一种液压传感器的芯片封装结构的制作方法

文档序号:5995190阅读:440来源:国知局
专利名称:一种液压传感器的芯片封装结构的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种液压传感器的芯片封装结构。
背景技术
目前,液压传感器的芯片封装时,基本采用芯片绑定后,芯片表面灌凝胶后直接使用,但是存在易腐蚀、易污染等问题,而且芯片的长期可靠性无法保证。

实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是,针对现有技术的不足,提供一种不易被腐蚀的液压传感器的芯片封装结构。为解决上述技术问题,本实用新型的技术方案是一种液压传感器的芯片封装结构,包括基板、金属插针、约束圈、凝胶、波纹片、芯片,所述的约束圈设置在基板上,所述的芯片设置在所述基板上并置于约束圈内,所述的约束圈内填充有覆盖于芯片表面的凝胶,所述的波纹片连接在约束圈的端口,所述的芯片的金属插针穿过基板设置。所述的芯片与其金属插针通过金属线连接。所述的基板为不锈钢板。所述的金属插针是通过玻璃烧结固定在不锈钢板上。所述的芯片通过黏贴胶黏结在不锈钢板上。本实用新型采用上述结构,具有以下优点1、采用上述技术方案,可以实现芯片的平绑,提高产品的性能,传感器可以单独在工装上进行调试,调试合格后进行装配,提高产品的合格率,同时也降低了成本,调试完成的产品可以装入不同型号的壳体内,实现了产品的通用性,采用点焊技术,解决了接触不良等现象;2、另外,这种封装可以接触任何介质,抗腐蚀性强。
以下结合附图
具体实施方式
对本实用新型作进一步详细的说明;图I为本实用新型的结构示意图;在图I中,I、基板;2、金属插针;3、约束圈;4、凝I父;5、波纹片;6、金属线;7、芯片。
具体实施方式
如图I所示一种液压传感器的芯片封装结构,包括基板I、金属插针2、约束圈3、凝胶4、波纹片5、芯片7,约束圈3设置在基板I上,所述的约束圈是通过黏贴胶黏结在不锈钢板I的沟槽内,芯片7设置在基板I上并置于约束圈3内,约束圈3内填充有覆盖于芯片7表面的凝胶4,波纹片5连接在约束圈3的端口,芯片7的金属插针2穿过基板I设置。芯片7与其金属插针2通过金属线6连接。基板I为不锈钢板。金属插针2是通过玻璃烧结固定在不锈钢板上。芯片7通过黏贴胶黏结在不锈钢板上。[0014]采用上述技术方案,芯片7通过黏贴胶黏结在不锈钢板I上面,牢固耐用,实现了芯片的平绑,提高了产品的性能,采用点焊技术,解决了接触不良等现象,同时产品可以单独在工装上进行调试,调试合格后才进行装配,这样也提高了产品的合格率,也降低了成本。采用上述技术方案,MP0523是一款用标准CMOS工艺实现的有微机械选项的集成的相对压力传感器(两个压力端口)。它由可与数字核相配合的模拟信号链路和片上温度传感器组成,可以在校正后得到一致的整体传感性能并且能消除温度参数的漂移。传感器的输出与所施加的压力成正比,其斜率和偏移量可以调节。芯片输出与供电电压成正比,在全摆幅输出情况下提供ImA拉电流和灌电流。MP0523这种型号的芯片的特点和优点是集成相对压力传感器,整体误差小于1%,可通过连接器(三引脚)编程,失调和灵敏度可调整等。本发明所采用的技术方案,与现有技术相比,有着明显的区别,具备了突出的实质性的特点,并在技术上取得了显著进步,值得在工业上推广和应用,所以,本发明具有新颖性、创造性和实用性。上面结合附图对本实用新型进行了示例性描述,显然本实用新型具体实现并不受上述方式的限制,只要采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的各种改进,或未经改进直接应用于其它场合的,均在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种液压传感器的芯片封装结构,其特征在于包括基板(1)、金属插针(2)、约束圈(3)、凝胶(4)、波纹片(5)、芯片(7),所述的约束圈(3)设置在基板(1)上,所述的芯片(7)设置在所述基板(1)上并置于约束圈(3)内,所述的约束圈(3)内填充有覆盖于芯片(7)表面的凝胶(4),所述的波纹片(5)连接在约束圈(3)的端口,所述的芯片(7)的金属插针(2)穿过基板(1)设置。
2.根据权利要求1所述的一种液压传感器的芯片封装结构,其特征在于所述的芯片(7)与其金属插针(2)通过金属线(6)连接。
3.根据权利要求1所述的一种液压传感器的芯片封装结构,其特征在于所述的基板(I)为不锈钢板。
4.根据权利要求1或或3所述的一种液压传感器的芯片封装结构,其特征在于所述的金属插针(2)是通过玻璃烧结固定在不锈钢板上。
5.根据权利要求1或3所述的一种液压传感器的芯片封装结构,其特征在于所述的芯片(7)通过黏贴胶黏结在不锈钢板上。
专利摘要本实用新型公开了一种液压传感器的芯片封装结构,包括基板、金属插针、约束圈、凝胶、波纹片、芯片,所述的约束圈设置在基板上,所述的芯片设置在所述基板上并置于约束圈内,所述的约束圈内填充有覆盖于芯片表面的凝胶,所述的波纹片连接在约束圈的端口,所述的芯片的金属插针穿过基板设置。采用上述结构,本实用新型具有以下优点1、采用上述技术方案,可以实现芯片的平绑,提高产品的性能,传感器可以单独在工装上进行调试,调试合格后进行装配,提高产品的合格率,同时也降低了成本,调试完成的产品可以装入不同型号的壳体内,实现了产品的通用性,采用点焊技术,解决了接触不良等现象;2、另外,这种封装可以接触任何介质,抗腐蚀性强。
文档编号G01L9/00GK202814602SQ20122049009
公开日2013年3月20日 申请日期2012年9月20日 优先权日2012年9月20日
发明者朱宗恒, 孙广 申请人:芜湖通和汽车管路系统有限公司
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