专利名称：可收回的压力传感器的制作方法
可收回的压力传感器介绍本发明涉及可收回的压力传感器，以及用于收回所述传感器的方法。特别是，本发明涉及在可收回的传感器中使用的压力传输装置。背景可收回的传感器是当工艺流体在测量到压力的区域中出现的时候可以被更换的传感器。这类压力传感器通过例如法兰或者钻孔附接在管壁中。使用阀机构来阻止流动以使得能够更换压力传感器是众所周知的。实际上，阀的使用被证明是困难的，因为它们被留 在打开位置，并且受到工艺流体污染的影响。因此，例如在大约10-15年后，当最终需要更换压力传感器时，会有阀不可操作的巨大风险。此外，当使用阀时，很难避免工艺流体排放到环境中。因此，需要具有可靠的结构的压力传感器，使得在不使压力传感器变得不能操作以及不必打开管壁或者暂停生产/工艺的情况下在超压环境中以简单方式更换压力传感器变得可能。同时，压力传感器必须满足严格的安全要求。发明概述本发明提供对以上问题的解决方案。本发明涉及能够在例如在海底石油相关的应用、制炼厂等中在超压情况中更换压力传感器的设计。本发明涉及压力传输装置(压力垫)2作为压力传感元件4和工艺流体3之间的传输机构的使用，在工艺流体3中的压力待被测量。压力传输装置附接在管/腔的壁的开口中，并且当传感器部分被移除时保持在适当的位置。为了确保靠着管壁和管内工艺流体的密封啮合，压力传输装置2被密封地焊接到管1，或者通过法兰或者另外的方式附接。压力垫2在每端处都具有分离膜片。膜片可以是同样的或者不同的。每个分离膜片都具有相关的膜片底座。两个膜片底座中的底座孔足够小且少以使得相应的膜片在它们各自的底座上变平，并随后当外部传感器结构被移除时能够支持分别来自于工艺流体3的全部压力和周围压力。压力传感器结构包括两个膜片8，其定位成彼此相邻且充当对传动油7的压力和容积4中的压力的传输装置，压力元件位于容积4中。尤其在海底超压环境中，对安全和可靠设计的要求很高。随后通过利用压力垫中的额外的膜片，可以给本发明提供例如双屏障。在一方面，本发明提供在穿过管壁或者腔壁的开口中安装的可收回的压力传感器，其用于管/腔中的工艺流体的压力的原位测量。压力传感器包括压力传输装置/压力垫，该压力传输装置/压力垫包括用于密封附接在管壁/腔壁中的开口的设备、容纳压力传输流体的腔、用于分离开工艺流体和压力传输流体的第一分离膜片、和限定容纳压力传输流体的腔的外边界的第二分离膜片。压力传感器还包括具有压力传感元件的外部传感器部分、容纳与压力传感元件处于压力连通中的压力传输流体的第二腔、限定第二腔边界的第三分离膜片和第三容积，所述第三分离膜片被配置为与第二分离膜片压力连通以在所述腔中的压力传输流体和第二腔中的压力传输流体之间传输压力，且当第二和第三分离膜片处于压力连通中时所述第三容积包围第二和第三分离膜片。
第三容积中的压力是可调整的。第三容积可以适于流体的注入。第三容积中的压力是可调整的，使得传感器能够以控制的和安全的方式被收回。在实施方式中，压力传输装置还可以包括对第一分离膜片的第一邻接表面，所述第一邻接表面具有通入腔内的开口。第二分离膜片还具有第二邻接表面，所述第二邻接表面具有通入腔内的开口。第二分离膜片的外部部分可以通过紧固件附接到第二邻接表面，使得外部部分邻靠并接触第二邻接表面的对应部分。在实施方式中，压力传感器包括对第三分离膜片的第三邻接表面，所述第三邻接表面具有通入第二腔内的开口。第三分离膜片的第二外部部分可以通过紧固件附接到第三邻接表面，使得第二外部部分邻靠并接触第三邻接表面的对应外部部分。压力传感器可以包括将第二和第三分离膜片压在一起的偏置力，使得压力传输可以发生在第二和第三分离膜片之间。在另一实施方式中，压力传感器还可以包括与第一腔相关的第四容积，第四容积被配置为接纳第一腔的压力传输流体。压力传感器可以适于测量压差来，或者可选地适于测量绝对压力。
在另一方面中，本发明提供了用于收回如上定义的可收回的压力传感器的方法，所述方法包括增大第三容积中的压力直到所述压力高于工艺流体压力、以控制的方式向外拉动第二压力传感器部分直到第二和第三分离膜片不再处于压力连通中、将第三容积中的压力减小到等于或者低于加工压力的压力、以及拉出外部压力传感器部分。在另一方面中，本发明提供了用于收回如上定义的可收回的压力传感器的方法，其中所述可收回的压力传感器还包括与第一腔相关的第四容积，并且所述方法包括通过在第四容积中接纳来自第一腔的流体来减小第一腔中的压力直到第二和第三分离膜片不再处于压力连通中、以及拉出外部压力传感器部分。在另一方面中，本发明提供用于在穿过管壁或者腔壁的开口中安装的可收回的压力传感器，其用于管/腔中的工艺流体的压力的原位测量。所述压力传感器包括压力传输装置，其包括用于密封附接在管壁/腔壁中的开口的设备、容纳压力传输流体的腔、用于分离开工艺流体和压力传输流体的第一分离膜片、和限定容纳压力传输流体的腔的外边界的第二分离膜片；外部传感器部分，其具有压力传感元件、容纳与压力传感元件处于压力连通中的压力传输流体的第二腔、限定第二腔的边界的第三分离膜片(第三分离膜片被配置为与第二分离膜片压力连通以在所述腔中的压力传输流体和第二腔中的压力传输流体之间传输压力)、和与第一腔相关的额外的容积(额外的容积被配置为接纳第一腔的压力传输流体)。在一个实施方式中，压力传感器可以包括对第一分离膜片的第一邻接表面，所述第一邻接表面具有通入腔内的开口。压力传感器还可以包括对第二分离膜片的第二邻接表面，所述第二邻接表面具有通入腔内的开口。此外，第二分离膜片的外部部分可以通过紧固件附接到第二邻接表面，使得外部部分邻靠并接触第二邻接表面的对应部分。压力传感器还可以包括对第三分离膜片的第三邻接表面，所述第三邻接表面具有通入第二腔内的开口。第三分离膜片的第二外部部分可以通过紧固件附接到第三邻接表面，使得第二外部部分邻靠并接触第三邻接表面的对应外部部分。还可以给压力传感器提供将第二和第三分离膜片压在一起的偏置力，使得压力传输可以发生在第二和第三分离膜片之间。压力传感器可以适于测量压差或者绝对压力。
在另一方面中，本发明提供了用于收回如上阐述的可收回的压力传感器的方法，所述方法包括通过在额外的容积中接纳来自第一腔的流体来减小第一腔中的压力直到第二和第三分离膜片不再处于压力连通中、以及拉出外部压力传感器部分。附图
简述在下文中，本发明的实施方式将通过参考附图来被更详细地解释，其中图I示出了根据本发明实施方式的可收回的压力传感器结构的纵剖面；图2示出了根据本发明实施方式的图I的传感器结构的下部分的横截面，所述传感器结构的下部分由面向将被测量的压力的压力传输装置组成；图3示出了根据本发明实施方式的图I的压力传感器结构，图3a是传感器结构的外部部分与压力垫处于压力传输接触中的区域的放大部分，而图3b示出 了另一放大的部分，其示出了提供压力传输接触的两个分离膜片；图4示出了根据本发明的又一实施方式的可收回的压力传感器结构的纵剖面；图5示出了根据本发明的再一实施方式的可收回的压力传感器结构的纵剖面；以及图6示出了根据本发明的再一实施方式的可收回的压力传感器结构的纵剖面。详细描述现在将描述本发明的实施方式。对应的或者类似的元件在附图中始终以相同的参
考数字表示。图I示出了放置在管壁I中的钻孔中的用于管中的工艺流体的压力的原位测量的可收回的压力传感器的纵剖面。压力传感器还可以被放置在腔壁中的开口中，以用于测量腔中的工艺流体的压力。压力传感元件位于离测量区域的一段距离处，且被布置在管壁外部上。通过分离膜片和在分离膜片后面和之间提供的并与管中的工艺流体处于压力连通中的压力传输流体来实现压力传输。图I的压力传感器结构由外部压力传感器部分组成，在外部压力传感器部分中放置了传感元件4，并且放置了下部压力传输部分(压力垫)2，以便面向待测量的工艺流体。压力传感器部分和压力传输部分2以紧密毗邻的关系被放置，使得压力传输可以通过分离膜片和压力传输流体来实现。压力传输部分2被密封地附接到管壁，并且当传感器部分被移除时保持在适当的位置。为了确保靠着管壁和管内工艺流体的密封啮合，压力传输部分2可以被密封地焊接到管I或者通过法兰或者另外的方式附接。压力传输部分(压力垫)2在每端处都具有分离膜片。膜片可以是相同的或者不同的。每个分离膜片都具有相关的膜片底座。两个膜片底座中的底座孔足够小且少以使得相应的膜片在它们各自的底座上变平，并随后能够支持来自于工艺流体3的全部压力和周围压力。通常，膜片底座的孔/开口具有与分离膜片的厚度的数量级相同的数量级。分离膜片的一般厚度是0.05_ (毫米)，而开口 /孔的一般直径是0.25_。当压力传感器部分被移除时，压力传输部分被暴露于周围压力。当在管中适当的位置时，带有压力传输部分的压力传感器结构提供紧密的屏障。外部压力传感器部分和内部压力传输部分的连接以及更换过程将在下面被解释。图2示出了图I的外部压力传感器部分的下部分的横截面，该外部压力传感器部分与压力被测量的管以及外部压力传感器部分和内部压力传递部分彼此接触的区域中的流体连通。如从面向工艺流体的最里面的组件到接触区域看到的，内部压力传输部分或者压力垫由带有膜片的下层邻接表面/膜片底座11的膜片5、液压管/钻孔7、第二膜片8a的邻接表面12a和第二膜片8a组成。膜片5提供针对工艺流体的屏障，并且构成分离压力传感器的内部压力传输环境与外部过程环境的所谓的“工艺膜片”。在其内部，工艺膜片5具有它可以邻接的并防止工艺膜片破裂的第一凹邻接表面，假设工艺流体的压力变得过大。在第一凹邻接表面11中，有在液压管7内的开口。液压管7通到第二膜片8a的第二凹邻接表面12a中的第二开口内。当外部压力传感器部分被移除时，第二分离膜片8a被暴露于周围压力。工艺膜片5和在带有外部传感元件的接触表面处的第二膜片8a连同第一和第二邻接表面以及液压管7 —起限定容纳压力传输流体的第一腔。压力传输流体可以是液压液，例如液压油。继续地，外部压力传感器部分由第三膜片Sb、第三膜片的第三凹邻接表面/膜片底座12b、第三膜片中的第二液压管/钻孔10组成，该管通到腔4中的压力传感器组件内。 在带有内部压力传输部分的接触表面处的第三膜片8b连同第三邻接表面12b、管7、压力传感器组件的外边界一起形成容纳压力传输流体的第二腔。压力传输流体可以是液压液，例如液压油。第二腔与压力传感器4处于压力连通中。为了也在管壁开口的外端周围提供密封，压力传感器部分的最外面的部分可以被成形为法兰剖面。第二膜片8a和第三膜片Sb通过紧固件附接到它们各自的邻接表面，使得这些膜片的外部部分9a、9b始终邻接且接触下层邻接表面的对应部分9a、9b。优选地，膜片的外部部分9a、9b是环状的。这防止分离膜片的外部部分与邻接表面/膜片底座失去接触。紧固件可以是带有下层弹簧的螺钉的形式。分离膜片由薄箔组成，并且分离膜片两端的液压压差的存在被避免，因此它将不会破裂。本发明中所使用的膜片可以是特此通过引用被并入的本申请人的专利申请N020093171中所描述的类型，但也可以是其它类型的分离膜片。彼此接触且在内部和外部传感器之间形成传输表面的膜片8a和Sb具有互补的几何形状。然而，工艺膜片5可以不同于接触表面处的膜片8a和Sb。第三容积6在可收回的传感器的内部和外部部分的接触区域处包围第二和第三膜片。在图2所示出的实施方式中，第三容积是环状的。该环状容积可以被例如O形环或者另一个密封装置封闭和密封。环状容积也可以是打开的(13)，使得流体可以如图4中所示出的被注入。在海底使用中，流体可以是来自周围环境的海水。当环状容积打开时，容积6的压力是可调整的。该压力调整可以用于以控制的和安全的方式收回传感器。图5示出了可收回的压力传感器的实施方式，其中提供与压力垫中的第一腔7相关联的第四容积14。该第四腔14适于接纳腔7中的压力传输流体，以便能够调整腔7中的传输流体的压力。第四腔14可以由如图5中所示出的压力调整机构划界。在图5中，该压力调整机构包括与腔相关的膜片，在所述腔中压力是可控制的。这样的压力调整可以被用于以控制的和安全的方式收回传感器。腔可以与环境隔离。在可收回的传感器的内部和外部部分的接触区域处封闭第二和第三膜片的图5的环状容积6可以由例如O形环或者另一个密封装置封闭和密封。在图6中示出另一实施方式，其包括适于从腔7接纳压力传输流体的第四腔14、以及在环状容积6内的用于从周围环境注入水的开口 13。因此，在该实施方式中，在环状容积6和腔7中的压力调整用于以控制的和安全的方式收回传感器。压力垫被成形以便能够抵抗工艺流体3的压力和第三容积6的压力之间的大压差。这防止当压力传感器(即，包含容积4的部分)被移除时压力垫破裂。当压力传感器被放置在管壁中的适当的位置时，压力传感器被提供将两个膜片8a和Sb压在一起的偏置力，使得压力传输可以被实现，且加工压力被测量。该偏置力足够高以防止外表面9a上的表面压力变为零，即使最高加工压力3是可能的。当第三容积6中的压力低于工艺流体的压力时，压力传感器4测量管3中的工艺流体的压力。压力传感器4测量工艺流体压力和第三容积6中的压力中的较高者。这可以用于校准。用于更换(收回)压力传感器的方法 在传动油7的压力低于第三腔6中的压力的情况下，压力传感器可以被拉出。第三腔6和第一腔7中的压力相等或者在第一腔7具有比第三腔6稍低的压力的情况下存在非常小的压差就足够了。该压差可以具有毫巴的数量级。压差的数量级可以被允许在IOmbar(毫巴)范围内，即从I到IOOmbar。在其接触区域处，为了防止第二分离膜片8a破裂，当带有第三分离膜片Sb的外部压力传感器组件被向外拉动时，第二分离膜片8a是扁平的或者被向下压向其膜片底座。图3a和3b是分离膜片8a和Sb的接触区域的放大截面。在图3b中，分离膜片是平行且平面的，并由此在允许外部压力传感器组件被拉出的位置。如果第二分离膜片8a破裂，工艺膜片5将代表对工艺流体的屏障。工艺膜片5和相关的第一邻接表面被成形，使得膜片5可以完全邻接到邻接表面，并因此能够抵抗高达2000巴的非常高的压力而不破裂。在一个实施方式中，提供在工艺膜片5和第一分离膜片8a之间有额外的双重膜片组件的压力传输装置是可能的。这样的设计将提供双重屏障系统。如下面所解释的，压力传感器的更换能够以不同的可选方式来实现。I)第一可选的方法是减小工艺流体3的压力直到其低于第三腔6中的压力。然而，这要求加工压力是可调整的。2)第二可选的方法包括增大第三腔/容积6中的压力直到其高于工艺流体3的压力。在压力传感器和管壁之间仅有很小的空间，使得第三腔6中的压力可通过如图4和5中所示出的压力连接13来增大。当传动油7中的压力低于第三腔6中的压力时，该流体压力将提供分离膜片8a和Sb的分离。当第三腔6中的压力高于工艺流体3中的压力以及由此高于腔7中的压力时,压力传感器以控制的方式被向外拉出一点。同时，在该中间位置上，大的液压力将作用于传感器。在压力传感器被向外拉出一点后，第三容积6中的压力被释放(该压力被降低)，且完整的外部传感器部分可以以后被拉出。内部压力传输部分/压力垫2将保持在管壁中的适当的位置并密封以防工艺流体。新压力传感器的插入通过反转以上的过程来实现。压力传感器以控制的方式几乎完全被导入，第三腔/容积中的压力增大，压力传感器向着压力垫2被推到适当的位置，而第三腔中的压力被减小到低于加工压力的压力。将第三腔6中的压力增大到比工艺流体3高的水平也可以用于在一定压力范围内从加工压力并向上校准压力传感器。3)第三可选的方法包括导入如图5中所示出的与压力垫2中的第一容积7相关联的可变容积14。该可变容积14使得减小第一容积7内的传动油的压力变得可能。在该可选方法中，导入可变容积及由此第一容积7中的可变压力的装置保持第一容积7中的压力，使得传感器可以被操作，并且降低容积7中的压力，使得外部压力传感器组件可以被移除。插入新压力传感器可以通过反转以上的步骤来实现。压力传感器一直以控制的方式被推到压力垫并被紧固。第一容积7中的传动油的压力随后被增大至操作压力。该实施方式可以用于在一定压力范围内从加工压力并向下校准压力传感器。4)以上备选方案的任意组合也是可能的。压力测试和/或校准设备和方法适用于压差传感器和绝对压力传感器。对用于测量绝对压力的传感器示出和解释附图中所示出的和以上描述的示范性实施方式。根据本发明的压力垫和压力传感器结构以及用于收回传感器的方法还适用于压差传感器。对于该情况，仅有的差别是至少两个压力传感器结构被布置为彼此相关联且被连接以测量压差。 校准和测试在测量情况中，图5和图6中所示出的压力传感器结构将感测工艺流体3的加工压力Pp，假定第四容积7中的压力Ps (控制压力)高于加工压力。为了检查压力传感器是完好无损的且仍然测量正确的压力，压力传感器可以被原位测试。该测试被执行，因为控制压力低于或者等于加工压力。当第四容积7中的压力低于工艺流体的压力时，通过传感器感测的测量压力P1相应于第四容积7中的压力Ps。在测试中，已知的压力被用作控制压力Ps，并且因此如果测量的压力相应于施加的控制压力，传感器是完好无损的。传感器的校准可以通过使用控制压力的不同已知值来被执行，因此该控制压力被传感器感测。测量的压力值与施加的压力相比较。该实施方式可以用于在一定压力范围内从加工压力并向下校准压力传感器。在另一实施方式中，图6中所示出的压力传感器结构可以用于在一定压力范围内从加工压力并向上校准和测试压力传感器。这要求可以越过环状容积6施加从而使分离膜片8a和Sb分离的第二控制压力Pr被设定得高于或者等于加工压力Ps。在该配置(图6)中，压力传感器4将测量环状容积6中的压力，并可以因此用于在一定压力范围内从加工压力并向上校准和测试压力传感器。测量的压力值与施加的环空压力Pr相比较。这种设备在石油相关的应用中有利地用于在海底上操作的传感器。这类传感器受到对操作安全性和稳固性的严格要求，并且与传感器更换相关的成本很高。当传感器4感测到压力的时候，通过使ROV向下延伸到装置并且以控制的方式将控制压力Ps减小到已知的压力值，可以容易执行传感器的测试和可能校准。测量的压力与施加的压力相比较。可以被使用的已知压力值的实例可以是在传感器位置处的海洋深度的压力。这种测试可以延长压力传感器的操作寿命。传感器于是只在它实际上不再起作用时才被更换，与在预定的年数后被更换相反。封闭的液压管以及可选地与控制压力Ps相关的膜片的使用产生满足在海底石油应用中严格的零排放要求规范的封闭式压力测试结构。图5中示出了这类结构的实例。
根据以上实施方式的测试和校准可以在大的测试和校准范围内的小间隔上被执行。校准和测试可以在一个或者多个压力范围/间隔上或者在一个或者多个压力范围/间隔内的点处连续地被执行。在海底油气应用中，加工压力以及因此还有控制压力通常大约是几百巴，而设备以及因此还有压力传感器被设计为抵抗高达10 00巴。根据本发明的压力传感器结构能够感测大小为Imbar的微小压力改变。在如所附权利要求所限定的本发明的范围内还设想了各种其它修改和变体。
权利要求
1.一种用于在穿过管壁或者腔壁的开口中安装的可收回的压力传感器，所述压力传感器用于所述管/腔中的工艺流体(3)的压力的原位测量，所述压力传感器包括 -压力传输装置(2)，其包括 -用于密封附接在所述管壁/腔壁中的开口中的设备， -容纳压力传输流体的腔(7)， -用于分离开所述工艺流体(3)和所述压力传输流体的第一分离膜片(5)，以及 -限定容纳所述压力传输流体的所述腔(7)的外边界的第二分离膜片(8a)，并且其中所述压力传感器还包括 -外部传感器部分，其具有压力传感元件(4)， -第二腔(10)，其容纳与所述压力传感元件(4)处于压力连通中的压力传输流体， -第三分离膜片(8b)，其限定所述第二腔的边界，所述第三分离膜片(Sb)被配置为与所述第二分离膜片(8a)压力连通以在所述腔(7)中的压力传输流体和所述第二腔(10)中的压力传输流体之间传输压力，以及 -第三容积(6)，其当所述第二分离膜片和第三分离膜片(8a、8b)处于压力连通中时围绕所述第二分离膜片和第三分离膜片(8a、8b)。
2.如权利要求I所述的压力传感器，其中所述第三容积(6)中的压力是可调整的。
3.如权利要求I或2所述的压力传感器，其中所述第三容积(6)适合于流体的注入。
4.如前述权利要求中的任一项所述的压力传感器，还包括对所述第一分离膜片(5)的第一邻接表面(11)，所述第一邻接表面(11)具有通入所述腔(7 )内的开口。
5.如前述权利要求中的任一项所述的压力传感器，还包括对所述第二分离膜片(8a)的第二邻接表面(12a)，所述第二邻接表面具有通入所述腔(7)内的开口。
6.如权利要求5所述的压力传感器，其中所述第二分离膜片(8a)的外部部分(9)通过紧固件附接到所述第二邻接表面(12a)，使得所述外部部分(9a)邻靠并接触所述第二邻接表面的对应部分。
7.如前述权利要求中的任一项所述的压力传感器，包括对所述第三分离膜片(8a)的第三邻接表面(12b)，所述第三邻接表面具有通入所述第二腔(10)内的开口。
8.如权利要求7所述的压力传感器，其中所述第三分离膜片(Sb)的第二外部部分(9b)通过紧固件附接到所述第三邻接表面(12b)，使得所述第二外部部分(9b)邻靠并接触所述第三邻接表面的对应外部部分(9b)。
9.如前述权利要求中的任一项所述的压力传感器，其中所述压力传感器被提供将所述第二分离膜片和第三分离膜片(8a、8b)压在一起的偏置力，使得压力传输能够发生在所述第二分离膜片(8a)和第三分离膜片(Sb)之间。
10.如前述权利要求中的任一项所述的压力传感器，包括与所述第一腔(7)相关的第四容积(14)，所述第四容积(14)被配置为接纳所述第一腔(7)的所述压力传输流体。
11.如前述权利要求中的任一项所述的压力传感器，其中所述压力传感器被配置为测量压差。
12.如前述权利要求中的任一项所述的压力传感器，其中所述压力传感器被配置为测量绝对压力。
13.一种用于在穿过管壁或者腔壁的开口中安装的可收回的压力传感器，所述压力传感器用于所述管/腔中的工艺流体(3)的压力的原位测量，所述压力传感器包括 -压力传输装置(2)，其包括 -用于密封附接在所述管壁/腔壁中的开口中的设备， -容纳压力传输流体的腔(7)， -用于分离开所述工艺流体(3)和所述压力传输流体的第一分离膜片(5)，以及 -限定容纳所述压力传输流体的腔(7)的外边界的第二分离膜片(8a)， -外部传感器部分，其具有压力传感元件(4)， -第二腔(10)，其容纳与所述压力传感元件(4)处于压力连通中的压力传输流体， -第三分离膜片(8b)，其限定所述第二腔的边界，所述第三分离膜片(Sb)被配置为与所述第二分离膜片(8a)压力连通以在所述腔(7)中的压力传输流体和所述第二腔(10)中的压力传输流体之间传输压力，以及 -与所述第一腔(7)相关的额外容积(14)，所述额外容积(14)被配置为接纳所述第一腔(7)的所述压力传输流体。
14.如权利要求13所述的压力传感器，还包括对所述第一分离膜片(5)的第一邻接表面(11)，所述第一邻接表面(11)具有通入所述腔(7 )内的开口。
15.如权利要求13或14所述的压力传感器，还包括对所述第二分离膜片(8a)的第二邻接表面(12a)，所述第二邻接表面具有通入所述腔(7)内的开口。
16.如权利要求15所述的压力传感器，其中所述第二分离膜片(8a)的外部部分(9)通过紧固件附接到所述第二邻接表面(12a)，使得所述外部部分(9a)邻靠并接触所述第二邻接表面的对应部分。
17.如权利要求13到17中的任一项所述的压力传感器，包括对所述第三分离膜片(Sa)的第三邻接表面(12b)，所述第三邻接表面具有通入所述第二腔(10)内的开口。
18.如权利要求17所述的压力传感器，其中所述第三分离膜片(Sb)的第二外部部分(9b)通过紧固件附接到所述第三邻接表面(12b)，使得所述第二外部部分(9b)邻靠并接触所述第三邻接表面的对应外部部分(9b )。
19.如权利要求13到18中的任一项所述的压力传感器，其中所述压力传感器被提供将所述第二分离膜片和第三分离膜片(8a、8b)压在一起的偏置力，使得压力传输能够发生在所述第二分离膜片(8a)和第三分离膜片(8b)之间。
20.如权利要求13到19中的任一项所述的压力传感器，其中所述压力传感器被配置为测量压差。
21.如权利要求13到19中的任一项所述的压力传感器，其中所述压力传感器被配置为测量绝对压力。
22.一种用于收回权利要求I中所述的可收回的压力传感器的方法，所述方法包括 -增大所述第三容积(6)中的压力直到其高于所述工艺流体(3)的压力， -以控制的方式向外拉动所述外部压力传感器部分直到所述第二分离膜片和第三分离膜片(8a、8b)不再处于压力连通中， -将所述第三容积(6)中的压力减小到等于或者低于所述加工压力的压力，以及 -拉出所述外部压力传感器部分。
23.一种用于收回权利要求I中所述的可收回的压力传感器的方法，其中所述可收回的压力传感器还包括与所述第一腔(7)相关的第四容积(14)，所述方法包括 -减小所述第一腔(7)中的压力直到所述第二分离膜片和第三分离膜片(8a、8b)不再处于压力连通中，且所述压力通过在所述第四容积(14)中接纳来自所述第一腔(7)的流体来减小，以及 -拉出所述外部压力传感器部分。
24.一种用于收回权利要求13中所述的可收回的压力传感器的方法，所述方法包括-减小所述第一腔(7)中的压力直到所述第二分离膜片和第三分离膜片(8a、8b)不再处于压力连通中，且所述压力通过在所述额外容积(14)中接纳来自所述第一腔(7)的流体来减小，以及 -拉出所述外部压力传感器部分。
全文摘要
本发明涉及用于管/腔中的工艺流体的压力的原位测量的可收回的压力传感器，以及用于收回压力传感器的方法。压力传感器包括压力传输装置(2)，其包括用于密封附接在管壁/腔壁中的开口的设备、包括压力传输流体的腔(7)、用于分离开工艺流体(3)和压力传输流体的第一分离膜片(5)、和限定容纳压力传输流体的腔(7)的外边界的第二分离膜片(8a)。压力传感器还包括外部传感器部分，其具有压力传感元件(4)、容纳与压力传感元件(4)处于压力连通中的压力传输流体的第二腔(10)、限定第二腔的边界的第三分离膜片(8b)，第三分离膜片(8b)配置为与第二分离膜片(8a)压力连通以在腔(7)中的压力传输流体和第二腔(10)中的压力传输流体之间传输压力。
文档编号G01L9/00GK102822652SQ201180013355
公开日2012年12月12日 申请日期2011年3月16日 优先权日2010年3月16日
发明者比约恩·埃里克·西贝尔格, 帕尔·马丁·巴格莱 申请人:普雷森斯公司