传感器设备及包括其的冷却设备的性能评估装置制造方法

传感器设备及包括其的冷却设备的性能评估装置制造方法
【专利摘要】本发明涉及一种传感器设备和包括其的冷却设备的性能评估装置，所述传感器设备可以构筑与在气体、从喷嘴浇注或喷射的液柱或者喷射水等压力施加体发生碰撞(接触)时所施加的压力相对应的定性信号，并产生定量信号。这种本发明可以得到如下效果：构筑与在液体、气体、喷嘴的液柱或喷嘴的水柱或者喷嘴的喷射水等发生碰撞(接触)时所施加的压力相对应的定性信号、定量信号、及数据，并且还防止基于温度变化的测量误差，而且将其作为基础可以最大限度的定量且精确地评估冷却设备的性能(浇注或者喷射状态)，最终提高冷却设备的维护性和可操作性的效果。
【专利说明】传感器设备及包括其的冷却设备的性能评估装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种传感器设备及包括其的冷却设备的性能评估装置，更详细地，涉及一种如下的传感器设备和包括其的冷却设备的性能评估装置，可以构筑与在液体、气体、喷嘴的水柱(以下，称为“液柱”)或者喷嘴的喷射水等发生碰撞(接触)时所施加的压力相对应的定性信号(qualitative signal)、定量信号(quantitative signal)、及数据，并且还防止因温度变化而产生测量差错(误差(eiror))，而且将其作为基础可以最大限度的定量且精确地评估冷却设备的性能(浇注或者喷射状态)，最终提高冷却设备的维护性和可操作性。
【背景技术】
[0002]在连续铸造工艺中制造且经过加热炉的板坯(Slab)，经过粗轧(RM)和精轧(FM)而生产为具有规定厚度的厚板材料。
[0003]例如，如图1和图2所示，通过连续铸造工艺来制造的铸坯例如板坯(Slab)，在加热炉310中根据钢的种类加热至目标温度，经过加热炉的材料，经过粗轧和精轧的轧制步骤320轧制为一定厚度例如最终产品的规定厚度，由此生产厚板材料。
[0004]另一方面，通过轧制以规定板厚轧制的厚板材料S，为了控制晶粒微细化或相变组织，经过加速冷却机200。
[0005]并且，为了提高轧制产品(厚板产品)的质量，通过矫直机330进行热矫正，并且在冷却台340完成最终广品。
[0006]另一方面，为了生产无矫正和无变形的产品，需要在加热炉310至加速冷却机200设定最佳条件，并且需要将导致设备的管理和轧制材料(厚板材料)S的温度不均匀的因素消除的过程，导致这种温度不均匀的因素与图1、2所示的加速冷却机200的材料温度控制有关。
[0007]此时，如图2所示，图中的加速冷却机200是示意性示出的，其由4-7个分组(bank) 210a-210d构成，各个单元分组分别由4_6个冷却联箱、即由上、下部联箱(header) 220、230 构成。
[0008]另一方面，在单元联箱例如上部联箱220，形成液柱的喷嘴(图6c的240)以一定间隔和列排列约1000个左右。
[0009]但是，设置在这种加速冷却机200的联箱的喷嘴240由于其组分的离子化差异、力口热、及冷却，容易发生喷嘴内部和出口部位(喷射孔)堵塞的现象。
[0010]例如，这种联箱喷嘴的堵塞现象主要是由劣化产生的鳞片堵塞孔而发生的。
[0011]从而，在一个单元联箱以相当多的数量设置的喷嘴中只有一部分被堵塞或者其他异物或腐蚀等使喷嘴的孔变窄的情况下，难以使厚板材料S的冷却达到目标冷却温度(Finish Cooling Temperature, FCT),或导致冷却不良。
[0012]并且，如果喷嘴的孔被堵塞或变窄，则加速冷却机的设备内部压力增加，由此引起与其连接的排管、检测仪表、以及泵等相关部件产生故障。[0013]因此，正在对加速冷却机的联箱喷嘴的直径、材质、喷嘴间隔、排管设计等结构的改善进行研究，但其效果不是很明显。
[0014]尤其，以自动化方式掌握加速冷却机的浇注状态、即是否从喷嘴形成正常的液柱是更困难的。
[0015]例如，在现有技术中，利用照相机拍摄喷嘴的液柱并对拍摄的照片进行图像分析，或通过手动操作测量从喷嘴浇注的液柱长度，从而评估喷嘴是否正常工作。
[0016]结果，在现有技术中，掌握喷嘴的浇注状态需要相当长的时间，并且实际上加速冷却机所构筑的生产线中，其操作空间非常狭小且以手动操作进行，因此难以精确地判断浇注状态。
[0017]据此，本发明的 申请人:提出了本发明:可以容易迅速地掌握冷却设备，尤其是加速冷却机的联箱喷嘴的浇注状态，并以定量的方法掌握设备性能。
[0018]但是，下述的本发明传感器设备，其可以评估浇注状态，并不是只能适用于冷却设备的，只要是由于有害液体或气体等碰撞而施加压力时发生定性或者定量信号的结构，则可以以确认气体泄露或液体泄露等为目的而使用。但在以下的本发明说明书中，对加速冷却机的联箱喷嘴进行说明。

【发明内容】

[0019]发明要解决的课题
[0020]在本领域中需要开发可以构筑产生定性信号、定量信号的传感器设备，该定性信号、定量信号与在(泄露或漏出的)气体、液体、或者从喷嘴浇注或喷射的液柱和喷射水等的压力施加体发生碰撞(接触)时所施加的压力相对应。
[0021]进一步地，还要求如下的传感器设备:实现对将所施加的压力向传感器传递的气体(空气)的温度控制，并使冷却水或基于周边大气温度的气体的密度变化保持固定，由此防止测量差错(误差)，从而可以确保测量精确性。
[0022]另外，还要求如下传感器设备:将基于温度的密度变化小或没有密度变化的非压缩性流体(液体、水等)填充在工作空间，由此可以不受温度影响而进行稳定且定量的评估。
[0023]从而，将如上所述的本发明的传感器设备作为基础，提供一种如下冷却设备的性能评估装置:可以定量且迅速精确地评估冷却设备的性能(浇注状态)，由此防止冷却不良，尤其在恶劣且狭窄的环境中，可以以自动化方式掌握冷却设备的喷嘴状态，从而容易进行设备的维护管理。
[0024]解决课题的方法
[0025]用于实现上述目的的一个方案，本发明提供一种传感器设备，其包括:
[0026]壳体，其包括流体空间；
[0027]隔膜构件，其设置于所述壳体，并在与压力施加物质发生碰撞或者接触时，使所述流体空间产生体积变化；以及
[0028]传感器单元，其设置在壳体中并与所述流体空间相连通。
[0029]进一步地，作为另一方案，本发明提供一种冷却设备的性能评估装置，该装置包括传感器设备，所述装置包括:[0030]传感器搭载单元，其设置在冷却目标材料的移动路径上，并设置在具备喷嘴的冷却联箱侧；以及
[0031]所述传感器设备，其与所述喷嘴相对应地排列并设置在所述传感器搭载单元中。
[0032]发明的效果
[0033]根据本发明，可以构筑传感器结构，所述传感器结构可以构筑与在液体、气体、喷嘴的液柱或者喷嘴的喷射水等发生碰撞(接触)时所施加的压力相对应的定性信号、定量信号、及数据。
[0034]进一步地，根据本发明，实现对将所施加的压力向传感器传递的工作流体、即气体或空气的温度控制，并使冷却水或基于周边大气温度的气体密度变化保持固定，由此防止测量差错(误差)，从而可以确保测量精确性。
[0035]此外，根据本发明，将不会根据温度产生密度变化的非压缩性流体(液体)填充在工作空间，由此可以不受温度影响而进行稳定定量的评估。
[0036]从而，将本发明的传感器设备作为基础，可以定量且精确地评估冷却设备的性能(浇注或者喷射状态)，因此，非常有助于在恶劣且狭窄的环境中以自动化方式评估和掌握冷却设备的喷嘴状态以及整体上的冷却能力。
[0037]最终，根据本发明，容易进行冷却设备的维护，并且使工作率极大化，而且最终可以提高冷却质量和产品质量、及生产性。
【专利附图】

【附图说明】
[0038]图1是表不现有的厚板制造工艺的工艺图。
[0039]图2是表示图1中的冷却机(加速冷却机)的示意图。
[0040]图3是表示本发明第一实施例的传感器设备的使用状态和工作状态的结构图。
[0041]图4是表示图3中的本发明传感器设备的部分剖视立体图。
[0042]图5是表示图3中的本发明传感器设备的结构图。
[0043]图6a至图6c是表不本发明传感器设备的工作原理的不意图及图表。
[0044]图7是表示作为本发明传感器设备的使用例，测量数据的图表。
[0045]图8至图12是表示本发明第一实施例的传感器设备的各种变形例的结构图。
[0046]图13至图14是表示将本发明的传感器设备作为基础的传感器功能块的组装状态图和分解图。
[0047]图15a至图15b是表示利用本发明传感器功能块的冷却设备的性能评估装置的结构图、和表不LM型传感器搭载单兀的结构图。
[0048]图16a和图16b是表示搭载有本发明传感器功能块的展开型传感器搭载单元的工作状态图和主视图。
[0049]图17至图19是表示搭载有本发明传感器功能块的屏蔽式传感器搭载单元的整体结构图、主视结构图正面和俯视结构图。
[0050]图20至图25是表示本发明第二实施例的传感器设备的各种形式的图。
[0051]图26至图30是表示本发明第三实施例的传感器设备的各种形式的图。
【具体实施方式】[0052]以下，详细说明本发明。
[0053]首先，图1至图19表示将本发明第一实施例的传感器设备和第一实施例的传感器设备作为基础的传感器搭载单元的各种形式，图20至25表示本发明第二实施例的传感器设备的各种形式，图26至图30表示第三实施例传感器设备的各种形式。
[0054]从而，在本发明第一至第三实施例的传感器设备中，传感器设备的基本结构相同，因此详细说明第一实施例的传感器设备1，而对第二和第三实施例的传感器设备进行说明时，省略已在第一实施例的传感器设备中说明的构成要素。
[0055]首先，图3至图5表示本发明第一实施例的传感器设备I。
[0056]即，如图3至图5所示，本发明第一实施例的传感器设备I包括:壳体10，包括流体空间12，所述流体空间12用于容纳在下面详细说明的非压缩性气体(空气)、压缩性气体或者非压缩性流体(液体、水、油、水银等)等工作流体；隔膜构件30，设置在所述壳体中，使流体空间呈密闭状态，并且与压力施加物质发生接触(碰撞)；以及传感器单元50，设置在所述壳体中并与流体空间12相连通，而且用于测量压力施加物质与隔膜构件发生碰撞时所产生的压力。
[0057]此时，在第一实施例的传感器设备和之后的第二、三实施例的传感器设备中，压力施加物质可以是气体；液体；或从设置在冷却设备、即加速冷却机200的冷却联箱即上部联箱220的喷嘴240浇注的液柱W或者喷射水等。
[0058]但如图3和图5所示，在以下的本实施例中，将所述压力施加物质限定为从上述的加速冷却机200的上部联箱220的喷嘴240浇注的液柱W (水柱)(或者喷射水)而进行说 明。
[0059]此外，在下面，将传感器单元作为压力传感器50进行说明。
[0060]另一方面，在设置于壳体10的流体空间12内填充的工作流体，只要是将在体积变化时产生响应的压力传感器50作为媒介可以测量压力(变化量)的，就可以采用，例如，可用于第一、二实施例的传感器设备的非压缩性气体，即可以是气体或空气(优选空气)，或者可用于之后的第三实施例的传感器设备的非压缩性流体，即可以是水、油、水银等。当然，可以将用于特定目的的特定压缩性气体填充于流体空间12。
[0061 ] 从而，如图3和图5所示，本发明的传感器设备I，如果从上部联箱220正常地浇注液柱W，则液柱W与传感器设备的隔膜构件30发生碰撞，此时，隔膜构件30由薄膜构成，因此隔膜构件30向碰撞的相反方向凹陷。
[0062]结果，对于液柱的碰撞力而言，液柱是否从喷嘴240正常地浇注，或者如上所述，喷嘴240的一部分或者整体被堵塞，而使液柱不能以正常的流量浇注；或根据液柱本身与隔膜构件30发生碰撞的程度，用压力传感器50所测量的测量值不同。
[0063]但是，这种压力传感器50的响应时间短，因此，从下述图7中可知，能够精确地测
量压力变化量。
[0064]例如，如图5所示，如果从上部联箱浇注的液柱W落到隔膜构件30并发生碰撞，则根据隔膜构件30下垂的程度，流体空间12的流体、即空气或水的流动量变大，由此压力传感器可以测量压力值(产生电压信号)。
[0065]此时，事先设定未施加有压力的隔膜构件30的基准压力值，如果在控制部对与所测量的压力值的差压进行比较，则可以构筑如以下图7所示的定量测量数据。[0066]另一方面，本发明的传感器设备I的所述隔膜构件30，优选使用适当的材质和厚度，例如可以为聚氨酯、硅或者不锈钢等，隔膜构件的优选厚度在0.5-1.5mm的范围内。
[0067]即，如果所述隔膜构件30的厚度小于0.5_，则传感器的响应灵敏度优异，但耐久性有所下降，相反地，如果大于1.5_，则可确保耐久性，但与压力施加物质发生碰撞时下垂量小，从而响应速度或灵敏度下降。
[0068]此外，如果所述隔膜构件的厚度小于0.5mm,则隔膜构件寿命短且在液柱碰撞后恢复到原先位置的弹力性小，从而可能发生在整体上寿命变短的问题。
[0069]另一方面，如果考虑确保基于液柱反复碰撞的耐久性、和在液柱碰撞后恢复到初始位置等方面，则所述隔膜构件30更适合采用不锈钢材质。
[0070]接着，如图3至图5所示，在本发明的传感器设备I中，所述壳体10包括内置有压力传感器50的传感器空间14。
[0071]并且，在壳体10的上侧组装有从上方按压隔膜构件30的上部板16，在上部板16形成有开口部16a，所述开口部16a提供液柱W与隔膜构件30碰撞的空间。
[0072]例如，如图27所示，在所述上部板16的开口部16a的周边形成有螺栓连结孔16b，在壳体10也形成有螺栓连结孔16c，从而使上部板以包围隔膜构件30并按压的状态组装于壳体。
[0073]当然，由于在所述上部板的开口部周边按压隔膜构件，因此，实际上隔膜构件具有以一个构件(参考图14的30’ )构成并且隔膜构件只在上部板的开口部露出的结构，因此可以提供均匀的工作性能 。
[0074]如图4和图5所示，如果压力施加物质、即从上部联箱的喷嘴浇注的液柱W与隔膜构件30发生碰撞，则隔膜构件30瞬间下垂，此时流体例如空气或水等根据流体空间12的体积变化被压缩，由此可以用下部的压力传感器50测量压力。
[0075]并且，用于搭载压力传感器50的基板52安装在壳体下部，连接电缆54可以经由接口 56与外部仪器、即控制部C相连接。
[0076]优选地，如图4所示，在下部板18和壳体10的压力传感器安装部14之间设置有用于搭载压力传感器50的电路基板52，所述电路板可以与连接器56相连接，该连接器56可以与外部电连接。或者，电缆54可以与连接器56相连接。
[0077]结果，本发明的传感器设备I可以连续地测量基于液柱的隔膜构件碰撞的微小压力差。
[0078]另一方面，优选地，如图4和图5所示，本发明的传感器设备I中，所述壳体10所具备的流体空间12和压力传感器50之间形成有与流体空间12相比体积(截面积)变小的通道12a。
[0079]从而，所述通道12a与流体空间12相比体积变小，因此，如果压力施加物质、即液柱W与隔膜构件12发生碰撞，则填充于空间的流体、即空气随着空间的体积变化而流动，并且穿过所述变窄的通道12a而集中，从而压力传感器50的响应灵敏度更优异。
[0080]当然，代替这种通道也可以设置与压力传感器相连的管等。
[0081]接着，图6a至图6c说明本发明的传感器设备I的基本操作，图7是将本发明传感器设备I的定量测量数据用图表表示的。
[0082]例如，如图6a所示，如果液柱W从上部联箱220正常地浇注，则液柱连续地与本发明传感器设备I的隔膜构件30正常碰撞，由此，从图表来看，将产生单位时间内的电压、即在压力传感器50产生电气信号,该电气信号以直线状输出信号呈现。
[0083]但是，如图6b所示，如果联箱的喷嘴240的一部分被堵塞而使液柱不能正常地浇注，从而非连续地浇注液柱r，则从压力传感器50传递的电压信号发生短路。
[0084]从而，在本发明传感器设备I中，连续测量由正常的液柱W或者不良液柱W’与隔膜构件30发生碰撞而产生的流体空间12的体积变化所引起的信号，则可以评估冷却设备的性能状态、即喷嘴的性能状态。
[0085]即，如图6a至图6c所示，本发明的传感器设备I可以评估通过冷却联箱220的喷嘴240来浇注的正常的液柱W、非正常的液柱W’等，并且在液柱正常地浇注但其浇注方向非正常的情况(图6c)下，不产生基于传感器设备I的响应，因此，如图5和图6c所示，最终液柱只有在浇注正常的液柱的情况下可以与隔膜构件30发生碰撞。
[0086]由此，本发明的传感器设备1，可以根据液柱W是否正常地与传感器设备I的隔膜构件30发生碰撞，评 估喷嘴是否完全被堵塞的现象，也可以评估液柱正常地浇注但其流量不正常或形成不连续的液柱的情况。
[0087]另一方面，图7是将根据本发明的传感器设备I的冷却设备的定量的评估状态用图表表不的。
[0088]例如，具备在下面的图13和图14中示出并说明的传感器设备I的传感器功能块I’经过上部联箱220的下部，实际上所浇注的液柱W从隔膜构件30的末端部分向中央部分移动，从而显示信号的峰值，然后重新向末端部分移动，因此，如图7所示，信号(电压)以伞状连续地示出。
[0089]此时，在图7中，未产生信号值的第二个和第三个列中，无信号的部分表示在喷嘴发生了异常。
[0090]从而，如果利用本发明的传感器设备I则可以评估联箱的喷嘴的性能状态，最终可以进行冷却设备例如加速冷却机的性能评估。
[0091]其结果，本发明的传感器设备I和包括多个该传感器设备I的传感器功能块I’，可以对应于厚板的材料或冷却条件而适当地设计冷却设备的冷却控制。
[0092]例如，在上述图7中，将布置两列的传感器设备I而成的传感器功能块I’在冷却联箱220的下部移动时的测量值用图表示出。可以适当地调整这种传感器功能块的传感器设备的排列。
[0093]接着，图8至图12表示在上面说明的本发明第一实施例的传感器设备I的其他变形例。
[0094]但在以下的本实施例中，将用于装填空气或气体的流体空间12作为气体空间12进行说明。
[0095]即，如图8所示，本发明的传感器设备I可以进一步设置操作管20，该操作管20与设置在壳体10的气体空间12相连通，并且以控制气体空间的真空气氛或者空气气氛的方式构成，该壳体10设置于传感器设备I。
[0096]此时，虽未单独在附图中表示，但所述操作管20实际上可以是操作管20的外部管与贯通壳体而形成的通道(孔)连接的结构，在所述操作管可以设置有控制阀，该控制阀可以吸入气体空间12内的空气而使空间形成真空气氛，相反地，可以供应空气以使隔膜构件恢复到初始位置。
[0097]当然，操作管20可以与真空泵或空气鼓风机(未图示)连接而构成。
[0098]接着，如图9所示，在所述壳体10的气体空间12可以填充用于提高传感器的响应灵敏度的压缩性气体G。如果填充例如氦气(He)或者氮气(N2)等，则在液柱W与隔膜构件30发生碰撞的情况下，可以提高压力传感器50的响应灵敏度。
[0099]从而，即使在液柱流量小的情况下，也可以基于压力传感器50精确且定量地评估冷却设备的性能(浇注状态)。
[0100]另一方面，优选地，在图9中的将压缩性气体填充于气体空间12的情况下，进一步包括在之后的图26至27中说明的第三实施例的传感器设备所具备的密封单元80，由此保持气体空间12的密封性。
[0101]例如，在气体空间的周边形成壳体的安装槽10a，并且安装衬垫或O型环等密封构件而防止隔膜构件30和壳体之间的气体泄露。
[0102]接着，如图10所示，在本发明的气体空间12的内侧设置与隔膜构件30的下部一体形成隔离构件32。
[0103]从而，如图10所示，如果液柱W与隔膜构件30发生碰撞，则隔膜构件凹陷，此时，隔离构件32密封与压力传感器50相连通的通道12a并实现其内部流体(空气)的压缩，被压缩的空气加强压力传感器的测量灵敏度，由此可以进行响应更快且更精确的测量。
[0104]接着，如图11所 示，本发明的隔膜构件30可以为具有互不相同的强度的双重结构。
[0105]即，如果将主要与液柱W碰撞的中央部30a，与在其外延一体形成并在壳体10和上部板16之间组装的外延部30b相比，采用硬度更高的材质或者增大厚度，则在与液柱发生碰撞时，硬度更高的中央部30a具有平坦的区域的同时下垂；与中央部相比采用硬度更小的材质或厚度更小的外延部30b将会弹性下垂，并在与液柱发生碰撞时使基于外延部30b的下垂变得容易，这将会提高气体空间12的气体(空气)压缩性，由此提高压力传感器的响应灵敏度。
[0106]从而实现精确的压力测量，并且如果所施加的压力消失，则隔膜构件通过具有弹性的外延部30b迅速恢复到初始位置。
[0107]并且，如图11所示，与液柱碰撞的中央部30a，其与外延部相比硬度更高或厚度更大，因此磨损小；相反外延部30b具有弹性，因此可以使隔膜构件产生更多的位移量，从而可以加强压力传感器的测量灵敏度。
[0108]接着，如图12所示，在壳体10的流体空间12具备一体形成的一个以上的体积减小部12b。
[0109]即，在壳体10的流体空间12侧设置随着靠近压力传感器变窄且为倾斜面的体积减小部12b。
[0110]在该情况下，如果液柱W与隔膜构件30发生碰撞，则隔膜构件30凹陷，此时，施加至流体空间12的内部空气的压缩力因为变窄的体积减小部12b而增大，从而提高压力传感器的测量灵敏度。
[0111]接着，图13和图14表示:搭载于在各种形式的传感器搭载单元110、130、150的传感器功能块I’的组装状态和分解状态，各种形式的传感器搭载单元110、130、150设置于在之后的图15至图19中说明的本发明冷却设备的性能评估装置100。
[0112]另一方面，这种图13和图14的传感器功能块I’可以适用于在之后的图20至图25中说明的第二实施例的传感器设备、和在图26至图30中说明的第三实施例的传感器设备。
[0113]即，如图13和图14所不,壳体10为具备多个气体空间12的壳体模块10’，在这种本发明壳体模块设置有与多个流体空间12相连通的多个传感器空间14。
[0114]从而，多个压力传感器50内置于壳体，这些压力传感器50组装并设置在一个基板52，基板52安装在壳体的下部，并且在其下部延伸得很长的下部板18’组装在壳体模块10，。
[0115]此时，在壳体模块10’的上部延伸的隔膜构件30’，以密封空气、气体或者非压缩性流体的空间12的方式粘贴，在壳体模块10’上组装有上部板16’，该上部板16’的开口部16a在气体空间12的露出部位包围并按压隔膜构件30’而延伸，例如隔膜构件通过螺栓B与壳体模块10’连结来组装在壳体。
[0116]并且，在所述延伸的下部板18’的两端部用螺母N与贯通壳体模块10’的螺栓B连结，尤其在组装壳体模块10’和下部板18’时，至少在两侧设置O型环(OR)，由此使水不会在壳体模块和下部板之间渗透。
[0117]即，传感器功能块I’使用在冷却设备例如加速冷却机200的性能评估装置100，因此也需要使壳体模块10’和上、下部板16’、18’具备水密性。 [0118]并且，如图14所示，优选地，将上部板16’在传感器功能块的上部与壳体模块连结，在用于按压并固定隔膜构件30’的螺栓B也设置用于保持水密性的衬垫物而进行组装，并且优选形成为水尽可能不聚集在其顶部的结构。
[0119]另一方面，在图13所示的传感器功能块I’中，可以容易调整传感器设备I的安装形式是理所当然的。
[0120]接着，图15至图19表示本发明冷却设备的性能(浇注状态)评估装置100，本发明冷却设备的性能评估装置100基本上与在上面的图13和图14中的说明一样，可以使用单元传感器设备I以适当的列设置，例如与上部联箱220的喷嘴240的排列相对应而设置的一个以上的传感器功能块I’。
[0121]例如，如图15所示，本发明冷却设备的性能评估装置100可以包括搭载有一个以上的传感器功能块I’的传感器搭载单元110，该传感器功能块I’排列有上述的多个单元传感器设备I。
[0122]如图15所示，这种传感器功能块I’在横穿上部联箱220的宽度方向并延伸的状态下，向上部联箱220的长度方向移动的同时可以评估上部联箱喷嘴的液柱的浇注状态，并且可以通过如图7所示的连续定量测量来进行实时评估，可以显示的同时实现冷却控制，而且以自动化作的方式至少掌握堵塞的喷嘴的位置，从而可以进行评估。
[0123]另一方面，如图15a所示，在搭载有一个以上的传感器功能块I’的传感器搭载单元(参照图15中的附图标记110)构筑位于用于收集定量电气信号的评估装置100侧的第一控制部Cl，该定量电气信号是以传感器功能块I ’的压力传感器50 —基板52 —电缆54 —连接器56的路径收集的，在第一控制部Cl连接无线电收发器M，并且用与具有无线电收发功能的无线电处理控制部C2以无线电连接的主控制部C3构筑一个装置控制部，则能够以自动化方式精确地测量并评估上部联箱220的液柱W的浇注状态。
[0124]接着，图15b、图16至19表示本发明冷却设备的性能评估装置100中，搭载有一个以上的传感器功能块I’在上部联箱的下部进行移动的传感器搭载单元的各种形式。
[0125]首先，如图15b所示，本发明的LM型传感器搭载单元110包括移动模块114，该移动模块114安装在与上部联箱220连接的LM导轨112，并连结有由马达(未图示)工作的螺杆116,在所述移动模块114连接有搭载一个以上传感器功能块I’的传感器搭载模块118,传感器搭载模块118与上部联箱的宽度长度相对应地延伸，在传感器搭载模块搭载有一个以上事先设置的传感器功能块I’。
[0126]从而，通过螺杆116的工作，移动模块114沿着LM导轨112在上部联箱的下部向其长度方向移动，如果液柱与隔膜构件发生碰撞，则传感器功能块I’的传感器设备I连续地测量压力，由此实现冷却设备喷嘴的性能评估。
[0127]接着，图16a和图16b表示作为本发明冷却设备的性能评估装置100的传感器搭载单元的展开型传感器搭载单元130。
[0128]即，如图16所示，展开型传感器搭载单元130包括搭载有一个以上的传感器功能块1’，并且包括可以以依次展开的方式重叠的多级展开型传感器搭载模块132、134、136，在所述传感器搭载模块中，在前端模块设置有工作源140即水平工作油缸，其将连接台38作为中间体相连接并沿着冷却联箱展开。 [0129]此时，在展开型传感器搭载单元130的传感器搭载模块进一步包括使得用于展开和重叠模块的移动变得容易的导轨辊子134a、136a，在所述模块的中央设置有导轨142。
[0130]从而，如果工作源140、即水平工作油缸前进或者后退，则在所连接的前端传感器搭载模块136中，依次展开或者重叠下一个传感器搭载模块，通过排列有传感器功能块I’的展开型传感器搭载模块132、134、136的展开或者重叠，形成基于传感器功能块I’的液柱的定量评估。
[0131]并且，由于多个所述模块的顶端部在剖面上逐渐减小，因此上一个模块不会从下一个传感器搭载模块掉落，此时，在图16a中表示的附图标记C包括控制部。
[0132]另一方面，在图16的展开型传感器搭载单元130中，多个传感器功能块I’以多级方式安装，因此更有利于在大容量冷却设备中使用，展开型传感器搭载单元130与未图示的移动单元例如未图示的LM型输送单元等连接，从而可以自行移动。
[0133]接着，图17至图19表示:本发明冷却设备的性能评估装置100所具备的其他形式的传感器搭载单元、即屏蔽式传感器搭载单元150。
[0134]即，如图17至图19所示，本发明屏蔽式传感器搭载单元150，与将冷却设备的联箱浇注对应于厚板宽度而阻止两侧浇注的、公知的屏蔽单元170连接而设置。
[0135]但在图17中未示出屏蔽单元170的屏蔽板。
[0136]例如，屏蔽式传感器搭载单元150包括板状基座152，该板状基座152水平安装有多级油缸152、154，并且与垂直于边缘屏蔽单元170的移动板178连接而以可移动的方式而设置。
[0137]此时，如图17所示，边缘屏蔽单元170，对应于钢板宽度而阻止向上部联箱220的长度方向浇注液柱W，在移动模块176连接向下方延伸的移动板178，其中，该移动模块176与螺杆174连结，该螺杆174在上部联箱220的上部延伸得很长并以两级的方式设置，且通过马达172进行旋转工作；所述移动板178具备沿着设置在上部联箱的导轨175移动的辊子 177。
[0138]并且，如图17和图18所示，在所述移动板178的下端部连接有屏蔽式传感器搭载单元150的基底152，在所述基底设置有两级油缸和传感器搭载板。
[0139]即，如果安装在基底152的一对第一油缸154前进，则在其前端负载用移动板156相连接的第二油缸158前进，前进对应于第一油缸的冲程长度的第二油缸158再一次前进，最终，设置在与第二油缸连接的上侧传感器功能块搭载板160的传感器功能块1’，展开到液柱与传感器设备的隔膜构件30’发生碰撞而评估性能的位置。
[0140]并且，在无需进行冷却设备的性能评估的情况下，所述第一、二油缸后退并在基底上恢复到原来的位置，如图17所示，边缘屏蔽单元170的移动板178进行移动，在冷却联箱一侧的末端部分待机。
[0141]另一方面，设置两级的第一、二油缸是因为:限制一个油缸的工作冲程，从而提供使传感器功能块充分前进的冲程。
[0142]此时，屏蔽式传感器搭载单元150的基底152具有用于阻止辐射热量对传感器功能块I’产生影响的遮蔽板功能。
[0143]据此，传感器功能块I’通过图15至图19所示的各种形式的传感器搭载单元，向冷却联箱、即上部联箱220的宽度方向(如果只调整传感器搭载单元的位置，则也可以充分调节朝向上部联箱的宽度方向)移动或展开，由此通过从喷嘴浇注或喷射的液柱和喷射水的状态、即喷嘴状态，最终，以自动化方式定量且精确地实时评估冷却设备的性能状态。
[0144]接着，图20至图25表示本发明的第二实施例的传感器设备I的各种形式。
[0145]这种第二实施例的传感器设备I可以设置在传感器搭载单元110、130、150，例如使本发明第二实施例的传感器设备I模块化的传感器功能块I’可以搭载于传感器搭载单元而使用，这种传感器搭载单元110与上面的图15b至图19中的说明相同，因此，在本实施例中省略其详细说明。
[0146]但在以下的本实施例的说明中，将之前说明的流体空间12限定为气体空间12进行说明。
[0147]在图20至图25中说明的本发明第二实施例的传感器设备I提供用于产生与液体或者气体、特别是从喷嘴浇注的液柱或者高压喷射水等的碰撞(接触)面积或者强度相对应的电气信号的传感器设备，尤其，实现将施加的压力向传感器传递的气体(空气)的温度控制，使冷却水或基于周边大气温度的气体密度变化保持固定，由此防止测量差错(误差)，从而可以确保测量精确性，而且将确保测量精确性作为基础而对高温(轧制)材料的冷却设备进行精确的定量评估。
[0148]即，如图20和图21所示，与第一实施例的传感器设备I相同，本发明第二实施例的传感器设备I包括:壳体10,其包括气体空间12和传感器空间14,所述气体空间12用于容纳工作气体(空气)如空气、其他特定组分气体；隔膜构件30，其设置在壳体10，使气体空间12呈密闭状态，并且与压力施加物质发生碰撞；以及传感器50，其搭载于传感器空间14，并且用于测量压力施加物质与隔膜构件发生碰撞或接触时产生的压力。
[0149]另一方面，本发明第二实施例的传感器设备I的基本工作，与在上面说明的第一实施例传感器设备的工作相同，因此在本实施例中省略详细说明。[0150]尤其，如下文中详细的说明，本发明第二实施例的传感器设备I包括温度控制单元，该温度控制单元包围气体空间12和传感器空间14的至少一部分，并设置在壳体10且用于防止产生测量差错。
[0151]例如，气体空间12的空气(气体)密度随着冷却水或外部大气的空气温度变化而变化，因此，即使相同条件下的液柱与隔膜构件30发生碰撞而形成相同的下垂量，也产生由气体空间12的空气(气体)密度变化引起的测量误差(差错)。
[0152]从而，本发明第二实施例的传感器设备所具备的所述温度控制单元，以包围气体空间12和传感器空间14的至少一部分的状态设置在所述壳体10，由此防止产生基于温度变化的测量误差。
[0153]接着，在下面说明这种本发明第二实施例的传感器设备I所具备的温度控制单元的各种形式。
[0154]首先，如图20和图21所示，本发明第二实施例的传感器设备I所具备的温度控制单元，可以是包围设置在壳体10的气体空间12和传感器空间14的至少一部分，并且设置在壳体10而控制空气(气体)温度的热导管70或者加热丝(未图示)。
[0155]此时，优选地，所述温度控制单元的热导管70或加热丝包围整个的气体空间12和传感器空间14，并且靠近壳体的气体空间表面、通道表面、以及传感器空间表面而设置。
[0156]更优选地，本发明的热导管70 (或者加热丝)以多层或者多列结构设置在壳体10。
[0157]此时，本发明的热导管70或者加热丝(未图示)排列在气体空间12的侧面和下部，并且排列在传感器空间14的上部和侧面，因此，能够迅速进行狭窄空间的气体空间或者传感器空间的内部空气(气体)的温度控制。
[0158]从而，可以使本发明传感器设备I的气体空间12和传感器空间14中的至少一个或者其全部的内部空气温度保持固定，并且可以不受外部温度变化的影响而使气体空间的空气密度保持固定，由此传感器设备可以解决测量误差(差错)。
[0159]另一方面，如图20和图21所示，本发明的温度控制单元、即热导管70对应于壳体10的内部空间12、14而适当地调整其规格(直径)，例如在通道12a的周围以多列形式设置直径大的热导管，并且在气体空间和传感器空间的周围以多层形式设置直径小的热导管70。
[0160]此时，如图23所示，作为本发明温度控制单元的热导管70，可以沿着传感器设备I的下部板18 (单位长度或者延伸的状态)设置，与穿过热导管70而流动的温水、高温水、蒸气或者热媒介等的线LI至L4相连接而设置。当然，这仅仅是实施例而已，并不限于此。
[0161]例如，在连接热导管70并如图5所示为传感器功能块I’的情况下，可以在模块两侧设置热导管70的引入线、引出线。
[0162]接着，本发明的温度控制单元、即热导管70或者加热丝可以与壳体10 —体形成，例如在将壳体10由具有耐热性的树脂产品成型的情况下，可以将树脂管的热导管70 —体插入而制作。
[0163]或者，如图22所示，在将壳体10由具有耐腐蚀性的金属材质(例如不锈钢)成型的情况下，在单元板以多层形式层叠并以适当的排列形成的热导管或加热丝的容纳槽部71容纳热导管70或加热丝而设置。
[0164]此时，如上所述，壳体10无论是树脂产品或不锈钢材质，均发生热传递，因此，优选地，热导管70或加热丝尽可能地靠近气体空间12或传感器空间14而配置。
[0165]对于这种图2中的多层结构的壳体10而言，可以用长度延长的组装螺栓B’按压各个单元壳体而组装，所述螺栓可以贯通压力传感器50的基板52而连结于下部板18。
[0166]接着，如图24所示，进一步包括热传递放大部，其设置在与本发明的热导管10或加热丝的温度控制单元相邻的气体空间12和传感器空间14的壳体表面中的至少一部分或者整个部分。
[0167]例如，这种本发明热传递放大单元可以以与气体空间12或传感器空间14的壳体壁面形成一体而设置的肋条(riblet)面72、即剖视呈锯齿状，从而提高使气体空间或传感器空间温度保持在固定水平的效率。
[0168]接着，如图25所示，本发明的温度控制单元包括:设置在壳体表面中气体空间12和传感器空间14的至少一部分的隔热材料74 ;以及在气体空间或传感器空间的所述隔热材料的内侧设置的温度控制单元、即热导管70或者加热丝。
[0169]即，在图25的情况下，设置有隔热材料90，具有在其内部配置有热导管或加热丝的结构，从而可以更精确地或确切地进行气体空间或传感器空间的内部温度控制。
[0170]此时，如图25所示，在采用隔热材料72的情况下，在其内部空间配置有热导管70或加热丝，因此更有利于保持空间温度，此时优选地，在比气体空间12大的传感器空间14配置更多的热导管70或加热丝。 [0171]另一方面，虽在图25中示意性地表示，但热导管70或加热丝可以通过适当的支撑孔等适当地设置在气体空间12和传感器空间14内。
[0172]接着，图26至图30表示本发明第三实施例的传感器设备I。
[0173]例如，与第一、二实施例的传感器设备I所具备的空间为气体空间12(空气空间)的情况相反地，本发明第三实施例的传感器设备I的特征在于具备流体空间12，在所述流体空间12的至少一部分填充非压缩性流体F，例如水。
[0174]当然，这种本发明第三实施例的传感器设备I与第一、二传感器设备相同，除了流体空间12以外，大体上包括:壳体10，其包括传感器空间14 ;隔膜构件30，其设置在所述壳体10上，使流体空间12呈密闭状态，并且与压力施加物质、即液柱W发生碰撞；以及压力传感器50，其搭载于壳体的传感器空间14并与流体空间12相连通，并且用于测量液柱等压力施加物质与隔膜构件发生碰撞或接触时产生的压力。
[0175]另一方面，非压缩性流体F在本发明第三实施例的传感器设备的流体空间12基本上填充于至少一部分，这种流体F是，当液柱与隔膜构件30发生碰撞时在规定的流体空间12内形成体积变化，由此可以使压力(体积变化量)传递到压力传感器50的水、银、油
(oil)等；当然从成本的方面看，水是最优选的。
[0176]从而，在本发明第三实施例的传感器设备I的情况下，压力施加物质、即液柱W下落并碰撞，所述压力施加于隔膜构件30的中央部分从而使隔膜构件30从该中央部分下垂，由此在作为密闭空间的流体空间12内部产生体积变化，从而流体向压力传感器50传递差压并使压力传感器50检测该差压。
[0177]即，如图6c所示，通过液柱W的碰撞力，可以判断液柱是否从冷却机的上部冷却联箱220的喷嘴240正常浇注，这已在上面说明。
[0178]此时，如图26至图30所示，本发明第三实施例的传感器设备I的特征在于，包括:设置在壳体中流体空间12和隔膜构件30的边界部位的密封单元80或流体容纳单元90。
[0179]即，对于本发明第三实施例的传感器设备I而言，在流体空间12基本上填充有非压缩性流体F即水，因此包括用于防止流体泄露等的密封单元80和流体容纳单元90。
[0180]从而，本发明第三实施例的传感器设备I与上述的第一、二实施例的传感器设备不同，代替气体在空间12的至少一部分填充水等非压缩性流体F，因此，与空气相比几乎不会发生由外部温度或冷却水接触的温度变化引起的流体密度的变化。
[0181]即，在本发明中，代替空气(气体)将作为非压缩性流体F(例如水)填充于空间12，并且为了保持其水密性而设置密封单元80或流体容纳单元90，因此，由外部温度引起的密度变化不大，从而可以防止测量差错或使其最小化。
[0182]接着，这种本发明第三实施例的传感器设备I在基本结构上与上述的第一、二传感器设备相同。
[0183]例如，在本发明第三实施例的传感器设备I中，壳体10具备减小体积而成的通道12a，该通道12a设置在流体空间12和传感器空间14之间以提高压力传感器的响应灵敏度；在通道下部的传感器空间14，传感器单元即压力传感器50搭载于基板52上，基板组装在壳体下部，在基板下侧组装有下部板18。
[0184]从而，如图26至图30所示，如果从冷却联箱浇注的液柱W与隔膜构件30发生碰撞，则隔膜构件30向下方下垂，并且根据流体空间12的体积变化而施加于非压缩性流体F、即水的压力传递至压力传感器50，由此可以进行传感器设备的测量。
[0185]并且，虽未 在图26至图30中详细表示，但如对于第一实施例的传感器设备的说明，本发明第三实施例的传感器设备I可以搭载于传感器搭载单元110而用于测量冷却设备(上部联箱的喷嘴)的性能评估。
[0186]接着，如图26和图27所示，由于水等非压缩性流体F填充于流体空间，因此，本发明第三实施例的传感器设备I可以进一步包括第一传感器密封部13,其在壳体10的传感器空间14侧与压力传感器50的压力施加部50a粘贴并倾斜。
[0187]从而，当组装传感器设备I时，压力传感器50的压力施加部50a的倾斜面与第一传感器密封部13紧密粘贴，由此防止流体F、即水泄露至传感器单元侧的传感器空间14。
[0188]另一方面，实际上，本发明的传感器单元、即压力传感器50可以在非常潮湿的环境中使用，因此在外部表面进行用于防水的涂层处理，从而即使微量的流体F泄露至传感器空间14侧，也不会对传感器的工作构成任何问题。
[0189]并且，如图26和图27所示，本发明的传感器设备I可以进一步包括第二传感器密封部15，其与传感器单元的主体50b粘贴而设置在壳体的传感器空间14侦U。
[0190]尤其，在所述第二传感器密封部15和传感器主体50b之间还可以设置密封构件15a例如衬垫。
[0191]从而，对于本发明的流体空间12的内部流体F而言，在隔膜构件30侧，通过设置在壳体10的密封单元80或者流体容纳单元90来防止外部泄露等，并且在传感器空间侧，通过第一、二传感器密封部13、15防止泄露。
[0192]此时，如图26和图27所示，在壳体为树脂成型物的情况下，第二传感器密封部15可以与壳体一体制作，并且在考虑温度等而由金属加工物制作壳体的情况下，如点划线所示，第二传感器密封部15可以是用焊接(激光焊接)组装单独的环结构物的结构。[0193]接着，如图26和图27所示，在本发明第三实施例的传感器设备I中，密封单元70可以是:密集地填充或插入在至少一个与壳体10 —体形成的安装部IOa的O型环。
[0194]或者，如图30所示，流体容纳单元90可以形成为:与所述流体空间12相邻并依次设置在壳体的一个以上的流体接收槽。
[0195]当然，如图27所示，在实际中，流体空间12和传感器空间14具有平坦的圆形，因此，至少一个以上的流体接收槽的流体容纳单元90可以以圆环形的环状在流体空间的外侧与壳体一体并凹陷而形成。
[0196]接着，如图28所示，在本发明第三实施例的传感器设备I中，并不是必须将非压缩性流体F(即水)填充于流体空间12的整体空间，如果只在一部分填充水并设置在其余部分填充空气或气体的空气空间12’或者气体空间，则不会对传感器工作构成任何问题。
[0197]即，如图28所示，如果将水只填充到流体空间12的整体高度的3/4程度，并且将空气填充于剩余空间，则能够使隔膜构件30朝向所述空气空间的下垂变得平滑。
[0198]但如图28所示，仅在流体空间I的一部分填充水的情况下，根据调整水的水位，调整基于传感器设备的压力值；或使水的水位在流体空间12保持固定，这时为了形成固定的传感器工作，因此在壳体10形成与流体空间12相连通的流体(水)供应及排放通道17a、17b，由此可以使水的水位在流体空间12保持固定。
[0199]此时，如果配置用于检测填充于所述流体空间12的水的水位的液位传感器SE，则将液位传感器SE设置在流体空间的一侧部，并通过控制部与所述流体供应通道17a连接的供应线(未图示)的阀和连接，则可以将空间内部的水位更精确地保持在固定水平。
[0200]接着，如图29所示，在本发明第三实施例的传感器设备I中，也可以代替空气和水，在流体空间12填充油O(或者水银)和水。
[0201]即，如图29所示，如果填充不同密度的水F和油0，则在液柱与隔膜构件发生碰撞时，与只填充水的情况相比压缩力更大，因此，利用水和油的密度之差更能提高传感器单元、即压力传感器的检测精确性。
[0202]从而，在以这种传感器设备I作为基础的冷却设备的性能评估装置100的情况下，由于在流体空间12的整体或一部分填充水，或者在剩余空间填充油或水银，因此，与只用空气(气体)形成流体空间120的第一、二实施例的传感器设备相比，本发明的第三实施例的传感器设备I能够最大限度地抑制基于温度变化的测量差错。
[0203]产业上的可利用性
[0204]根据上面说明的本发明，可以构筑传感器结构，所述传感器结构可以构筑与在液体、气体、喷嘴的液柱或者喷嘴的喷射水等的碰撞(接触)时所施加的压力相对应的定性、
定量信号、及数据。
[0205] 从而，可以定量且精确地评估以本发明的传感器设备作为基础的冷却设备的性能(浇注或者喷射状态)，因此有助于在恶劣且狭窄的环境中以自动化方式评估和掌握冷却设备的喷嘴状态、整体上的冷却能力。
【权利要求】
1.一种传感器设备,包括: 壳体，包括流体空间； 隔膜构件，设置在所述壳体中，并在与压力施加物质发生碰撞或者接触时，使所述流体空间产生体积变化；以及 传感器单元，设置在所述壳体中并与所述流体空间相连通。
2.根据权利要求1所述的传感器设备，其特征在于， 所述传感器单元为压力传感器， 所述流体空间填充有气体、空气以及非压缩性流体中的任意一种或将这些混合填充在所述流体空间中，以对体积变化作出响应，从而允许所述压力传感器进行压力测量。
3.根据权利要求1所述的传感器设备，其特征在于， 所述壳体还包括: 内置有传感器单元的传感器空间；以及 分别在所述壳体的上、下侧、组装于隔膜构件和传感器单元侧的上、下部板。
4.根据权利要求1所述的传感器设备，其特征在于， 所述壳体进一步包括通道，所述通道在流体空间和传感器单元之间减小体积而成，以提高传感器反映灵敏度。
5.根据权利要求3所述的传感器设备，其特征在于， 在所述上部板设置有用于使压力施加物质与隔膜构件发生碰撞或接触的开口部，所述开口部包围隔膜构件而组装在壳体， 在所述下部板和壳体之间还具备用于搭载传感器单元的基板。
6.根据权利要求1所述的传感器设备，其特征在于， 所述壳体进一步包括操作管，所述操作管与流体空间相连通，并且控制流体空间的气氛，以提高传感器单元的响应灵敏度。
7.根据权利要求2所述的传感器设备，其特征在于， 在所述流体空间填充有压缩性气体，以提高传感器单元的响应灵敏度。
8.根据权利要求1所述的传感器设备，其特征在于， 进一步包括隔离构件，其设置在所述流体空间的内侧的、隔膜构件的下部，使流体集中至传感器单元。
9.根据权利要求1所述的传感器设备，其特征在于， 所述隔膜构件为具有互不相同强度的双重结构。
10.根据权利要求1所述的传感器设备，其特征在于， 进一步包括体积减小部，其形成在所述壳体的流体空间侧的内表面，以增大流体压缩力。
11.根据权利要求2所述的传感器设备，其特征在于， 在所述流体空间填充有气体或空气，所述传感器设备进一步包括温度控制单元，其设置在壳体并包围所述流体空间的至少一部分。
12.根据权利要求11所述的传感器设备，其特征在于， 所述温度控制单元进一步包围所述传感器空间的至少一部分而设置，所述温度控制单元为设置在所述壳体的热导管或者加热丝，以控制所述流体空间的气体或空气的温度。
13.根据权利要求12所述的传感器设备，其特征在于， 所述温度控制单元以多层或者多列结构设置在所述壳体。
14.根据权利要求11所述的传感器设备，其特征在于， 进一步包括热传递放大单元，其设置在流体空间和传感器空间的壳体表面中的至少一部分，与所述温度控制单元相邻。
15.根据权利要求12所述的传感器设备，其特征在于， 所述温度控制单元进一步包括设置在壳体表面中所述流体空间和传感器空间的至少一部分的隔热材料， 所述热导管或者加热丝设置在所述流体空间和传感器空间的所述隔热材料的内侧。
16.根据权利要求2所述的传感器设备，其特征在于， 在所述流体空间的至少一部分填充有非压缩性流体，所述传感器设备进一步包括设置在所述壳体中所述流体空间和隔膜构件的边界部位的密封单元和流体容纳单元中的至少一个。
17.根据权利要求16所述的传感器设备，其特征在于， 所述密封单元为设置 在形成于所述壳体的安装部的O型环，所述流体容纳单元为与所述流体空间相邻并设置在壳体的一个以上的流体接收槽。
18.根据权利要求16所述的传感器设备，其特征在于， 所述流体空间为:在整个空间填充非压缩性流体；或者非压缩性流体只填充一部分，而剩余空间为气体或者空气的空间。
19.根据权利要求16所述的传感器设备，其特征在于， 进一步包括流体供应及排放通道或者流体供应及排放线，所述流体供应及排放通道或者流体供应及排放线设置在所述壳体并与所述流体空间相连接，以调整空间内的流体液位。
20.根据权利要求16所述的传感器设备，其特征在于， 所述非压缩性流体是以选自水、油、水银中的一种或者是将这些混合而成。
21.根据权利要求2所述的传感器设备，其特征在于， 所述压力施加物质为气体、液体、浇注的液柱或者喷射水，用压力传感器测量在压力施加物质与隔膜构件发生碰撞或接触时产生的流体压力，以产生定量信号，所述流体压力取决于流体空间的体积变化。
22.—种冷却设备的性能评估装置，该装置包括传感器设备， 所述装置包括: 传感器搭载单元，其设置在冷却目标材料的移动路径上，并设置在具备喷嘴的冷却联箱侧；以及 权利要求1至21中任一项所述的传感器设备，其与所述喷嘴相对应地设置在所述传感器搭载单元。
23.根据权利要求22所述的冷却设备的性能评估装置，其特征在于， 设置在所述传感器设备中的壳体为具备多个流体空间的壳体模块，在所述壳体模块内置有多个压力传感器；将延伸的隔膜构件和上、下部板组装在所述壳体模块而设置的一个以上的传感器功能块搭载于所述传感器搭载单元。
24.根据权利要求22所述的冷却设备的性能评估装置，其特征在于， 所述传感器搭载单元为LM型传感器搭载单元、展开型搭载单元、及屏蔽式传感器搭载单元中的一种。
【文档编号】G01L19/04GK104024817SQ201280064656
【公开日】2014年9月3日 申请日期:2012年12月26日 优先权日:2011年12月28日
【发明者】姜宗勋, 李泌钟, 崔喜埰, 高圣贤 申请人:Posco公司