专利名称：氢气传感器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种带有压力密封壳体的氢气传感器，所述壳体通过由钯构成的膜封闭，并且包括压力传感器。
背景技术：
在WO 2006/008253A1 (Inficon)中介绍了这种氢气传感器。该氢气传感器具有膜，该膜选择性地让氢气通过并且封闭压力密封的壳体。该壳体包括带有两个平行的阴极板的彭宁(Perming)压力传感器，在所述两个平行的阴极板之间设置有阳极环。电压源提供直流电压，该直流电压施加在阴极板和阳极环之间。对于彭宁式放电而言必需的磁场由安装在封闭壳体外面的永磁体产生。抽气泵连接到壳体上，该抽气泵抽吸氢气并且减小氢气分压。壳体的探测室与抽气泵通过节流通道连接。如果氢气经由选择性地让氢气通过的壁从大气进入到探测室中，那么探测室中的压力升高。因为氢气由于节流通道而仅带有延迟地到达抽气泵，所以探测室的压力升高。该压力上升由压力传感器检测，并且作为氢气的渗入加以评估。即便在稳态状态下，在探测室中的分压也小于环境分压。在DE 100 31 882 Al (Leybold)中介绍了用于氦气或氢气的传感器，该传感器具有真空密封的壳体，该壳体具有对于待确认的气体选择性作用的通道。该壳体由玻璃组成， 并且选择性作用的通道是由硅原料制成的膜，在该膜上设置有设有穿通部的硅片以及加热器。彭宁传感器处在壳体中。该壳体不连接到真空泵处。彭宁传感器的彭宁式放电额外地作为离子抽气泵起作用。在American Vacuum Society (美国真空学会)的 J. Vac. ki. iTechnol. A 26(3), May/Jun 2008，352-359 页中，由 Karl Jousten 发表了一篇题为 “On the gas species dependence of Pirani vacuum gauges”的论文，在该论文中说明了皮拉尼压力传感器的原理。在此涉及一种仪器，该仪器测量气体的热传导能力，进而测定压力。在此利用了以下事实，即，热传导能力与压力成正比。测量从加热元件通过围绕的气体到或多或少恒定温度的外壳的传热。加热元件是惠斯通(Wheatstone'schen)电桥的部件，该惠斯通电桥以如下方式运行，即，测量维持温度所需的热功率。在其它皮拉尼传感器中，热功率保持恒定，并且加热元件的电阻或温度作为压力指标来测量。对于相应的气体，必须相应地校准皮拉尼压力传感器，因为在评估信号时必须考虑依据气体变化的修正因数。
发明内容
本发明基于的任务是，提供一种氢气传感器，该氢气传感器具有高的氢气灵敏度和低的响应时间，以及可小尺寸地制造。依据本发明的氢气传感器由专利权利要求1限定。该氢气传感器具有抽成真空的、压力密封的、无泵式的壳体。这意味着，该壳体不连接到例如抽气泵的泵处。该壳体以钯膜封闭，该钯膜选择性地仅让氢气通过。这导致在壳体中产生总压力，该总压力与在环境大气中的氢气分压相等。
特点在于，由钯构成的膜设置在第一承载架上，并且非气体消耗式的压力传感器设置在第二承载架上。两个承载架直接连接，或者通过玻璃管保持间距。不仅由钯构成的膜而且皮拉尼压力传感器也具有加热器，但彼此热退耦，使得不由于钯膜的加热而干扰地影响从压力传感器的加热元件开始的传热。在此应考虑的是，钯膜应被加热到恒定温度，从而使得在壳体内部由钯膜引起的热效果保持恒定。依据本发明，使用非气体消耗式的压力传感器。热传导式压力计和电容式压力计属于非气体消耗式的压力传感器。皮拉尼压力传感器属于热传导式压力计。此外，测量穿过围绕的气体从一个导体到另一个导体的热传导的压力计也属于热传导式压力计。热传导取决于气体压力。电容式压力计包括膜，气体压力在一侧作用到该膜上。该膜是电容器的组成部分，该电容器的电容依据压力改变。电容变化以电的方式测量。与此相对地，彭宁压力传感器是气体消耗式的。所有电离的传感器属于气体消耗式传感器。如皮拉尼压力计的热传导式压力传感器具有高灵敏度和小结构尺寸的优点。在壳体中，在没有泵或者没有吸气能力的情况下工作。在壳体内部中设定与在传感器环境中相等的H2分压，传感器的时间常数τ，即直至63%的压力平衡的时间，首先由容积和膜传导率的比值得出τ =容积/传导率。在大气压下在c = Ippm的氢气浓度的情况下，氢气分压PH2 = 1 · 10_3mbar。该压力可以由商用的皮拉尼传感器可靠地探测出。利用MKS公司的MikroPirani (微皮拉尼)， 可以检测直至低于IO-4Hibar的总压力。由于更高的皮拉尼细丝温度，进一步的灵敏度提升是可能的。本发明的优点在于，具有高的灵敏度、短的时间常数，避免不同于氢气的其它气体的横向灵敏度和具有长的使用寿命。另一主要优点是小尺寸。小尺寸允许了将氢气传感器集成到嗅探式检漏仪的手柄中。这种嗅探式检漏仪仅需要输送气体的、用于吸入大气的装置，且不需要用于测试气体分析的真空泵。氢气传感器在大气压下工作。在依据本发明的氢气传感器中，在壳体内部中无吸气能力的情况下，在壳体中的 H2分压与环境分压相等。传感器的时间常数由传感器单元内部容积V和钯膜的氢气传导率 Lfcmb■的比值得出
权利要求
1.氢气传感器，所述氢气传感器具有压力密封的无泵式的壳体(10)和设置在所述壳体(10)中的非气体消耗式的压力传感器(22)，所述壳体通过由钯构成的膜(14)封闭，其中，所述膜设置在第一承载架(11)上，所述承载架具有大量穿通部(13)，所述压力传感器具有第二承载架(12)，其中，所述第一承载架和所述第二承载架(11、1幻直接彼此接合，或者通过连接块0 保持间距。
2.根据权利要求1所述的氢气传感器，其特征在于，由钯构成的所述膜(14)具有小于 5μπι的厚度。
3.根据权利要求1或2所述的氢气传感器，其特征在于，所述膜(14)的有效面积至少为1.5cm2，并且所述连接块0 具有流道(沈)，所述流道具有最大为有效膜面积的五分之一的横截面。
4.根据权利要求1至3之一所述的氢气传感器，其特征在于，所述第一承载件和/或所述第二承载件(11、12)由多孔的硅构成。
5.根据前述权利要求之一所述的氢气传感器，其特征在于，所述氢气传感器集成到嗅探式检漏仪的手柄中。
6.根据权利要求1至5之一所述的氢气传感器，其特征在于，所述压力传感器02)是热传导压力传感器。
7.根据权利要求6所述的氢气传感器，其特征在于，所述热传导压力传感器是皮拉尼压力传感器。
8.根据权利要求1所述的氢气传感器，其特征在于，所述非气体消耗式的压力传感器是电容式压力计。
全文摘要
一种氢气传感器具有壳体(10)，所述壳体由选择性地仅让氢气通过的、由钯构成的膜(14)封闭。该壳体被抽成真空并且包括皮拉尼压力传感器(22)。该膜(14)和皮拉尼压力传感器(22)分别固定在承载件(11、12)上。两个承载件直接彼此接合，或者通过连接块(25)保持间距。氢气传感器具有高的灵敏度，并且由于相对较大的膜面积和低的壳体容积而具有低的响应时间。该氢气传感器可以小尺寸地制造，并且可以集成到嗅探式检漏仪的手柄中。
文档编号G01N7/10GK102460111SQ201080028613
公开日2012年5月16日 申请日期2010年6月14日 优先权日2009年6月24日
发明者丹尼尔·韦齐希 申请人:因菲康有限公司