专利名称：用于测量待测量大面积表面上的薄层厚度的方法和设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于测量诸如船的船体的待测量大面积表面上的薄层厚度的方法和设备。
背景技术：
例如从DE 10 2005 054 593 Al已知使用包括至少一个传感器元件和分配给传感器元件的至少一个接触球冠的测量探头的薄层厚度测量。作为此类测量探头的结果，可以根据基础材料和涂层依照磁感应方法或依照涡轮方法来进行测量。例如，将此类测量探头手动地应用于待测量表面，从而测量层厚度。此类方法例如不适合于测量和检查诸如船的船体或飞机的机翼之类的待测量的大面积涂层和表面。
发明内容
本发明解决的问题是提出了一种用于测量薄层厚度的方法和设备，由此，以简单的方式全面地测量待测量和检查的表面。由根据权利要求1的特征的方法和根据权利要求6的特征的设备来达到此目的。 在各自从属权利要求中公开了进一步的有利实施例。在根据本发明的方法中，将待测量大面积表面再分成单独的部分区域，针对每个部分区域确定测量点矩阵，并使用承载测量探头的至少一个设备沿着矩阵的至少一行在等距离的测量点处获得测量值，并针对部分区域中的矩阵中的所有行接连地获得测量值，并针对此部分区域进行评估。通过沿着多个行获得等距离的测量值，可以以简单的方式来形成用于单独部分区域的测量点的格栅或矩阵，由此评估此部分区域的层厚度。为了全面地估计待测量的大面积表面，可以考虑对应于待测量的整个表面区域的单独的所选部分区域或所有部分区域。由于布置成矩阵的测量点，还可以评估该部分区域内的层厚度的变化。此外，可以甚至早在第一部分区域的评估时就得出与预定最小层厚度相比的测量层厚度的结论。依照本方法的优选实施例，用于执行测量的设备包括至少一个旋转体并接收所述至少一个测量探头，所述至少一个旋转体包括至少一个行进面(running face),所述设备放置在待测量表面上并沿着一行滚动，使得所述至少一个测量探头在摆线路径的最低点处接触抵靠待测量表面。因此可以采取连续测量，从而使得能够实现较短的测量时间。此外， 作为测量探头布置在旋转体上的结果，在每个测量点处可以保证相同的接触条件和因此的用于测量薄层厚度的测量条件。一旦已经在部分区域的所有测量点处获得了测量值，则主动地将设备转移到下一个部分区域以便测量此测量点的矩阵。此类测量方法例如是对其本身操作起来极其费力的物体或设备的待测量的大表面执行的。在本方法的优选实施例中，具有大于旋转体的直径的止动设备(特别是止动垫圈或连接环)被附接到旋转体，并且具有止动设备的设备被沿着待测量表面的边缘引导。因此，可以以限定的方式将旋转探头放置在紧邻边缘区域的待测量表面的边缘上并沿着该边缘引导，以便进行测量。作为此布置的结果，可以在边缘与沿着边缘的接连测量点之间产生限定的间隙。特别地，在特别处于腐蚀风险下的船和双壁船的情况下，在离边缘的预定距离处测量薄层厚度是非常重要的。例如，可以用此类止动垫圈或连接环或用位于其上且特别地可替换的隔离环来使这成为可能。可替换地，作为用上面布置有止动垫圈或止动环的旋转体沿着设备引导的替代，将此旋转体定位为相对于带状材料固定在适当位置，所述带状材料以不连续或连续路径速度移动。在本方法的替换实施例中，用于测量薄层厚度并包括至少一个测量探头的设备被以预定的时间间隔放置在待测量的旋转表面上或待测量的带状表面上。作为依照本方法进行的测量的结果，还在等距离测量点处获得测量值。与通过几何变量(诸如通过行进轮的周长)来确定等距离测量点的上述实施例相反，在该实施例中，测量点之间的距离通过定时循环(timed cycles)被当前地确定。在本方法的进一步优选构造中，根据每个部分区域的测量值来确定平均值
X和标准偏差s，并由此确定变差系数V=IOOXs/ X %，其被作为比较值与评估图相比较
以便估计涂层的质量。为了估计涂层的质量，依照安全要求来确定变差系数，并因此确定存在的最小层厚度。变差系数的此百分比在评估图表中被再分成不同的组，例如“优秀”、“良好”、“适中”和“常常不足”，并且在每种情况下，分配变差系数的相应值。由于针对每个部分区域确定变差系数，将所获得的数值与预定数值相比较，并立即得出关于涂层的结论，更具体地，大意是涂层质量仅部分地对应于要求，根本不与它们相对应，或例如完全与它们相对应。进一步由一设备来解决本发明所提出的问题，其中具有行进面的旋转体包括至少一个测量探头，其中，测量探头的接触球冠至少略微地从行进面径向地向外突出，并被布置为在旋转体上共同旋转，使得测量探头被沿着待测量表面上的摆线路径引导。作为此设备的结果，可以提供旋转探头，其以规则间隔接触抵靠待测量表面，该规则间隔是旋转体的直径的函数。测量探头沿着摆线路径移动。旋转体的行进面被沿着待测量表面上引导，并且仅仅保证在等距离测量点处应用测量探头并获得测量值。在测量中不涉及旋转体本身。旋转体相反用于仅仅保证等距离测量点，其随后在评估装置中被组合以形成矩阵。在设备的一种有利构造中，提供了至少两个或更多旋转体，其被可旋转地安装在公共轴上并在该公共轴上被引导，并且只有一个旋转体包括至少一个测量探头。这种沿着公共轴的两个或更多旋转体的布置提供的优点是，因此提供了针对相对于待测量表面的倾斜的安全性，并且可以将测量探头在测量点处定位成垂直于待测量表面。在所述设备的进一步优选实施例中，每个接收至少一个测量探头的两个或更多旋转体被刚性轴连接，并且测量探头以相同的角位置定向。此设备提供的优点是，例如，在两个旋转体布置成相互邻近并且每种情况具有一个测量探头的情况下，可以同时地获得布置在相邻行中的两个测量点的测量值。因此可以在沿着部分区域内的测量点获得测量值时实现时间方面的进一步节省。可以说，还可以提供每个具有至少一个测量探头的三个或更多旋转体以便执行多次测量。此布置还提供的优点是，用于单独测量点的时间间隔被以限定的方式间隔开。此外，所述设备可以依照部分区域的行的数目优选地包括旋转体，使得通过仅沿着该行移动一次即在部分区域的每个测量点处获得测量值。结果单独的测量点全部位于同一列中，旋转体被刚性地互连，并且测量探头的角位置在被布置为相互邻近的旋转体中相同地定向。在所述设备的进一步优选构造中，测量探头被弹性地且柔性地安装，从而相对于行进面沉入旋转体中。因此在每个测量点处保证了测量探头抵靠待测量表面施加相同的力，从而因此在每个测量点处提供一致的测量条件。优选地用由两个平行且相互间隔开的弹簧元件(特别是片簧)形成的弹簧组件来保持传感器元件。因此，当接触球冠接触抵靠待测量表面时，存在被沿着传感器元件的轴的长度方向引导的移位或下沉运动。因此可以在接触点处将测量探头布置成垂直于待测量表面。作为容纳两个平行弹簧元件(特别是片簧) 的替换，还可以在接触球冠上提供传感器元件的隔膜状弹簧组件。此类实施例从例如DE 10 2005 054 593 Al是已知的，其全部范围通过引用结合到本文中。在所述设备的进一步优选构造中，在旋转体中提供用于所获得的测量值的至少一个存储装置。因此，可以在不需要用于评估单元的线连接的情况下本地地获得测量值。此外，优选地在旋转体上提供被连接到存储装置以便读出测量值的接口和/或用于到评估装置的无线数据传输的传送和接收装置。例如，可以将此接口构造成串行接口或USB接口。此外，传送和接收装置可以使得能够经由无线电、蓝牙等来传输数据。在所述设备的一个优选构造中，可以在一个旋转体上布置止动设备(特别是止动垫圈或止动环)，该止动设备的周长大于旋转体的直径。因此，可以沿着待测量物体的边缘以预定距离选择性地引导旋转体，从而在从边缘的预定距离处进行薄层厚度的限定测量。进一步提供了隔离环，其在侧向周界面上被可替换地布置在止动环或止动设备上。此隔离环使得可以根据特定的应用来设置从外边缘开始的用于测量层厚度的预定距离。仍可以改变该距离，例如用刚性地布置在旋转体上的止动环或止动垫圈。如果隔离环和止动垫圈或止动环形成一单元，则可进而调整测量与涂层边缘之间的距离，并将其定义为可布置在旋转体上的止动环或止动垫圈的厚度的函数。在所述设备的一个有利发展中，在包括至少一个导辊的测量托架上提供包括至少一个测量探头的至少一个旋转体。此类测量托架可进而被用来避免倾斜，特别是如果作为(一个或多个)旋转体和/或导辊的结果提供了三点支承时。此外，可以在导辊的辅助下以限定的方式应用和引导旋转体。优选地在(一个或多个)旋转体与导辊之间提供底架 (undercarriage)，在该底架上例如可以布置保持磁体。作为此类布置的结果，在待检查的部分区域陡峭的情况下，仍可以测量待测量表面，因为保持磁体抵靠待测量表面保持住测量托架。在所述设备的进一步优选构造中，使清洁设备与旋转体的行进面相关联，该面从所述至少一个测量探头突出，所述清洁设备至少清洁测量探头的接触球冠。因此，随着旋转体的每次旋转，所述接触球冠得到清洁，使得可以接连地检查许多部分区域，并提供用于获得测量值的一致条件。例如，清洁设备由刷毛或旋转刷毛形成，从而去除粘附于接触球冠的任何灰尘。
下面将参考在附图中示出的示例来更详细地描述和解释本发明及其进一步的有利实施例和发展。依照本发明，可以单独地或以任何组合的方式来应用从说明和附图推断的任何特征。在附图中图1是具有涂覆的船体的船的示意性侧视图，所述涂覆的船体的涂层被作为待测量表面再分成部分区域；
图2示出了具有测量点矩阵的部分区域；
图3a至3c是用于在部分区域的测量点处获得测量值的设备的示意性侧视图； 图4是与图3a相比较的测量设备的替换实施例的示意性侧视图； 图5是根据图3a至3c的设备的替换实施例的示意图； 图6示出了具有测量点矩阵的部分区域；
图7a和7b是与图3a相比较的测量设备的进一步替换实施例的示意图；以及图8是曲线图，其中对于15%、20%和25%的变差系数，给出了不足量(shortfall
amount)作为关系X /Tmin的函数。
具体实施例方式图1示出船11的示意图。船的船体上的涂层形成例如待测量大面积表面12。由于增加的安全要求并且为了避免腐蚀，船的船体上的涂层的质量非常重要，特别是由于因此可以防止对船的损坏。从而，此类涂层必须包括用于涂层的层厚度的最小值。只能保证如果层厚度的平均值充分地大于最小值，则观察到此类最小值。层厚度的平均值与最小值之间的必要差距取决于涂覆工艺所固有的离差。变差系数V被有利地用作该离差的度量。 这是所测量的层厚度值的标准偏差S与平均值X的比。从这些变差系数，可以得出关于涂层质量的结论，更具体地得出关于是否存在完全、部分地或根本未达到要求程度的最小层厚度的结论。所确定的变差系数可与基于评估过程结果而编辑的估计图相比较并被分类成不同的声明(statement)。例如，该声明可以是“优秀”、“良好”、“适中”或“常常不足”，并且向这些声明中的每一个分配变差系数的百分比值的最大上限。因此，可以通过基于由此计算的变差系数的所获得的单独测量值来将评估过程结果与估计图相比较来得出关于涂层质量的快速声明。为了合理的估计，对于大面积涂层而言，将待测量表面12再分成单独的部分区域 40，其比待测量表面12小许多倍。待测量表面优选地被再分成相同尺寸的部分区域40。在图2中放大地示出了待测量大面积表面12的此类部分区域40。此部分区域40 包括沿着行17在等距离的距离Δ Ih处提供的测量点16的矩阵。行17进而被优选地布置为以相等的距离△ Iv相互平行，使得测量点16的矩阵或测量点16的网络被均勻地分布在部分区域14上。因此，可以在不需要测量整个表面上的层厚度的情况下得出关于此部分区域14的层厚度或层厚度进展的适当结论。依照本发明，为了在等距离测量点16处获得测量值，提供了根据图3a至3c的设备21或测量设备，其包括具有行进面23的旋转体22。此旋转体22被例如绕枢轴销M可旋转地安装到棒或杆26，使得用户能够经由杆沈将旋转体22的行进面23放置在待测量表面12上并将其沿着所述待测量表面引导。由于安装在一侧或任一侧的枢轴销，可以将旋转体22布置为相对于杆沈旋转。旋转体22被优选地构造成行进轮，并在旋转体22中接收分配给行进面23的测量探头观。测量探头观还可以配置在旋转体23外部上。旋转体22 优选地是圆盘形的。行进面23可以包括塑料材料涂层、橡胶涂层等。还可以根据待检查的涂层来选择行进面23的表面，以避免损坏。旋转体22可以例如被形成为行进辊或行进轮。还可以至少部分地将旋转体22形成为空心主体。可以在单件中形成此类旋转体22，其包括例如单独的容纳空间，例如用于测量探头和/或诸如IC模块、功能模块等的控制部件，该空间可以被盖封闭。例如，还可以形成具有包含在其中的容纳空间的双壳旋转体。测量探头观包括传感器元件四和布置在其纵轴上的接触球冠31，测量探头观位于旋转体22上，使得接触球冠31在起始位置上从行进面23至少略微地向外伸出。这例如在图北中示出。传感器元件四可以被形成为例如接收线圈形成器的杯形芯。关于传感器元件的构造和作为磁感应测量探头或涡流测量探头的实施例，全面地参考DE 10 2005 054 593 Al。可替换地，相同或不同构造的多个传感器元件四也可以形成用于相同或不同测量方法的测量探头W。测量探头观被弹性地且柔性地相对于旋转体观安装，即传感器元件四是沉入的，并且可以在角范围33内的施加的运动期间被再次向外引导。接触球冠31在待测量表面27上滚动。传感器元件四的此弹性和柔性布置提供的优点是，施加了限定的最大测量力并且可以在每个测量点16处抵靠待测量表面可靠地施加传感器元件四。依照第一实施例，测量探头洲被两个相互平行的弹簧元件35 (特别是片簧元件) 接收，这使得可以与支承36平行地移动传感器元件四。传感器元件四在测量点16处与待测量表面23垂直地定向。可替换地，可以提供根据DE 10 2005 054 593 Al的待使用的测量探头，即具有接触球冠31的传感器元件四被隔膜状弹簧元件接收。此布置还提供的优点是，可以产生水密性布置，这意味着传感器元件四被以弹性和柔性方式安装，并且经由隔膜状弹簧元件， 使得能够实现相对于测量探头观的外壳边缘或相对于旋转体22(其中布置了测量探头28) 的容纳空间的水密性布置。因此还可以在水下进行测量。还在旋转体中的容纳空间中布置图3a和北所示的测量探头和弹簧支承。在设备21中，优选地提供至少一个存储介质，特别是IC芯片，其存储单独测量点 16的测量值。还可以将传送和接收装置38集成在旋转体22中，作为其结果，所获得的测量值被无线地传输到评估装置(未更详细地示出)。还可以在旋转体22的外面上提供数据接口或多个数据接口。在根据图3a至3c的实施例中，旋转体21仅接收一个测量探头观。传感器元件 19在旋转体22沿着待测量表面12滚动时被沿着摆线路径引导，由此，测量探头21接触抵靠等距离测量点16以便获得测量值。图3a示出在测量探头观与待测量表面12之间的接触不久之前的具有测量探头观的旋转体21的位置。图北示出一旦旋转体21已经进一步沿着待测量表面12滚动时测量探头观在测量点16处抵靠待测量表面12的接触点。在到达测量点16之前不久，接触球冠31接触待测量表面12，并且测量探头观在测量点16之后不久被再次完全从待测量表面去除。在这种情况下，传感器元件四未沿着待测量表面12 移位。依照旋转体22的周长和/或接触球冠31从旋转体22的行进面23突出的程度来确定用于向待测量表面12施加接触球冠31的角范围33。此外，可以在一个旋转体22中布置均勻地分布在圆周上的两个或更多测量探头 28。例如，具有大直径的旋转体22从而可以包括三个测量探头观，并且具有小直径的旋转体22从而可以仅包括一个测量探头观，并且在每种情况下，可以在部分区域14的相同的等距离测量点16处用二者旋转体来获得测量值。当获取测量值时，同时地沿着每行接连地分配测量值，并且每行还被分配给部分区域内的其它。当估计测量值时，可以从而同时向矩阵内的各自测量点进行分配，使得例如可以识别部分区域内的层厚度的变化。图3a至3c所示的设备21因此表示旋转探头，其使得能够进行简单操作。此类旋转探头不仅可以用手来引导，而且还可以由机器来保持，或者通过操作装置沿着表面移动。图4示出图3a至3c中的实施例的替换实施例。此设备21包括例如被公共刚性轴41互连的两个旋转体22。这些旋转体22中的每一个包括至少一个测量探头观。这些依照其角位置彼此相同地定向。旋转体22之间的距离优选地对应于部分区域14的两个行 17之间的距离Δ ν。此布置提供的优点是，作为两点支撑的结果，旋转体22被相对于待测量表面12以无倾斜的方式布置。可替换地，两个旋转体22中的仅一个可以容纳至少一个测量探头观，并且第二旋转体22可以仅仅以便利的方式相对于待测量表面12对包括测量探头观的旋转体22进行定向和引导。图5示出设备21的示意图，例如从图4显现的。本设备21的不同之处在于可以将止动垫圈49或止动环形式的止动设备48附接到旋转体22或整体地模制或布置在单件中，由此，从而可以经由此止动设备48沿着待测量表面12的边缘51引导设备21。优选地， 止动垫圈49或止动环在旋转体22上被设置成可替换的，并且包括比旋转体22的周长更大的外周长。止动垫圈49优选地在侧向周界壁上包括隔离环50，作为该隔离环的结果，可以精确地调整旋转设备中的测量探头观与待检查边缘51之间的距离。这意味着可以经由此类隔离环50来调整测量探头观，在从待测量表面的边缘的距离方面，隔离环50具有不同的厚度和宽度。例如，从图6可以看到，在距离Alh上接连地布置测量点16的矩阵，可以在旋转设备22之间具有Δ Iv的距离的情况下用此类设备21来检测该矩阵。可以以例如能够观察到0. 2至2 mm的距离的方式经由隔离环50来调整直接与待测量表面的边缘相关联的测量点16之间的距离。还可以在仅包括一个旋转体22的设备11上布置止动设备48。图7a和7b提供设备21的替换实施例的进一步示意图。此设备21被构造为测量托架，其在底架43上接收轴41。另外在底架43上提供了导辊45，并且其连同两个其它旋转体22 —起形成用于测量托架的一种三点支承。测量托架可进而经由杆沈被沿着部分区域引导。根据待测量表面12的定向，特别是在诸如船的船体的陡峭布置的情况下，可以在底架43上提供一个或多个保持磁体46，因此仍保证设备21与待测量表面12之间的可靠接触。可替换地，根据图7a和7b的测量托架可以包括自备的驱动器，使得其独立地沿着部分区域14的行17移动。此外，测量托架可以优选地是可经由无线电控制可操作的，使得因此可以控制和操纵设备21的移动。为了检测例如船的船体上的涂层的质量，根据图3a至3c的旋转探头28首先经过部分区域14的每个行17。针对此部分区域14获得并保存在测量点16处获得的测量值。 根据所述测量值来确定部分区域14的层厚度的平均值X。为了进一步估计涂层的质量，
层厚度的平均值X需要充分地大于涂层的预定最小值。平均值与最小值之间的必要差距取决于涂层工艺所固有的离差S。优选地使用变差系数V作为离差S的度量。这是所测量的层厚度值的标准偏差s与平均值X的比，即V=IOOXs/ X (百分比)。因此，可以将此变差系数V视为涂层的质量值或比较值。可以根据用于应用和估计的各自区域的评估过程结果来确定变差系数的差别百分比范围。例如，可以将高达1%的范围分类为优秀，高达5%的范围分类为良好，高达10%的范围分类为适中，并将15%的变差系数分类为不足。可以由色彩来将这些范围分级。一旦已经针对各自部分区域14确定了相应的变差系数，可以通过比较范围来确定部分区域14 表现出良好、适中还是不足的涂层。基于此，可以例如在向船的船体施加涂层时执行监视和评估程序。如果减小了离差并因此减小了变差系数，则总是能够实现施加涂层材料时的实质的节省，这是因为用于平均值的默认值也可以因此相应地降低。然而，如果平均值与所确定的最小值之间的差距太小，则预期的不足量必须相应地更大，即所需的后续改进相应地更加昂贵。基于这些考虑，可以按百分比基于预定风险来作出根据图8的附图的估计。在此图中，沿着X轴对平均值χ和最小层厚度Tmin之间的比进行绘图。沿着Y轴对具有误差幅度的按百分比的风险进行绘图。同时，作为平均值与最小层厚度的比的函数，依照例如V=15%、V=20%和V=25%的变差系数给出最小层厚度的不足量。例如，如果在25%的变差系数的情况下选择1%的风险，则将观察到约1. 85的比，即将观察到1. 8倍平均值与最小层厚度的值之间的差距，以便在1% 误差幅度的风险的情况下实现足够涂层。因此可以直接在涂覆程序之后执行质量估计，使得在此时可以改变进一步的施加厚度，其在船的船体的情况下当前处于施加的过程中。还可以确定仍将施加的进一步涂层的层厚度，使得如果所确定的层厚度不足，则仍可以对此进行补偿。因此可以减少生产，并且还保护涂覆工艺。
权利要求
1.一种用于测量待测量大面积表面(12)上的薄层厚度的方法，其中，包括至少一个传感器元件(29)以及与传感器元件(29)相关联的至少一个接触球冠(31)的至少一个测量探头(28)被施加到待测量表面(12)以便获得测量值，其特征在于，待测量大面积表面(12)被再分成单独的部分区域(14)，针对待检查的每个部分区域(14)来确定测量点(16)的矩阵，使用承载至少一个测量探头(28)的设备(21)沿着部分区域(14)的矩阵的至少一行 (17)在等距离的测量点(16)处确定测量值，以及针对部分区域(14)中的矩阵的所有行(17)接连地确定测量值并针对此部分区域(14) 进行评估。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，设备(21)包括至少一个旋转体(22)并接收至少一个测量探头(21)，至少一个旋转体(22 )包括至少一个行进面(23 )，设备(21)被放置在待测量表面(12)上并沿着行(17)滚动，并且测量探头(21)被沿着摆线路径在待测量表面(12)上引导并接触抵靠单独的测量点(16)。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，具有比旋转体(22)的直径更大的直径的止动设备(48)被附接到旋转体(22)，并且包括止动设备(48)的设备(21)被沿着待测量表面(12)的边缘引导。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，包括至少一个测量探头(28)的设备(21) 被以预定的规则时间间隔放置在待测量的旋转表面(12)上或在以带状方式被引导的待测量表面(12)上。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据每个部分区域(14)的测量值来确定平均值X和标准偏差S，并由此确定变差系数V=IOO X s/ X %，变差系数被作为比较值与评估图相比较以便估计涂层的质量。
6.一种用于测量待测量大面积表面(12)上的薄层厚度的设备，特别地用于执行根据权利要求1至5中的任一项所述的方法，包括至少一个测量探头(28)，至少一个测量探头 (28)包括至少一个传感器元件(29)以及与传感器元件(29)相关联的至少一个接触球冠 (31)，其特征在于，至少一个测量探头(28)被布置在包括行进面(23)的旋转体(22)上，测量探头(21)的接触球冠(31)至少略微地从行进面(23)径向地向外突出，并被布置为在旋转体(22)上共同旋转，使得测量探头(22)被相对于待测量表面(12)沿着摆线路径引导。
7.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，提供两个或更多旋转体(22)，其被可旋转地安装在公共轴上并在公共轴上被引导，并且仅一个旋转体(22)接收至少一个测量探头 (21)。
8.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，每个接收至少一个测量探头(21)的两个或更多旋转体(22)被连接到刚性轴(41)，并且测量探头(28)以相同的角位置定向。
9.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，测量探头(观)被弹性地且柔性地安装，从而相对于行进面(23)沉入旋转体(22)中。
10.根据权利要求9所述的设备，其特征在于，测量探头(28)包括两个平行且相互间隔开的板簧元件的弹簧组件或隔膜状弹簧组件(34)。
11.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，在旋转体(22)中提供用于至少一个测量探头(28)的测量值的至少一个存储装置(37)，并且在旋转体(22)中提供用于读出测量值的接口和/或在旋转体(22)中提供用于到评估装置的无线数据传输的传送和接收装置 (38)。
12.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，止动设备(48)被布置在一个旋转体(22) 上且止动设备(48)的外径比旋转体(22)的更大。
13.根据权利要求12所述的设备，其特征在于，隔离环(49)在侧向周界面上被可替换地布置在止动设备(48)上。
14.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，在包括至少一个导辊(45)的测量托架上提供包括至少一个测量探头的至少一个旋转体(22)。
15.根据权利要求14所述的设备，其特征在于，测量托架包括其中特别地布置了保持磁体(46)的底架(43)。
16.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，清洁设备与旋转体(22)的行进面(23) 相关联，该面从至少一个测量探头(28)突出，所述清洁设备至少清洁测量探头(28)的接触球冠(31)。
全文摘要
本发明涉及一种用于测量待测量大面积表面(12)上的薄层厚度的方法和设备，其中，包括至少一个传感器元件(29)以及与该传感器元件(29)相关联的至少一个接触球冠(31)的至少一个测量探头(28)被施加到待测量表面(12)以便获得测量值，其中，待测量大面积表面(12)被再分成单独的部分区域(14)，针对待检查的每个部分区域(14)来确定测量点(16)的矩阵，使用承载至少一个测量探头(28)的设备(21)沿着部分区域(14)的矩阵的至少一行(17)在等距离测量点(16)处确定测量值，并且针对部分区域(14)中的矩阵中的所有行(17)接连地确定测量值并针对此部分区域(14)进行评估。
文档编号G01B21/08GK102252640SQ20111011805
公开日2011年11月23日 申请日期2011年5月9日 优先权日2010年5月10日
发明者H.费希尔 申请人:赫尔穆特费希尔有限责任公司电子及测量技术研究所