专利名称：激光焦斑光强分布测试装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于光学检测领域，涉及一种激光焦斑光强分布测试装置，尤其涉及一种强激光焦斑光强分布测试装置。
背景技术：
神光III主机装置中，主光路中激光束在到达靶点前，要经过逐级放大、传输、整形与取样，最后才能到达靶点。在传输光路的某处，要监视此处激光光束的质量，通常可通过对取样激光光路中激光焦斑光强分布的测量，进而分析传输激光的特性，因此，激光焦斑光强分布的测量十分重要。传统的测试方法将CXD或感光纸放置在待测激光焦斑处，由CXD或感光纸感光成像，进而获取激光焦斑的光强分布。CCD虽可定量测试激光焦斑的光强分布,但对于强激光，采用CCD直接测量可能将CCD“致盲”，测试风险较大。同时，一般CCD前端的刻窗为平行玻璃，容易产生干涉，影响测量结果；采用感光纸测试风险小，但其测出焦斑光强分布图需经过专业的设备转化，才能得到量化的光强分布，中间转化误差较大，且耗时耗力，实用性差。
实用新型内容为了解决背景技术中存在的上述问题，本实用新型提出了一种集成度高、结构紧凑以及自动化程度高的激光焦斑光强分布测试装置。本实用新型的技术解决方案是本实用新型提供了一种激光焦斑光强分布测试装置，其特殊之处在于所述激光焦斑光强分布测试装置包括中继镜、衰减契板、调整架以及设置在调整架上的CCD ;待测激光焦斑以及所述中继镜、衰减契板以及CCD处于依次处于同一光轴上。上述激光焦斑光强分布测试装置还包括设置在待测激光焦斑以及中继镜之间的物镜。上述激光焦斑光强分布测试装置还包括与CXD相连的控制计算机。上述CXD是无刻窗CXD。上述衰减契板是可消除激光干涉的衰减契板。本实用新型的优点是本实用新型提供了一种激光焦斑光强分布测试装置，该装置根据待测激光焦斑的尺寸可选择不同放大倍率的物镜，根据待测激光焦斑的能量可选择不同衰减倍率的衰减契板，器件更换应在百级洁净环境下进行，防止落入灰尘。通过调整架，调整激光焦斑测量系统的姿态及位置，使其与激光束的中心轴线一致，同时使待测激光焦斑在CCD上成清晰像。将采集下的CCD图像经过专用的焦斑处理软件，可对其三维光强分布、焦斑尺寸、桶中功率、能量分布曲线等进行分析。本实用新型所提供的测试装置由无刻窗玻璃的CCD与光学镜头组成，系统可快速对强激光焦斑光强分布进行定量测量。本实用新型所提供的系统集成度高，结构紧凑，自动化程度高，适合激光焦斑光强分布的在线、离线定量测试。
图1是本实用新型所提供装置的结构示意图；其中1-待测激光焦斑；2_物镜；3-中继镜；4_衰减契板；5_无刻窗CXD ;6_调整架；7-计算机。
具体实施方式
参见图1，本实用新型提供了 一种激光焦斑光强分布测试装置，该激光焦斑光强分布测试装置包括中继镜3、衰减契板4、调整架6以及设置在调整架6上的CCD ;待测激光焦斑I以及中继镜3、衰减契板4以及CCD处于依次处于同一光轴上。激光焦斑光强分布测试装置还包括设置在待测激光焦斑I以及中继镜3之间的物镜2。激光焦斑光强分布测试装置还包括与CXD相连的控制计算机7。CCD是无刻窗CCD5 ;衰减契板4是可消除激光干涉的衰减契板4。本实用新型的具体工作过程是I)对上述激光焦斑光强分布测试装置在测试激光工作谱段下对其放大率进行标定;2)根据待测激光焦斑I的尺寸选择物镜2 ；以及根据待测激光焦斑I的能量选择衰减契板4 ;物镜2以及衰减契板4的更换是在百级洁净环境下进行，防止落入灰尘；3)通过调整架6，调整激光焦斑测量系统的姿态及位置，使激光焦斑测量系统与激光束的中心轴线一致，同时使待测激光焦斑I在CCD上成清晰像；4)将采集得到的CXD图像经过装有焦斑处理软件的计算机7分析；该分析包括激光焦斑的三维光强分布、焦斑尺寸、桶中功率以及能量分布曲线等。测试系统集成度高，结构紧凑，自动化程度高，适合激光焦斑光强分布的离线、在线定量测试。测试系统是由无刻窗玻璃的CCD与光学镜头组成的测量装置，可快速对强激光焦斑光强分布进行定量测量。
权利要求1.一种 激光焦斑光强分布测试装置，其特征在于:所述激光焦斑光强分布测试装置包括中继镜、衰减契板、调整架以及设置在调整架上的CCD ;待测激光焦斑以及所述中继镜、衰减契板以及CCD处于依次处于同一光轴上。
2.根据权利要求1所述的激光焦斑光强分布测试装置，其特征在于:所述激光焦斑光强分布测试装置还包括设置在待测激光焦斑以及中继镜之间的物镜。
3.根据权利要求1或2所述的激光焦斑光强分布测试装置，其特征在于:所述激光焦斑光强分布测试装置还包括与CCD相连的计算机。
4.根据权利要求3所述的激光焦斑光强分布测试装置，其特征在于:所述CCD是无刻窗 CCD。
5.根据权利要求4所述的激光焦斑光强分布测试装置，其特征在于:所述衰减契板是可消除激光干涉的衰减契板。
6.根据权利要求5所述的激光焦斑光强分布测试装置，其特征在于:所述计算机是装有焦斑处理软件的计算机。
专利摘要本实用新型涉及一种激光焦斑光强分布测试装置，该激光焦斑光强分布测试装置包括中继镜、衰减契板、调整架以及设置在调整架上的CCD；待测激光焦斑以及所述中继镜、衰减契板以及CCD处于依次处于同一光轴上。本实用新型提出了一种集成度高、结构紧凑以及自动化程度高的激光焦斑光强分布测试装置。
文档编号G01J1/00GK202916007SQ20122059515
公开日2013年5月1日 申请日期2012年11月12日 优先权日2012年11月12日
发明者陈永权, 段亚轩, 赵建科, 李坤, 胡丹丹 申请人:中国科学院西安光学精密机械研究所