专利名称：一种测量平面型薄膜热电器件开路电压的系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及平面型薄膜热电器件，具体地，涉及一种测量平面型薄膜热电器件开路电压的系统。
背景技术：
热电器件可以实现热能与电能的直接转换。薄膜热电器件一般可分为平面型(in-plane)和垂直型(cross-plane)两种结构。当热电器件的两端存在温差时将会由于塞贝克效应产生一个电压，在没有外接负载条件下被测量到的这个电压叫做开路电压。随着利用薄膜技术制造热电器件成为可能，薄膜热电器件也来越受到关注，这是由于成熟的薄膜制备技术有很多种，并且薄膜的制备和薄膜热电器件的制作可以与已有的半导体加工技术兼容，有利于开发微型热电器件，从而可以在生物医学、电子、光电子、航天、国防等许多重要领域得以更广泛地应用。对于平面型薄膜热电器件开路电压的测量而言，目前并无可行的商用技术方案。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种测量平面型薄膜热电器件开路电压的系统，该装置可以在预设的温度下测量平面型薄膜热电器件开路电压。本实用新型提供了一种测量平面型薄膜热电器件开路电压的系统，该系统包括样品测试架，电压测量装置以及温度控制装置；所述平面型薄膜热电器件固定于所述样品测试架上；所述电压测量装置与所述平面型薄膜热电器件连接，用于测量所述平面型薄膜热电器件的开路电压；所述温度控制装置与所述平面型薄膜热电器件连接，用于控制所述平面型薄膜热电器件的热端处于第一预设温度和所述平面型薄膜热电器件的冷端处于第二预设温度。优选地，所述样品测试架包括样品台支撑架、热端样品台和冷端样品台；所述热端样品台和所述冷端样品台分别位于所述样品台支撑架的顶部；所述热端样品台和所述冷端样品台之间具有间隙；所述平面型薄膜热电器件的热端固定在所述热端样品台上，所述平面型薄膜热电器件的冷端固定在所述冷端样品台上。优选地，所述热端样品台和所述冷端样品台在水平方向上具有间隙。优选地，所述样品支撑架包括基板、第一支撑杆、第二支撑杆、第一支撑杆基座、第二支撑杆基座、第一样品台支撑板以及第二样品台支撑板；所述第一支撑杆基座位于所述基板上，所述第一支撑杆位于所述第一支撑杆基座上，所述第一样品台支撑板位于所述第一支撑杆的顶部；所述第二支撑杆基座位于所述基板上，所述第二支撑杆位于所述第二支撑杆基座上，所述第二样品台支撑板位于所述第二支撑杆的顶部。优选地，所述热端样品台包括第一铜板、第一陶瓷加热片、第一加热片固定板以及第一样品固定片；所述第一铜板位于所述第一样品台支撑板上；所述第一陶瓷加热片位于所述第一铜板与所述第一加热片固定板之间；所述第一样品固定片位于所述第一铜板的内侧区域上。优选地，所述热端样品台包括第一铜板、第一水冷头、第一陶瓷加热片、第一加热片固定板以及第一样品固定片；所述第一铜板位于所述第一水冷头上，所述第一水冷头位于所述第一样品台支撑板上；所述第一陶瓷加热片位于所述第一铜板与所述第一加热片固定板之间；所述第一样品固定片位于所述第一铜板的内侧区域上；所述冷端样品台包括第二铜板、第二水冷头、第二陶瓷加热片、第二加热片固定板以及第二样品固定片；所述第二铜板位于所述第二水冷头上，所述第二水冷头位于所述第二样品台支撑板上；所述第二陶瓷加热片位于所述第二铜板与所述第二加热片固定板之间；所述第二样品固定片位于所述第二铜板的内侧区域上。优选地，所述第一样品固定片固定所述平面型薄膜热电器件的热端，所述第二样品固定片固定所述平面型薄膜热电器件的冷端。优选地，所述第一水冷头与第一水循环泵和第一散热器连接，所述第二水冷头与第二水循环泵和第二散热器连接。优选地，该系统还包括第一不锈钢连接片和/或第二不锈钢连接片；所述第一不锈钢连接片的一端固定在热端样品台上，所述第一不锈钢连接片的另一端固定在所述第一样品台支撑板上；所述第二不锈钢连接片的一端固定在冷端样品台上，所述第二不锈钢连接片的另一端固定在所述第二样品台支撑板上。优选地，所述第一样品台支撑板的中部具有通孔和/或第二样品台支撑板的中部具有通孔。优选地，该系统还包括用于测量所述平面型薄膜热电器件的热端温度的第一热电偶和用于测量所述平面型薄膜热电器件的冷端温度的第二热电偶。优选地，所述温度控制装置为第一温控仪以及第二温控仪，所述第一温控仪与所述第一热电偶和所述第一陶瓷加热片构成反馈回路，所述第二温控仪与所述第二热电偶和所述第二陶瓷加热片构成反馈回路。优选地，所述温度控制装置为计算机；该系统还包括第一程控电源和第二程控电源；所述计算机与所述第一热电偶、所述第一陶瓷加热片以及第一程控电源构成反馈回路；所述计算机还与所述第二热电偶、所述第二陶瓷加热片以及第二程控电源构成反馈回路；所述第一程控电源与第一陶瓷加热片连接，所述第二程控电源与第二陶瓷加热片连接。通过上述技术方案，本实用新型能够测量平面型薄膜热电器件的开路电压，尤其是可以在大气条件下测量平面型薄膜热电器件的开路电压随平面型薄膜热电器件两端温差的变化。本实用新型提供的测量平面型薄膜热电器件开路电压的系统操作简便，自动化程度高，测试成本低。本实用新型的其他特征和优点将在随后的具体实施方式
部分予以详细说明。
附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式
一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中:图1a是本实用新型提供的样品台支撑架的侧视图；图1b是本实用新型提供的样品台支撑架的俯视图；[0023]图2a是本实用新型提供的样品测试架的侧视图；图2b是本实用新型提供的样品测试架的俯视图；图3是本实用新型提供的平面型薄膜热电器件示意图；图4是平面型薄膜热电器件开路电压测量示意图；图5是另一平面型薄膜热电器件开路电压测量示意图；图6是平面型薄膜热电器件的开路电压与其两端温差关系的示意图。附图标记说明1样品台支撑架2基板3 第一支撑杆3’第二支撑杆4 第一支撑杆基座4’第二支撑杆基座5 第一样品台支撑板5’第二样品台支撑板6 通孔7紧固孔8 样品测试架9热端样品台10 冷端样品台11第一铜板11’第二铜板12水冷头13 进水口14出水口15 第一陶瓷加热片15’第二陶瓷加热片16 第一加热片固定板16’第二加热片固定板17 第一样品固定片17’第二样品固定片18 第一不锈钢连接片18’第二不锈钢连接片19 平面型薄膜热电器件20第一热电偶20’第二热电偶21第一导线22 n型热电臂23P型热电臂24 电极25水循环泵26 散热器27计算机28 第一温控仪29第二温控仪30 第一电压表31热电偶参考端32 钼电阻33温度显示仪34 第一程控电源35第二程控电源36 第二电压表37第三电压表38 第二导线
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式
仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。为了便于测量平面型薄膜热电器件的开路电压，尤其是可以在大气条件下测量平面型薄膜热电器件的开路电压，本实用新型提供了一种测量平面型薄膜热电器件开路电压的系统，该系统包括样品测试架8，电压测量装置(例如第一电压表30)以及温度控制装置(例如第一温控仪28、第二温控仪29);所述平面型薄膜热电器件19固定于所述样品测试架8上；所述电压测量装置与所述平面型薄膜热电器件19连接，用于测量所述平面型薄膜热电器件19的开路电压；所述温度控制装置与所述平面型薄膜热电器件19连接，用于控制所述平面型薄膜热电器件19的热端处于第一预设温度和所述平面型薄膜热电器件19的冷端处于第二预设温度。样品测试架8包括样品台支撑架1、热端样品台9和冷端样品台10，所述热端样品台9和所述冷端样品台10分别位于所述样品台支撑架的顶部；所述热端样品台9和所述冷端样品台10之间具有间隙。样品台支撑架I包括基板2，第一支撑杆3，第二支撑杆3’，第一支撑杆基座4，第二支撑杆基座4’，第一样品台支撑板5，以及第二样品台支撑板5’。这些部件可以由不锈钢制成，并通过螺丝安装在一起，并可以方便地安装和拆卸。如图1a和图1b所示，所述第一支撑杆基座4位于所述基板2上，所述第一支撑杆3位于所述第一支撑杆基座4上，所述第一样品台支撑板5位于所述第一支撑杆3的顶部；所述第二支撑杆基座4’位于所述基板2上，所述第二支撑杆3’位于所述第二支撑杆基座4’上，所述第二样品台支撑板5’位于所述第二支撑杆3’的顶部。图2示出了样品测试架8的示意图。热端样品台9可以包括第一铜板11，水冷头12 (供热端样品台使用的水冷头可以称为第一水冷头，而供冷端样品台使用的水冷头可以称为第二水冷头)，第一陶瓷加热片15，第一加热片固定板16，和第一样品固定片17。所述第一铜板11位于所述第一水冷头上，所述第一水冷头位于所述第一样品台支撑板5上；所述第一陶瓷加热片15位于所述第一铜板11与所述第一加热片固定板16之间；所述第一样品固定片17位于所述第一铜板11的内侧区域上。其中，热端样品台9可以省去水冷头12。冷端样品台10可以包括第二铜板11’，水冷头12 (供冷端样品台使用的水冷头可以称为第二水冷头，而供热端样品台使用的水冷头可以称为第一水冷头)，第二陶瓷加热片15 ’，第二加热片固定板16’，和第二样品固定片17’。所述第二铜板11’位于所述第二水冷头上，所述第二水冷头位于所述第二样品台支撑板5’上；所述第二陶瓷加热片15’位于所述第二铜板11’与所述第二加热片固定板16’之间；所述第二样品固定片17’位于所述第二铜板11’的内侧区域上。第一不锈钢连接片18的一端通过螺丝与热端样品台9相连，第一不锈钢连接片18的另外一端利用紧固孔7被固定在第一样品台支撑板5上。第二不锈钢连接片18’的一端通过螺丝与冷端样品台10相连，第二不锈钢连接片18’的另外一端利用紧固孔7被固定在第二样品台支撑板5’上。平面型薄膜热电器件19置于热端样品台9和冷端样品台10之间，通过调节第一不锈钢连接片18在第一样品台支撑板5上的固定位置和/或第二不锈钢连接片18’在第二样品台支撑板5’上的固定位置，可以改变冷端样品台10和热端样品台9之间的相对距离，从而适应不同长度尺寸的待测器件。所述第一样品固定片固定所述平面型薄膜热电器件的热端，所述第二样品固定片固定所述平面型薄膜热电器件的冷端。在测量过程中，样品台与样品台支撑架之间的热交换应该尽可能地小，以保证控温精度，同时避免样品台支撑架被不必要地加热。为了达到这个目的，本实用新型的第一样品台支撑板5以及第二样品台支撑板5’上设计了通孔6，使得样品台与第一样品台支撑板5以及第二样品台支撑板5’之间除了通过第一不锈钢连接片18以及第二不锈钢连接片18’连接外，没有其他直接的接触。通孔6同时可以提供水冷头12进水管13和出水管14的通路。[0060]图3显示了一个待测平面型薄膜热电器件19的示意图，它由若干对n型热电臂22和P型热电臂23串联在一起，这些热电臂平行于温度梯度方向，相邻的n型热电臂和P型热电臂之间用电极24连接。平面型薄膜热电器件19的热端电极附近用银胶固定一对热电偶20用于测量平面型薄膜热电器件热端的温度，平面型薄膜热电器件19的冷端电极附近用银胶固定一对热电偶20’用于测量平面型薄膜热电器件冷端的温度。第一导线21分别与平面型薄膜热电器件的输出端相连以测量平面型薄膜热电器件的开路电压。平面型薄膜热电器件19的热端和平面型薄膜热电器件19的冷端分别被置于热端样品台9和冷端样品台10上。图4示出了平面型薄膜热电器件开路电压测量示意图。热端样品台9和冷端样品台10的温度可以通过第一控温仪28和第二温控仪29分别控制，在这种情况下，所述第一温控仪28与所述第一热电偶20和所述第一陶瓷加热片15构成反馈回路，所述第二温控仪29与所述第二热电偶20’和所述第二陶瓷加热片15’构成反馈回路。第一温控仪28和第二温控仪29通过比例-积分-微分(proportionalintegral-derivative, PID)模式将平面型薄膜热电器件19热端稳定在第一预设温度，以及将平面型薄膜热电器件19冷端稳定在第二预设温度。图5示出了另一平面型薄膜热电器件开路电压测量示意图。热端样品台9侧的第一热电偶20,第一陶瓷加热片15,读取热电偶信号的第二电压表36,与第一陶瓷加热片15相连的第一程控电源34，和计算机27 —起构成反馈回路，由计算机通过包含PID算法的计算机程序控制平面型薄膜热电器件热端的温度稳定在第一预设温度。冷端样品台10侧的第二热电偶20’，第二陶瓷加热片15’，读取热电偶信号的第三电压表36，与第二陶瓷加热片15’相连的第二程控电源34，和计算机27 —起构成反馈回路，由计算机通过包含PID算法的计算机程序控制平面型薄膜热电器件冷端的温度稳定在第二预设温度在图4和图5所示的平面型薄膜热电器件开路电压测量方式中，冷端样品台的水冷头12可以与水循环泵25和散热器26相连以保证冷端样品台的温度可以恒定在室温附近；平面型薄膜热电器件19的开路电压可以由第一电压表30测量。计算机27可以通过接口与各种仪表(如第一电压表30,第二电压表36,第三电压表37,第一温控仪28,第二温控仪29，或者第一程控电源34，以及第二程控电源35等)相连。利用本实用新型提供的上述测量平面型薄膜热电器件开路电压的系统，本实用新型测量了所选取的平面型薄膜热电器件开路电压在大气环境下随温差变化的关系，具体实现方式如下所述。所选取平面型薄膜热电器件如图3所示，由20对P型热电臂23和η型热电臂22组成。n型热电臂22和P型热电臂23分别由磁控溅射方法通过不锈钢掩膜板在22cmX 40mm尺寸的玻璃片上沉积制成，其中P型半导体靶材的配比为Bitl 5Sb15Te3外加约4wt%的Te，n型半导体靶材的配比为Bi2Te2.7Sea3。电极24通过不锈钢掩膜板经过金属蒸镀的方式沉积而成 。按照图1a和图1b所示，用不锈钢螺丝将基板2，第一支撑杆3，第二支撑杆3’，第一支撑杆基座4，第二支撑杆基座4’，第一样品台支撑板5和第二样品台支撑板5’组装在一起。按照图2a和图2b所示，将第一铜板11，第一陶瓷加热片15，第一加热片固定板16，第一样品固定片17用不锈钢螺丝组装在一起，构成热端样品台9 ;将第二铜板11’，水冷头12，第二加热片固定板16’，第二样品固定片17’用不锈钢螺丝组装在一起，构成冷端样品台10。将热端样品台9通过第一不锈钢连接片18固定在第一样品台支撑板5上，例如用不锈钢螺丝将热端样品台9固定在第一不锈钢连接片18上；将冷端样品台10通过第二不锈钢连接片18’固定在第二样品台支撑板5’上，例如用不锈钢螺丝将冷端样品台10固定在二不锈钢连接片18’上。可以根据第一不锈钢连接片18在紧固孔7中的位置，以及第二不锈钢连接片18’在紧固孔7中的位置来调整热端样品台9和冷端样品台10之间的距离。将冷端样品台10的水冷头12与水循环泵25和散热器26用水管连接起来，启动循环水泵。在平面型薄膜热电器件19的热端接近电极24的地方用银胶固定住第一热电偶20，在平面型薄膜热电器件19的冷端接近电极24的地方用银胶固定住第二热电偶20’ ；另用银胶将两根导线21连接到器件的两个输出端，用于开路电压的测量。将平面型薄膜热电器件19的热端置于热端样品台9上，将平面型薄膜热电器件19的冷端置于冷端样品台10上，用第一样品固定片17和第二样品固定片17’将平面型薄膜热电器件19固定。将测试样品架8和测量仪表及计算机27连接起来。其中第一电压表30、第二电压表36以及第三电压表37可以是Keithley2000万用表，第一程控电源34和第二程控电源35可以是K印Co ABC125-1DM电源。第一热电偶20通过热电偶线延长出来，并通过铜导线38与第二电压表36相连，用于读取热端的测温电压信号；第二热电偶20’通过热电偶线延长出来，并通过铜导线38与第三电压表37相连，用于读取冷端的测温电压信号。热电偶线和铜线的连接点与一个放置在绝热材料中的铜块(105mm X 65mm X 20mm)紧密地热接触但是电绝缘；该铜块是第一热电偶20以及第二热电偶20’的参考端31，它的温度TO (室温)由一个钼电阻温度计32实时测量，并被温度显示仪33读取；计算机软件根据温度T0，对第一热电偶20以及第二热电偶20’的测温电压信号进行冷端补偿，得到平面型薄膜热电器件热端的温度以及平面型薄膜热电器件冷端的温度。在补偿过程中，通过该热电偶(例如T型热电偶)的标准温度-电压对应关系，将TO转化为相应的热电偶电压值(以冰点为参考点)，将该值与第一热电偶20或第二热电偶20’的测温电压信号相加，再通过该型热电偶的电压-温度对应关系转化为一个对应温度，即为第一热电偶20或第二热电偶20’测量得到的真实温度。开启计算机27，设定平面型薄膜热电器件19冷端的温度为300K，平面型薄膜热电器件19热端的温度最高为360K，由计算机控制温度维持在设定的温度，例如，平面型薄膜热电器件19热端的温度可以为310K、320K、330K、340K、350K以及360Κ。计算机记录器件在不同温差条件下的开路电压Λ V。图6显示的是该平面型薄膜热电器件19的开路电压AV在不同温差Λ T下的变化，当AT为60Κ左右时，开路电压大于0.1V。以上结合附图详细描述了本实用新型的优选实施方式，但是，本实用新型并不限于上述实施方式中的具体细节，在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本实用新型的保护范围。另外需要说明的是，在上述具体实施方式
中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本实用新型对各种可能的组合方式不再另行说明。此外，本实用新型的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本实用新型的思想，其同样应当视为本实用新型所公开的内容。
权利要求1.一种测量平面型薄膜热电器件开路电压的系统，其特征在于，该系统包括样品测试架(8)，电压测量装置以及温度控制装置； 所述平面型薄膜热电器件(19)固定于所述样品测试架(8)上； 所述电压测量装置与所述平面型薄膜热电器件(19 )连接，用于测量所述平面型薄膜热电器件(19)的开路电压； 所述温度控制装置与所述平面型薄膜热电器件(19 )连接，用于控制所述平面型薄膜热电器件的热端处于第一预设温度和所述平面型薄膜热电器件的冷端处于第二预设温度。
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述样品测试架(8)包括样品台支撑架(I)、热端样品台(9)和冷端样品台(10);所述热端样品台(9)和所述冷端样品(10)台分别位于所述样品台支撑架(I)的顶部；所述热端样品台(9)和所述冷端样品台(10)之间具有间隙；所述平面型薄膜热电器件(19)的热端固定在所述热端样品台上，所述平面型薄膜热电器件(19)的冷端固定在所述冷端样品台上。
3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述热端样品台(9)和所述冷端样品台(10)在水平方向上具有间隙。
4.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述样品支撑架(I)包括基板(2)、第一支撑杆(3)、第二支撑杆(3’)、第一支撑杆基座(4)、第二支撑杆基座(4’)、第一样品台支撑板(5)以及第二样品台支撑板(5’ )； 所述第一支撑杆基座(4)位于所述基板(2 )上，所述第一支撑杆(3 )位于所述第一支撑杆基座(4)上，所述第一样品台支撑板(5)位于所述第一支撑杆(3)的顶部； 所述第二支撑杆基座(4’)位于所述基板(2 )上，所述第二支撑杆(3’)位于所述第二支撑杆基座(4 ’)上，所述第二样品台支撑板(5 ’)位于所述第二支撑杆(3 ’)的顶部。
5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述热端样品台(9)包括第一铜板(11)、第一陶瓷加热片(15)、第一加热片固定板(16)以及第一样品固定片(17)； 所述第一铜板(11)位于所述第一样品台支撑板(5)上；所述第一陶瓷加热片(15)位于所述第一铜板(11)与所述第一加热片固定板(16)之间；所述第一样品固定片(17)位于所述第一铜板(11)的内侧区域上。
6.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述热端样品台包括第一铜板(11)、第一水冷头、第一陶瓷加热片(15)、第一加热片固定板(16)以及第一样品固定片(17)； 所述第一铜板(11)位于所述第一水冷头上，所述第一水冷头(12)位于所述第一样品台支撑板(5)上；所述第一陶瓷加热片(15)位于所述第一铜板(11)与所述第一加热片固定板(16)之间；所述第一样品固定片(17)位于所述第一铜板(11)的内侧区域上； 所述冷端样品台包括第二铜板(11’)、第二水冷头、第二陶瓷加热片(15’)、第二加热片固定板(16’ )以及第二样品固定片(17’)； 所述第二铜板(11’)位于所述第二水冷头上，所述第二水冷头位于所述第二样品台支撑板(5’)上；所述第二陶瓷加热片(15’)位于所述第二铜板(11’)与所述第二加热片固定板(16’)之间；所述第二样品固定片(17’)位于所述第二铜板(11’)的内侧区域上。
7.根据权利要求5或6所述的系统，其特征在于，所述第一样品固定片(17)固定所述平面型薄膜热电器件(19)的热端， 所述第二样品固定片(17’)固定所述平面型薄膜热电器件(19)的冷端。
8.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述第一水冷头与第一水循环泵和第一散热器连接，所述第二水冷头与第二水循环泵和第二散热器连接。
9.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，该系统还包括第一不锈钢连接片(18)和/或第二不锈钢连接片(18’);所述第一不锈钢连接片(18)的一端固定在热端样品台(9)上，所述第一不锈钢连接片的另一端(18’)固定在所述第一样品台支撑板(5)上； 所述第二不锈钢连接片(18’)的一端固定在冷端样品台(10)上，所述第二不锈钢连接片(18 ’)的另一端固定在所述第二样品台支撑板(5 ’)上。
10.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述第一样品台支撑板(5)的中部具有通孔和/或第二样品台支撑板(5’ )的中部具有通孔。
11.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，该系统还包括用于测量所述平面型薄膜热电器件(19)的热端温度的第一热电偶(20)和用于测量所述平面型薄膜热电器件(19)的冷端温度的第二热电偶(20’)。
12.根据权利要求11所述的系统，其特征在于，所述温度控制装置为第一温控仪(28)以及第二温控仪(29)，所述第一温控仪(28)与所述第一热电偶(20)和所述第一陶瓷加热片(15)构成反馈回路，所述第二温控仪(29)与所述第二热电偶(20’)和所述第二陶瓷加热片(15’)构成反馈回路。
13.根据权利要求11所述的系统，其特征在于，所述温度控制装置为计算机(27);该系统还包括第一程控电源(34)和第二程控电源(35);所述计算机(27)与所述第一热电偶(20)、所述第一陶瓷加热片(15)以及第一程控电源(34)构成反馈回路；所述计算机(27)还与所述第二热电偶(20’)、 所述第二陶瓷加热片(15’)以及第二程控电源(35)构成反馈回路；所述第一程控电源(34)与第一陶瓷加热片(15)连接，所述第二程控电源(35)与第二陶瓷加热片(15’)连接。
专利摘要本实用新型公开了一种测量平面型薄膜热电器件开路电压的系统，该系统包括样品测试架(8)，电压测量装置以及温度控制装置；所述平面型薄膜热电器件(19)固定于所述样品测试架(8)上；所述电压测量装置与所述平面型薄膜热电器件(19)连接，用于测量所述平面型薄膜热电器件(19)的开路电压；所述温度控制装置与所述平面型薄膜热电器件(19)连接，用于控制所述平面型薄膜热电器件的热端处于第一预设温度和所述平面型薄膜热电器件的冷端处于第二预设温度。本实用新型能够测量平面型薄膜热电器件的开路电压，尤其是可以在大气环境下测量平面型薄膜热电器件的开路电压随平面型薄膜热电器件两端温差的变化。
文档编号G01R19/00GK203011995SQ20122074100
公开日2013年6月19日 申请日期2012年12月28日 优先权日2012年12月28日
发明者王汉夫, 官爱强, 李振伟, 褚卫国, 郭延军, 李晓军, 金灏, 祖敏, 刘秀 申请人:国家纳米科学中心