专利名称：涡流传感器和使用该涡流传感器的检查方法
技术领域：
本发明涉及一种被用于涡流测量的涡流传感器，执行该涡流测量以便通过利用涡流检查钢产品的表面纹理、裂纹等，并且还涉及一种使用该涡流传感器的检查方法。
背景技术：
在现有技术中，为了在钢产品中的淬火硬化层等的表面纹理、裂纹等上进行无损检查，已经执行了涡流测量。涡流测量是利用涡流的测量。使用励磁线圈和探测线圈来执行涡流测量。使用励磁线圈来向钢产品施加交流励磁信号。使用探测线圈来从励磁线圈向其施加交流励磁信号的钢产品探测由涡流产生的探测信号。即，在涡流测量中，目标钢产品被励磁线圈磁化，并且探测线圈探测由如此产生的涡流电流感应的感应磁场。因此，对于涡流测量，包括励磁线圈和探测线圈的配置被用作在测量系统中包括的传感器(在下文中， 被称作“涡流传感器”)。例如，在日本专利申请公布No. 2008-1；34106 (JP-A-2008-i;34106)中描述了与涡流测量有关的技术。JP-A-2008-134106描述了一项用于利用涡流测量检查在诸如汽车组件的淬火组件的表面部分中形成的淬火图案(淬火硬化层)的技术。具体地，在于 JP-A-2008-134106中描述的技术中，为了确定工件(目标钢产品)的淬火图案是否是可接受的，作为准则预先设置公差带。可接受的产品的被测量点在一定平面内存在于该公差带中，在该平面中，被测量点由基于探测信号与交流励磁信号的相位差的值和探测信号的幅度值来确定。然后，基于关于使用涡流传感器测量的工件的检查区域的被测量点是否落入公差带内，确定工件的淬火图案是否是可接受的。当然，利用在JP-A-2008-134106中描述的技术，百分之百的检查可以利用在通过感应淬火等淬火的组件的淬火质量(淬火深度、淬火硬度)方面的、在线无损检查来执行。 已经仅通过采样而通过切割检查等确保了淬火质量。然而，在JP-A-2008-134106中描述的涡流测量在涡流传感器的结构方面具有以下问题。S卩，如在图21A中所示，在JP-A-2008-134106中，贯通式线圈110被用作涡流传感器。贯通式线圈110被形成为使得在其中励磁线圈和探测线圈被共轴地布置的状态中，励磁线圈和探测线圈被容纳在由合成树脂等制成的外壳111中。贯通式线圈110具有由外壳 111限定的贯通孔111a。贯通孔Illa被设置在与被容纳在外壳111中的励磁线圈和探测线圈的线圈中空部分相对应的部分(内周边部分)处。即，在贯通式线圈110中，励磁线圈和探测线圈被设置成使得公共中心轴的位置基本与贯通孔Illa的中心轴的位置相一致。使用贯通式线圈110，使得是轴状(柱状)组件的工件的轴部分112通过外壳111 的贯通孔Illa而被插入。即，利用贯通式线圈110，在其中工件的轴部分112通过贯通孔 Illa而被插入的状态中，在轴部分112上执行用于检查淬火图案的涡流测量。利用如此配置的贯通式线圈110，趋向于在涡流测量中获得足够强的磁场。另外， 利用贯通式线圈110，因为磁通密度的分布，在工件的测量部分和贯通式线圈110之间的距离(在线圈径向方向(例如，由箭头Xi示意的方向)的距离上)的变化对于测得值存在小的影响，从而可以获得稳定的测得值。然而，在使用贯通式线圈110执行的涡流测量中，测量目标将仅是轴状组件的轴部分，例如工件的轴部分112。即，在使用贯通式线圈110执行的涡流测量中，仅可以通过贯通孔Illa而被插入的轴状组件的轴部分能够是测量目标。因此，用作涡流传感器的贯通式线圈110不能接受不能通过贯通孔Illa而被插入的部分作为测量目标。不能通过贯通孔 Illa而被插入的部分例如包括曲轴的轴颈部分和销部分，以及在轴部分和构成轴承的外圈的近侧部分之间形成的弯曲部分。在另一方面，在现有技术中使用的涡流传感器包括如在图21B中所示的探针式线圈120。探针式线圈120被形成为使得诸如螺线管线圈的线圈沿着轴状(柱状)外壳121 被设置在内侧，并且在其一端处具有探测部分122。利用探针式线圈120，使得被设置在柱状探针式线圈120的一端处的探测部分122靠近测量部分以执行涡流测量。因此，如在图 21B中示出地，利用探针式线圈120，不能利用在图21A中示出的贯通式线圈110测量的、曲轴123的轴颈部分123a或者销部分12 可以被设定为测量目标。然而，在探针式线圈120的情形中，磁场的强度低于贯通式线圈110的磁场强度， 从而难以获得具有足以用于涡流测量的强度的磁场。另外，利用探针式线圈120，因为磁通密度的分布，在工件的测量部分(曲轴12 和探针式线圈120之间的距离的变化(在沿其使得探测部分122靠近工件的方向(见箭头似)的距离)对于测得值存在大的影响。因此， 利用探针式线圈120，测得值对于在测量部分和探针式线圈120之间的距离的变化是极其敏感的，从而难以获得可再现的和稳定的测得值。由于这些原因，对于检查淬火质量而言， 探针式线圈120目前是不实用的。注意，为了增加由探针式线圈120产生的磁场的强度，可设想线圈的匝数增加或者通过线圈流动的电流增加。然而，因为线圈中的电阻，通过这些方法，磁场强度的增加有限。如上所述，在前面的说明中，使得能够利用在线无损检查进行百分之百的检查的实用涡流测量是使用贯通式线圈的、仅在轴状组件的轴部分上的测量。即，当前地，期望实现一种涡流传感器，该涡流传感器允许在具有(除了轴状组件的轴部分之外的)诸如曲轴的轴颈部分或者销部分的相对复杂的形状的组件上进行涡流测量。
发明内容
本发明提供允许具有除了轴状组件的轴部分之外的形状的部分被设定为测量目标并且能够延伸涡流测量的应用范围的一种涡流传感器和一种使用该涡流传感器的检查方法。本发明的一个方面提供一种涡流传感器。该涡流传感器包括励磁线圈，其向测量目标组件施加预定交流励磁信号；以及探测线圈，其对于通过涡流而从被施加交流励磁信号的测量目标组件所产生的探测信号进行探测。该励磁线圈具有多个螺线管线圈。在每一个螺线管线圈的中心轴的方向上，该探测线圈至少被布置在励磁线圈的两侧之一上。然后， 该多个螺线管线圈被相互平行地布置，从而相邻螺线管线圈的缠绕方向彼此相反。利用根据以上方面的涡流传感器，可以将具有除了轴状组件的轴部分之外的形状的部分设定为测量目标，并且可以延伸涡流测量的应用范围。
参考附图，根据示例性实施例的以下说明，本发明前面的和进一步的目的、特征和优点将变得明显，其中使用同样的附图标记来代表同样的元件并且其中图1是示出在深度方向上在淬火组件的层的状态、硬度和磁导率之间的关系的曲线图；图2是示出根据实施例用于执行涡流测量的系统配置的示意视图；图3是示出在涡流测量中的交流励磁信号和探测信号之间的关系的曲线图；图4是示出根据本发明第一实施例的涡流传感器的配置的视图；图5是示出根据本发明第一实施例的励磁线圈的配置的视图；图6是示出根据本发明第一实施例的探测线圈的配置的视图；图7A是示出根据本发明第一实施例的涡流传感器的第一可替选配置的视图；图7B是示出在根据本发明第一实施例的涡流传感器的第一可替选配置中的探测线圈的配置的视图；图8A是示出根据本发明第一实施例的涡流传感器的第二可替选配置的视图；图8B是示出在根据本发明第一实施例的涡流传感器的第二可替选配置中的探测线圈的配置的视图；图9是示出根据本发明第一实施例的涡流传感器的第三可替选配置的视图；图10是示出根据本发明第一实施例的涡流传感器的第四可替选配置的视图；图IlA是示出根据本发明第一实施例的涡流传感器的第五可替选配置的视图；图IlB是示出根据本发明第一实施例的涡流传感器的第六可替选配置的视图；图IlC是示出根据本发明第一实施例的涡流传感器的第七可替选配置的视图；图12是示出根据本发明第一实施例的涡流传感器的第八可替选配置的视图；图13是示出根据本发明第一实施例的涡流传感器的第八可替选配置的应用实例的视图；图14是示出根据本发明第二实施例的涡流传感器的励磁线圈的配置的视图；图15是示出根据本发明第二实施例的探测线圈的配置的视图；图16是在图14中的箭头X方向上的视图；图17是在图14中的箭头Y方向上的视图；图18是示出根据本发明第二实施例的涡流传感器的应用实例的视图；图19是示出根据本发明第二实施例的涡流传感器的应用实例的视图；图20是图19中的有关部分的放大视图；图21A是示出根据关于贯通式线圈的相关技术的涡流传感器的配置的视图；以及图21B是示出根据关于探针式线圈的相关技术的涡流传感器的配置的视图。
具体实施例方式本发明涉及延伸涡流测量的应用范围，以使得被用于涡流测量的涡流传感器的励磁线圈和探测线圈(在下文中，被称作“涡流传感器”)每一个均由多个线圈形成并且那些线圈的布置、耦合那些线圈的方法等得以设计。在下文中，将描述本发明的实施例。注意本发明的实施例主要描述这样一种情形，其中使用涡流传感器执行涡流测量以检查通过感应淬火等淬火的组件的淬火质量(淬火深度、淬火硬度)。即，在淬火质量方面，使用涡流传感器来执行涡流测量，以由此检查作为测量目标组件的淬火组件。图1是示出在深度(距表面的距离)的方向上在是经受淬火的钢产品(S45C等) 的淬火组件的层的状态、硬度和磁导率之间的关系的曲线图。如在图1中所示，作为淬火组件的示意性纹理，在淬火组件中，经由边界层3按照从表面侧的次序来形成硬化层1和基础层2。硬化层1是经受淬火的部分。基础层2是基础材料部分。通过参考硬度变化曲线4， 硬化层1和基础层2具有不同的硬度，并且硬化层1的硬度高于基础层2的硬度。在边界层3中，硬度从邻近于硬化层1的一侧朝向基础层2逐渐地减小。按照维氏硬度(Hv)的硬度的特定实例，使得硬化层1具有600到700Hv的硬度，并且基础层2具有大约300Hv的硬度。另一方面，通过参考磁导率变化曲线5，磁导率关于距淬火组件的表面的距离的变化与硬度关于距淬火组件的表面的距离的变化基本成反比。即，硬化层1的磁导率高于基础层2的磁导率，并且从邻近于硬化层1的一侧朝向基础层2在边界层3中逐渐地增加。在根据本实施例的涡流测量中，关于距淬火组件的表面的距离在硬度和磁导率之间的关系得以利用。将参考图2来描述根据本实施例的用于执行涡流测量的示意性系统配置(测量原理)。如在图2中所示，在涡流测量中，具有励磁线圈7和探测线圈8的涡流传感器9相对于作为测量目标组件的工件(磁性材料)6的测量部分6a被设定于预定位置处。在以上配置中，当励磁线圈7被供应有电流时，围绕励磁线圈7出现磁场。然后，通过电磁感应(见箭头Cl)，邻近于是磁性材料的工件6的测量部分6a的表面产生涡流。当在测量部分6a的表面上产生涡流时，磁通穿过探测线圈8。然后，探测线圈8测量伴随在测量部分6a的表面上产生的涡流的感生电压。励磁线圈7的两端(两个端子)被连接到交流电源10。交流电源10向励磁线圈 7施加预定交流励磁信号(励磁交流电压信号)VI。探测线圈8的两端(两个端子)被连接到测量装置11。测量装置11探测当从交流电源10向励磁线圈7施加交流励磁信号Vl 时从探测线圈8获得的探测信号(关于感生电压的电压信号)V2的幅度和探测信号V2相对于交流励磁信号Vl的相位差(相位延迟)Φ (见图幻。这里，为了探测相位差Φ，测量装置11作为放大的相位探测信号被供应有交流励磁信号Vl (波形)。由探测线圈8探测的探测信号V2反映测量部分6a(工件6)的磁导率。S卩，当测量部分6a的磁导率增加时，如上所述伴随涡流的产生的磁通增加，从而探测信号V2的幅度增加。相反，当测量部分6a的磁导率降低时，伴随涡流的产生的磁通减小，从而探测信号V2 的幅度降低。为了基于涡流来量化(数字化)探测信号V2，如在图3中所示，关注作为探测信号V2的幅度的值的振幅值Y和作为基于探测信号V2相对于交流励磁信号Vl的相位差 Φ的值的值x( = Ycoscj5),并且以下发现是已知的。首先，探测信号V2的振幅值Y可以与淬火表面硬度(淬火部分的硬度)相关。即， 如根据在于图1中示出的硬度变化曲线4和磁导率变化曲线5之间的比较明显地，存在如此关系，即，当淬火表面硬度降低时，磁导率增加。当磁导率增加时，当交流励磁信号Vl被施加到励磁线圈7时产生的磁通增加，从而在测量部分6a的表面上感应的涡流也增加。根据这点，由探测线圈8探测的探测信号V2的振幅值Y也增加。因此，相反，从由探测线圈8 探测的探测信号V2的振幅值Y推导穿过在此处产生涡流的测量部分6a的磁通，即磁导率。 通过这样做，根据在图1所示的硬度变化曲线4和磁导率变化曲线5之间的关系，获得了淬火表面硬度。接着，基于探测信号V2相对于交流励磁信号Vl的相位差Φ的值X可以与淬火深度(硬化层的深度)相关。即，淬火深度的增加即在淬火组件中淬火的硬化层1的增加意味着在深度方向上的低磁导率范围增加，从而探测信号V2相对于交流励磁信号Vl的相位延迟增加。因此，从基于相位差Φ的值的幅度，获得了淬火深度的程度。在基于以上测量原理的、用于检查淬火组件的淬火质量的涡流测量中，具有励磁线圈和探测线圈的涡流传感器被如上所述地使用。在下文中，将作为本发明的实施例来描述涡流传感器的配置。将描述本发明的第一实施例。如在图4到图6中所示，根据本实施例的涡流传感器具有励磁线圈20和探测线圈30。使用励磁线圈20来向工件15施加预定交流励磁信号 (见以上交流励磁信号VI)。探测线圈30用于对通过涡流而从被施加交流励磁信号的工件 15所产生的探测信号(见以上探测信号V》进行探测。然后，如在图4和图5中所示，根据本实施例的涡流传感器包括多个螺线管线圈21 作为励磁线圈20。具体地，根据本实施例的涡流传感器具有十个螺线管线圈21 (见图5)。 该十个螺线管线圈21中的每一个均具有基本相同的长度、直径、匝数等。用作励磁线圈20的该多个(十个)螺线管线圈21被相互平行地布置。S卩，该多个螺线管线圈21被并排地布置，从而中心轴(柱形形状的柱体轴方向，在下文中，被称作“线圈中心轴”)是基本上相互平行的。注意，在以下说明中，作为与图4中的线圈中心轴方向相对应的方向的竖直方向被限定为涡流传感器的竖直方向。另外，该多个螺线管线圈21被如此配置，使得缠绕方向是交替的。这里，短语“缠绕方向是交替的”意味着其中电流沿着螺线管线圈21流动的方向(旋转方向)在相邻的螺线管线圈21之间是相反的。即，在相邻的螺线管线圈21中，根据螺旋法则在各个螺线管线圈21内侧产生的磁场的方向(见图4中的箭头Al，在下文中，被称作“竖直磁场”)是彼此相反的。该多个螺线管线圈21被相互平行地布置，从而缠绕方向是交替的，并且相邻的螺线管线圈21被相互耦合。在本实施例中，如在图4中所示，该多个被耦合的螺线管线圈21 被形成，使得缠绕单一连续导线从而相邻螺线管线圈21的上端或者下端被交替地相互耦
I=I O因此，如在图4中所示，在励磁线圈20中，螺线管线圈21a和螺线管线圈21b作为螺线管线圈21交替地存在。在每一个螺线管线圈21a中，当电流在预定方向(见箭头Bi) 上流动时，在向下方向上产生竖直磁场。在每一个螺线管线圈21b中，当电流在预定方向上流动时，在向上方向上产生竖直磁场。这里，在图5中，在每一个螺线管线圈21中由附图标记Dl或者附图标记D2示意的标记部分指示在每一个螺线管线圈21中的竖直磁场的方向。附图标记Dl指示竖直磁场相对于图5纸面指向沿着竖直方向的远侧。附图标记D2指示竖直磁场相对于图5纸面指向沿着竖直方向的近侧。如由这些附图标记Dl和D2示意地，在相邻螺线管线圈21之间，竖直磁场的方向是交替的(相反的)。另外，在励磁线圈20中，电流流动以在相邻螺线管线圈21之间引起交互以由此产生旋转磁场(见图4中的箭头A2)。即，旋转磁场被产生，使得竖直磁场的、在各个相邻螺线管线圈21中产生的部分相互增强。每一个旋转磁场均是环形磁场，该环形磁场穿过相邻螺线管线圈21并且沿着通过两个相邻线圈的内侧绕转的方向延伸。如上所述，在励磁线圈20中，通过电流的流动产生的磁场包括在各个螺线管线圈 21内侧产生的竖直磁场(见箭头Al)和通过在相邻螺线管线圈21之间的交互产生的旋转磁场(见箭头A2)。竖直磁场和旋转磁场以此方式在励磁线圈20中产生，并且被应用于工件15以产生涡流。然后，所产生的涡流由探测线圈30探测。在根据本实施例的涡流传感器中，探测线圈30被布置于励磁线圈20在线圈中心轴方向上的一侧(下侧)上。探测线圈30可以感应在励磁线圈20中产生的竖直磁场和旋转磁场中的至少任何一个。当探测线圈30可以感应竖直磁场时，探测线圈30在沿线圈中心轴方向(竖直方向)上可感应的，该方向是在励磁线圈20沿着线圈中心轴方向上的一侧上的竖直磁场的方向。另外，当探测线圈30可以感应旋转磁场时，探测线圈30在励磁线圈20在沿着线圈中心轴方向上的一侧上的旋转磁场的方向是可感应的。这里，在励磁线圈20沿着线圈中心轴方向的一侧上的旋转磁场的方向平行于与线圈中心轴(相对于竖直方向的水平方向)相垂直的平面。即，当竖直磁场的方向是ζ方向时，在励磁线圈20沿着线圈中心轴方向的一侧上的旋转磁场的方向平行于χ-y平面。因此，探测线圈30可以感应作为在竖直方向上的磁场的竖直磁场(Hz)和旋转磁场的水平磁场(Hx或者Hy)中的至少任何一个。即，当探测线圈30可以感应竖直磁场(Hz) 时，探测线圈30探测竖直磁场(Hz)的变化，并且当探测线圈30可以感应水平磁场(Hx或者Hy)时，探测线圈30探测水平磁场(Hx或者Hy)的变化。在励磁线圈20中产生的竖直磁场(Hz)和水平磁场(Hx或者Hy)在涡流测量中分别地具有以下特性。竖直磁场(Hz)具有一个优点，使得磁场的强度相对高，并且可以容易地在涡流测量中获得足够强的磁场。相反，竖直磁场(Hz)具有如此特性，即，因为磁通密度的分布，在工件15的测量部分和励磁线圈20之间的距离的变化存在相对大的影响。因此， 在涡流测量中的测得值对于在工件15和励磁线圈20之间的距离的变化敏感。另一方面，水平磁场(Hx或者Hy)具有优点，使得因为磁通密度的分布，在工件15 的测量部分和励磁线圈20之间的距离的变化存在相对小的影响。因此，在涡流测量中的测得值几乎不受在工件15和励磁线圈20之间的距离变化的影响。相反，水平磁场(Hx或者 Hy)具有如此特性，即，磁场的强度是相对低的并且难以在涡流测量中获得足够强的磁场。另外，在根据本实施例的涡流传感器中，构成励磁线圈20的该多个螺线管线圈21 被环状地布置。即，如在图5中所示，在根据本实施例的涡流传感器中，励磁线圈20的螺线管线圈21被环状地布置在合适的位置，使得它们的线圈中心轴是基本相互平行的。在根据本实施例的涡流传感器中，构成励磁线圈20的该多个螺线管线圈21在上述布置和耦合状态中由第一壳体23支撑。在本实施例中，第一壳体23由具有预定形状的树脂构件形成。然后，在励磁线圈20中，第一壳体23被形成为使得该多个螺线管线圈21被树脂掩埋。即，例如树脂被浇注到具有预定形状并且在其中在上述布置和耦合状态中设定该多个螺线管线圈21的模具中，并且然后树脂被固化，因此形成第一壳体23。因此，该多个螺线管线圈21被掩埋于树脂第一壳体23中。在本实施例的情形中，在其中它们被掩埋于第一壳体23中的状态中，该多个螺线管线圈21受到支撑。这防止了螺线管线圈21由于与空气接触而氧化，从而这在励磁线圈 20的耐久性方面是理想的。可替选地，第一壳体23可以被形成为具有用于容纳该多个螺线管线圈21的空间的中空壳体构件。在此情形中，该多个螺线管线圈21被容纳在第一壳体 23内侧的空间中，并且在上述布置和耦合状态中受到支撑。另外，构成第一壳体23的材料也不受到具体限制，只要该材料并不影响由螺线管线圈21产生的磁场(或者该材料对于磁场具有可以忽略的影响)。如在图5中所示，第一壳体23在被环状地布置的该多个螺线管线圈21围绕的部分处具有贯通孔23a。贯通孔23a由柱形内周边表面形成。贯通孔23a允许工件15的、将由根据本实施例的涡流传感器测量的部分通过那里而被插入。另外，第一壳体23的外周边部分2 具有沿着环状地布置的螺线管线圈21的外形形成的波状形状。即，当如在图5中所示沿着线圈中心轴方向观察时，第一壳体23的外周边部分2 具有规则地凹凸形状，从而在周向方向(沿着在其中布置该多个螺线管线圈 21的环形形状的方向；这点同样适用于以下说明)，对应于螺线管线圈21的部分是突起并且在相邻螺线管线圈21之间的部分是凹部。以此方式，第一壳体23具有其旋转方向是周向方向的旋转体形状。如在图4和图6中所示，根据本实施例的涡流传感器具有作为探测线圈30的扁平线圈31和水平螺线管线圈32。每一个扁平线圈31被形成为使得导线基本上在单一层中被成圆形地缠绕。每一个扁平线圈31可以感应由励磁线圈20形成的竖直磁场(Hz)。S卩，在根据本实施例的涡流传感器中，每一个扁平线圈31用作第一线圈，所述第一线圈可以感应在线圈中心轴方向上的磁场(竖直磁场(Hz))。每一个水平螺线管线圈32是其中心轴与水平方向对准的螺线管线圈。每一个水平螺线管线圈32可以感应由励磁线圈20形成的水平磁场(Hx或者Hy)。S卩，每一个水平螺线管线圈32用作第二线圈，所述第二线圈可以感应在相邻螺线管线圈21之间形成的磁场 (水平磁场(Hx或者Hy))，并且其方向基本垂直于每一个螺线管线圈21的线圈中心轴。构成探测线圈30的扁平线圈31和水平螺线管线圈32分别地相对于励磁线圈20 被如下地布置。即，每一个扁平线圈31被布置成使得中心轴的位置基本与螺线管线圈21中的相应的一个的中心轴的位置相一致。即，每一个盘形扁平线圈31在构成励磁线圈20的每一个螺线管线圈21在线圈中心轴方向上的一侧(下侧)上被与螺线管线圈21共轴地布置。以此方式，每一个扁平线圈31被布置成可以感应竖直磁场(Hz)。水平螺线管线圈32被布置成使得在水平方向设定的中心轴方向基本与其中相邻螺线管线圈21沿其彼此邻近的方向(布置方向)相一致。即，每一个水平螺线管线圈32 被布置在合适的位置，使得沿着在相邻螺线管线圈21之间形成的旋转磁场，中心轴在水平磁场(Hx或者Hy)的方向上对准。因此，在根据本实施例的涡流传感器中，其中该多个螺线管线圈21被环状地布置，水平螺线管线圈32被布置成使得中心轴被定向成在沿环形形状对准的周向形状的基本切向方向上。该环形形状是该多个螺线管线圈21的布置形状。以此方式，水平螺线管线圈32被布置成可以感应水平磁场(Hx或者Hy)。扁平线圈31和水平螺线管线圈32被以此方式相对于励磁线圈20(螺线管线圈 21)布置，并且被交替地布置在沿其布置该多个螺线管线圈21的方向上。在其中十个螺线管线圈21被环状地布置的、根据本实施例的涡流传感器中，十个扁平线圈31和十个水平螺线管线圈32沿着螺线管线圈21的布置来被环状交替地布置。然后，当仅关注扁平线圈31时，十个扁平线圈31被形成为使得缠绕方向是交替的。即，如在图4中所示，在探测线圈30中，作为扁平线圈31交替地存在用于向下竖直磁场(Hz)的扁平线圈31a和用于向上竖直磁场(Hz)的扁平线圈31b。类似地，当仅关注水平螺线管线圈32时，十个水平螺线管线圈32被形成为使得缠绕方向是交替的。即，如在图4中所示，在探测线圈30中，作为水平螺线管线圈32交替地存在用于在沿其并排地布置相邻螺线管线圈21的方向上的一个取向(在图4中向右)的水平磁场(Hx或者Hy)的水平螺线管线圈3 和用于在沿其并排地布置相邻螺线管线圈21 的方向的另一取向(在图4中向左)的水平磁场(Hx或者Hy)的水平螺线管线圈32b。以此方式，扁平线圈31和水平螺线管线圈32被布置成使得缠绕方向是交替的，并且相邻线圈被相互耦合。在本实施例中，如在图4和图6中所示，缠绕单一连续导线，使得扁平线圈31和水平螺线管线圈32被交替地布置并且相邻的线圈被相互耦合。通过这样做， 该多个交替地耦合的扁平线圈31和水平螺线管线圈32得以形成。另外，在根据本实施例的涡流传感器中，构成探测线圈30的该多个扁平线圈31和水平螺线管线圈32在上述布置和耦合状态中由第二壳体33支撑。如在励磁线圈20的第一壳体23的情形中一样，第二壳体33由具有预定形状的树脂构件形成。即，该多个扁平线圈31和水平螺线管线圈32被掩埋于树脂第二壳体33中。注意，如在励磁线圈20的第一壳体23的情形中一样，第二壳体33可以由中空壳体构件形成，并且构成第二壳体33的材料不受具体限制。另外，如在图6中所示，第二壳体33在被对应于该多个螺线管线圈21环状布置的该多个扁平线圈31和水平螺线管线圈32围绕的部分处具有贯通孔33a。贯通孔33a与励磁线圈20的第一壳体23的贯通孔23a连续。S卩，贯通孔33a与励磁线圈20的贯通孔23a 相协同地允许工件15的、将由根据本实施例的涡流传感器测量的部分通过那里而被插入。 另外，如在励磁线圈20的第一壳体23的情形中一样，第二壳体33的外周边部分3 具有沿着被环状地布置的螺线管线圈21的外形形成的波状形状。探测线圈30的第二壳体33与励磁线圈20的第一壳体23 —体化地形成。壳体23 和33这两者可以被分开地形成或者可以被一体化地形成。当励磁线圈20的第一壳体23和探测线圈30的第二壳体33被一体化地形成时， 例如，如下地形成由励磁线圈20和探测线圈30共享的一体化壳体23。S卩，树脂被浇注到具有预定形状并且在其中在上述布置和耦合状态中设定该多个螺线管线圈21、扁平线圈31 和水平螺线管线圈32的模具中，并且然后被固化。因此，一体化壳体23得以形成。在此情形中，该多个螺线管线圈21、扁平线圈31和水平螺线管线圈32被掩埋于具有贯通孔23a和外周边部分23b的一体化壳体中。使用如此配置的涡流传感器来执行用于检查工件15的淬火质量的涡流测量。使用涡流传感器的检查方法如下。即，为了执行涡流测量，使得涡流传感器从探测线圈30侧靠近工件15的测量部分。例如，假设工件15是具有从预定近侧部分突出的轴部分的组件并且在近侧部分和轴部分之间的耦合部分是测量部分。在此情形中，在其中轴部分通过第一壳体23的贯通孔23a(和第二壳体33的贯通孔33a)而被从探测线圈30侧插入的状态中，将涡流传感器设定于工件15。然后，使得涡流传感器从探测线圈30侧靠近在近侧部分和轴部分之间的耦合部分，由此在耦合部分上执行涡流测量。以此方式，涡流传感器被用于执行涡流测量以由此检查工件15的耦合部分的淬火质量。利用根据本实施例的涡流传感器，在励磁线圈20中，可以作为由在相邻螺线管线圈21之间的交互引起的协同效果增强励磁磁场。通过这样做，可以在涡流测量中容易地获得足够强的磁场。另外，在励磁线圈20中，在相邻螺线管线圈21之间产生旋转磁场，从而可以为进行测量总共利用竖直磁场(Hz)和水平磁场(Hx或者Hy)这两者。通过这样做，利用了竖直磁场(Hz)和水平磁场(Hx或者Hy)的各个特征，从而可以加宽通过涡流测量识别的磁场变化的宽度，并且可以延伸涡流测量的应用范围。具体地，可以通过旋转磁场增强受到在工件 15的测量部分和励磁线圈20之间的距离的相对小影响并且具有相对低的磁场强度的水平磁场(Hx或者Hy)的励磁磁场，这是有利的。另外，在根据本实施例的涡流传感器中，该多个螺线管线圈21被环状地布置，从而可以使在励磁线圈20和工件15的测量部分之间的距离变化均等。另外，在根据本实施例的涡流传感器中，探测线圈30被形成为使得对于竖直磁场 (Hz)感应的扁平线圈31和对于水平磁场(Hx或者Hy)感应的水平螺线管线圈32，包括缠绕方向，被交替地布置和耦合。通过这样做，可以增强探测线圈30的探测感应性并且改进探测线圈30的探测效率。另外，如在构成励磁线圈20的螺线管线圈21的情形中一样，构成探测线圈30的扁平线圈31和水平螺线管线圈32被环状地布置，从而可以使在探测线圈30和工件15的测量部分之间的距离变化均等。注意，在根据本实施例的涡流传感器中，探测线圈30的扁平线圈31和水平螺线管线圈32由单一连续导线形成；然而，本发明的方面不限于这个配置。即，构成探测线圈30 的扁平线圈31和水平螺线管线圈32可以分别地由各自的导线形成，每一导线耦合扁平线圈31或者水平螺线管线圈32。另外，分别地由单独的导线形成的扁平线圈31和水平螺线管线圈32可以具有多层结构，从而在励磁线圈20在线圈中心轴方向上的一侧上，两个线圈在线圈中心轴方向上重叠。这里，当探测线圈30由单独的导线形成时，由各个导线形成的线圈分别连接到单独的测量单元(测量装置)。另外，在根据本实施例的涡流传感器中，构成涡流传感器的第一壳体23(和第二壳体33)具有旋转体形状；然而，第一壳体23 (和第二壳体33)的形状不限于旋转体形状。 即，构成涡流传感器的壳体的外周边部分的形状可以是例如简单柱形形状、棱柱形状等。另外，在根据本实施例的涡流传感器中，探测线圈30可以包括扁平线圈31和水平螺线管线圈32中的任何一个。即，根据第一实施例的第一可替选配置的涡流传感器可以具有如此配置，使得探测线圈30包括扁平线圈31和水平螺线管线圈32中的任何一个以由此探测竖直磁场(Hz)和水平磁场(Hx或者Hy)中的任何一个(在下文中，被称作“单向探测配置”)。
在单向探测配置中，当探测线圈30仅包括扁平线圈31时，涡流传感器例如被配置为如在图7A和图7B中所示。即，在此情形中，如在图7A和图7B中所示，该多个(在该实施例中十个)扁平线圈31相对于构成励磁线圈20的螺线管线圈21被布置成可以感应竖直磁场(Hz)，并且被环状地布置和耦合从而缠绕方向是交替的。即，在此情形中，缠绕单一连续导线从而缠绕方向被交替地布置并且相邻扁平线圈31被相互耦合。通过这样做，该多个耦合的扁平线圈31得以形成。以此方式，当探测线圈30具有仅扁平线圈31的耦合结构时，涡流传感器具有专用于竖直磁场(Hz)探测的配置。注意，为了方便起见，图7A示出扁平线圈31从而实际上沿着螺线管线圈21的中心轴 (竖直方向)对准的扁平线圈31的中心轴垂直于纸面(同样适用于图9到图13和图16到图 20)。另外，在单向探测配置中，当探测线圈30仅包括水平螺线管线圈32时，涡流传感器被例如配置成如在图8A和图8B中所示。即，在此情形中，如在图8A和图8B中所示，该多个(在该实施例中十个)水平螺线管线圈32相对于构成励磁线圈20的螺线管线圈21被布置成可以感应水平磁场(Hx或者Hy)，并且被环状地布置和耦合从而缠绕方向是交替的。S卩，在此情形中，缠绕单一连续导线从而缠绕方向被交替地布置并且相邻水平螺线管线圈32被相互耦合。通过这样做，该多个耦合的水平螺线管线圈32得以形成。以此方式，当探测线圈30仅具有水平螺线管线圈32的耦合结构时，涡流传感器具有专用于水平磁场(Hx或者Hy)探测的配置。如上所述，在根据本实施例的涡流传感器中，探测线圈30可以包括用于探测竖直磁场(Hz)的扁平线圈31和用于探测水平磁场(Hx或者Hy)的水平螺线管线圈32中的至少任何一个。然后，利用探测线圈30具有两种类型的线圈即扁平线圈31和水平螺线管线圈32 的配置(见图4和图6)，可以探测竖直磁场(Hz)和水平磁场(Hx或者Hy)这两者。例如， 当期望为工件15尽可能多地探测磁场变化时采用以上配置。另外，在单向探测配置内，利用探测线圈30仅包括扁平线圈31(见图7A和图7B) 的配置，可以仅探测竖直磁场(Hz)。例如，当期望类似于普通探针式传感器(见图21B所示的探针式线圈120)地使用涡流传感器时采用以上配置。即，竖直磁场(Hz)相对地易于受到距工件15的距离的影响。根据以上，例如在裂纹探测中采用探测线圈30仅具有扁平线圈31的配置，裂纹探测对于测得值具有相对高S/N比并且通常使用探针式传感器来执行。另外，在单向探测配置内，利用探测线圈30仅具有水平螺线管线圈32的配置(见图8A和图8B)，可以仅探测水平磁场(Hx或者Hy)。例如，当在涡流传感器和工件15之间的距离的变化相对大时采用以上配置。即，水平磁场(Hx或者Hy)相对地不易于受到距工件15的距离影响，并且针对距工件15的距离是坚稳的。即，水平磁场(Hx或者Hy)不易于受到在工件15的表面上存在的异物等的影响。根据以上，例如在诸如淬火质量检查的表面纹理检查中，采用探测线圈30仅具有水平螺线管线圈32的配置，所述检查对于测得值具有相对小的S/N比。另外，在根据本实施例的涡流传感器中，探测线圈30相对于励磁线圈20可以是可拆卸的。在第一实施例的第三可替选配置中，探测线圈30相对于励磁线圈20可拆卸的配置(在下文中，被称作“可拆卸配置”)被实现为使得支撑探测线圈30的扁平线圈31和水平螺线管线圈32的第二壳体33相对于支撑励磁线圈20的螺线管线圈21的第一壳体23 是可拆卸的。即，在可拆卸配置中，探测线圈30的第二壳体33被配置为能够被联结到励磁线圈 20的第一壳体23并且能够被从励磁线圈20的第一壳体23拆卸。然后，探测线圈30的第二壳体33被联结到励磁线圈20的第一壳体23，从而壳体23和33这两者得以一体化，并且励磁线圈20和探测线圈30被组装成涡流传感器。另外，探测线圈30的第二壳体33被从励磁线圈20的第一壳体23拆卸，从而励磁线圈20和探测线圈30被相互分离。用于向探测线圈30的第二壳体33联结励磁线圈20的第一壳体23和从探测线圈 30的第二壳体33拆卸励磁线圈20的第一壳体23的配置不受具体限制，只要可以容易地向励磁线圈20的第一壳体23联结探测线圈30的第二壳体33和从励磁线圈20的第一壳体 23拆卸探测线圈30的第二壳体33。用于联结和拆卸壳体23和33这两者的配置例如包括使用诸如螺栓的紧固装置的配置、允许利用单一运动联结和拆卸的卡盘机构以及维持壳体 23和33这两者的一体化状态的装配件。以此方式，当在根据本实施例的涡流传感器中采用可拆卸配置时，探测线圈30由第二壳体33支撑，第二壳体33是能够从第一壳体23拆卸的构件，第一壳体23是支撑该多个螺线管线圈21的构件。然后，在具有可拆卸配置的涡流传感器中，实现了独立的两层结构，其中励磁线圈20和探测线圈30分别地被形成为模块(励磁模块和探测模块)。因此，利用用于根据本实施例的涡流传感器的可拆卸配置，可以根据使用涡流传感器执行的涡流测量的意图、应用等来替代探测线圈30的一部分。具体地，如在图9中所示，例如，为一个励磁线圈20 (励磁模块)准备了分别地被配置成上述三种类型的探测线圈 30 (探测模块)的第一探测线圈30A、第二探测线圈30B和第三探测线圈30C。即，在此情形中，如在图9中所示，第一探测线圈30A是具有扁平线圈31和水平螺线管线圈32的探测线圈30，并且是能够同时地探测竖直磁场(Hz)和水平磁场(Hx或者Hy) 的探测模块。另外，第二探测线圈30B是仅具有扁平线圈31的探测线圈30，并且是专用于竖直磁场(Hz)的探测模块。另外，第三探测线圈30C是仅具有水平螺线管线圈32的探测线圈30，并且是专用于水平磁场(Hx或者Hy)的探测模块。然后，根据使用涡流传感器执行的涡流测量的意图、应用等，来使用探测线圈 30(探测模块)中的任何一个。即，探测线圈30(探测模块)，即第一探测线圈30A、第二探测线圈30B和第三探测线圈30C中的任何一个在励磁线圈20 (励磁模块)的一侧(下侧) 上联结。通过这样做，符合涡流测量的意图、应用等的涡流传感器得以适当地配置。另外，在可拆卸配置中，对应于由励磁线圈20的该多个螺线管线圈21形成的磁场，探测线圈30被联结到励磁线圈20。S卩，在其中第二壳体33相对于励磁线圈20的第一壳体23在周向方向上、对应于励磁线圈20中的磁场地定位的状态中，探测线圈30被联结到励磁线圈20。具体地，当探测线圈30具有扁平线圈31时，探测线圈30相对于励磁线圈20、在周向方向上被定位，从而其缠绕方向与在每一个螺线管线圈21中形成的竖直磁场(Hz)的方向相对应的扁平线圈31与该螺线管线圈21共轴地定位。另外，当探测线圈30具有水平螺线管线圈32时，探测线圈30相对于励磁线圈20、在周向方向上被定位，从而其缠绕方向与在相邻螺线管线圈21之间形成的水平磁场(Hx或者Hy)相对应的缠绕方向的水平螺线管线圈32的中心轴基本与其中并排地布置那些相邻螺线管线圈21的方向相一致。为了相对于励磁线圈20在周向方向上定位探测线圈30，利用了各个励磁线圈20 和探测线圈30的壳体23和33的旋转体形状。即，在其中如上所述第一壳体23的外周边部分2 具有沿着被环状布置的螺线管线圈21的外形形成的波状形状的励磁线圈20中， 该多个螺线管线圈21的布置，即在励磁线圈20中形成的竖直磁场(Hz)和水平磁场(Hx或者Hy)的分布可以容易地由励磁线圈20的外形来识别。另外，如在励磁线圈20的情形中一样，探测线圈30还具有第二壳体33，第二壳体33的外周边部分3 具有沿着环状布置的螺线管线圈21的外形形成的波状形状。然后，“在各个励磁线圈20和探测线圈30的壳体23和33的周向方向上，外周边部分2 和33b的波状形状相互一致”的事实被用作对其中探测线圈30相对于励磁线圈 20、在周向方向上定位的状态的引导。通过这样做，在可拆卸配置中，可以实现探测线圈30 相对于励磁线圈20的布置精确度，并且可以便于用作探测模块的探测线圈30的更换工作。 注意为壳体23和33等单独提供的定位准则在有必要时被用于在扁平线圈31和水平螺线管线圈32的缠绕方向和在励磁线圈20中形成的磁场之间的对应关系。另外，在可拆卸配置中，具有不同类型或者相同类型的该多个探测线圈30(探测模块)可以被堆叠在励磁线圈20在线圈中心轴方向上的一侧上。即，在根据本实施例的涡流传感器中，作为相对于励磁线圈20的第一壳体23可拆卸的构件的探测线圈30的第二壳体33可以是在励磁线圈20的第一壳体23上堆叠的构件。在根据本实施例的涡流传感器中，当采用探测线圈30的第二壳体33在励磁线圈 20的第一壳体23上堆叠的配置(在下文中，“堆叠配置”)时，涡流传感器可以例如被如下地配置(第四可替选配置)。S卩，如在图10中所示，在本可替选配置中，在上述三种类型的探测线圈30 (探测模块)中，仅具有扁平线圈31的第二探测线圈30B和仅具有水平螺线管线圈32的第三探测线圈30C被堆叠在励磁线圈20在线圈中心轴方向上的一侧(下侧)上。具体地，第二探测线圈30B的第二壳体33被联结到励磁线圈20的第一壳体23在线圈中心轴方向上的一侧，并且第三探测线圈30C被联结成堆叠在第二探测线圈30B上。 即，第二探测线圈30B的第二壳体33被联结成夹在励磁线圈20的第一壳体23和第三探测线圈30C的第二壳体33之间。因此，在堆叠配置中，探测线圈30的、被堆叠的第二壳体33能够被从彼此拆卸。如在上述可拆卸配置中的、在励磁线圈20的第一壳体23和探测线圈30的第二壳体33之间的关系的情形中一样，用于向彼此联结和从彼此拆卸探测线圈30的第二壳体33的配置不受具体限制。例如，在有必要时采用使用诸如螺栓的固定件的配置。利用根据本实施例的涡流传感器的堆叠配置，可以预期在成本方面的有利效果。 即，利用如在图10中所示的仅具有扁平线圈31的第二探测线圈30B和仅具有水平螺线管线圈32的第三探测线圈30C的堆叠配置，来自各个探测线圈30的探测信号得以合成以由此使得可以获得基本与从其中扁平线圈31和水平螺线管线圈32被交替地布置和耦合的配置(见第一探测线圈30A)中获得的探测信号相类似的探测信号。另外，仅具有扁平线圈31 和水平螺线管线圈32中的任何一个的探测线圈30的配置在成本方面比具有被交替地布置和耦合的扁平线圈31和水平螺线管线圈32的探测线圈30的配置更低。
因此，利用仅具有扁平线圈31的第二探测线圈30B和仅具有水平螺线管线圈32 的第三探测线圈30C的堆叠配置，可以以相对低的成本来获得与具有扁平线圈31和水平螺线管线圈32这两者的探测线圈30 (第一探测线圈30A)类似的功能。然而，在根据本实施例的涡流传感器的堆叠配置中，被堆叠的探测线圈30的数目、类型等不受具体限制。另外，在根据本实施例的涡流传感器中，探测线圈30可以被设置在励磁线圈20沿着竖直方向的两侧上。即，在用作第一实施例的第五到第七可替选配置的涡流传感器中，沿着线圈中心轴方向，探测线圈30可以被布置于励磁线圈20的两侧上。在根据本实施例的涡流传感器中，当沿着线圈中心轴方向，采用探测线圈30被布置于励磁线圈20的两侧上的配置(在下文中，被称作“两侧布置配置”)时，例如使用在上述三种类型的探测线圈30中的、不同的两种类型的组合。具体地，当在两侧布置配置中使用不同的两种类型的探测线圈30时，涡流传感器可以被配置成以下三种配置。在第一配置(第五可替选配置)中，如在图IlA中所示，是具有扁平线圈31和水平螺线管线圈32被交替地布置和耦合的配置的探测线圈30的竖直和水平探测线圈30D被布置于励磁线圈20沿着线圈中心轴方向的一侧(下侧)上，并且是仅具有扁平线圈31的探测线圈30的竖直探测线圈30E被布置于励磁线圈20沿着线圈中心轴方向的另一侧(上侧)上。在第二配置(第六可替选配置)中，如在图IlB中所示，竖直和水平探测线圈30D 被布置于励磁线圈20沿着线圈中心轴方向的一侧(下侧)上，并且是仅具有水平螺线管线圈32的探测线圈30的水平探测线圈30F被布置于励磁线圈20沿着线圈中心轴方向的另一侧(上侧)上。在第三配置(第七可替选配置)中，如在图IlC中所示，竖直探测线圈30E 被布置于励磁线圈20沿着线圈中心轴方向的一侧(下侧)上，并且水平探测线圈30F被布置于励磁线圈20沿着线圈中心轴方向的另一侧(上侧)上。然后，根据使用涡流传感器执行的涡流测量的意图、应用等，来使用每一个涡流传感器的探测线圈30中的任何一个。即，在涡流传感器的两侧上的(两种类型)探测线圈30 之间，根据涡流测量的意图、应用等，当有必要时，使其靠近工件15的探测线圈30被切换 (反转)。以此方式，利用根据本实施例的两侧布置配置，单一涡流传感器可以包括两种类型的探测线圈30，从而可以在涡流测量中提高工作效率。如上所述，在根据本实施例的涡流传感器中，仅有必要的是，探测线圈30至少被布置于在励磁线圈20沿着线圈中心轴方向的两侧之间的一侧处。注意，在两侧布置配置中，可以采用相同类型的探测线圈30被布置于励磁线圈20上的配置(例如，竖直和水平探测线圈30D被布置于沿着线圈中心轴方向的每一侧上的配置)。另外，在两侧布置配置中， 可以采用上述可拆卸配置。另外，在根据本实施例的涡流传感器中，在励磁线圈20中环状布置的该多个螺线管线圈21可以根据工件15的测量部分的形状而被以一定角度布置成在探测线圈30侧处会聚。即，在根据本实施例的第八可替选配置的涡流传感器中，可以以下状态来布置多个螺线管线圈21，其中，在线圈中心轴方向上的同一侧上的该多个螺线管线圈21的端部朝向由环状布置的该多个螺线管线圈21形成的环(是该多个螺线管线圈21的布置形状的环；同样适用于以下说明)的内侧倾斜。在根据本实施例的涡流传感器中，当采用在其中该多个螺线管线圈21根据工件15的形状倾斜的状态中布置构成励磁线圈20的该多个螺线管线圈21的配置(在下文中， 被称作“倾斜配置”)时，它可以例如是图12所示的配置。S卩，如在图12中所示，在倾斜配置中，构成励磁线圈20的该多个螺线管线圈21相对于环的中心轴(在图12中的竖直方向)被以一定角度布置，从而在沿着线圈中心轴方向的同一侧(在图12中的下侧)上的端部指向该环的内侧(环的中心侧)。以此方式，在倾斜配置中，该多个螺线管线圈21被布置成使得由该多个螺线管线圈21的布置形成的环形成直径朝向探测线圈30(在图12中的下侧)减小的基本锥形形状。因此，当在根据本实施例的涡流传感器中采用倾斜配置时，在其中线圈中心轴相对于竖直方向倾斜的状态中，螺线管线圈21被并排地布置。然后，在倾斜配置中，对应于由以倾斜方式布置的该多个螺线管线圈21形成的磁场的方向，构成探测线圈30的扁平线圈31和水平螺线管线圈32被适当地布置。利用根据本实施例的涡流传感器的倾斜配置，例如通过调节使得每一个螺线管线圈21倾斜的角度，可以在涡流测量中引起由励磁线圈20励磁的磁场在所期部分处会聚。通过这样做，例如可以容易地在为此已经难以使用现有贯通式线圈(见图21A所示的贯通式线圈110)执行涡流测量的、在轴部分和近侧部分之间形成的弯曲部分上执行涡流测量。这里，具有弯曲部分的组件的一个实例可以是CVJ外圈。CVJ外圈是构成等速万向节(CVJ)的组件。CVJ外圈通常是利用感应淬火等淬火的组件。然后，当工件15是CVJ外圈时，如下地使用具有倾斜配置的涡流传感器。S卩，如在图13中所示，作为工件15的CVJ外圈16具有杯子部分16a和接合部分 16b。杯子部分16a是大直径部分(近侧部分)。接合部分16b是轴部分并且被设置在杯子部分16a的上侧上。然后，在CVJ外圈16中，弯曲部分16c是在杯子部分16a和接合部分 16b之间的耦合部分，即接合部分16b的连接到杯子部分16a的部分。以此方式，在其中接合部分16b从探测线圈30侧插入第一壳体23的贯通孔 23a (和第二壳体33的贯通孔33a)中的状态中，涡流传感器被设定于具有弯曲部分16c的 CVJ外圈16。然后，使得探测线圈30侧靠近弯曲部分16c以在弯曲部分16c上执行涡流测量。以此方式，使用涡流传感器来执行涡流测量以由此检查CVJ外圈16的弯曲部分16c的淬火质量。如在图13中所示，利用具有倾斜配置的涡流传感器，构成励磁线圈20的该多个螺线管线圈21被布置成朝向CVJ外圈16的弯曲部分16c会聚。因此，在励磁线圈20中，在每一个螺线管线圈21中形成并且沿着线圈中心轴方向对准的磁场(竖直磁场(Hz))得以形成为指向弯曲部分16c (见箭头El)。换言之，在具有倾斜配置的涡流传感器中，每一个螺线管线圈21的倾斜角度、布置等被设定成使得由励磁线圈20励磁的磁场的方向指向弯曲部分16c。以此方式，具有倾斜配置的涡流传感器得以使用，并且涡流测量得以在CVJ外圈 16的弯曲部分16c上执行。通过这样做，可以引起由励磁线圈20励磁的磁场在弯曲部分 16c处会聚，并且可以改进测量的精确度。即，在涡流传感器中采用倾斜配置，从而可以在期望为此确保淬火质量的部分上精确执行涡流测量，因为如在CVJ外圈16的弯曲部分16c的情形中一样，在被淬火的组件中向该部分施加了相对大的外部压力。利用根据本实施例的上述涡流传感器，可以将具有除了轴状组件的轴部分之外的形状的部分设定为测量目标，并且可以延伸涡流测量的应用范围。即，在根据本实施例的涡流传感器中，可以通过在相邻螺线管线圈21之间的交互而获得足够强的磁场，并且可以赋予磁场方向性，从而可以利用线圈的布置、耦合方法等来获得适合于涡流测量的所期磁场。 通过这样做，根据工件15的类型和形状或者涡流测量的意图、应用等，来实现广泛的涡流测量。然后，在根据本实施例的涡流传感器中，通过适当地使用上述单向探测配置、可拆卸配置、堆叠配置、两侧布置配置和倾斜配置，可以进一步延伸涡流测量的应用范围。注意构成励磁线圈20的螺线管线圈21的布置形状不限于在本实施例中描述的环形形状。然而，当该多个螺线管线圈21被环状地布置时，这些螺线管线圈21被布置和耦合成使得缠绕方向是交替的，从而励磁线圈20的螺线管线圈21的数目是偶数。另外，在根据本实施例的涡流传感器中，替代在探测线圈30中用于探测竖直磁场 (Hz)的扁平线圈31，可以采用竖直螺线管线圈、平面线圈等。在此情形中，如在扁平线圈31 的情形中一样，竖直螺线管线圈、平面线圈等被布置成使得中心轴的位置基本与螺线管线圈21的中心轴的位置一致。将描述本发明的第二实施例。注意类似的附图标记表示与上述本发明第一实施例的那些相类似的组件，并且在适当时省略了重复说明。如在第一实施例的情形中一样，根据本实施例的涡流传感器包括励磁线圈40和探测线圈50。使用励磁线圈40来向工件施加预定的交流励磁信号。探测线圈50用于对于通过涡流而从被施加交流励磁信号的工件所产生的探测信号进行探测。如在图14中所示，在根据本实施例的涡流传感器中，励磁线圈40具有多个线圈行 45。该多个线圈行45中的每一行包括在预定方向上布置的多个螺线管线圈21。可以单独地向该多个线圈行45施加交流励磁信号。每一个线圈行45由多个螺线管线圈21形成。 该多个螺线管线圈21在预定方向上被相互平行地布置，从而缠绕方向(电流沿其流动的方向)是交替的。在本实施例中，当沿着构成线圈行45的螺线管线圈21中的任何一个的线圈中心轴方向(见图14)观察时，作为每一个线圈行45、在预定方向上布置的该多个螺线管线圈 21被布置成基本沿着直线。以此方式，在本实施例中，构成线圈行45的该多个螺线管线圈 21所沿着的基本直线方向(在图14中的水平方向)对应于关于构成线圈行45的该多个螺线管线圈21的布置的预定方向。在以下说明中，构成线圈行45的该多个螺线管线圈21所沿着的预定方向(在图14中的水平方向)被称作“系列方向”。在本实施例中，每一个线圈行45由五个螺线管线圈21形成。S卩，在本实施例中， 每一个线圈行45由在系列方向上布置和耦合的五个螺线管线圈21形成。该五个螺线管线圈21由单一连续导线形成并且被相互平行地布置，从而缠绕方向是交替的。以此方式，励磁线圈40的该多个线圈行45被并排地布置，从而相邻螺线管线圈21 的缠绕方向是交替的。在本实施例中，如在图14中所示，励磁线圈40具有被相互平行地、 并排地布置的三组线圈行45。即，该五个螺线管线圈21在系列方向上布置以形成每一个线圈行45，并且布置三个线圈行45，从而根据本实施例的励磁线圈40总共具有十五个螺线管线圈21。在以下说明中，沿其相互平行地布置三个线圈行45的方向(在图14中的竖直方向)被称作“平行方向”。在本实施例中，三个线圈行45被布置成使得构成各个线圈行45的螺线管线圈21在平行方向上布置。即，如在图14中所示，在其中在系列方向上的位置相对于另一线圈行 45的螺线管线圈21的位置对准的状态中，存在每一个线圈行45的五个螺线管线圈21。因此，根据本实施例的励磁线圈40的十五个螺线管线圈21在系列方向和平行方向上规则地布置(以基本相等的间隔)。然后，每一个线圈行45被配置成使得在平行方向上布置的三个螺线管线圈21的缠绕方向在相邻的线圈行45之间是交替的。即，在其中在平行方向上相应的(相邻)螺线管线圈21的缠绕方向相反的状态中布置三个线圈行45。换言之，在其中相邻线圈行45之间最相互靠近的并且在平行方向上并排的螺线管线圈21的缠绕方向是相反的状态中，布置三个线圈行45。S卩，如在图14中所示，当按照从图14中的上侧的次序，励磁线圈40的三个线圈行 45被分别地称作第一线圈行45A、第二线圈行45B和第三线圈行45C时，在第一线圈行45A 和第二线圈行45B之间，在平行方向上的相应的(相邻)螺线管线圈21具有相反的缠绕方向。类似地，同样在第二线圈行45B和第三线圈行45C之间，在平行方向上相应的(相邻) 螺线管线圈21具有相反的缠绕方向。注意，在图14中，如在第一实施例中的图5所示情形一样，在每一个螺线管线圈21中由附图标记Dl或者附图标记D2指示的标记部分指示每一个螺线管线圈21的竖直磁场的方向。以此方式，励磁线圈40的十五个螺线管线圈21被布置成通过在系列方向和平行方向上的相邻螺线管线圈21的交互而产生旋转磁场。即，励磁线圈40的十五个螺线管线圈21被布置成加强在系列方向和平行方向上的相邻螺线管线圈21之间的互磁场。可以单独地向励磁线圈40的三个线圈行45施加交流励磁信号。即，根据本实施例的励磁线圈40被配置成能够为各个三个线圈行45中的交流励磁信号设定不同的励磁频率(交流励磁信号的频率)的三通道励磁线圈。因此，励磁线圈40的三个线圈行45被连接到单独的电源单元(见图2中的交流电源10)。如在图15中所示，根据本实施例的涡流传感器的探测线圈50具有对应于励磁线圈40的三个线圈行45地设置的三套线圈组55。另外，在本实施例中，每一个线圈组55具有扁平线圈31和水平螺线管线圈32。S卩，如在图15中所示，探测线圈50包括第一线圈组55A、第二线圈组55B和第三线圈组55C。第一线圈组55A对应于励磁线圈40的第一线圈行45A。类似地，第二线圈组55B 对应于第二线圈行45B。类似地，第三线圈组55C对应于第三线圈行45C。然后，对应于由构成相应的线圈行45的螺线管线圈21形成的磁场的方向，来布置构成每一个线圈组55的扁平线圈31和水平螺线管线圈32。因此，探测线圈50的每一个线圈组55具有五个扁平线圈31和四个水平螺线管线圈32。该五个扁平线圈31被布置成相对于构成励磁线圈40的线圈行45中的相应的一行的螺线管线圈21被共轴地定位(从而中心轴的位置基本上相互一致)。该四个水平螺线管线圈32被如此布置成使得中心轴的方向与沿其布置相邻的螺线管线圈21的方向(系列方向)一致。然后，构成每一个线圈组阳的扁平线圈31和水平螺线管线圈32由单一连续导线形成，从而具有不同类型的线圈是交替的并且具有相同类型的线圈的缠绕方向是交替的，并且如在线圈行45的情形中，在系列方向上布置和耦合。探测线圈50的三个线圈组55中的每一组能够独立地探测探测信号。即，根据本实施例的探测线圈50被配置成三通道探测线圈，该三通道探测线圈使用线圈组55以使得可以探测与由励磁线圈40的分别的三个线圈行45施加的交流励磁信号相对应的探测信号成为可能。因此，探测线圈50的三个线圈组55被连接到单独的测量单元(见图2中的测量装置11)。另外，构成励磁线圈40的螺线管线圈21 (线圈行45)和构成探测线圈50的扁平线圈31和水平螺线管线圈32 (线圈组55)在上述布置和耦合状态中，由如在第一实施例的情形中由具有预定形状的树脂构件形成的第一壳体43和第二壳体53来支撑。然后，当使用根据本实施例的涡流传感器执行涡流测量时，使涡流传感器从探测线圈50侧靠近工件的测量部分。利用如此配置的、根据本实施例的涡流传感器，因为为励磁线圈40采用三通道模式，所以可以使用各个通道(线圈行45)执行单独的励磁，即，多个励磁。通过这样做，例如， 当测量部分因为工件的形状等而具有部分不同的淬火深度时，在单一涡流传感器中的每一个线圈行45能够为具有不同的淬火深度的部分来根据淬火深度独立地选择和设定励磁频率。即，关于由涡流传感器产生的交流励磁信号，当励磁频率降低时，涡流穿透工件的深度增加；而当励磁频率增加时，涡流穿透工件的深度降低。具体地，如在图1中所示，关于由涡流传感器产生的交流励磁信号，例如，当励磁频率f是大约30kHz时，穿透深度达到在淬火组件的表面侧中形成的硬化层1的表面的略微一部分。另外，当励磁频率f是大约 30Hz时，穿透深度达到不受淬火影响的基础层2。因此，当涡流测量被用于检查淬火质量时，基于测量部分的淬火深度，每一个线圈行45的励磁频率在大约30kHz到30Hz的范围中被适当地设定。即，与在测量部分中其淬火深度相对浅的一部分相对应的线圈行45的励磁频率被设定为是相对高的；而与在测量部分中其淬火深度相对深的一部分相对应的线圈行45的励磁频率被设定为是相对低的。以此方式，利用根据本实施例的涡流传感器，单一涡流传感器能够基于在工件的测量部分中的淬火深度的局部差异而为线圈行45来选择和设定不同的励磁频率。通过这样做，可以作为用于淬火质量的检查，根据淬火深度来执行精确的涡流测量。另外，根据本实施例的涡流传感器具有相对于系列方向被弯曲的基本圆弧形状。 即，如在图16中所示，在根据本实施例的涡流传感器中，由在系列方向上布置的多个螺线管线圈21形成的每一个线圈行45被布置成是弯曲的，从而该多个螺线管线圈21被以基本圆弧形状布置。即，构成励磁线圈40的每一个线圈行45的五个螺线管线圈21的线圈中心轴被布置成指向圆弧的中心。对应于其中构成每一个线圈行45的五个螺线管线圈21被以基本圆弧形状布置的励磁线圈40，沿着基本圆弧形状(弯曲形状)形成探测线圈50。即，在探测线圈50中构成每一个线圈组55的扁平线圈31和水平螺线管线圈32沿着作为构成每一个线圈行45的螺线管线圈21的布置形状的基本圆弧形状、以基本圆弧形状布置。然后，在根据本实施例的涡流传感器中，励磁线圈40的第一壳体43和探测线圈50 的第二壳体53被一体化地形成，并且具有与在每一个线圈行45和每一个线圈组55中的线圈的布置形状相对应的基本圆弧形状。即，如在图16中所示，励磁线圈40的第一壳体43和探测线圈50的第二壳体53被一体化地形成为单一壳体，并且当在水平方向上观察时(当在图14中的X方向上观察时)，该壳体与在系列方向上弯曲的外周边表面43a和内周边表面53a和在系列方向上的两个侧表面4 形成基本圆弧形状。如在图16中所示，根据本实施例的涡流传感器的壳体的外周边表面43a是在线圈中心轴方向上的与探测线圈50侧相反的、励磁线圈40的第一壳体43的表面。另外，内周边表面53a是在线圈中心轴方向上的与励磁线圈40侧相反的、探测线圈50的第二壳体53 的表面。另外，每一个侧表面4 是在系列方向上、由励磁线圈40的第一壳体43的端表面和探测线圈50的第二壳体53的端表面形成的平面部分。以此方式，利用以包括线圈的布置形状的基本圆弧形状形成的涡流传感器，可以容易地在因为工件的形状而不能通过涡流传感器的壳体的孔等插入的轴部分上执行涡流测量。这里，不能通过涡流传感器插入的轴部分可以是曲轴的轴颈部分或者销部分。具体地，如在图19中所示，车辆发动机等的曲轴通常具有轴颈部分61和销部分 62。轴颈部分61是在由曲轴的主轴承支撑时旋转的轴部分。销部分62是经由臂部分63 而被耦合到轴颈部分61的部分，并且是平行于轴颈部分61的轴部分。另外，在曲轴中，轴颈部分61和销部分62经由臂部分63而在曲轴的轴向方向(沿着图19中的水平方向)上交替地耦合。以此方式，在曲轴中的臂部分63之间存在的轴颈部分61和销部分62是不能通过具有包括允许对应于轴颈部分61或者销部分62的外径的涡流测量的尺寸的孔(贯通孔) 的涡流传感器而被插入的部分。然后，为了将诸如轴颈部分61和销部分的、不能通过涡流传感器插入的部分设定为在涡流测量中的测量目标，使用以基本圆弧形状形成的、根据本实施例的涡流传感器。如在图18中所示，作为轴部分的每一个轴颈部分61具有圆形外周边表面61a。当曲轴是淬火组件时，淬火硬化层61b形成在每一个轴颈部分61的外周边部分中。以此方式， 具有淬火硬化层61b的轴颈部分61经历使用根据本实施例的涡流传感器的、用于检查淬火质量的涡流测量。S卩，如在图18中所示，在轴颈部分61上的涡流测量时，使得根据本实施例的基本圆弧形涡流传感器从探测线圈50侧靠近轴颈部分61并且然后得以设定。这里，根据本实施例的涡流传感器被如此设定，使得探测线圈50的第二壳体53的内周边表面53a沿着轴颈部分61的外周边表面61a对准。然后，被设定到轴颈部分61的涡流传感器沿着轴颈部分61的外周边表面61a而在周向方向上适当地移动。通过这样做，涡流测量得以在轴颈部分61的全部周边之上执行。利用根据本实施例的、基本圆弧形的涡流传感器，在构成励磁线圈40的每一个线圈行45的五个螺线管线圈21中形成的、在线圈中心轴方向上的磁场(竖直磁场(Hz))被形成在朝向轴颈部分61的基本中心轴的方向(基本在轴颈部分61的径向方向上)形成(见箭头Fl)。即，利用基本圆弧形的涡流传感器，可以在轴颈部分61的周向方向上基本均勻地施加由励磁线圈40产生的励磁磁场。通过这样做，可以均等在励磁线圈40和轴颈部分61 之间的距离的变化。然后，在使用根据本实施例的涡流传感器执行的涡流测量中，在轴颈部分61的周向方向上的输出变化得以组合。因此，在基本圆弧形的涡流传感器中，基本圆弧形状、在第二壳体53中形成的内周边表面53a的形状等的尺寸是基于作为测量目标的轴部分(轴颈部分61)的直径而设定的。注意在涡流传感器的基本圆弧形状的周向方向上的长度(中心角的尺寸)被适当地设定为半圆(具有180°的中心角)的长度或者更小，以便能够径向地将涡流传感器移动到轴颈部分61上。另外，如在轴颈部分61的情形中一样，也使用基本圆弧形的涡流传感器在销部分62(见图19)上执行涡流测量。以此方式，利用基本圆弧形的涡流传感器，可以有效率地在为此已经难以使用现有贯通式线圈(见图21A所示贯通式线圈110)或者探针式传感器(见图21B所示探针式线圈120)执行涡流测量的、曲轴的轴颈部分61或者销部分62上以高敏感性，执行涡流测量。注意，通过设计线圈的布置形状或者壳体的形状，根据本实施例的涡流传感器可以被应用于非圆形部分，例如发动机的凸轮轴的凸轮部分。另外，在根据本实施例的涡流传感器中，励磁线圈40的每一个线圈行45根据工件的形状而被以一定角度布置。即，如在图17中所示，在根据本实施例的涡流传感器中，励磁线圈40具有作为线圈行45的倾斜线圈行45X。每一个倾斜线圈行45X是其中五个螺线管线圈21被布置成对应于构成其他线圈行45的螺线管线圈21地根据工件的形状倾斜的线圈行45。如在图17中所示，在本实施例中，在励磁线圈40的三个线圈行45中，作为位于在平行方向上的中间的基准线圈行的第二线圈行45B(见图14)被用作基准，并且位于第二线圈行45B在平行方向上的两侧上的线圈行45 (第一线圈行45A和第三线圈行45C(见图 14))被用作倾斜线圈行45X。S卩，在本实施例中构成基准第二线圈行45B的螺线管线圈21被布置层使得线圈中心轴指向将系列方向设定为其中沿其形成上述基本圆弧形状的圆弧的方向的预定圆形形状的中心位置。相反，构成作为倾斜线圈行45X的第一线圈行45A和第三线圈行45C的螺线管线圈21被形成为使得线圈中心轴相对于构成第二线圈行45B的螺线管线圈21的线圈中心轴倾斜。然后，在本实施例中，励磁线圈40的倾斜线圈行45X被倾斜成使得邻近于探测线圈50的端部是在平行方向上的外侧。即，如在图17中所示，位于第二线圈行45B的两侧上的倾斜线圈行45X(见图14)被布置在倾斜状态中，从而邻近于探测线圈50的端部被相互远离地隔开。以此方式，在曲轴的轴颈部分61上的涡流测量中，如下地使用在励磁线圈40中具有倾斜线圈行45X的涡流传感器。即，如在图19和图20中所示，利用根据本实施例的涡流传感器，倾斜线圈行45X被用于在轴颈部分61和臂部分63之间的耦合部分，即，作为轴颈部分61的、被连接到臂部分63的部分的弯曲部分61c上的测量。然后，位于中间的线圈行 45(第二线圈行45B)被用于在轴颈部分61的轴中间部分61d上的测量。因此，励磁线圈40被配置成使得在其中根据本实施例的涡流传感器被设定于轴颈部分61上的状态中(见图19和图20)，构成倾斜线圈行45X的螺线管线圈21的线圈中心轴指向弯曲部分61c。即，在构成每一个倾斜线圈行45X的五个螺线管线圈21中、在线圈中心轴方向上形成的磁场(竖直磁场(Hz))被沿着朝向弯曲部分61c的方向(见图19中的箭头Gl)形成。另外，在构成位于中间的线圈行45(第二线圈行45B)并且在线圈中心轴方向上对准的五个螺线管线圈21中形成的磁场(竖直磁场(Hz))在朝向轴中间部分61d 的方向(见图19中的箭头G2)上形成。
以此方式，根据各个部分为被用于在弯曲部分61c和轴中间部分61d上的测量的线圈行45设定了不同的励磁频率。具体地，如在图20中所示，在轴颈部分61中形成的淬火硬化层61b延伸到弯曲部分61c。然后，淬火硬化层61b的淬火深度在弯曲部分61c处比在轴中间部分61d处更浅。然后，为被用于在其淬火深度相对浅的弯曲部分61c上的测量的倾斜线圈行45X设定了相对高的励磁频率，并且为被用于在其淬火深度相对深的轴中间部分61d上的测量的线圈行45设定了相对低的励磁频率。关于设定励磁频率的一个实例，对于构成被用于在弯曲部分61c上的测量的每一个倾斜线圈行45X的螺线管线圈21，励磁频率被设定为500Hz的高频。另外，对于构成被用于在轴中间部分61d上的测量的线圈行45的螺线管线圈21，励磁频率被设定为50Hz的低频。另外，还对应于相应的线圈行45的励磁频率来设定在探测线圈50的三个线圈组 55中的放大相位探测信号的频率。即，对于构成与倾斜线圈行45X相对应的线圈组55(第一线圈组55A和第三线圈组55C)的线圈，放大相位探测信号的频率被设定为500Hz的高频。对于构成位于三个线圈行45的中间的线圈组55(第二线圈组55B)的线圈，放大相位探测信号的频率被设定为50Hz的低频。注意，如在轴颈部分61的情形中，使用具有上述倾斜线圈行45X的涡流传感器执行的涡流测量还可以被应用于销部分62(见图19)。以此方式，利用具有倾斜线圈行45X的涡流传感器，可以同时在轴颈部分61的轴向方向上的弯曲部分61c和轴中间部分61d这两者上执行测量。然后，可以作为在诸如曲轴的轴颈部分61或者销部分61的具有一定形状的部分上关于淬火质量的检查，根据淬火深度执行精确的涡流测量。注意，在根据本实施例的涡流传感器中，构成励磁线圈40的每一个线圈行45的螺线管线圈21的数目和布置形状以及构成探测线圈50的每一个线圈组55的线圈(扁平线圈31和水平螺线管线圈32)的数目和布置形状不受具体限制。此外，励磁线圈40的该多个螺线管线圈21中的每一个可以被配置为能够独立地施加交流励磁信号。类似地，探测线圈50的该多个线圈中的每一个也可以被配置为能够独立地探测探测信号。利用在以上实施例中描述的涡流传感器，可以利用关于淬火质量的在线检查来执行百分之百的检查(百分之百保证)。通过这样做，可以省去通过采样进行的扭转测试，扭转测试是在现有技术中执行的破坏性测试，并且可以通过省略扭转测试而减少成本和工作时间。结果，可以改进淬火质量，并且可以在淬火质量的检查中，减少成本和时间。另外，当在多个工件上相继地执行淬火质量的检查时，涡流测量结果被恒定地监视。通过这样做，例如，当在用于应用诸如感应淬火的淬火的系统中存在淬火问题时，例如冷却剂堵塞和电力急剧波动，可以实时地探测该问题，并且可以对于淬火问题采取早期措施。另外，在实际装配线等中获取了全部组件的涡流测量值，以由此使得可以跟踪管理。与之相结合，可以发现在以上淬火问题的发生和在工件中的淬火失效的发生之间的相关性，从而可以实现关于无缺陷产品的制造要求和管理要求。在本发明的上述实施例中，主要示意了其中涡流测量被用于检查淬火质量的情形；然而，根据本发明方面的涡流传感器可以被应用于通过涡流测量检查测量目标组件的另一种检查，例如除了淬火质量之外的表面纹理的检查、诸如裂纹的缺陷检查和外来物质的辨别。
权利要求
1.一种涡流传感器，包括励磁线圈，所述励磁线圈向测量目标组件施加预定交流励磁信号，其中所述励磁线圈具有多个螺线管线圈；以及探测线圈，所述探测线圈对于通过涡流而从被施加所述交流励磁信号的所述测量目标组件所产生的探测信号进行探测，其中，在沿着每个螺线管线圈的中心轴的方向上，所述探测线圈被布置于所述励磁线圈的两侧中的至少一侧上，其中，所述多个螺线管线圈被相互平行地布置，使得相邻的螺线管线圈的缠绕方向是彼此相反的。
2.根据权利要求1所述的涡流传感器，其中，所述探测线圈包括第一线圈和第二线圈中的至少任何一个，所述第一线圈可以感应沿着每个螺线管线圈的所述中心轴方向上的磁场，所述第二线圈可以感应在沿着与每个螺线管线圈的所述中心轴的方向基本垂直的方向上的所述相邻的螺线管线圈之间形成的磁场。
3.根据权利要求1或2所述的涡流传感器，其中，所述多个螺线管线圈被环状地布置。
4.根据权利要求3所述的涡流传感器，其中，以下述方式来布置所述多个螺线管线圈，其中，在沿着每个螺线管线圈的所述中心轴的方向上的同一侧上的所述多个螺线管线圈的端部朝向由以环状地布置的所述多个螺线管线圈所形成的环的内侧倾斜。
5.根据权利要求1或2所述的涡流传感器，其中，所述励磁线圈具有多个线圈行，每个线圈行能够独立地施加所述交流励磁信号，在每个线圈行中的所述多个螺线管线圈被沿着预定方向布置，并且以使得所述相邻的螺线管线圈的缠绕方向彼此相反的方式来布置所述多个线圈行。
6.根据权利要求5所述的涡流传感器，其中，每个线圈行中的所述多个螺线管线圈的布置相对于所述预定方向弯曲，以形成基本上为圆弧的形状。
7.根据权利要求5或6所述的涡流传感器，其中，根据所述测量目标组件的形状，所述多个线圈行包括基准线圈行和倾斜线圈行，所述倾斜线圈行被布置成相对于所述基准线圈行倾斜。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的涡流传感器，进一步包括第一壳体，所述第一壳体支撑所述励磁线圈的所述多个螺线管线圈；以及第二壳体，所述第二壳体支撑所述探测线圈，其中，所述第二壳体相对于所述第一壳体是可拆卸的。
9.根据权利要求8所述的涡流传感器，其中，所述第二壳体被层压在所述第一壳体上。
10.一种使用涡流传感器的检查方法，包括通过使用根据权利要求1至9中任一项所述的涡流传感器执行涡流测量，来检查测量目标组件。
全文摘要
一种涡流传感器，其包括励磁线圈(20)，其向测量目标组件(15)施加预定交流励磁信号；以及探测线圈(30)，其对于通过涡流而从被施加交流励磁信号的测量目标组件所产生的探测信号进行探测。该励磁线圈具有多个螺线管线圈(21a，21b)。沿着每一个螺线管线圈的中心轴的方向，该探测线圈被布置在励磁线圈的两侧中的至少一侧上。然后，该多个螺线管线圈被相互平行地布置从而相邻螺线管线圈的缠绕方向彼此相反。
文档编号G01N27/90GK102334028SQ201080009139
公开日2012年1月25日 申请日期2010年2月23日 优先权日2009年2月24日
发明者山本贵也 申请人:丰田自动车株式会社