测量仪器的夹持方法
【专利摘要】本发明公开了一种测量仪器的夹持方法，用于夹持测试仪器的杆状探头，包括将杆状探头直接卡合在夹持架的卡槽上，所述夹持架包括相对间隔设置的两卡板和一底板，所述两卡板的底部通过所述底板连接，所述两卡板的上部对应设有一用于卡住所述杆状探头的所述卡槽，形成卡槽对，所述卡槽的形状呈斜向圆弧楔口型。本发明提供的测量仪器的夹持方法，通过将杆状探头直接卡合在夹持架的卡槽上就可以实现杆状探头的夹持，所述卡槽的形状呈斜向圆弧楔口型，依靠形状呈斜向弧形楔口的卡槽对实现对测量仪器的快速安装，而且可以避免螺丝掉落的风险，并且能够增加测量仪器的夹持稳定性，提高测量效率和测量精度。
【专利说明】测量仪器的夹持方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种测量仪器的夹持方法。
【背景技术】
[0002]目前，晶圆厂(FAB)的光刻区内，请参阅图1和图2，对探针、探棒等测量仪器的杆状探头3’的固定，是依靠两颗螺丝4’夹紧于金属块2’上，而金属块2’还需要两颗螺丝(图中不可见)固定于支架I’上。上述结构有如下缺陷:
[0003]一、操作比较繁琐；
[0004]二、实际使用中，测量仪器容易晃动，影响测量的准确性，尤其对风速测量影响较大；
[0005]三、螺丝4’在安装和使用过程中很容易掉落，如掉落至机台内，易造成机台隐患。
[0006]因此，如何提供一种可以增强夹持稳定性、避免螺丝掉落风险、并可以实现快速安装的测量仪器的夹持方法是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
【发明内容】
[0007]本发明的目的在于提供一种测量仪器的夹持方法，依靠形状呈斜向弧形楔口的卡槽对实现对测量仪器的快速安装，而且可以避免螺丝掉落的风险，并且能够增加测量仪器的夹持稳定性，提高测量效率和测量精度。
[0008]为了达到上述的目的，本发明采用如下技术方案:
[0009]一种测量仪器的夹持方法，用于夹持测试仪器的杆状探头，包括将杆状探头直接卡合在夹持架的卡槽上，所述夹持架包括相对间隔设置的两卡板和一底板，所述两卡板的底部通过所述底板连接，所述两卡板的上部对应设有一用于卡住所述杆状探头的所述卡槽，形成卡槽对，所述卡槽的形状呈斜向圆弧楔口型。
[0010]优选的，在上述的测量仪器的夹持方法中，所述卡槽对的数量是两个以上，两个以上的卡槽对沿所述卡板的纵向间隔设置。
[0011]优选的，在上述的测量仪器的夹持方法中，所述卡槽对的数量时三个。
[0012]优选的，在上述的测量仪器的夹持方法中，所述夹持架的下方固定设有一支撑架。
[0013]优选的，在上述的测量仪器的夹持方法中，所述支撑架与所述底板垂直固定连接。
[0014]优选的，在上述的测量仪器的夹持方法中，所述支撑架固定连接于所述底板的中部。
[0015]优选的，在上述的测量仪器的夹持方法中，所述支撑杆和所述夹持架一体成型。
[0016]优选的，在上述的测量仪器的夹持方法中，所述两卡板采用弹性材料。
[0017]优选的，在上述的测量仪器的夹持方法中，所述卡槽的形状是一带有斜向上缺口的椭圆。
[0018]优选的，在上述的测量仪器的夹持方法中，所述椭圆的短轴和长轴的比值是1/3-1/5，所述长轴与竖直方向的夹角是30-60度。[0019]本发明提供的测量仪器的夹持方法，通过将杆状探头直接卡合在夹持架的卡槽上就可以实现杆状探头的夹持，所述夹持架包括相对间隔设置的两卡板和一底板，所述两卡板的底部通过所述底板连接，所述两卡板的上部对应设有一用于卡住所述杆状探头的卡槽，形成卡槽对，所述卡槽的形状呈斜向圆弧楔口型，依靠形状呈斜向弧形楔口的卡槽对实现对测量仪器的快速安装，而且可以避免螺丝掉落的风险，并且能够增加测量仪器的夹持稳定性，提高测量效率和测量精度。
【专利附图】
【附图说明】
[0020]本发明的测量仪器的夹持方法由以下的实施例及附图给出。
[0021]图1是现有的测量仪器的夹持方法的结构示意图；
[0022]图2是现有的测量仪器的夹持方法的使用状态示意图；
[0023]图3是本发明一实施例的测量仪器的夹持方法的结构示意图；
[0024]图4是本发明一实施例的测量仪器的夹持方法的使用状态示意图。
[0025]图中，I’-支架、2’-金属块、3’-杆状探头、4’-螺丝、1-夹持架、11-卡板、111-卡槽、110-卡槽对、12-底板、2-支撑架、3-杆状探头。
【具体实施方式】
[0026]以下将对本发明的测量仪器的夹持方法作进一步的详细描述。
[0027]下面将参照附图对本发明进行更详细的描述，其中表示了本发明的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发明而仍然实现本发明的有益效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本发明的限制。
[0028]为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本发明由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。
[0029]为使本发明的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本发明的【具体实施方式】作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
[0030]请参阅图3和图4，这种测量仪器的夹持方法，用于夹持测试仪器的杆状探头3，包括将杆状探头3直接卡合在夹持架I的卡槽上111，所述夹持架I包括相对间隔设置的两卡板11和一底板12,所述两卡板11的底部通过所述底板12连接,所述两卡板11的上部对应设有一用于卡住所述杆状探头3的所述卡槽111，形成卡槽对110,所述卡槽111的形状呈斜向圆弧楔口型。由于所述卡槽111要将杆状探2头卡住，因此，卡槽111的开口大小和所述杆状探头3的被夹持部位的外径相匹配。该测量仪器的夹持方法依靠形状呈斜向弧形楔口的卡槽对110，将杆状探头3快速卡在卡槽对110中，从而实现对测量仪器的快速安装，而且可以避免螺丝掉落的风险，并且能够增加测量仪器的夹持稳定性，提高测量效率和测量精度。其中，所述测试仪器的杆状探头3可以是探针或探棒等。
[0031]优选的，在上述的测量仪器的夹持方法中，所述卡槽对110的数量是两个以上，两个以上的卡槽对110沿所述卡板11的纵向间隔设置。本实施例中，所述卡槽对110的数量时三个。通过将杆状探头3卡在不同的卡槽对110中，可以方便地更换杆状探头3的测量
位置，提高测量效率。
[0032]优选的，在上述的测量仪器的夹持方法中，所述夹持架I的下方固定设有一支撑架2。所述支撑架2与所述底板12垂直固定连接。所述支撑架2竖直设置，所述夹持架I水平设置，本实施例中，所述杆状探头3以水平方式卡在所选的卡槽对110中，具有夹持稳定的优点。
[0033]优选的，在上述的测量仪器的夹持方法中，所述支撑架2固定连接于所述底板12的中部，从而可以使得支撑2架能够平稳地支撑底板12。
[0034]优选的，在上述的测量仪器的夹持方法中，所述支撑杆2和所述夹持架I 一体成型。
[0035]优选的，在上述的测量仪器的夹持方法中，所述两卡板11采用弹性材料，从而可以增大卡板11对杆状探头3的夹持力，夹持更加稳定。
[0036]优选的，在上述的测量仪器的夹持方法中，所述卡槽111的形状是一带有斜向上缺口的椭圆。为了使得卡槽111更好的夹持所述杆状探头3，所述卡槽111的椭圆的短轴与所述杆状探头3的被夹持部位的外径相匹配。
[0037]优选的，在上述的测量仪器的夹持方法中，所述椭圆的短轴和长轴的比值是1/3-1/5，所述长轴与竖直方向的夹角是30-60度。经过研发团队的长期实验和比较，在所述卡槽111的椭圆的短轴与所述杆状探头3的被夹持部位的外径相匹配的前提下，当所述椭圆的短轴和长轴的比值是1/3-1/5，且所述长轴与竖直方向的夹角是30-60度，杆状探头3卡入卡槽111的便利性和获得卡槽的稳定夹持力之间可以达到一个最佳平稳点。
[0038]综上所述，本发明提供的测量仪器的夹持方法，通过在所述两卡板的上部对应设有一用于卡住所述杆状探头的卡槽，形成卡槽对，所述卡槽的形状呈斜向圆弧楔口型，依靠形状呈斜向弧形楔口的卡槽对实现对测量仪器的快速安装，而且可以避免螺丝掉落的风险，并且能够增加测量仪器的夹持稳定性，提高测量效率和测量精度。
[0039]显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
【权利要求】
1.一种测量仪器的夹持方法，用于夹持测试仪器的杆状探头，其特征在于，包括将杆状探头直接卡合在夹持架的卡槽上，所述夹持架包括相对间隔设置的两卡板和一底板，所述两卡板的底部通过所述底板连接，所述两卡板的上部对应设有一用于卡住所述杆状探头的所述卡槽，形成卡槽对，所述卡槽的形状呈斜向圆弧楔口型。
2.根据权利要求1所述的测量仪器的夹持方法，其特征在于，所述卡槽对的数量是两个以上，两个以上的卡槽对沿所述卡板的纵向间隔设置。
3.根据权利要求1所述的测量仪器的夹持方法，其特征在于，所述卡槽对的数量时三个。
4.根据权利要求1所述的测量仪器的夹持方法，其特征在于，所述夹持架的下方固定设有一支撑架。
5.根据权利要求4所述的测量仪器的夹持方法，其特征在于，所述支撑架与所述底板垂直固定连接。
6.根据权利要求5所述的测量仪器的夹持方法，其特征在于，所述支撑架固定连接于所述底板的中部。
7.根据权利要求4所述的测量仪器的夹持方法，其特征在于，所述支撑杆和所述夹持架一体成型。
8.根据权利要求1所述的测量仪器的夹持方法，其特征在于，所述两卡板采用弹性材料。
9.根据权利要求1-8所述的测量仪器的夹持方法，其特征在于，所述卡槽的形状是一带有斜向上缺口的椭圆。
10.根据权利要求9中任意所述的测量仪器的夹持方法，其特征在于，所述椭圆的短轴和长轴的比值是1/3-1/5，所述长轴与竖直方向的夹角是30-60度。
【文档编号】G01R1/02GK103439535SQ201310385764
【公开日】2013年12月11日 申请日期:2013年8月29日 优先权日:2013年8月29日
【发明者】程蒙, 马力鹏 申请人:上海宏力半导体制造有限公司