专利名称：单晶炉的真空压力传感器的安装结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及单晶炉检测设备技术领域，特别是一种单晶炉的真空压力传感器的安装结构。
背景技术：
现有的单晶炉在排气管路中设置压力检测口，压力检测口通过手阀开闭，在压力检测口上连接真空探头，真空探头检测绝对压力2700 以下压力值，用于炉内拉晶工艺压力控制。仅有该真空探头，压力检测范围小，无法对单晶炉在各个工作状态时的压力进行检测，在单晶炉故障时及时报警。而且真空探头之间安装在压力检测口上，容易受粉尘污染， 造成真空探头损坏。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种单晶炉的真空压力传感器的安装结构，方便连接真空压力传感器，完善压力检测范围，同时减少粉尘污染检测元件。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种单晶炉的真空压力传感器的安装结构，包括三通装置，三通装置包括直通主管和直通主管侧面的支管，直通主管的一端与压力检测口连接，另一端与真空探头连接，支管上具有用于与真空压力传感器连接的快拆法兰装置。在快拆法兰装置的法兰对接处安装粉尘过滤装置。粉尘过滤装置为带滤网的金属密封圈。本实用新型的有益效果是通过加装的三通结构，增加了压力检测途径，可方便的与真空压力传感器连接，扩大压力检测范围，当设备故障时可以及时发出警报。同时加装的三通结构增加了检测元件距离压力检测口的距离，减少了粉尘污染，粉尘过滤装置更是进一步保护了真空压力传感器。
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明；
图1是本实用新型的结构示意图；图中，1.真空探头，2.真空压力传感器，3.三通装置，4.单晶炉报警输出回路， 5.快拆法兰装置。
具体实施方式
如图1所示，一种单晶炉的真空压力传感器的安装结构，包括三通装置3，三通装置3包括直通主管和直通主管侧面的支管，直通主管的一端与压力检测口连接，另一端与真空探头1连接，支管上具有用于与真空压力传感器2连接的快拆法兰装置5。真空压力传感器2与单晶炉报警输出回路4连接，当真空压力传感器2检测到的压力信号超过设定的高压阀值-95. OKpa时单晶炉报警输出回路4发出报警。真空探头1检测绝对压力2700 以下压力值，用于炉内拉晶工艺压力控制。真空压力传感器2检测标准大气压IOlKPa 至-IOlKI^压力值，是在真空探头1的压力检测区间外增加的检测部件。在快拆法兰装置5的法兰对接处安装粉尘过滤装置。粉尘过滤装置为带滤网的金属密封圈。
权利要求1.一种单晶炉的真空压力传感器的安装结构，其特征是包括三通装置(3)，所述的三通装置C3)包括直通主管和直通主管侧面的支管，直通主管的一端与压力检测口连接，另一端与真空探头(1)连接，支管上具有用于与真空压力传感器( 连接的快拆法兰装置 ⑶。
2.根据权利要求1所述的单晶炉的真空压力传感器的安装结构，其特征是在所述的快拆法兰装置(5)的法兰对接处安装粉尘过滤装置。
3.根据权利要求2所述的单晶炉的真空压力传感器的安装结构，其特征是所述的粉尘过滤装置为带滤网的金属密封圈。
专利摘要本实用新型涉及单晶炉检测设备技术领域，特别是一种单晶炉的真空压力传感器的安装结构，包括三通装置，三通装置包括直通主管和直通主管侧面的支管，直通主管的一端与压力检测口连接，另一端与真空探头连接，支管上具有用于与真空压力传感器连接的快拆法兰装置。在快拆法兰装置的法兰对接处安装粉尘过滤装置。粉尘过滤装置为带滤网的金属密封圈。本实用新型的有益效果是通过加装的三通结构，增加了压力检测途径，可方便的与真空压力传感器连接，扩大压力检测范围，当设备故障时可以及时发出警报。同时加装的三通结构增加了检测元件距离压力检测口的距离，减少了粉尘污染，粉尘过滤装置更是进一步保护了真空压力传感器。
文档编号G01L19/06GK202133501SQ201120232510
公开日2012年2月1日 申请日期2011年7月4日 优先权日2011年7月4日
发明者戴建中 申请人:常州天合光能有限公司