专利名称：使用测试机数字通道作为芯片电源的系统及方法
技术领域：
本发明涉及集成电路芯片测试技术领域，特别涉及一种使用测试机数字通道作为芯片电源的系统及方法。
背景技术：
集成电路芯片(integrated circuit chip, IC芯片)的电性测试在半导体制作工艺(semiconductor process)的各阶段中都是相当重要的。每一个IC芯片都必须接受测 试以确保其电性功能(electrical function)。在集成电路芯片的测试过程中，使用的测试设备主要包括测试机(AutomaticTest Equipment, ATE)、探针台(prober)及handler。其中，测试机是用于晶圆和其他成品测试的一种专用设备，可以实现各种电性参数的测量，以检测集成电路芯片的电性功能。探针台是集成电路制造过程中用于晶圆测试的一种设备，主要完成晶圆的固定步距移动。handler也是集成电路制造过程中用于晶圆测试的一种设备，主要用于成品的测试。具体的，Handler用于测试成品，prober用于测试晶圆。通常的，所述测试机包括电源输出端口及多个数字端口等功能端口。当进行集成电路芯片测试时，所述电源输出端口与测试芯片的电源管脚相连，用以向所述测试芯片提供电源。通常的，所述电源输出端口的输出信号都能够满足集成电路芯片测试的要求。但是，电源输出端口的输出信号具有较长的时延，通常该时延是一个毫秒级别的量，当对于集成电路芯片测试的要求比较严时，特别的，当面对测试芯片要求电源的上电在微秒级别并测试其功能或参数时，该电源输出端口的输出信号将不能满足集成电路芯片测试的要求。因此，本领域技术人员一直在试图解决这一难题，S卩如何提供一延迟时间在微秒级别的输出电源。
发明内容
本发明的目的在于提供一种使用测试机数字通道作为芯片电源的系统及方法，以解决现有的测试芯片电源供给过程中，电源输出信号的延时较长的问题。为解决上述技术问题，本发明提供一种使用测试机数字通道作为芯片电源的系统，所述使用测试机数字通道作为芯片电源的系统包括测试机及电流转换器，其中，所述测试机包括数字端口，所述数字端口与所述电流转换器连接。可选的，在所述的使用测试机数字通道作为芯片电源的系统中，所述测试机包括多个数字端口，所述电流转换器的数量为多个，其中，每个数字端口与一个或者多个电流转换器连接。可选的，在所述的使用测试机数字通道作为芯片电源的系统中，所述数字端口输出数字信号，所述数字信号为电压信号。可选的，在所述的使用测试机数字通道作为芯片电源的系统中，所述电流转换器将系统中的电流信号放大，并输出放大后的电流信号。
可选的，在所述的使用测试机数字通道作为芯片电源的系统中，所述电流转换器输出的放大后的电流信号的电流强度大于测试芯片要求的电流强度。本发明还提供一种上述使 用测试机数字通道作为芯片电源的系统实现的使用测试机数字通道作为芯片电源的方法，所述使用测试机数字通道作为芯片电源的方法包括所述数字端口向所述电流转换器输出数字信号，所述数字信号为电压信号；所述电流转换器对系统中的电流信号进行转换，并输出转换后的电流信号。可选的，在所述的使用测试机数字通道作为芯片电源的方法中，所述电流转换器对系统中的电流信号进行放大，并输出放大后的电流信号。可选的，在所述的使用测试机数字通道作为芯片电源的方法中，所述电流转换器输出的放大后的电流信号的电流强度大于测试芯片要求的电流强度。在本发明提供的使用测试机数字通道作为芯片电源的系统及方法中，通过数字端口及电流转换器的共同作用向测试芯片提供电源，由此可得到基本毫无延迟，或者说延迟控制在微秒级别的电源输出信号，从而在集成电路芯片测试过程中，对于电源的供给满足了要求。
图I是本发明实施例的使用测试机数字通道作为芯片电源的系统的框结构示意图；图2是本发明实施例的使用测试机数字通道作为芯片电源的方法的流程示意图。
具体实施例方式以下结合附图和具体实施例对本发明提出的使用测试机数字通道作为芯片电源的系统及方法作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。请参考图1，其为本发明实施例的使用测试机数字通道作为芯片电源的系统的框结构示意图。如图I所示，所述使用测试机数字通道作为芯片电源的系统包括测试机I及电流转换器2，其中，所述测试机I包括数字端口 10，所述数字端口 10与所述电流转换器2连接。在本实施例中，所述数字端口 10的数量为5个，分别为第一数字端口 10a、第二数字端口 10b、第三数字端口 10c、第四数字端口 IOd及第五数字端口 IOe(在此，需说明的是，第一数字端口 10a、第二数字端口 10b、第三数字端口 10c、第四数字端口 IOd及第五数字端口 IOe为相同的数字端口，在此仅为了方便区分而给予不同的命名)。在此，每个数字端口10与一个电流转换器2连接，其中，第一数字端口 IOa与第一电流转换器2a连接、第二数字端口 IOb与第二电流转换器2b连接、第三数字端口 IOc与第三电流转换器2c连接、第四数字端口 IOd与第四电流转换器2d连接、第五数字端口 IOe与第五电流转换器2e连接(在此，需说明的是，第一电流转换器2a、第二电流转换器2b、第三电流转换器2c、第四电流转换器2d及第五电流转换器2e为相同的电流转换器，在此仅为了方便区分而给予不同的命名)。当然，在本发明的其他实施例中，每个数字端口 10也可以与多个电流转换器连接，例如每个数字端口 10与两个电流转换器连接，又例如每个数字端口 10与三个电流转换器连接,对此,本申请并不做限定。由此，在本实施例提供的使用测试机数字通道作为芯片电源的系统中，能够产生5个电源输出信号，从而可以满足5个待测芯片3的电源供给。在本实施例中，第一电流转换器2a与第一待测芯片3a连接、第二电流转换器2b与第二待测芯片3b连接、第三电流转换器2c与第三待测芯片3c连接、第四电流转换器2d与第四待测芯片3d连接、第五电流转换器2e与第五待测芯片3e连接，由此，5个待测芯片3均能够得到数字端口 10输出的、经过电流转换器2转换后的电源信号。对于测试机I而言，由于数字端口 10输出的是数字信号，因此，其能够毫无延迟(或者说延迟控制在微秒级别)的直接输出信号，所输出的信号再经过电流转换器2 (其中，所述电流转换器2可以选择通用的一些电流转换器，例如buffer等，由于电流转换器2对 于电流的转换速度极快，其基本不占用工作时间，因此输出的电源信号仍旧能够满足延迟控制的要求)的转换，便能够满足待测芯片对于电源的要求。其中，采用所述使用测试机数字通道作为芯片电源的系统实现的使用测试机数字通道作为芯片电源的方法具体请参考图2，其为本发明实施例的使用测试机数字通道作为芯片电源的方法的流程示意图。如图2所示，所述使用测试机数字通道作为芯片电源的方法包括S40 :所述数字端口 10 (相应参考图I)向所述电流转换器2 (相应参考图I)输出数字信号，所述数字信号为电压信号；S41 :所述电流转换器2 (相应参考图I)对系统中的电流信号进行转换，并输出转换后的电流信号。具体的，所述电流转换器2将系统中的电流信号(也即数字端口 10输出的电压信号对应的电流信号)放大，经过放大之后，再输出至待测芯片3。优选的，所述电流转换器2输出的放大后的电流信号的电流强度大于测试芯片3要求的电流强度，即所述电流转换器2输出的电流信号强度大于测试芯片3所需的电流信号的强度，由此，便能够极大的满足测试芯片3进行测试时对于电源中电流信号强度的要求，以防止因为系统中的电流被钳制住，导致驱动能力受限的问题。由于数字端口 10输出的数字信号(即电压信号)与测试机I上的电源输出端口(图I中未不出)所输出的电源信号中的电压信号强度相同，因此,对于数字端口 10输出的电压信号可不予转换，即所述数字端口 10输出的电压信号经过电流转换器2之后，直接传输给待测芯片3，也就是说，所述电流转换器2不对所述电压信号进行处理。综上，在本实施例提供的使用测试机数字通道作为芯片电源的系统及方法中，通过数字端口及电流转换器的共同作用向测试芯片提供电源，由此可得到基本毫无延迟，或者说延迟控制在微秒级别的电源输出信号，从而在集成电路芯片测试过程中，对于电源的供给满足了要求。此外，由于通常所述测试机上的数字端口的数量较多，因此，通过利用所述测试机上的数字端口提供电源信号，能够满足多片待测芯片对于电源的需求，从而提高测试效率，降低测试成本。上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内 容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。
权利要求
1.一种使用测试机数字通道作为芯片电源的系统，其特征在于，包括测试机及电流转换器，其中，所述测试机包括数字端口，所述数字端口与所述电流转换器连接。
2.如权利要求I所述的使用测试机数字通道作为芯片电源的系统，其特征在于，所述测试机包括多个数字端口，所述电流转换器的数量为多个，其中，每个数字端口与一个或者多个电流转换器连接。
3.如权利要求I所述的使用测试机数字通道作为芯片电源的系统，其特征在于，所述数字端口输出数字信号，所述数字信号为电压信号。
4.如权利要求3所述的使用测试机数字通道作为芯片电源的系统，其特征在于，所述电流转换器将系统中的电流信号放大，并输出放大后的电流信号。
5.如权利要求4所述的使用测试机数字通道作为芯片电源的系统，其特征在于，所述电流转换器输出的放大后的电流信号的电流强度大于测试芯片要求的电流强度。
6.一种使用如权利要求I所述的使用测试机数字通道作为芯片电源的系统实现的使用测试机数字通道作为芯片电源的方法，其特征在于，包括 所述数字端口向所述电流转换器输出数字信号，所述数字信号为电压信号； 所述电流转换器对系统中的电流信号进行转换，并输出转换后的电流信号。
7.如权利要求6所述的使用测试机数字通道作为芯片电源的方法，其特征在于，所述电流转换器对系统中的电流信号进行放大，并输出放大后的电流信号。
8.如权利要求7所述的使用测试机数字通道作为芯片电源的方法，其特征在于，所述电流转换器输出的放大后的电流信号的电流强度大于测试芯片要求的电流强度。
全文摘要
本发明提供了一种使用测试机数字通道作为芯片电源的系统及方法，其中，所述使用测试机数字通道作为芯片电源的系统包括测试机及电流转换器，其中，所述测试机包括数字端口，所述数字端口与所述电流转换器连接。在此，通过数字端口及电流转换器的共同作用向测试芯片提供电源，由此可得到基本毫无延迟，或者说延迟控制在微秒级别的电源输出信号，从而在集成电路芯片测试过程中，对于电源的供给满足了要求。
文档编号G01R31/28GK102967821SQ20121054678
公开日2013年3月13日 申请日期2012年12月14日 优先权日2012年12月14日
发明者刘杰, 牛勇, 徐惠, 张志勇, 施瑾, 汤雪飞, 叶建明 申请人:上海华岭集成电路技术股份有限公司