专利名称：阵列测试装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于测试玻璃面板的阵列测试装置。
背景技术：
一般来说，平板显示器(FPD)是比具有布劳恩管(Braun Tube)的电视机或显示器更轻更薄的图像显示设备。液晶显示器(IXD)、等离子体显示面板(PDP)、场致发射显示器(FED)以及有机发光二极管(OLED)是已开发并使用的平板显示器的代表性实例。这些Fro中的IXD是以向排列为矩阵形状的液晶单元独立地提供基于图像信息的数据信号、并且因此控制液晶单元的透光性的方式，来显示期望图像的图像显示器。LCD薄且轻，而且还具有包括功耗低、以及操作电压低在内的许多其它优点，因此被广泛地使用。下面将描述一种制造用在这种LCD中的液晶面板的典型方法。首先，在上玻璃面板上形成彩色滤光片和共用电极。之后，在对应于上玻璃面板的下玻璃面板上形成薄膜晶体管(TFT)和像素电极。其后，将配向膜层分别施加至上玻璃面板和下玻璃面板。之后，摩擦配向膜层，以便为后来将要形成在这些配向膜层之间的液晶层中的液晶分子提供预倾角和配向方向。此后，通过将密封胶涂布至玻璃面板中的至少一个来形成密封胶图案，以保持玻璃面板之间的间隙、防止液晶漏出、并且密封玻璃面板之间的间隙。其后，在玻璃面板之间形成液晶层，从而完成液晶面板。在上述过程中，测试具有TFT和像素电极的下玻璃面板(下文中称为“玻璃面板”)是否有缺陷的操作，是通过例如检测栅极线或数据线是否断开、或者检测像素单元是否显色不佳来实现的。典型地，阵列测试装置用于测试玻璃面板。所述阵列测试装置包括光源、设置有电光材料层的调制器、和摄像单元。在预定强度的电压施加到调制器和玻璃面板的状态下，调制器接近玻璃面板。这样，如果玻璃面板没有缺陷，则调制器与玻璃面板之间形成电场。然而，如果玻璃面板有缺陷，则调制器与玻璃面板之间不形成电场、或电场具有低强度。阵列测试装置测量调制器与玻璃面板之间的电场强度，并且利用所测得的电场强度来确定玻璃面板是否有缺陷。在将玻璃面板放置在支撑板上之后对玻璃面板进行测试。为此，支撑板中形成有多个连接至负压源的吸气孔。玻璃面板通过经由吸气孔抽吸空气而吸附和紧固到支撑板上。然而，在传统技术中，因为空气同时被吸入多个吸气孔中，所以玻璃面板邻近吸气孔的区域被可靠地吸附和附着在支撑板上，但是在玻璃面板的除了邻近吸气孔的区域外的区域中，在玻璃面板附着在支撑板之前空气可能无法经由吸气孔排出，因此在玻璃面板与支撑板的上表面之间形成了不希望的空气层。空气层使玻璃面板的上表面的高度不一致。其结果是，存在玻璃面板不能被正确测试的问题
发明内容
因此，针对以上在现有技术中所产生的问题提出本发明，并且本发明的目的是提供一种阵列测试装置，所述阵列测试装置构造为使得当玻璃面板吸附在支撑板上时防止在玻璃面板与支撑板之间形成空气层，以便可以正确地测试玻璃面板。为了实现以上目的，本发明提供一种阵列测试装置，包括支撑板，支撑板具有测试部分，玻璃面板的目标部分附着于测试部分，且在支撑板中位于测试部分的两侧形成有多个吸气孔，其中，在支撑板的测试部分的面向玻璃面板的表面中形成有多个吸附槽，每个吸附槽与吸气孔中的至少一个相连通。在根据本发明的阵列测试装置中，在附着有玻璃面板的目标区域的支撑板的测试部分中形成有与吸气孔相连通的吸附槽。因此，当玻璃面板吸附在支撑板上时，玻璃面板的目标区域与支撑板的测试部分之间存在的空气可以经由吸附槽排出。因此，本发明可以防止在玻璃面板与支撑板之间形成空气层，因而可靠地保持玻璃面板的上表面水平。其结果是，可以正确地测试玻璃面板。 此外，在根据本发明的阵列测试装置中，玻璃面板不但可以吸附在具有吸气孔的吸附部分上，还可以吸附在具有吸附槽的测试部分上。因此，玻璃面板可以更可靠地支撑在支撑板上，以便可以更可靠并正确地进行玻璃面板的测试。
由以下结合附图的详细描述，可以更加清晰地理解本发明前述的和其它的目的、特征和优点，其中图I是图示根据本发明的阵列测试装置的立体图；图2是示出图I的阵列测试装置的测试模块的示意图；图3是示出图I的阵列测试装置的测试模块的另一示例的示意图；图4是示出图I的阵列测试装置的支撑板的立体图；图5是示出图I的阵列测试装置的支撑板的另一示例的立体图；以及图6是示出在图I的阵列测试装置的支撑板中形成的吸附槽的剖视图。
具体实施例方式下文将结合附图详细描述根据本发明的阵列测试装置的实施例。如图I所示，根据本发明第一实施例的阵列测试装置10包括将玻璃面板P加载到所述装置上的加载单元20、测试由加载单元20加载的玻璃面板P的测试单元30、以及在玻璃面板P已被测试单元30测试之后将玻璃面板P从所述装置卸载的卸载单元40。加载单元20包括多个第一支撑板22，第一支撑板22置于以预定间距彼此间隔开的位置处。第一支撑板22支撑待测玻璃面板P。卸载单元40包括多个第二支撑板42，第二支撑板42置于以预定间距彼此间隔开的位置处。第二支撑板42支撑已经过测试的玻璃面板P。排气孔24和44分别穿过加载单元20的第一支撑板22和卸载单元40的第二支撑板42而形成。空气经由排气孔24或44朝玻璃面板P的下表面排出，以使玻璃面板P悬浮。此外，玻璃面板输送单元70设置在加载单元20和卸载单元40中。玻璃面板输送单元70利用吸附力保持玻璃面板P的下表面，并且沿线性方向移动以输送玻璃面板P。测试单元30测试玻璃面板P的电缺陷。测试单元30包括支撑板31、测试模块32以及探针组件33。由加载单元20加载的玻璃面板P放置在支撑板31上。测试模块32测试放置在支撑板31上的玻璃面板P的电缺陷。探针组件33向放置在支撑板31上的玻璃面板P的电极E施加电信号。测试模块32设置在测试模块移动单元60上，测试模块移动单元60设置于支撑板31上方且沿X轴方向延伸预定长度。测试模块32可沿着测试模块移动单元60在X轴方向上移动。测试模块32可以包括沿着测试模块移动单元60延伸的方向(X轴方向)布置的多个测试模块32。 测试模块32分为图2中图示的反射型测试模块32和图3中图示的透光型测试模块32。在根据本发明的阵列测试装置中，在测试单元30中可以使用反射型测试模块32或透光型测试模块32。如图2所示，反射型测试模块32包括光源321、第一偏振板323、半棱镜322、调制器120、摄像单元100和第二偏振板324。第一偏振板323使从光源321发出的光偏振。半棱镜322控制由第一偏振板323偏振的光的方向，以使光朝向支撑板31传导。调制器120位于放置在支撑板31上的玻璃面板P的上方，并且沿面向玻璃面板P的方向定向。摄像单元100拍摄调制器120的图像。第二偏振板324置于调制器120与摄像单元100之间，并且使透过调制器120的光偏振。为了实施反射型测试模块32，支撑板31的表面涂覆有反光材料。根据这种构造，从光源321发出的光由第一偏振板323偏振，并且在透过调制器120和玻璃面板P之前由半棱镜322改变路径。此后，透过调制器120和玻璃面板P的光由支撑板31反射，然后再次透过玻璃面板P和调制器120。透过调制器120的光在进入摄像单兀100之前由第二偏振板324偏振。另外，如图3所示，透光型测试模块32包括调制器120、摄像单元100、第一偏振板323和第二偏振板324。调制器120位于放置在支撑板31上的玻璃面板P的上方，并且沿面向玻璃面板P的方向定向。光源321置于支撑板31之下。摄像单元100拍摄调制器120的图像。第一偏振板323设置在支撑板31与光源321之间，并且使从光源321发出的光偏振。第二偏振板324放置在调制器120与摄像单元100之间，并且使透过调制器120的光偏振。为了实施透光型测试模块32，支撑板31由透明材料制成。根据这种构造，从光源321发出的光由第一偏振板323偏振，然后透过支撑板31、玻璃面板P和调制器120。透过调制器120的光在进入摄像单元100之前由第二偏振板324偏振。第一偏振板323和第二偏振板324具有沿正确方向调整光的功能，这样，摄像单元100可以可靠地拍摄和分析透过调制器120的光的图像。调制器120包括第一面板121、第二面板122、电光材料层123、第一配向膜124、第二配向膜125和调制器电极层126。第一面板121和第二面板122由透明材料制成。电光材料层123设置在第一面板121与第二面板122之间。第一配向膜124和第二配向膜125分别设置于第一面板121和第二面板122上，设置方式为使得第一配向膜124和第二配向膜125彼此面对。调制器电极层126设置在第一面板121上。电光材料层123是由如下这样的材料制成的当电信号施加到形成在玻璃面板P上的电极和调制器120的调制器电极层126时，所述材料的特定物理性质随着玻璃面板P与调制器120之间产生的电场而变化。例如，电光材料层123可以由根据电场强度而改变光的透射率的LC(液晶)制成。替代地，电光材料层123可以由TOLC(聚合物分散液晶)制成，所述TOLC根据电场强度沿预定方向定向，并且因此将入射光偏振到相应的角度。
在上述构造中，当电信号施加至玻璃面板P的电极和调制器120的调制器电极层126时,玻璃面板P与调制器120之间形成电场。构成电光材料层123的电光材料的性质随电场变化。由此，透过调制器120的光量变化。此时，摄像单元100拍摄调制器120的图像。之后，可以通过利用由摄像单元100拍摄的调制器120的图像来分析光量，确定在玻璃面板P与调制器120之间产生的电场的强度。如果玻璃面板P是有缺陷的，则玻璃面板P与调制器120之间不形成电场，或者电场强度小于正常情况下的电场强度。这样，可以通过测定电场强度来确定玻璃面板P是否有缺陷。第一配向膜124和第二配向膜125的作用是沿预定方向定向电光材料层123中的电光材料，如液晶分子或高分子材料。可以施加第一配向膜124和第二配向膜125使得它们形成预定的配向方向。例如，第一配向膜124和第二配向膜125的配向方向可以是相对于将玻璃面板P加载在支撑板31上所沿的方向(Y轴方向)而言成45°。如图4所示，支撑板31具有测试部分311和吸附部分313。测试部分311置于支撑板31的中心部分。待测玻璃面板P的目标区域附着至测试部分311。吸附部分313位于测试部分311的相对两侧。每个吸附部分313中形成有多个吸气孔312。形成在玻璃面板 P的目标区域的相对两侧上的吸附区域吸附至吸附部分313。测试部分311沿水平地垂直于将玻璃面板P加载在支撑板31上所沿的方向(Y轴方向)的方向(X轴方向)延伸预定的长度。测试部分311优选地是平坦的。吸附部分313设置在测试部分311的两侧，并且沿测试部分311延伸的方向(X轴方向)延伸预定的长度。吸气孔312连接至吸气的吸气装置(未示出)，这样，当吸气装置操作时，负压施加到吸气孔312。另外，如图5所示，在支撑板31的另一实施例中，可以在吸气孔312周围形成吸气导槽314。吸气导槽314与吸气孔312相连通，并且向上敞开。每个吸气导槽314所具有的长度和宽度与吸附玻璃面板P的相应吸附部分313的面积对应。在支撑板31中形成有吸气导槽314的情况下，施加负压以便吸附玻璃面板P的部分的面积增加，这样，玻璃面板P可以可靠地吸附在支撑板31上。在本发明中，测试部分311的面向玻璃面板P的表面中形成有多个吸附槽315。每个吸附槽315与吸气孔312中的至少一个相连通。吸附槽315作用为通道，当玻璃面板P的目标区域附着至测试部分311时，玻璃面板P与测试部分311之间的空气在玻璃面板P的目标区域附着至测试部分311时经由吸附槽315吸进吸气孔312。每个吸附槽315都线性地延伸预定的长度。如图4所示，一些吸附槽315的两个端部都与相应的吸气孔312相连通，而其余的每个吸附槽315仅在其一个端部处与相应的吸气孔312相连通。如图5所示，在吸气孔312周围形成有吸气导槽314的情况下，吸附槽315通过相关的吸气导槽314与相应的吸气孔312相连通。此外，每个吸附槽315可以具有线性形状，所述线性形状相对于将玻璃面板P加载在支撑板31上所沿的方向(Y轴方向)倾斜预定的角度。换句话说，吸附槽315延伸的方向(图4和图5中的E轴方向)相对于将玻璃面板P加载在支撑板31上所沿的方向(Y轴方向)倾斜预定的角度A。为了防止由支撑板31反射的光或透过支撑板31的光被吸附槽315扭曲，吸附槽315延伸的方向(E轴方向)优选地与第一和第二配向膜124和125的配向方向相同。换句话说，优选的是，吸附槽315延伸的方向(E轴方向)与将玻璃面板P加载在支撑板31上所沿的方向(Y轴方向)之间的角A和第一和第二配向膜124和125的配向方向与将玻璃面板P加载在支撑板31上所沿的方向(Y轴方向)之间的角相同。例如，如果第一和第二配向膜124和125的配向方向与将玻璃面板P加载在支撑板31上所沿的方向(Y轴方向)之间的角是45°，那么吸附槽315延伸的方向(E轴方向)与将玻璃面板P加载在支撑板31上所沿的方向(Y轴方向)之间的角A也是45°。此外，为了使光的偏振损失最小化，优选的是吸附槽315延伸的方向(E轴方向)与光被第一偏振板323和第二偏振板324偏振的方向相同。在此，当吸附槽315延伸的方向(E轴方向)、第一和第二配向膜124和125的配向方向、以及光被第一和第二偏振板323和324偏振的方向都相同时，可以防止光被吸附槽315扭曲，并且可以使光的偏振损失最小化。如图6所示，每个吸附槽315优选地具有设有预定曲率半径的半圆形截面，以便为在支撑板31中形成吸附槽315的过程提供便利。此外，期望的是，吸附槽315具有6mm的宽度W、0. 15mm的深度D和30_的曲率半径R，以防止玻璃面板P与测试部分311之间存在 空气层，并且以便为形成吸附槽315的过程提供便利。具体而言，优选地，吸附槽315的曲率半径R的范围是从20mm至40mm。根据测试结果，如果吸附槽315的曲率半径R小于20_，那么难以在支撑板31中形成吸附槽315。如果吸附槽315的曲率半径R大于40mm，那么当玻璃面板P吸附在支撑板31上时，玻璃面板P会弯折进吸附槽315中，由此使玻璃面板P的上表面的高度不一致，或损坏玻璃面板P的下表面。此外，优选地，吸附槽315的深度D是O. IOmm或更大。根据测试结果，可以发现，当吸附槽315的深度D的范围是从O. IOmm至O. 20mm时，具有经由吸附槽315从玻璃面板P与测试部分311之间排出空气的优点。此外，还可以发现，当吸附槽315的深度D小于O. IOmm时，经由吸附槽315排出空气的性能降低。在上述构造中，在将玻璃面板P放置在支撑板31上之后，当通过操作吸气装置将负压施加到吸气孔312时，玻璃面板P的吸附区域吸附在支撑板31的吸附部分313上。由此，玻璃面板P的目标区域附着至支撑板31的测试部分311。此时，负压也施加到测试部分311的吸附槽315，使得玻璃面板P的目标区域与测试部分311之间的空气由吸附槽315引导并且吸进吸气孔312中，因此防止玻璃面板P的目标区域与测试部分311之间存在空气层。此外，玻璃面板P不但可以通过施加到吸气孔312的负压而吸附在吸附部分313上，还可以通过施加到吸附槽315的负压吸附在测试部分311上。如上所述，在根据本发明的阵列测试装置中，附着有玻璃面板P的目标区域的测试部分311中形成有与吸气孔312相连通的吸附槽315。当玻璃面板P吸附在支撑板31上时，玻璃面板P的目标区域与支撑板31的测试部分311之间存在的空气可以经由吸附槽315排出。因此，本发明可以防止在玻璃面板P与支撑板31之间形成空气层，因而可靠地保持玻璃面板P的上表面水平。其结果是，可以正确地实施对玻璃面板P的测试。此外，在根据本发明的阵列测试装置中，玻璃面板P不但可以吸附在具有吸气孔312的吸附部分313上，还可以吸附在具有吸附槽315的测试部分311上。因此，玻璃面板P可以更可靠地支撑在支撑板31上，以便更可靠并正确地实施对玻璃面板P的测试。
本发明实施例中所述的技术 实质可以独立地实施，也可以结合使用。
权利要求
1.一种阵列测试装置，包括 支撑板，所述支撑板具有测试部分，玻璃面板的目标部分附着于所述测试部分，且在所述支撑板中位于所述测试部分的两侧形成有多个吸气孔， 其中，在所述支撑板的测试部分的面向所述玻璃面板的表面中形成有多个吸附槽，每个所述吸附槽与所述吸气孔中的至少一个相连通。
2.根据权利要求I所述的阵列测试装置，还包括 调制器，所述调制器包括第一面板；第二面板；电光材料层，所述电光材料层设置在所述第一面板与所述第二面板之间；第一配向膜和第二配向膜，所述第一配向膜和第二配向膜分别设置于所述第一面板和所述第二面板上，设置方式为使得所述第一配向膜和所述第二配向膜彼此面对；以及调制器电极层，所述调制器电极层设置在所述第一面板上， 其中，所述支撑板的吸附槽延伸的方向与所述第一配向膜和第二配向膜的配向方向相同。
3.根据权利要求2所述的阵列测试装置，还包括 光源，所述光源朝所述调制器发出光；以及 偏振板，所述偏振板设置在所述光源与所述调制器之间，以使从所述光源发出的光偏振， 其中，所述支撑板的吸附槽延伸的方向与光被所述偏振板偏振的方向相同。
4.根据权利要求I至3中任一项所述的阵列测试装置，其中，每个所述吸附槽的曲率半径的范围是从20mm至40mm。
5.根据权利要求I至3中任一项所述的阵列测试装置，其中，每个所述吸附槽的深度的范围是从O. 10mm至O. 20_。
全文摘要
本文公开一种阵列测试装置。在所述阵列测试装置中，防止当玻璃面板吸附在支撑板上时在玻璃面板与支撑板之间形成空气层。因而，可以正确地实施对玻璃面板的测试。
文档编号G01R31/00GK102819992SQ20111024116
公开日2012年12月12日 申请日期2011年8月22日 优先权日2011年6月8日
发明者崔渊圭 申请人:塔工程有限公司