专利名称：用于真空环境中直触式探测物料表面参数的窗式装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及扁平材料半成品二次加工或深加工行业，具体的说是一种用于真空环境中直触式探测物料表面参数的窗式装置，应用于扁平材料半成品二次加工或深加工设备上面。
背景技术：
现有技术中扁平材料多为整卷的材料，长度从几百米至上万米不等，而对于要求相对较高的材料(如镀膜)在涂覆加工的过程都是处于真空环境中完成的。由于这样的加工工艺环境复杂、技术难度较高，所以对于在真空环境中完成涂覆工作的设备以及检测物料表面质量参数进行测量的检测设备和技术要求都非常高。目前国内这种在扁平材料表面进行涂覆工艺的设备已经不完全依赖于进口了。但是由于这种对扁平材料表面进行涂覆加工工艺是完全处于真空环境中完成的，所以这就对在涂覆过程中材料表面质量检测的设备和技术要求非常高。同时由于扁平材料(如膜)收储的特殊性，多为卷装，中间不能有任何断裂或者破损，所以在加工过程中的材料必须保持连续性。但又不能采用整卷材料全都涂覆完成取出后再进行检测，那样就无法保证整卷材料的质量统一是否合格。也不能加工过程中在大气中进行测试，那样会造成真空环境泄漏和破坏，造成整卷薄膜质量不合格。但必须在加工过程中在真空环境情况下对材料表面进行实时质量数据采集检测，以此确保整个材料质量自始至终的稳定性。所以就得要求在真空中完成对薄膜表面质量参数的在线采集和监测。把测量仪器仪表置于真空中，信号由数据线引出。测试仪器仪表的体积和使用环境受限制、电子芯片散热、电路板防电晕等因素导致测量系统可靠性极低。同时目前工作在真空里的分析测试仪器仪表几乎没有，依赖于购买进口产品，价格非常高。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种用于真空环境中直触式探测物料表面参数的窗式装置，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是本实用新型的结构包括通气阀、通气孔、活动密封盖、橡胶密封圈、橡胶垫、密封托板、万向球坑、万向球头、直线滑杆、直线轴承、连杆、偏心轮、转动轴、真空、外壳，其特征在于外壳上面中心处设置密封窗口，密封窗口处设置活动密封盖，活动密封盖下面与密封窗口之间设置有橡胶密封圈，活动密封盖中心位置设置有通气孔，活动密封盖上面设置通气阀，通气阀与通气孔连接，活动密封盖里面对应位置设置密封托板，密封托板上面设置有圆形片状的橡胶垫，在外壳内与密封托板相对的位置也设置有环形片状的橡胶垫，外壳上的橡胶垫中间设置孔并且孔的直径与密封窗口径相等外径与密封托板的直径相等，密封托板的下表面设置有万向球坑，万向球坑内设置有万向球头，万向球头下面设置直线滑杆，直线滑杆固定在直线轴承上，直线滑杆下面设置有偏心轮，偏心轮中心设置转动轴，直线滑杆通过连杆与偏心轮连接，直线滑杆可做直线往复运动，外壳内设置真空。工作原理及使用方法本实用新型工作原理是将已经加工好的扁平材料经过检测区，使扁平物料做短暂停留，待测试完成后再继续前行。偏心轮的转动轴经真空密封轴承引出真空室，在马达变速箱或摇把的驱动下，偏心轮经连杆驱动直线轴承内的直线滑杆做直线往复运动。滑杆端部的万向球头顶入密封托板背部万向球坑，以保证两个密封面在受力时的平行度。密封托板上面固定圆形片状密封橡胶垫，窗口内测的真空壳体上固定环形片状的密封橡胶垫。环形密封橡胶垫的内径与密封窗口径相等，外径与密封托板直径相等。活动密封盖与真空壳体之间用橡胶密封圈密封。当直线滑杆处于上极限位时，位于片状物料两侧的密封橡胶垫被挤压，此时的密封托板、片状物料和密封窗内测形成真空密封。位于密封窗盖上面的放气阀放气后，打开窗盖。此时位于窗口的片状物料上表面暴露在大气中，且不影响壳体内的真空度。使用测试仪器的探头(传感器)对物料表面直接进行测试。完成测试后，盖上窗盖，关闭放气阀。驱动偏心轮的转动轴，通过连杆把直线连杆和密封托板带回下极限位，橡胶垫和片状物料分离，本次测试过程结束，物料涂覆加工继续行进。本实用新型的有益效果是，本实用新型具有结构简单，成本低廉的特点，将真空外检测和真空中生产结合在一起，降低了检测设备的环境要求，进而降低了成本。
图1 本实用新型实施例结构未探测物料状态示意图；图2 本实用新型实施例结构探测物料至上极限位置示意图；图中通气阀1、通气孔2、活动密封盖3、橡胶密封圈4、片状物料5、橡胶垫6、密封托板7、万向球坑8、万向球头9、直线滑杆10、直线轴承11、连杆12、偏心轮13、转动轴14、
真空15。
具体实施方式
参照附图说明对本实用新型作以下具体的详细说明；如附图所示，本实用新型的结构包括通气阀1、通气孔2、活动密封盖3、橡胶密封圈4、橡胶垫6、密封托板7、万向球坑8、万向球头9、直线滑杆10、直线轴承11、连杆12、偏心轮13、转动轴14、真空15、外壳16，其特征在于外壳16上面中心处设置密封窗口，密封窗口处设置活动密封盖3，活动密封盖3下面与密封窗口之间设置有橡胶密封圈4，活动密封盖3中心位置设置有通气孔2，活动密封盖3上面设置通气阀1，通气阀1与通气孔2连接，活动密封盖3里面对应位置设置密封托板7，密封托板7上面设置有圆形片状的橡胶垫6，在外壳16内与密封托板7相对的位置也设置有环形片状的橡胶垫6，外壳16上的橡胶垫6中间设置孔并且孔的直径与密封窗口径相等外径与密封托板7的直径相等，密封托板7的下表面设置有万向球坑8，万向球坑8内设置有万向球头9，万向球头9下面设置直线滑杆10，直线滑杆10固定在直线轴承11上，直线滑杆10下面设置有偏心轮13，偏心轮13中心设置转动轴14，直线滑杆10通过连杆12与偏心轮13连接，直线滑杆10可做直线往复运动，外壳16内设置真空。上面所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的构思和范围进行限定，在不脱离本实用新型设计构思的前提下，本领域中普通工程技术人员对本实用新型的技术方案作出的各种变型和改进，均应落入本实用新型的保护范围，本实用新型请求保护的技术内容，已经全部记载在权利要求书中。
权利要求1.用于真空环境中直触式探测物料表面参数的窗式装置，包括通气阀(1)、通气孔O)、活动密封盖(3)、橡胶密封圈0)、橡胶垫(6)、密封托板(7)、万向球坑(8)、万向球头(9)、直线滑杆(10)、直线轴承(11)、连杆(12)、偏心轮(13)、转动轴(14)、真空(15)、外壳(16)，其特征在于外壳(16)上面中心处设置密封窗口，密封窗口处设置活动密封盖(3)，活动密封盖C3)下面与密封窗口之间设置有橡胶密封圈，活动密封盖(3)中心位置设置有通气孔O)，活动密封盖C3)上面设置通气阀(1)，通气阀(1)与通气孔( 连接，活动密封盖(3)里面对应位置设置密封托板(7)，密封托板(7)上面设置有圆形片状的橡胶垫(6)，在外壳(16)内与密封托板(7)相对的位置也设置有环形片状的橡胶垫(6)，外壳(16)上的橡胶垫(6)中间设置孔并且孔的直径与密封窗口径相等外径与密封托板(7)的直径相等，密封托板(7)的下表面设置有万向球坑(8)，万向球坑(8)内设置有万向球头(9)，万向球头(9)下面设置直线滑杆(10)，直线滑杆(10)固定在直线轴承(11)上，直线滑杆(10)下面设置有偏心轮(13)，偏心轮(13)中心设置转动轴(14)，直线滑杆(10)通过连杆(12)与偏心轮(13)连接，直线滑杆(10)可做直线往复运动，外壳(16)内设置真空。
专利摘要本实用新型涉及用于真空环境中直触式探测物料表面参数的窗式装置，其特征在于真空壳体上面设置密封窗口，活动密封盖下面与密封窗口之间设置有橡胶密封圈，活动密封盖中心位置设置有通气孔，活动密封盖里面对应位置设置密封托板，在外壳内与密封托板相对的位置也设置有环形片状的橡胶垫，密封托板的下表面设置有万向球坑，万向球坑内设置有万向球头，以确保密封托板与密封窗内侧真空外壳壁在受压情况下，两个密封面的平行度。被探测的扁平物料位于密封托板与密封窗口处的真空外壳之间，直线滑杆由直线轴承固定，可做直线往复运动。本实用新型结构简单，成本低廉的特点，将真空外检测和真空中生产结合在一起，降低了检测设备的环境要求，进而降低了成本。
文档编号G01N33/00GK202305504SQ20112037302
公开日2012年7月4日 申请日期2011年9月27日 优先权日2011年9月27日
发明者费绍栋 申请人:费绍栋