专利名称：一种光栅尺辊压印生产线的制作方法
技术领域：
本实用新型属于辊压印微纳复制技术领域，特别涉及一种制造机床用长光栅尺的辊压印成型生产线。该上产线可以连续、高效、批量制造光栅尺。
背景技术：
精密光栅作为高档数控机床的位置检测元件对数控机床的精度有着至关重要的影响。是精密、超精密高档数控机床的关键基础性功能部件。光栅的制造方法主要有刻划机刻划方法、光刻机光刻方法等。刻划机刻划方法制 造光栅效率较低，并且对环境要求高，成本高，不能连续生产，且分辨率有限。光刻机光刻方法的分辨率比刻划机刻划方法高，同样存在上述缺点。具体来讲，目前，国际上多采用照相接触复制方法制作长光栅尺。即将表面涂有光刻胶的工件放在光栅尺曝光机上，再将光栅母版放在工件上进行接触式曝光，然后通过显影、定影、染色、烘干、镀膜和去胶等工序最后复制出长光栅尺。这种制造方法对于环境要求极其苛刻，导致制造成本较高且制造速度较低。作为一种新型的集成电路制造技术，压印光刻技术将传统的模具复型原理应用到微观制造领域，自1995年Stephen Y Chou提出以来，便以其高分辨率、高效率、低成本、环保性好、工艺过程简单和非常大的上升空间引起了各国研究人员和许多公司的广泛关注。压印光刻技术作为典型的微压印复型技术在近些年以来得到了迅猛的发展，并于2005年年底被国际半导体技术蓝图机构规划为下一代16nm节点光刻技术的代表之一。微压印复型技术是一种低温、常气压、适合于大面积基材上生成微纳米级尺度特征结构的压印方法，是制造大面积微纳米结构的并行制造技术。特别是辊压印技术是能将辊压模具表面的功能性微结构连续地、精确地复型在基底上，可满足连续大幅面、高产能、低成本的要求。目前辊压印技术在以大面积为特征的宏电子系统领域已开始展现了崭新的应用潜力，并为机床测量用光栅微结构的制造提供了一种新的思路。辊压印技术可通过对辊压母光栅模具高精度连续回转运动的精确控制，实现超长、高精度、高线数光栅功能性微结构的制造。
实用新型内容本实用新型的目的在于克服上述现有技术的缺点，提供一种光栅尺辊压印生产线，该生产线结构简单，并且采用多个工位并列设置，能够有效提高生产效率。本实用新型的目的是通过以下技术方案来解决的这种光栅尺辊压印生产线，包括清洗机、蒸镀机、分条机构、压印室、辊压印压纹机构和送出机构,所述清洗机的出口连接蒸镀机的进口，所述蒸镀机的出口连接分条机构的进口，所述分条机构连接压印室，所述压印室的内设置有多个辊压印压纹机构，所述辊压印压纹机构的出料口连接送出机构。[0011]上述分条机构为半扇形，所述压印室为安装在分条机构的半扇形外缘的环形结构，在压印室内均匀分布有多个辊压印压纹机构，各辊压印压纹机构的进口连接至半扇形分条机构的外周缘上。上述清洗机由清洗机清洗机构、清洗机干燥机构和清洗机次真空室装配组成。本实用新型的光栅尺辊压印生产线并且采用清洗机、蒸镀机、分条机构、压印室、辊压印压纹机构和送出机构一体式安装设置，并且辊压印压纹机构采用多工位并联设置在压印室内，能够提高生产效率。
图I为本实用新型的结构示意图；图2为本实用新型拆除压印室04后的结构示意图。其中0 :光栅尺基底；01 :清洗机；01_1 :清洗机清洗机构；01_2 :清洗机干燥机构；01-3 :清洗机次真空室；02 :蒸镀机；03 :分条机构；04 :压印室；05 :辊压印压纹机构；06 :送出机构；07 :成品光栅尺。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型做进一步详细描述参见图I和图2，本实用新型的光栅尺辊压印生产线，包括清洗机01、蒸镀机02、分条机构03、压印室04、辊压印压纹机构05和送出机构06。所述清洗机01的出口连接蒸镀机02的进口，蒸镀机02的出口连接分条机构03的进口，分条机构03连接压印室04，压印室04的内设置有多个辊压印压纹机构05，辊压印压纹机构05的出料口连接送出机构06。在本实用新型的最佳实施例中,所述分条机构03为半扇形,压印室04为安装在分条机构03的半扇形外缘的环形结构,在压印室04内均勻分布有多个棍压印压纹机构05,各辊压印压纹机构05的进口连接至半扇形分条机构03的外周缘上。本实用新型在工作时，光栅尺基底O由送入机构01-04清洗机清洗机构01-1，清洗机01主要负责传送和清洗光栅尺基底并为后续工序提供前期处理。清洗机清洗机构01-1采用对应的清洗液负责清洗用特定材料制作的光栅尺基底，清洗液可以循环使用，并采用相关环保措施保证排放符合国家标准。清洗机干燥机构01-2主要是用来对刚清洗过的光栅尺基底进行干燥并保证光栅尺基底具有一定的温度。清洗机次真空室01-3负责提供特定的次真空环境，为蒸镀做前期准备。蒸镀机02主要用来将特定材料，如铜或铝等在真空环境中加热并镀到光栅尺基底上，即使光栅尺基底上表面形成特定材料薄膜。完成蒸镀后将镀有薄膜的光栅尺基底传送到分条机构。分条机构03主要用来将批量蒸镀后的光栅尺基底分开，各自传送到相应的压纹机构处。压印室04用来提供压印时所必须的温度、适度、气压等条件。辊压印压纹机构05用来复刻辊子型模具上的图形到蒸镀后的光栅尺基底上。送出机构06用来将成品光栅尺07传送到相应工位。
权利要求1.一种光栅尺辊压印生产线，包括清洗机(01)、蒸镀机(02)、分条机构(03)、压印室(04)、辊压印压纹机构(05)和送出机构(06)，其特征在于，所述清洗机(01)的出口连接蒸镀机(02)的进ロ，所述蒸镀机(02)的出口连接分条机构(03)的进ロ，所述分条机构(03)连接压印室(04)，所述压印室(04)的内设置有多个辊压印压纹机构(05)，所述辊压印压纹机构(05)的出料ロ连接送出机构(06)。
2.根据权利要求I所述的光栅尺辊压印生产线，其特征在于，所述分条机构(03)为半扇形，所述压印室(04)为安装在分条机构(03)的半扇形外缘的环形结构,在压印室(04)内均匀分布有多个辊压印压纹机构(05)，各辊压印压纹机构(05)的进ロ连接至半扇形分条机构(03)的外周缘上。
3.根据权利要求I所述的光栅尺辊压印生产线，其特征在于，所述清洗机(01)由清洗机清洗机构(01-1)、清洗机干燥机构(01-2)和清洗机次真空室(01-3)装配组成。
专利摘要本实用新型涉及一种光栅尺辊压印生产线，包括清洗机、蒸镀机、分条机构、压印室、辊压印压纹机构和送出机构，所述清洗机的出口连接蒸镀机的进口，所述蒸镀机的出口连接分条机构的进口，所述分条机构连接压印室，所述压印室的内设置有多个辊压印压纹机构，所述辊压印压纹机构的出料口连接送出机构。本实用新型的光栅尺辊压印生产线并且采用清洗机、蒸镀机、分条机构、压印室、辊压印压纹机构和送出机构一体式安装设置，并且辊压印压纹机构采用多工位并联设置在压印室内，能够提高生产效率。
文档编号G01B11/02GK202421718SQ20112056008
公开日2012年9月5日 申请日期2011年12月28日 优先权日2011年12月28日
发明者丁玉成, 于皓瑜, 刘红忠, 卢秉恒, 史永胜, 尹磊, 蒋维涛 申请人:西安交通大学