专利名称：单一芯片双轴磁场传感器及其制备方法
技术领域：
本发明涉及GMR、MTJ桥式传感器的设计和制备，特别的是一种单一芯片双轴磁场传感器及其制备方法，所述方法可以用于在单一磁性薄膜上制双轴GMR、MTJ磁场传感器。
背景技术：
磁性隧道结传感器(MTJ1Magnetic Tunel Junction)是近年来开始工业应用的新型磁电阻效应传感器，它利用的是磁性多层膜材料的隧道磁电阻效应(TMR，Tunnel Magnetoresistance),主要表现在磁性多层膜材料中随着外磁场大小和方向的变化，磁性多层膜的电阻发生明显变化，它比之前所发现并实际应用的AMR(各向异性磁电阻效应)、 具有更大的电阻变化率，同时相对于霍尔效应材料具有更好的温度稳定性.MTJ磁性传感器具有电阻变化率大，输出信号幅值大，电阻率高，功耗低，温度稳定性高的优点。用MTJ制成的磁场测量器件，比AMR、GMR、霍尔器件具有灵敏度更高、功耗更低、线性更好、动态范围更宽、温度特性更好，抗干扰能力更强的优点。此外MTJ还能方便的集成到现有的芯片微加工工艺当中，便于制成体积很小的集成磁场传感器。通常双轴磁场传感器具有比单轴传感器更高的集成度，更好的正交性，可以非常方便的应用于多轴或是矢量传感器场合。而磁场本身就是一个矢量场，因而多轴磁场测量传感器具有非常广泛的应用。特别是电子罗盘，地磁测量等都采用双轴或三轴磁场测量， 因此，生产，集成度高的，单一芯片多轴磁场传感器是一种非常现实的需求。而传统的双轴 GMR、MTJ磁场传感器，不同轴之间钉扎层磁矩方向不同，而通常沉积在同一硅片上的GMR、 MTJ元件，由于其磁矩翻转所需要的磁场强度大小相同，因而在同一个硅片上的磁电阻元件，在进行退火之后，钉扎层磁矩通常都相同。这使得制作推挽桥式传感器存在很大困难。 目前制作多轴磁场传感器的方法主要有
采用多次成膜工艺，分多次分别沉积钉扎层方向不同的磁电阻元件，这使得制作工艺复杂，同时第二次及后工艺进行退火时会明显影响之前沉积的薄膜。这使得前后成膜的一致性差，影响传感器的整体性能。多芯片封装技术。这样的结果是能够实现实现双轴磁场传感器的功能，但另一方面，也影响了一致性，以及封装工艺的限制，两个轴之间的正交性不能得到保证。另一方面多芯片封装，封装尺寸大，生产成本高。激光加热辅助磁畴局部翻转法。通常在硅片上制备GMR、MTJ全桥时，采用将GMR、 MTJ硅片在同一强磁场中退火来使不同桥臂的钉扎层磁矩方向相同。之后采用激光对硅片进行局部加热辅助磁矩翻转，从而实现地单一硅片上制备双轴磁场传感器。但是激光加热辅助磁畴翻转的方法需要专用设备，设备昂贵，增加了工艺复杂度，同时激光加热所制得的桥式传感器，其各桥臂的电阻一致性也无法得到保证。从以上可以看出，现有的单一芯片双轴磁场传感器设计与制备方法都存在整体性能无法保证，生产成本高等缺点。
发明内容
本发明的目的是提供一种全新的单一芯片双轴磁场传感器及其制备方法，可以方便的在单一芯片上制备双轴磁场传感器。为达到上述目的，本发明提供了一种第一单一芯片双轴磁场传感器，它包括第一轴和第二轴，所述第一轴包括四个磁电阻元件，所述第二轴包括四个磁电阻元件，其中每个磁电阻元件由一个或多个GMR或MTJ传感元件串联组成，传感元件由自旋阀构成，该传感元件包括磁性自由层和磁性钉扎层，所述第一轴的磁电阻元件和第二轴的磁电阻元件的磁性钉扎层的方向设置在相同的一个方向上；所述磁性自由层在没有外界偏置磁场时，磁性自由层的磁矩方向垂直于钉扎层磁矩的方向，所述磁性自由层的磁矩方向随外加磁场的大小成比例旋转；所述第一轴中的位于相对位置的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向相同，每个磁电阻的磁性自由层的磁矩方向与其磁性钉扎层的磁矩方向所成的夹角相同，所述第一轴中的位于相邻位置的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向与其磁性钉扎层的磁矩方向所成的夹角的角度相同，且所述第一轴中的位于相邻位置的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向不相同；所述第二轴中的四个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向同向且都垂直于该磁电阻元件的钉扎层磁矩的方向。本发明又提供了一种第二单一芯片双轴磁场传感器，包括第一轴和第二轴，所述第一轴包括四个磁电阻元件，所述第二轴包括两个磁电阻元件，其中每个磁电阻元件由一个或多个GMR或MT J传感元件串联组成，传感元件由自旋阀构成，该传感元件包括磁性自由层和磁性钉扎层，所述第一轴的磁电阻元件和第二轴的磁电阻元件的磁性钉扎层的方向设置在相同的一个方向上；所述磁性自由层在没有外界偏置磁场时，磁性自由层的磁矩方向垂直于钉扎层磁矩的方向，所述磁性自由层的磁矩方向随外加磁场的大小成比例旋转；所述第一轴中的位于相邻位置的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向与其磁性钉扎层的磁矩方向所成的夹角的角度相同，且所述第一轴中的位于相邻位置的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向不相同；所述第二轴中的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向同向且都垂直于该磁电阻元件的钉扎层磁矩的方向。本发明又提供了一种第三单一芯片双轴磁场传感器，包括第一轴和第二轴，所述第一轴包括两个磁电阻元件，所述第二轴包括四个磁电阻元件，其中每个磁电阻元件由一个或多个GMR或MT J传感元件串联组成，传感元件由自旋阀构成，该传感元件包括磁性自由层和磁性钉扎层，所述第一轴的磁电阻元件和第二轴的磁电阻元件的磁性钉扎层的方向设置在相同的一个方向上；所述磁性自由层在没有外界偏置磁场时，磁性自由层的磁矩方向垂直于钉扎层磁矩的方向，所述磁性自由层的磁矩方向随外加磁场的大小成比例旋转；所述第一轴中的两个磁电阻元件的磁性钉扎层的方向设置在相同的一个方向上，所述第一轴中的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向不相同，所述第一轴中的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向与其磁性钉扎层的磁矩方向所成的夹角相同；所述第二轴中的四个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向同向且都垂直于该磁电阻元件的钉扎层磁矩的方向。本发明又提供了一种第四单一芯片双轴磁场传感器，包括第一轴和第二轴，所述第一轴包括两个磁电阻元件，所述第二轴包括两个磁电阻元件，其中每个磁电阻元件由一个或多个GMR或MT J传感元件串联组成，传感元件由自旋阀构成，该传感元件包括磁性自由层和磁性钉扎层，所述磁性钉扎层的方向设置在相同的一个方向上；所述磁性自由层在没有外界偏置磁场时，磁性自由层的磁矩方向垂直于钉扎层磁矩的方向，所述磁性自由层的磁矩方向随外加磁场的大小成比例旋转；所述第一轴中的两个磁电阻元件的磁性钉扎层的方向设置在相同的一个方向上，所述第一轴中的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向不相同，所述第一轴中的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向与其磁性钉扎层的磁矩方向所成的夹角相同；所述第二轴中的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向同向且都垂直于该磁电阻元件的钉扎层磁矩的方向。
附图1是磁隧道结(MTJ)的结构示意图。附图2是理想的磁隧道结磁场电阻输出特性示意图。附图3是在外加垂直于钉扎层方向的磁场作用下，自由层与钉扎层正向成不同角度时，自由层磁矩转动与电阻变化示意图。附图4是采用在磁电阻元件上集成设置的片状永磁体对磁电阻元件的磁性自由层进行偏置示意图
附图5是传统的推挽式全桥MTJ或GMR传感器的工作原理示意图。附图6是一种单一芯片推挽式全桥传感器的工作原理示意图。附图7是外加一沿敏感方向的外磁场，各桥臂的电阻自由层磁矩转动示意图。附图8是采用集成于芯片上的永磁片对推挽全桥的自由层磁矩进行偏置示意图。附图9所示，是采用集成于芯片内的电流导线产生的磁场进行偏置的示意图。附图10所示，是一种优选的推挽全桥传感器实施方案示意图。附图11所示，一种具体实施的单一芯片推挽全桥结构示意图。附图12所示，是图11所示推挽全桥的输出特性。附图13所示，是一种单一芯片推挽半桥传感器原理图。附图14所示，是第一双轴推挽全桥传感器示意图。附图15所示，是第二双轴推挽桥式传感器示意图。附图16所示，是第三双轴推挽桥式传感器示意图。附图17所示，是第四双轴推挽桥式传感器示意图。
具体实施例方式一种第一单一芯片双轴磁场传感器，它包括第一轴和第二轴，所述第一轴包括四个磁电阻元件，所述第二轴包括四个磁电阻元件，其中每个磁电阻元件由一个或多个GMR 或MTJ传感元件串联组成，传感元件由自旋阀构成，该传感元件包括磁性自由层和磁性钉扎层，所述第一轴的磁电阻元件和第二轴的磁电阻元件的磁性钉扎层的方向设置在相同的一个方向上；所述磁性自由层在没有外界偏置磁场时，磁性自由层的磁矩方向垂直于钉扎层磁矩的方向，所述磁性自由层的磁矩方向随外加磁场的大小成比例旋转；所述第一轴中的位于相对位置的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向相同，每个磁电阻的磁性自由层的磁矩方向与其磁性钉扎层的磁矩方向所成的夹角相同，所述第一轴中的位于相邻位置的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向与其磁性钉扎层的磁矩方向所成的夹角的角度相同，且所述第一轴中的位于相邻位置的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向不相
10同；所述第二轴中的四个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向同向且都垂直于该磁电阻元件的钉扎层磁矩的方向。所述第一轴中的磁电阻元件具有磁性自由层的磁矩方向指向其磁性易轴方向的形状。它还包括一集成设置在该双轴全桥传感器第一轴上的用于将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置的磁体。它还包括一集成设置在该双轴全桥传感器第一轴上的用于将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置的的电流线，所述电流线的电流方向与MTJ或GMR磁电阻元件的磁性钉扎层的磁矩方向相同。通过磁性自由层与磁性钉扎层的奈耳耦合场来将所述第一轴的磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置。通过在磁性自由层沉积一磁性层，并利用其与磁性自由层之间的弱反铁磁耦合来将所述第一轴的磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置。一种第一单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成八个磁电阻元件，将四个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外四个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；所述第一轴的四个磁电阻元件具有磁性自由层的磁矩方向指向其磁性易轴方向的形状。一种第一单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成八个磁电阻元件，将四个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外四个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；在该第一单一芯片双轴磁场传感器的第一轴上集成设置一用于将所述第一轴磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置的磁体。一种第一单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成八个磁电阻元件，将四个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外四个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；在第一单一芯片双轴磁场传感器的第一轴上集成设置一用于将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置的的电流线，所述电流线的电流方向与MTJ或GMR磁电阻元件的磁性钉扎层的磁矩方向相同。—种第一单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成八个磁电阻元件，将四个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外四个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；通过所述第一轴磁电阻元件的磁性自由层与磁性钉扎层的奈耳耦合场来将所述第一轴磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置。一种第一单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成八个磁电阻元件，将四个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外四个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；通过在所述第一轴磁电阻元件的磁性自由层沉积一磁性层，并利用其与磁性自由层之间的弱反铁磁耦合来将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置。一种第一单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，将一个或多个GMR或MTJ传感元
11件分别串联成八个磁电阻元件，将四个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外四个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；通过权利要求上述方法中的一种或多种组合，将所述第一轴磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向进行偏置。一种第二单一芯片双轴磁场传感器，包括第一轴和第二轴，所述第一轴包括四个磁电阻元件，所述第二轴包括两个磁电阻元件，其中每个磁电阻元件由一个或多个GMR或 MTJ传感元件串联组成，传感元件由自旋阀构成，该传感元件包括磁性自由层和磁性钉扎层，所述第一轴的磁电阻元件和第二轴的磁电阻元件的磁性钉扎层的方向设置在相同的一个方向上；所述磁性自由层在没有外界偏置磁场时，磁性自由层的磁矩方向垂直于钉扎层磁矩的方向，所述磁性自由层的磁矩方向随外加磁场的大小成比例旋转；所述第一轴中的位于相邻位置的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向与其磁性钉扎层的磁矩方向所成的夹角的角度相同，且所述第一轴中的位于相邻位置的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向不相同；所述第二轴中的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向同向且都垂直于该磁电阻元件的钉扎层磁矩的方向。所述第一轴中的磁电阻元件具有磁性自由层的磁矩方向指向其磁性易轴方向的形状。它还包括一集成设置在该双轴全桥传感器第一轴上的用于将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置的磁体。它还包括一集成设置在该双轴全桥传感器第一轴上的用于将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置的的电流线，所述电流线的电流方向与MTJ或GMR磁电阻元件的磁性钉扎层的磁矩方向相同。通过磁性自由层与磁性钉扎层的奈耳耦合场来将所述第一轴的磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置。通过在磁性自由层沉积一磁性层，并利用其与磁性自由层之间的弱反铁磁耦合来将所述第一轴的磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置。—种第二单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成六个磁电阻元件，将四个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外两个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；所述第一轴的四个磁电阻元件具有磁性自由层的磁矩方向指向其磁性易轴方向的形状。一种第二单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成六个磁电阻元件，将四个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外两个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；在该第一单一芯片双轴磁场传感器的第一轴上集成设置一用于将所述第一轴磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置的磁体。一种第二单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成六个磁电阻元件，将四个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外两个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；在第一单一芯片双轴磁场传感器的第一轴上集成设置一用于将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置的的电流线，所述电流线的电流方向与MTJ或GMR磁电阻元件的磁性钉扎层的磁矩方向相同。一种第二单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成六个磁电阻元件，将四个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外两个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；通过所述第一轴磁电阻元件的磁性自由层与磁性钉扎层的奈耳耦合场来将所述第一轴磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置。一种第二单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成六个磁电阻元件，将四个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外两个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；通过在所述第一轴磁电阻元件的磁性自由层沉积一磁性层，并利用其与磁性自由层之间的弱反铁磁耦合来将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置。一种第二单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成六个磁电阻元件，将四个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外两个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；通过权利要求上述方法中的一种或多种组合，将所述第一轴磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向进行偏置。一种第三单一芯片双轴磁场传感器，包括第一轴和第二轴，所述第一轴包括两个磁电阻元件，所述第二轴包括四个磁电阻元件，其中每个磁电阻元件由一个或多个GMR或 MTJ传感元件串联组成，传感元件由自旋阀构成，该传感元件包括磁性自由层和磁性钉扎层，所述第一轴的磁电阻元件和第二轴的磁电阻元件的磁性钉扎层的方向设置在相同的一个方向上；所述磁性自由层在没有外界偏置磁场时，磁性自由层的磁矩方向垂直于钉扎层磁矩的方向，所述磁性自由层的磁矩方向随外加磁场的大小成比例旋转；所述第一轴中的两个磁电阻元件的磁性钉扎层的方向设置在相同的一个方向上，所述第一轴中的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向不相同，所述第一轴中的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向与其磁性钉扎层的磁矩方向所成的夹角相同；所述第二轴中的四个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向同向且都垂直于该磁电阻元件的钉扎层磁矩的方向。所述第一轴中的磁电阻元件具有磁性自由层的磁矩方向指向其磁性易轴方向的形状。它还包括一集成设置在该双轴全桥传感器第一轴上的用于将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置的磁体。它还包括一集成设置在该双轴全桥传感器第一轴上的用于将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置的的电流线，所述电流线的电流方向与MTJ或GMR磁电阻元件的磁性钉扎层的磁矩方向相同。通过磁性自由层与磁性钉扎层的奈耳耦合场来将所述第一轴的磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置。通过在磁性自由层沉积一磁性层，并利用其与磁性自由层之间的弱反铁磁耦合来将所述第一轴的磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置。一种第三单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成六个磁电阻元件，将两个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外四个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；所述第一轴的两个磁电阻元件具有磁性自由层的磁矩方向指向其磁性易轴方向的形状。一种第三单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成六个磁电阻元件，将两个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外四个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；在该第一单一芯片双轴磁场传感器的第一轴上集成设置一用于将所述第一轴磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置的磁体。一种第三单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成六个磁电阻元件，将两个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外四个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；在第一单一芯片双轴磁场传感器的第一轴上集成设置一用于将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置的的电流线，所述电流线的电流方向与MTJ或GMR磁电阻元件的磁性钉扎层的磁矩方向相同。 一种第三单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成六个磁电阻元件，将两个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外四个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；通过所述第一轴磁电阻元件的磁性自由层与磁性钉扎层的奈耳耦合场来将所述第一轴磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置。一种第三单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成六个磁电阻元件，将两个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外四个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；通过在所述第一轴磁电阻元件的磁性自由层沉积一磁性层，并利用其与磁性自由层之间的弱反铁磁耦合来将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置。一种第三单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成六个磁电阻元件，将两个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外四个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；通过权利要求上述方法中的一种或多种组合，将所述第一轴磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向进行偏置。一种第四单一芯片双轴磁场传感器，包括第一轴和第二轴，所述第一轴包括两个磁电阻元件，所述第二轴包括两个磁电阻元件，其中每个磁电阻元件由一个或多个GMR或 MTJ传感元件串联组成，传感元件由自旋阀构成，该传感元件包括磁性自由层和磁性钉扎层，所述磁性钉扎层的方向设置在相同的一个方向上；所述磁性自由层在没有外界偏置磁场时，磁性自由层的磁矩方向垂直于钉扎层磁矩的方向，所述磁性自由层的磁矩方向随外加磁场的大小成比例旋转；所述第一轴中的两个磁电阻元件的磁性钉扎层的方向设置在相同的一个方向上，所述第一轴中的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向不相同，所述第一轴中的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向与其磁性钉扎层的磁矩方向所成的夹角相同；所述第二轴中的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向同向且都垂直于该磁电阻元件的钉扎层磁矩的方向。所述第一轴中的磁电阻元件具有磁性自由层的磁矩方向指向其磁性易轴方向的形状。它还包括一集成设置在该双轴全桥传感器第一轴上的用于将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置的磁体。它还包括一集成设置在该双轴全桥传感器第一轴上的用于将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置的的电流线，所述电流线的电流方向与MTJ或GMR磁电阻元件的磁性钉扎层的磁矩方向相同。通过磁性自由层与磁性钉扎层的奈耳耦合场来将所述第一轴的磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置。通过在磁性自由层沉积一磁性层，并利用其与磁性自由层之间的弱反铁磁耦合来将所述第一轴的磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置。一种第四单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成四个磁电阻元件，将两个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外两个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；所述第一轴的两个磁电阻元件具有磁性自由层的磁矩方向指向其磁性易轴方向的形状。一种第四单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成四个磁电阻元件，将两个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外两个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；在该第一单一芯片双轴磁场传感器的第一轴上集成设置一用于将所述第一轴磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置的磁体。—种第四单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成四个磁电阻元件，将两个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外两个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；在第一单一芯片双轴磁场传感器的第一轴上集成设置一用于将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置的的电流线，所述电流线的电流方向与MTJ或GMR磁电阻元件的磁性钉扎层的磁矩方向相同。—种第四单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成四个磁电阻元件，将两个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外两个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；通过所述第一轴磁电阻元件的磁性自由层与磁性钉扎层的奈耳耦合场来将所述第一轴磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置。一种第四单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成四个磁电阻元件，将两个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外两个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；通过在所述第一轴磁电阻元件的磁性自由层沉积一磁性层，并利用其与磁性自由层之间的弱反铁磁耦合来将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置。—种第四单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成四个磁电阻元件，将两个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外两个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；通过权利要求上述方法中的一种或多种组合，将所述第一轴磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向进行偏置。如图1所示，磁隧道结(MTJ)的结构由纳米级多层膜组成钉扎层1，磁性被钉扎层2，非磁性绝缘层3，磁性自由层4。磁性被钉扎层2的磁矩方向如5所示。磁性自由层4 的磁矩方向如6所示。磁性被钉扎层2的磁矩方向5与磁性自由层4的磁矩方向6相互垂直。磁性自由层4的磁矩方向6随着外加磁场7的大小和方向的改变而变化。隧道结磁阻效应(TMR)的工作原理，磁隧道结MTJ的磁阻随着磁性自由层4的磁矩方向6与磁性被钉扎层2的磁矩方向5的夹角的变化而变化。由于磁性被钉扎层的磁矩方向被钉扎层钉扎到磁性钉扎层方向上，因此，实际上隧道结TMR的磁阻随着磁性自由层4 的磁矩方向6与磁性钉扎层1的磁矩的夹角的变化而变化。如图2所示，当外加磁场7的方向与被钉扎层2的磁矩方向5平行时，同时外加磁场的强度大于Hl时，磁性自由层4的磁矩方向与外加磁场7的方向平行，进而与磁性被钉扎层2的磁矩方向5平行，如8所示，这时隧道结TMR的磁阻最小。当外加磁场7的方向与被钉扎层2的磁矩方向5反平行时，同时外加磁场的强度大于H2时，磁性自由层4的磁矩方向与外加磁场7的方向反平行，进而与磁性被钉扎层2的磁矩方向5反平行，如9所示， 这时隧道结TMR的磁阻最大。Hl与H2之间的磁场范围就是TMR的测量范围。如图3所示，是当磁隧道结的自由层磁矩方向在外加磁场情况下磁电阻变化的情况。对于一个MTJ元件，其钉扎层磁矩方向21固定在一个确定的方向上，其磁性自由层在指向第一方向23、第二方向M时，外加一沿方向22的外加磁场，则指向第一方向23时，自由层磁矩沿旋转方向23A转向外场方向22 ；指向第二方向M时，自由层磁矩沿旋转方向24A 转向外场方向。则对于第一方向23，其自由层磁矩方向与钉扎层磁矩21的指向夹角减小， 磁电阻减小，如2 所示。对于第二方向24，其自由层磁矩方向与钉扎层磁矩21的指向夹角增大，磁电阻增大，如24B所示。如图4所示，可以采用集成于MTJ芯片上的永磁片对23C 将MTJ元件的磁性自由层磁矩偏置到第一方向23，采用永磁片对24C将MTJ元件的磁性自由层磁矩偏置到第一方向对。同时可以改变永磁片对23C、永磁片对24C与钉扎层方向21 的夹角θ，改变磁性自由层磁矩与钉扎层方向的角度。如图5所示，是传统的推挽式全桥MTJ或GMR传感器的工作原理示意图。分别由四个MTJ或GMR磁电阻组成，分别是第一电阻31R-、第二电阻32R+、第三电阻33R+、第四电阻34R-。其中第一电阻31R-与第四电阻34R-相对，其磁性钉扎层的第一磁矩方向31Α和第四磁矩方向34Α相平行；第二电阻32R+与第三电阻33R+相对，其钉扎层的第二磁矩方向 32Α与第三磁矩方向33Α相同向平行；且第一电阻31R-的第一磁矩方向31Α与第二电阻 32R+的第二磁矩方向32Α相反向平行。在没有外加磁场的情况下，四个电阻31、32、33、34的自由层第一磁矩方向31Β、第二磁矩方向32Β、第三磁矩方向33Β、第四磁矩方向34Β磁矩方向指向同一方向，并与钉扎层磁矩方向垂直。随外加沿全桥MTJ或GMR敏感方向35的外磁场，相邻的两个桥臂的电阻分别变大或变小，相对的两个桥臂的两个电阻同时增大或减小， 即构成一个推挽式全桥传感器。从图中可以看出，四个电阻的磁性钉扎层磁矩方向不同，不便于采用单一芯片制成推挽全桥，只能采用多芯片封装或是激光局部加热辅助退火的方法制成单一芯片推挽全桥传感器。如图6所示，是一种单一芯片推挽式全桥传感器的工作原理示意图。分别由四个MTJ或GMR磁电阻组成，分别是第一电阻41 Rl、第二电阻42R2、第三电阻43R2、第四电阻44R1。位于相对位置的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向相同，每个磁电阻的磁性自由层的磁矩方向与其磁性钉扎层的磁矩方向所成的夹角相同，位于相邻位置的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向与其磁性钉扎层的磁矩方向所成的夹角的角度相同，且位于相邻位置的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向不相同。作为一种最优的情况，特别地有四个电阻的钉扎层磁矩方向41A、42A、43A、44A相互平行，并指向同一个方向。其中第一电阻41R1与第四电阻44R1相对，其磁性自由层的第一磁矩方向41B和第四磁矩方向 44B相平行，并与钉扎层第一方向41A、钉扎层第四方向44A的正方向成45度夹角；第二电阻42R2与第三电阻43R2相对，其自由层的第二磁矩方向42B与第三磁矩方向4 相同向平行，并与钉扎层第二方向42A、钉扎层第三方向43A的正方向成45度夹角；且第一电阻41R1 的第一磁矩方向41B与第二电阻42R2的第二磁矩方向42B相互垂直。此全桥传感器的钉扎方向45与4个电阻的钉扎层方向相同，其敏感方向46与钉扎方向45垂直。从图中可以看出，与图5传统的推挽式全桥不同，该单一芯片推挽全桥传感器中四个电阻的磁性钉扎层磁矩方向不同，因此可以在单一芯片上，通过一次工艺直接形成推挽全桥传感器，而不需要采用多芯片封装工艺，以及不需要进行激光加热局部辅助热退火。所述GMR或MTJ元件，可以利用其本身的形状各向异性对其自由层磁矩进行偏置。 通常的形状可以是椭圆形，长方形，菱形，以及其它形状。在各种形状当中，通常其长轴方向为形状各向异性易轴方向，也就是磁各向异性易轴方向。可以，通过调整其形状的长短轴比，改变其磁各向异性，进而改变其输入输出特性。如图7所示，在外加一沿敏感方向46的外磁场，则相邻的两个桥臂的第一电阻41、 第二电阻42 ；第三电阻43、第4电阻44分别变大或变小，相对的两个桥臂的两个电阻同时增大或减小，即构成一个推挽式全桥传感器。特别地，外加一沿敏感方向46正向的外磁场， 则自由层第一方向41B、第二方向42B、第三方向43B、第四方向44B分别转到新的自由层第一方向41C、42C、43C、44C。相应的第一、第四电阻由Rl变为Rl+ Δ R，第二、第三电阻分别由 R2变为R2-AR。则输出为
权利要求
1.一种第一单一芯片双轴磁场传感器，其特征在于它包括第一轴和第二轴，所述第一轴包括四个磁电阻元件，所述第二轴包括四个磁电阻元件，其中每个磁电阻元件由一个或多个GMR或MTJ传感元件串联组成，传感元件由自旋阀构成，该传感元件包括磁性自由层和磁性钉扎层，所述第一轴的磁电阻元件和第二轴的磁电阻元件的磁性钉扎层的方向设置在相同的一个方向上；所述磁性自由层在没有外界偏置磁场时，磁性自由层的磁矩方向垂直于钉扎层磁矩的方向，所述磁性自由层的磁矩方向随外加磁场的大小成比例旋转；所述第一轴中的位于相对位置的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向相同，每个磁电阻的磁性自由层的磁矩方向与其磁性钉扎层的磁矩方向所成的夹角相同，所述第一轴中的位于相邻位置的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向与其磁性钉扎层的磁矩方向所成的夹角的角度相同，且所述第一轴中的位于相邻位置的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向不相同；所述第二轴中的四个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向同向且都垂直于该磁电阻元件的钉扎层磁矩的方向。
2.如权利要求1所述的第一单一芯片双轴磁场传感器，其特征在于所述第一轴中的磁电阻元件具有磁性自由层的磁矩方向指向其磁性易轴方向的形状。
3.如权利要求1所述的第一单一芯片双轴磁场传感器，其特征在于它还包括一集成设置在该双轴全桥传感器第一轴上的用于将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置的磁体。
4.如权利要求1所述的第一单一芯片双轴磁场传感器，其特征在于它还包括一集成设置在该双轴全桥传感器第一轴上的用于将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置的的电流线， 所述电流线的电流方向与MTJ或GMR磁电阻元件的磁性钉扎层的磁矩方向相同。
5.如权利要求1所述的第一单一芯片双轴磁场传感器，其特征在于通过磁性自由层与磁性钉扎层的奈耳耦合场来将所述第一轴的磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置。
6.如权利要求1所述的第一单一芯片双轴磁场传感器，其特征在于通过在磁性自由层沉积一磁性层，并利用其与磁性自由层之间的弱反铁磁耦合来将所述第一轴的磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置。
7.一种第一单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，其特征在于将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成八个磁电阻元件，将四个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外四个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；所述第一轴的四个磁电阻元件具有磁性自由层的磁矩方向指向其磁性易轴方向的形状。
8.一种第一单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，其特征在于将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成八个磁电阻元件，将四个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外四个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；在该第一单一芯片双轴磁场传感器的第一轴上集成设置一用于将所述第一轴磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置的磁体。
9.一种第一单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，其特征在于将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成八个磁电阻元件，将四个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外四个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；在第一单一芯片双轴磁场传感器的第一轴上集成设置一用于将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置的的电流线，所述电流线的电流方向与MTJ或GMR磁电阻元件的磁性钉扎层的磁矩方向相同。
10.一种第一单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，其特征在于将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成八个磁电阻元件，将四个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外四个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；通过所述第一轴磁电阻元件的磁性自由层与磁性钉扎层的奈耳耦合场来将所述第一轴磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置。
11.一种第一单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，其特征在于将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成八个磁电阻元件，将四个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外四个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；通过在所述第一轴磁电阻元件的磁性自由层沉积一磁性层，并利用其与磁性自由层之间的弱反铁磁耦合来将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置。
12.—种第一单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，其特征在于将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成八个磁电阻元件，将四个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外四个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；通过权利要求7-11方法中的一种或多种组合，将所述第一轴磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向进行偏置。
13.—种第二单一芯片双轴磁场传感器，其特征在于包括第一轴和第二轴，所述第一轴包括四个磁电阻元件，所述第二轴包括两个磁电阻元件，其中每个磁电阻元件由一个或多个GMR或MTJ传感元件串联组成，传感元件由自旋阀构成，该传感元件包括磁性自由层和磁性钉扎层，所述第一轴的磁电阻元件和第二轴的磁电阻元件的磁性钉扎层的方向设置在相同的一个方向上；所述磁性自由层在没有外界偏置磁场时，磁性自由层的磁矩方向垂直于钉扎层磁矩的方向，所述磁性自由层的磁矩方向随外加磁场的大小成比例旋转；所述第一轴中的位于相邻位置的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向与其磁性钉扎层的磁矩方向所成的夹角的角度相同，且所述第一轴中的位于相邻位置的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向不相同；所述第二轴中的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向同向且都垂直于该磁电阻元件的钉扎层磁矩的方向。
14.如权利要求13所述的第二单一芯片双轴磁场传感器，其特征在于所述第一轴中的磁电阻元件具有磁性自由层的磁矩方向指向其磁性易轴方向的形状。
15.如权利要求13所述的第二单一芯片双轴磁场传感器，其特征在于它还包括一集成设置在该双轴全桥传感器第一轴上的用于将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置的磁体。
16.如权利要求13所述的第二单一芯片双轴磁场传感器，其特征在于它还包括一集成设置在该双轴全桥传感器第一轴上的用于将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置的的电流线，所述电流线的电流方向与MTJ或GMR磁电阻元件的磁性钉扎层的磁矩方向相同。
17.如权利要求13所述的第二单一芯片双轴磁场传感器，其特征在于通过磁性自由层与磁性钉扎层的奈耳耦合场来将所述第一轴的磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置。
18.如权利要求13所述的第二单一芯片双轴磁场传感器，其特征在于通过在磁性自由层沉积一磁性层，并利用其与磁性自由层之间的弱反铁磁耦合来将所述第一轴的磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置。
19.一种第二单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，其特征在于将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成六个磁电阻元件，将四个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外两个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；所述第一轴的四个磁电阻元件具有磁性自由层的磁矩方向指向其磁性易轴方向的形状。
20.一种第二单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，其特征在于将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成六个磁电阻元件，将四个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外两个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；在该第一单一芯片双轴磁场传感器的第一轴上集成设置一用于将所述第一轴磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置的磁体。
21.—种第二单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，其特征在于将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成六个磁电阻元件，将四个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外两个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；在第一单一芯片双轴磁场传感器的第一轴上集成设置一用于将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置的的电流线，所述电流线的电流方向与MTJ或GMR磁电阻元件的磁性钉扎层的磁矩方向相同。
22.—种第二单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，其特征在于将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成六个磁电阻元件，将四个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外两个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；通过所述第一轴磁电阻元件的磁性自由层与磁性钉扎层的奈耳耦合场来将所述第一轴磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置。
23.—种第二单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，其特征在于将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成六个磁电阻元件，将四个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外两个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；通过在所述第一轴磁电阻元件的磁性自由层沉积一磁性层，并利用其与磁性自由层之间的弱反铁磁耦合来将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置。
24.一种第二单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，其特征在于将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成六个磁电阻元件，将四个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外两个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；通过权利要求19-23方法中的一种或多种组合，将所述第一轴磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向进行偏置。
25.—种第三单一芯片双轴磁场传感器，其特征在于包括第一轴和第二轴，所述第一轴包括两个磁电阻元件，所述第二轴包括四个磁电阻元件，其中每个磁电阻元件由一个或多个GMR或MTJ传感元件串联组成，传感元件由自旋阀构成，该传感元件包括磁性自由层和磁性钉扎层，所述第一轴的磁电阻元件和第二轴的磁电阻元件的磁性钉扎层的方向设置在相同的一个方向上；所述磁性自由层在没有外界偏置磁场时，磁性自由层的磁矩方向垂直于钉扎层磁矩的方向，所述磁性自由层的磁矩方向随外加磁场的大小成比例旋转；所述第一轴中的两个磁电阻元件的磁性钉扎层的方向设置在相同的一个方向上，所述第一轴中的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向不相同，所述第一轴中的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向与其磁性钉扎层的磁矩方向所成的夹角相同；所述第二轴中的四个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向同向且都垂直于该磁电阻元件的钉扎层磁矩的方向。
26.如权利要求25所述的第三单一芯片双轴磁场传感器，其特征在于所述第一轴中的磁电阻元件具有磁性自由层的磁矩方向指向其磁性易轴方向的形状。
27.如权利要求25所述的第三单一芯片双轴磁场传感器，其特征在于它还包括一集成设置在该双轴全桥传感器第一轴上的用于将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置的磁体。
28.如权利要求25所述的第三单一芯片双轴磁场传感器，其特征在于它还包括一集成设置在该双轴全桥传感器第一轴上的用于将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置的的电流线，所述电流线的电流方向与MTJ或GMR磁电阻元件的磁性钉扎层的磁矩方向相同。
29.如权利要求25所述的第三单一芯片双轴磁场传感器，其特征在于通过磁性自由层与磁性钉扎层的奈耳耦合场来将所述第一轴的磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置。
30.如权利要求25所述的第三单一芯片双轴磁场传感器，其特征在于通过在磁性自由层沉积一磁性层，并利用其与磁性自由层之间的弱反铁磁耦合来将所述第一轴的磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置。
31.一种第三单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，其特征在于将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成六个磁电阻元件，将两个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外四个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；所述第一轴的两个磁电阻元件具有磁性自由层的磁矩方向指向其磁性易轴方向的形状。
32.—种第三单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，其特征在于将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成六个磁电阻元件，将两个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外四个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；在该第一单一芯片双轴磁场传感器的第一轴上集成设置一用于将所述第一轴磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置的磁体。
33.一种第三单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，其特征在于将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成六个磁电阻元件，将两个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外四个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；在第一单一芯片双轴磁场传感器的第一轴上集成设置一用于将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置的的电流线，所述电流线的电流方向与MTJ或GMR磁电阻元件的磁性钉扎层的磁矩方向相同。
34.一种第三单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，其特征在于将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成六个磁电阻元件，将两个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外四个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；通过所述第一轴磁电阻元件的磁性自由层与磁性钉扎层的奈耳耦合场来将所述第一轴磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置。
35.一种第三单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，其特征在于将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成六个磁电阻元件，将两个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外四个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；通过在所述第一轴磁电阻元件的磁性自由层沉积一磁性层，并利用其与磁性自由层之间的弱反铁磁耦合来将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置。
36.一种第三单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，其特征在于将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成六个磁电阻元件，将两个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外四个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；通过权利要求31-35方法中的一种或多种组合，将所述第一轴磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向进行偏置。
37.一种第四单一芯片双轴磁场传感器，其特征在于包括第一轴和第二轴，所述第一轴包括两个磁电阻元件，所述第二轴包括两个磁电阻元件，其中每个磁电阻元件由一个或多个GMR或MTJ传感元件串联组成，传感元件由自旋阀构成，该传感元件包括磁性自由层和磁性钉扎层，所述磁性钉扎层的方向设置在相同的一个方向上；所述磁性自由层在没有外界偏置磁场时，磁性自由层的磁矩方向垂直于钉扎层磁矩的方向，所述磁性自由层的磁矩方向随外加磁场的大小成比例旋转；所述第一轴中的两个磁电阻元件的磁性钉扎层的方向设置在相同的一个方向上，所述第一轴中的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向不相同，所述第一轴中的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向与其磁性钉扎层的磁矩方向所成的夹角相同；所述第二轴中的两个磁电阻元件的磁性自由层的磁矩方向同向且都垂直于该磁电阻元件的钉扎层磁矩的方向。
38.如权利要求37所述的第四单一芯片双轴磁场传感器，其特征在于所述第一轴中的磁电阻元件具有磁性自由层的磁矩方向指向其磁性易轴方向的形状。
39.如权利要求37所述的第四单一芯片双轴磁场传感器，其特征在于它还包括一集成设置在该双轴全桥传感器第一轴上的用于将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置的磁体。
40.如权利要求37所述的第四单一芯片双轴磁场传感器，其特征在于它还包括一集成设置在该双轴全桥传感器第一轴上的用于将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置的的电流线，所述电流线的电流方向与MTJ或GMR磁电阻元件的磁性钉扎层的磁矩方向相同。
41.如权利要求37所述的第四单一芯片双轴磁场传感器，其特征在于通过磁性自由层与磁性钉扎层的奈耳耦合场来将所述第一轴的磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置。
42.如权利要求37所述的第四单一芯片双轴磁场传感器，其特征在于通过在磁性自由层沉积一磁性层，并利用其与磁性自由层之间的弱反铁磁耦合来将所述第一轴的磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置。
43.一种第四单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，其特征在于 将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成四个磁电阻元件，将两个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外两个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；所述第一轴的两个磁电阻元件具有磁性自由层的磁矩方向指向其磁性易轴方向的形状。
44.一种第四单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，其特征在于将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成四个磁电阻元件，将两个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外两个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；在该第一单一芯片双轴磁场传感器的第一轴上集成设置一用于将所述第一轴磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置的磁体。
45.一种第四单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，其特征在于将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成四个磁电阻元件，将两个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外两个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；在第一单一芯片双轴磁场传感器的第一轴上集成设置一用于将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置的的电流线，所述电流线的电流方向与MTJ或GMR磁电阻元件的磁性钉扎层的磁矩方向相同。
46.一种第四单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，其特征在于将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成四个磁电阻元件，将两个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外两个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；通过所述第一轴磁电阻元件的磁性自由层与磁性钉扎层的奈耳耦合场来将所述第一轴磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向偏置。
47.一种第四单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，其特征在于将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成四个磁电阻元件，将两个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外两个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；通过在所述第一轴磁电阻元件的磁性自由层沉积一磁性层，并利用其与磁性自由层之间的弱反铁磁耦合来将其磁电阻自由层的磁矩方向偏置。
48.一种第四单一芯片双轴磁场传感器的制备方法，其特征在于将一个或多个GMR或MTJ传感元件分别串联成四个磁电阻元件，将两个磁电阻元件连接以构成第一轴，将另外两个磁电阻元件串联以构成第二轴，将第一轴和第二轴相连接以构成单一芯片双轴磁场传感器；通过权利要求43-47方法中的一种或多种组合，将所述第一轴磁电阻元件的磁电阻自由层的磁矩方向进行偏置。
全文摘要
本发明公开了一种单一芯片双轴磁场传感器及其制备方法，该传感器由单一芯片桥式传感器和参考电阻桥式传感器组合使用，分别用来测量正交的两个方向的磁场。在同一芯片所有的电阻的钉扎层磁矩相同。利用电阻自由层的不同形状的形状各向异性和/或集成于芯片上的片状永磁体将自由层磁矩偏置到一特定的角度。采用该设计可以在同一芯片上，一次直接制备单一芯片双轴磁场传感器，所公开的单一芯片桥式磁场传感器相对传统的设计具有，性能更好，工艺简单，成本更低的特点。
文档编号G01R33/09GK102226835SQ20111008459
公开日2011年10月26日 申请日期2011年4月6日 优先权日2011年4月6日
发明者刘明峰, 沈卫锋, 王建国, 薛松生, 詹姆斯·G·迪克, 金英西, 雷啸锋 申请人:江苏多维科技有限公司