专利名称：一种探针卡维护方法
技术领域：
本发明涉及半导体测试设备维护领域，尤其涉及一种探针卡维护方法。
背景技术：
使用探针卡对半导体器件进行检测是当今半导体器件测试中的一种十分常用的方法。使用探针卡进行测试是为了规格一致性而在硅片集成电路上进行的电学参数测试，通过使用探针卡对硅片的测试能够发现被测硅片存在的缺陷，避免将有缺陷的硅片投入市场，同时在发现了存在缺陷的硅片后能够将数据反馈给半导体工程师，从而发现并纠正制造过程中的问题。娃片在生广完成后被安装在印刷电路板(PCB)上，当印刷电路板生广完毕后，这时如果在对PCB进行的检测中发现问题，需要极其复杂的诊断过程和人工分析才能找到问题的原因。如果是集成电路的问题，这就需要将存在问题的集成电路拆卸下来，将替换的集成电路安装上去，由于当下大规模集成电路的封装一般都是球栅阵列封装(Ball Grid ArrayPackage，BGA)，使得手工拆卸几乎不可能，因此在拆卸过程中需要使用专业的工具。由此可见，如果在印刷电路板的生产完毕后才测试出问题，对于生产的影响是大大高于单片阶段的发现问题的，对于复杂的设备，如果在整机阶段才发现集成电路的问题，其对于生产的影响是更为巨大的。所以，对于集成电路生产时的测试是很有意义的。而对于集成电路生产时的测试通常采用探针卡对芯片进行测试，探针卡是自动测试仪与待测器件之间的桥梁，通过探针卡实现测试仪和被测芯片的连接。因此在测试过程中探针卡的状态是十分重要的，使用一个具有瑕疵的探针卡来进行测试无疑会使得测试结果不准确，从而失去了测试的意义。探针卡在反复的测试使用过程中是极易出现故障的，通常会出现探针的氧化、触点压力的不准确、探针台的平整度不佳、探针磨损和污染等等，这些探针卡的故障都会对测试的结果造成负面的影响。因此，经常对探针卡进行维护是十分必要的，现有的规定是按照一个固定时间为标准来进行探针卡状态的维护，一般规定为30天至60天。这就使得探针卡在维护时存在过度维护和维护不足的问题，因为，在这段时间中探针卡的使用是不规律的，会出现一些探针卡使用得较少而相比之下另一些探针卡则使用得较为频繁的情况，甚至出现有些探针卡使用次数超标的情况发生，以至于对漏电造成不利影响，导致之后的测试结果与实际不符。中国专利(公开号:CN 101441625B)公开了一种利用探针卡测试仪实现的探针卡使用量的计算方法，具体为:所述测试仪取得所述测试条件信息以及所使用的探针卡型号的信息，在所述测试条件数据库中查询到所述探针卡单词使用量的信息，然后通过所述探针卡型号的信息关联到所述探针卡用量数据库，得到累计使用量信息，并进行存储，所述探针卡用量数据库中相对应的累计使用量信息大于或等于探针卡使用寿命信息时，所述探针卡测试仪发出更换探针卡的提示。
该发明方法虽然克服了以时间为标准进行探针卡维护中的探针卡使用不均衡的问题，但是其发明方法的过程需要进行查表，因此过于繁琐。中国专利(公开号:CN 1979197A)公开了一种增加芯片同测数目的方法，具体为:多台测试仪共同使用一台探针台，共同使用一个探针卡或硬件接口对被测体进行测试，合并多台独立测试仪的测试功能。该发明能够提高探针卡测试的效率，并不能解决探针卡使用不均衡的问题。
发明内容
鉴于上述问题，本发明提供一种探针卡维护方法。本发明解决技术问题所采用的技术方案为:一种探针卡维护方法，应用于探针卡检测系统中，其中，所述探针卡检测系统包括第一数据库和第二数据库，所述第一数据库中存储有原始扎针次数，所述第二数据库中存储有原始累计扎针次数，所述探针卡维护方法包括以下步骤:
根据工艺需求，设定探针卡的报废扎针次数限值和维护扎针次数限值，并设定该探针卡工作的时间tztn-h，η为对该探针卡进行数据采集的次数，η为正整数；对所述探针卡进行数据采集，以获取所述探针卡在时间段内所述探针卡的实际扎针次数；将所述实际扎针次数与所述原始累计扎针次数相加得到当前累计扎针次数，并将该当前累计扎针次数的数值与所述报废扎针次数限值进行比对；若所述当前累计扎针次数的数值大于或等于所述报废扎针次数限值，则所述探针卡报废，更换新探针卡，同时将所述原始扎针次数的数值和所述原始累计扎针次数的数值设置为零，并对所述新探针卡进行第一次的数据采集；若所述当前累计扎针次数的数值小于所述报废扎针次数限值，则将所述原始累计扎针次数的数值更新为所述当前累计扎针次数的数值，并继续将所述实际扎针次数与所述原始扎针次数进行相加得到当前扎针次数，并将该当前扎针次数的数值与所述维护扎针次数限值进行比对；若所述当前扎针次数的数值大于或等于所述维护扎针次数限值，则对所述探针卡进行维护，将所述原始扎针次数的数值设置为零，并继续对所述探针卡进行下一次的数据米集；若所述当前扎针次数的数值小于所述维护扎针次数限值，则将所述原始扎针次数的数值更新为所述当前扎针次数的数值，并继续对所述探针卡进行下一次的数据采集。所述的探针卡维护方法，其中，所述探针卡检测系统还包括设定存储端，通过所述设定存储端设定所述探针卡的所述报废扎针次数限值和所述维护扎针次数限值。所述的探针卡维护方法，其中，所述探针卡检测系统还包括信息采集端，通过所述信息采集端对所述探针卡进行所述数据采集。所述的探针卡维护方法，其中，所述探针卡检测系统中还包括信息输出端，所述信息输出端对所述报废扎针次数限值、维护扎针次数限值、所述当前实际扎针次数和所述当前累计扎针次数进行输出。所述的探针卡维护方法，其中，采用显示器作为所述信息输出端。
所述的探针卡维护方法，其中，所述探针卡检测系统还包括中央处理端，通过所述中央处理端对所述当前累计扎针次数的数值与所述报废扎针次数限值进行比对。所述的探针卡维护方法，其中，通过所述中央处理端对所述当前扎针次数的数值与所述维护扎针次数限值进行比对。所述的探针卡维护方法，其中，所述维护扎针次数限值为200000次。所述的探针卡维护方法，其中，所述报废扎针次数限值为10000000次。上述技术方案具有如下优点或有益效果:本发明方法通过对探针卡使用次数相关参数的设定以及设置相应的比较判断方法，从而使得探针卡的维护不完全依赖于时间，而是可通过具体的探针卡使用情况，即探针卡扎针次数的多少来确定是否需要进行维护操作和相应的报废操作，在很大程度上解决了传统方法的探针卡维护中探针卡使用不均衡的问题，有效避免了过多维护而造成的浪费和过少维护而造成的探针卡测试不准确的情况。
参考所附附图，以更加充分的描述本发明的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本发明范围的限制。图1是本发明探针卡维护方法的步骤示意图。
具体实施例方式本发明是一种探针卡维护方法，更具体的说是一种对探针卡自动化维护的方法。本发明方法是基于探针卡测试系统实现的，该探针卡测试系统包括信息采集端、中央处理端和设定存储端。探针卡测试系统还包括信息输出端，该信息输出端可以对报废扎针次数限值、维护扎针次数限值、当前实际扎针次数和当前累计扎针次数等必要的数据进行输出，工程师可根据信息输出端的输出数据来监测探针卡的运行状况。探针卡测试系统还包括第一数据库和第二数据库。其中，第一数据库中存储有原始扎针次数，该原始扎针次数是从上一次维护后至今的探针卡扎针的次数；第二数据库中存储有原始累计扎针次数，该原始累计扎针次数是探针卡使用以来到当下的总扎针的次数。图1是本发明探针卡维护方法的步骤图，如图1所示，本发明的探针卡维护方法包括以下步骤:首先，根据具体工艺需求，通过设定存储端来设定探针卡的报废扎针次数限值(Life Limit)和探针卡的维护扎针次数限值(PM Limit)。该探针卡的报废扎针次数限值和该探针卡的维护扎针次数限值可根据实际的情况进行设定。然后，信息采集端对探针卡进行数据采集，以获取在时间段内的探针卡实际扎针次数。通过中央处理端调用第二数据库中的原始累计扎针次数，并将该探针卡实际扎针次数与调用的原始累计扎针次数相加，得到当前累计扎针次数。中央处理端调用之前设定的报废扎针次数限值，将报废扎针次数限值与当前累计扎针次数的数值进行比对:
若当前累计扎针次数的数值大于或等于报废扎针次数限值，则该探针卡需要进行报废操作，在完成报废操作之后，对第二数据库中的累计扎针次数的数值设定为零，此时，信息采集端自动对新探针卡重新进行数据的采集；若当前累计扎针次数的数值小于报废扎针次数限值，则设定存储端自动将原始累计扎针次数的数值更新为当前累计扎针次数的数值，并进行后续的步骤。中央处理端调用第一数据库中的原始扎针次数，并将该探针卡实际扎针次数与调用的原始扎针次数进行相加，得到当前扎针次数。中央处理端继续调用之前设定的维护扎针次数限值，将维护扎针次数限值与当前扎针次数的数值进行比对:若当前扎针次数的数值大于或等于维护扎针次数限值，则该探针卡需要进行维护(Prevention Maintenance, PM),待维护完成后,将第一数据库中的原始扎针次数的数值设定为零，此时，信息采集端继续对探针卡进行下一时间段的数据采集；若当前扎针次 数的数值小于维护扎针次数限值，则设定存储端自动将原始扎针次数的数值更新为当前扎针次数的数值，此时，信息采集端继续对探针卡进行下一时间段的数据采集。下面结合具体实施例对本发明方法加以阐述。为了更清楚地对本发明方法进行阐述，在此假设探针卡的使用时间为t，t=tn-t0,探针卡的使用时间段为，其中，η表示对探针卡进行数据采集的次数，η为自然数，若η为I时，则，该t表示探针卡从使用以来至第一次数据采集时的使用时间，相应的则T1则表示从探针卡使用以来至第一次数据采集时的使用时间；若η为2时，则，该t表示探针卡从使用以来至第二次数据采集时的使用时间，相应的Τ2= 2-^则T1则表示从探针卡从第一次数据采集时至第二次数据采集时的使用时间，当η大于3的时候，情况与η=2是相同，故在此处不进行赘述。首先，根据具体工艺需求，通过设定存储端将探针卡的报废扎针次数限值设置为10000000次以及将探针卡的维护扎针次数限值设置为200000次。然后，信息采集端对探针卡进行数据采集，以获取在时间段T1内的探针卡实际扎针次数，为了便于说明，本实施例中将实际扎针次数的数值用X来表示。通过中央处理端调用第二数据库中的原始累计扎针次数，并将该探针卡实际扎针次数与调用的原始累计扎针次数相加，得到当前累计扎针次数，由于在第一次的数据采集时，第二数据库中的原始累计扎针次数为零，因此，此处得到的当前累计扎针次数即为探针卡实际扎针次数X。中央处理端调用之前设定的报废扎针次数限值，将报废扎针次数限值与当前累计扎针次数的数值进行比对:若当前累计扎针次数的数值大于或等于报废扎针次数限值，即X ^ 10000000，则该探针卡需要进行报废操作，在完成报废操作之后，对第二数据库中的累计扎针次数的数值设定为零，此时，信息采集端自动对新探针卡重新进行第一次的数据采集；若当前累计扎针次数的数值小于报废扎针次数限值，即X ( 10000000，则设定存储端自动将原始累计扎针次数的数值更新为当前累计扎针次数的数值，即将第二数据库中的累计扎针次数的数值更新为X，并进行后续的步骤。
中央处理端调用第一数据库中的原始扎针次数，并将该探针卡实际扎针次数X与调用的该原始扎针次数进行相加，得到当前扎针次数，由于在第一次的数据采集时，第一数据库中的原始扎针次数为零，因此，此处得到的当前扎针次数数值为X。中央处理端继续调用之前设定的维护扎针次数限值，将维护扎针次数限值与当前扎针次数的数值进行比对:若当前扎针次数的数值大于或等于维护扎针次数限值，即X ^ 200000，则该探针卡需要进行维护，待维护完成后，将第一数据库中的原始扎针次数的数值设定为零，此时，信息采集端继续对探针卡进行第二次的数据采集；若当前扎针次数的数值小于维护扎针次数限值，即X ( 200000则设定存储端自动将原始扎针次数的数值更新为当前扎针次数的数值，即原始扎针次数的数值更新为X，此时，信息采集端继续对探针卡进行下一时间段的数据采集。综上所述，本发明是通过采集探针卡的扎针次数，并设置了具体的判断规则，并通过探针卡检测系统，从而实现了探针卡维护的自动化。相比于传统的依靠时间来对探针卡进行维护的方法，本发明能够从探针卡的根本上着手，以精确的扎针次数来反应探针卡的具体使用情况，从而克服了通过时间来对探针卡进行维护时可能出现的浪费以及不及时等问题。对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本发明的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何 和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本发明的意图和范围内。
权利要求
1.一种探针卡维护方法，应用于探针卡检测系统中，其特征在于，所述探针卡检测系统包括第一数据库和第二数据库，所述第一数据库中存储有原始扎针次数，所述第二数据库中存储有原始累计扎针次数，所述探针卡维护方法包括以下步骤: 根据工艺需求，设定探针卡的报废扎针次数限值和维护扎针次数限值，并设定该探针卡工作的时间tztn-tM η为对该探针卡进行数据采集的次数，η为正整数； 对所述探针卡进行数据采集，以获取所述探针卡在时间段内所述探针卡的实际扎针次数； 将所述实际扎针次数与所述原始累计扎针次数相加得到当前累计扎针次数，并将该当前累计扎针次数的数值与所述报废扎针次数限值进行比对； 若所述当前累计扎针次数的数值大于或等于所述报废扎针次数限值，则所述探针卡报废，更换新探针卡，同时将所述原始扎针次数的数值和所述原始累计扎针次数的数值设置为零，并对所述新探针卡进行第一次的数据采集； 若所述当前累计扎针次数的数值小于所述报废扎针次数限值，则将所述原始累计扎针次数的数值更新为所述当前累计扎针次数的数值，并继续将所述实际扎针次数与所述原始扎针次数进行相加得到当前扎针次数，并将该当前扎针次数的数值与所述维护扎针次数限值进行比对； 若所述当前扎针次数的数值大于或等于所述维护扎针次数限值，则对所述探针卡进行维护，将所述原始扎针次数的数值设置为零，并继续对所述探针卡进行下一次的数据采集； 若所述当前扎针次数的数值小于所述维护扎针次数限值，则将所述原始扎针次数的数值更新为所述当前扎针次数的数值，并继续对所述探针卡进行下一次的数据采集。
2.如权利要求1所述的探针卡维护方法，其特征在于，所述探针卡检测系统还包括设定存储端，通过所述设定存储端设定所述探针卡的所述报废扎针次数限值和所述维护扎针次数限值。
3.如权利要求1所述的探针卡维护方法，其特征在于，所述探针卡检测系统还包括信息采集端，通过所述信息采集端对所述探针卡进行所述数据采集。
4.如权利要求1所述的探针卡维护方法，其特征在于，所述探针卡检测系统中还包括信息输出端，所述信息输出端对所述报废扎针次数限值、维护扎针次数限值、所述当前实际扎针次数和所述当前累计扎针次数进行输出。
5.如权利要求4所述的探针卡维护方法，其特征在于，采用显示器作为所述信息输出端。
6.如权利要求1所述的探针卡维护方法，其特征在于，所述探针卡检测系统还包括中央处理端，通过所述中央处理端对所述当前累计扎针次数的数值与所述报废扎针次数限值进行比对。
7.如权利要求6所述的探针卡维护方法，其特征在于，通过所述中央处理端对所述当前扎针次数的数值与所述维护扎针次数限值进行比对。
8.如权利要求1所述的探针卡维护方法，其特征在于，所述维护扎针次数限值为200000 次。
9.如权利要求1所述的探针卡维护方法，其特征在于，所述报废扎针次数限值为10000000次。
全文摘要
本发明探针卡维护方法，包括以下步骤设定探针卡的报废扎针次数限值和维护扎针次数限值；获取探针卡的实际扎针次数；将实际扎针次数与原始累计扎针次数相加得到当前累计扎针次数；若当前累计扎针次数大于或等于报废扎针次数限值，则更换探针卡，且同时将原始扎针次数的数值和原始累计扎针次数的数值设置为零；反之，则将原始累计扎针次数的数值更新为当前累计扎针次数的数值，并继续将实际扎针次数与原始扎针次数进行相加得到当前扎针次数；若当前扎针次数大于或等于维护扎针次数限值，则对探针卡进行维护，并将原始扎针次数的数值设置为零；反之，则将原始扎针次数的数值更新为当前扎针次数的数值。本发明解决了探针卡维护中的浪费问题。
文档编号G01R1/06GK103217558SQ201310081818
公开日2013年7月24日 申请日期2013年3月14日 优先权日2013年3月14日
发明者沈茜, 周波 申请人:上海华力微电子有限公司