮标和磁性标志物，所述磁 性浮标放置于所述容器内部，所述磁性标志物竖向依次排列在所述容器的外壁。在上述的液位指示工具中，所述磁性标志物是磁性标志球，所述磁性标志球具有N 极和S极，所述N极和S极的外表面涂有不同颜色的涂层。所述N极和S极的外表面涂有 黑白相对的涂层。所述容器的外壁设有竖向支架，所述磁性标志物通过转销可转动式依次 连接于所述支架上。在上述的液位指示工具中，所述磁性标志物也可以是磁性指针元件。在上述的液位指示工具中，所述磁性浮标包括磁铁和载体，所述磁铁嵌设于所述 载体。在上述的液位指示工具中，所述容器内设有用于限制磁性浮标的限位板，所述限 位板上开有通孔。在上述的液位指示工具中，所述磁性标志物设置所述容器的顶部至底部位置。所 述磁性标志物也可以设置在所述容器的中部至底部位置。本实用新型的有益效果如下本实用新型液位指示工具，结构简单、使用方便，由于磁性浮标和磁性标志物的相 互作用，与磁性浮标不同距离的磁性标志物所转的角度不同，因而，可以通过观察各个磁性标志物的情况来判断磁性浮标的位置，从而获知容器内的液位，故可以直观反应容器内的 液体剩余情况，方便操作人员及时、准备了解容器内的剩余液体情况，提高了工作效率。
本实用新型的液位指示工具由以下的实施例及附图给出。图1是本实用新型液位指示工具实施例1的结构示意图；图2是图1的侧面示意图；图3是本实用新型实施例1的磁性浮标的结构示意图；图4是本实用新型液位指示工具实施例2的结构示意图；图5是图4的侧面示意图。图中，1-磁性浮标、11-载体、12-磁铁、2-磁性标志物、21-N极、22_S极、3-容器、 4-液体、5-支架、6-转销、7-透明盖板、8-限位板、81-通孔。
具体实施方式
以下将对本实用新型的液位指示工具作进一步的详细描述。下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选 实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型 的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对 本实用新型的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能 和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例 的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商 业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和 耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实 施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率， 仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。实施例1请参见图1-图3，图1所示是本实用新型液位指示工具实施例1的结构示意图；图 2所示是图1的侧面示意图；图3所示是本实用新型实施例1的磁性浮标的结构示意图。这种液位指示工具，用于显示容器3内的液位，包括磁性浮标1和磁性标志物2。 所述容器3是指存放液体的钢瓶。所述磁性浮标1放置于所述容器3内部。所述磁性浮标1包括磁铁12和载体11， 所述磁铁12嵌设于所述载体11。所述磁性浮标1的密度小于所在容器3内部的液体4的 密度，始终浮在所述液体4的上方。另外，所述容器3内设有用于限制磁性浮标1的限位板 8，所述限位板8上开有用于是液体贯通的通孔81。所述限位板8可以防止磁性浮标1随便 漂移，从而影响液面指示功能的实现。所述磁性标志物2竖向依次排列在所述容器3的外壁。所述磁性标志物均勻分布。 所述磁性标志物2是磁性标志球，所述磁性标志球具有N极21和S极22，所述N极21和S极22的外表面涂有不同颜色的涂层。所述容器3的外壁设有竖向支架5，所述磁性标志物 2通过转销6可转动式依次连接于所述支架5上。所述磁性标志物2可以设置所述容器3 的顶部至底部位置，也可以设置在所述容器3的中部至底部位置。本实施例中，所述磁性标 志物2可以设置所述容器3的顶部至底部位置。另外，所述支架5设有透明盖板7，用以防 止磁性标志物2积灰。所述磁性标志物2的N极21和S极22具有不同标识。所述不同标识可以是指所 述磁性标志物2的N极21和S极22的外表面涂有不同颜色的涂层。当然，所述不同标识 也可以是指所述N极21和S极22的外表面涂有明暗相对的涂层。本实施例中，所述不同 标识是指所述N极21和S极22的外表面涂有黑白相对的涂层。请继续参阅图1-图3，使用时，磁性浮标1始终浮在液体4的上面。与磁性浮标 1距离最近的磁性标志物2所受到的磁力最大，当磁性浮标1中的磁铁12的N极位于外侧 (当然也可以使得其S极位于外侧)，则根据异性相吸的原理，该最近的磁性标志物2的S极 22正对该磁性浮标1中的磁铁12的N极，即该最近的磁性标志物2的S极22和N极21处 于水平位置。该磁性标志物2上侧的其他磁性标志物由底到高所受到的磁力由大到小，并 且这些磁性标志物2由于磁力作用会旋转一定角度，旋转的角度由小到大。同样，该磁性标 志物2下侧的其他磁性标志物由高到低所受到的磁力由大到小，并且这些磁性标志物2会 旋转一定角度，旋转的角度由小到大。操作人员根据磁性标志物2的转动情况，可以非常方 便地找到与磁性浮标1最近的磁性标志物2，从而知道容器3内液体4的液位。当液位到达 警戒位置时，及时更换容器3，以满足连续供应气体的要求。实施例2请参阅图4-图5，图4所示是本实用新型液位指示工具实施例2的结构示意图； 图5所示是图4的侧面示意图。本实施与实施例1的区别在于所述磁性标志物2是磁性指针元件。所述磁性指 针元件竖向依次排列在所述容器3的外壁。所述磁性指针元件类似指南针结构，其包括两 个指针N极21和S极22。当磁性浮标1中的磁铁的N极位于外侧时，磁性指针元件的S 极22始终指着它；当磁性浮标1中的磁铁的S极位于外侧时，磁性指针元件的N极21始终 指着它。通过各个磁性指针元件的指针的指向可以很方便地判断，磁性浮标所在的位置，从 而帮助操作人员判断容器内液面所在的位置。本实用新型液位指示工具，结构简单、使用方便，由于磁性浮标和磁性标志物的相 互作用，与磁性浮标不同距离的磁性标志物所转的角度不同，因而，可以通过观察各个磁性 标志物的情况来判断磁性浮标的位置，从而获知容器内的液位，故可以直观反应容器内的 液体剩余情况，方便操作人员及时、准备了解容器内的剩余液体情况，提高了工作效率。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用 新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及 其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种液位指示工具，用于显示容器内的液位，其特征在于，包括磁性浮标和磁性标志 物，所述磁性浮标放置于所述容器内部，所述磁性标志物竖向依次排列在所述容器的外壁。
2.如权利要求1所述的液位指示工具，其特征在于，所述磁性标志物是磁性标志球，所 述磁性标志球具有N极和S极，所述N极和S极的外表面涂有不同颜色的涂层。
3.如权利要求2所述的液位指示工具，其特征在于，所述N极和S极的外表面涂有黑白 相对的涂层。
4.如权利要求2所述的液位指示工具，其特征在于，所述容器的外壁设有竖向支架，所 述磁性标志物通过转销可转动式依次连接于所述支架上。
5.如权利要求1所述的液位指示工具，其特征在于，所述磁性标志物是磁性指针元件。
6.如权利要求1所述的液位指示工具，其特征在于，所述磁性浮标包括磁铁和载体，所 述磁铁嵌设于所述载体。
7.如权利要求1所述的液位指示工具，其特征在于，所述容器内设有用于限制磁性浮 标的限位板，所述限位板上开有通孔。
8.如权利要求1所述的液位指示工具，其特征在于，所述磁性标志物设置所述容器的 顶部至底部位置。
9.如权利要求1所述的液位指示工具，其特征在于，所述磁性标志物设置在所述容器 的中部至底部位置。
专利摘要本实用新型涉及一种液位指示工具。公开了一种液位指示工具，用于显示容器内的液位，包括磁性浮标和磁性标志物，所述磁性浮标放置于所述容器内部，所述磁性标志物竖向依次排列在所述容器的外壁。本实用新型液位指示工具，结构简单、使用方便，由于磁性浮标和磁性标志物的相互作用，与磁性浮标不同距离的磁性标志物所转的角度不同，因而，可以通过观察各个磁性标志物的情况来判断磁性浮标的位置，从而获知容器内的液位，故可以直观反应容器内的液体剩余情况，方便操作人员及时、准备了解容器内的剩余液体情况，提高了工作效率。
文档编号G01F23/72GK201844867SQ201020564810
公开日2011年5月25日 申请日期2010年10月16日 优先权日2010年10月16日
发明者许亮 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司